CN108645503B - 一种增强地音传感器低频测量能力的电路 - Google Patents
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Abstract
本发明属于主动减振相关技术领域，其公开了一种增强地音传感器低频测量能力的电路，该电路包括连接于地音传感器的信号放大与阻尼调整电路、高通滤波电路、低频增强与补偿电路及抗混叠滤波电路，该信号放大与阻尼调整电路的输入端与该地音传感器的差分信号输出端相连接；该高通滤波电路的输入端及输出端分别与该信号放大与阻尼调整电路的输出端及该低频增强与补偿电路的输入端相连接；该抗混叠滤波电路的输入端与该低频增强与补偿电路的输出端相连接；该抗混叠滤波电路的输出端为该的增强地音传感器低频测量能力的电路的输出端。本发明传感器灵敏度是可调的，带宽扩展频点和阻尼比可调，具有较好的环境适应性及应用对象适应性，且稳定性较好。
Description
技术领域
本发明属于主动减振相关技术领域，更具体地，涉及一种增强地音传感器低频测量能力的电路。
背景技术
高性能振动隔离技术是超精密加工、制造与测量装备、电子显微成像的一项基础技术。它为装备提供超静环境，是装备服役性能的基础保障。随着装备的精度向着纳米、亚纳米演进，装备关键单元对微振动更加敏感。装备结构要求超稳定，对微振动抑制频率范围和隔振性能要求的严苛程度呈几何级数增长，减振系统面临着近零低频、宽频域、超微幅振动隔离的新挑战。
减振系统是通过弹性元件和阻尼元件连接被减振件和基础载体的装置，其行为特性变现为一个低通滤波系统。通过降低系统固有频率，并采用主动隔振的方法可以有效提高隔振性能。基于电磁感应原理的地音传感器是主动隔振实现的关键器件，可以为反馈控制提供被隔振对象的残余振动信号，通过引入天棚阻尼技术，有效抑制固有频率处的振动放大，但由于其固有的二阶高通特性，其低频测量性能显著退化，对主动隔振起始频率带来了极大地限制，限制了主动隔振应用。
在实际应用中，人们常采用带宽扩展技术，通过电路补偿地音传感器的低频动态特性来提升地音传感器的低频测量能力，但是通常这种模拟带宽扩展技术只依据模拟电路系统的噪声特性选择固定的频点，传感器系统的阻尼比通常选择在0.7附近以获得传感器系统超调和响应特性的平衡，这使得传感器灵敏度也是固定的。由于主动隔振控制中反馈性能受限于传感器动态特性，而前馈性能受限于传感器噪声，固定频点与固定阻尼比参数的模拟带宽扩展电路不能适应环境和负载振动水平的变化，导致过度或者不足的带宽扩展，制约了隔振系统的性能。相应地，本领域存在着发展一种能够增强地音传感器低频测量能力的电路的技术需求。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种增强地音传感器低频测量能力的电路，其基于现有地音传感器的工作特点，研究及设计了一种能够增强地音传感器低频测量能力的电路。所述电路的带宽扩展频点和阻尼比是可以调节的，通过调整可调转轨电阻来实现地音传感器的阻尼比的调整，具有更好的环境适应性和应用对象适应性。此外，所述的增强地音传感器低频测量能力的电路还设置了补偿电路，所述补偿电路通过改变所述第三电阻及所述第二电容的值来调节所述补偿电路在所述地音传感器固有频率处的幅频响应，其用于抵消阻尼比改变所引起的固有频率附近超调或者过阻尼响应，使得所述地音传感器可以在固有频率附近获得平坦的幅频响应。
为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种增强地音传感器低频测量能力的电路，所述电路包括连接于地音传感器的信号放大与阻尼调整电路、高通滤波电路、低频增强与补偿电路及抗混叠滤波电路，所述信号放大与阻尼调整电路的输入端与所述地音传感器的差分信号输出端相连接；所述高通滤波电路的输入端及输出端分别与所述信号放大与阻尼调整电路的输出端及所述低频增强与补偿电路的输入端相连接；所述抗混叠滤波电路的输入端与所述低频增强与补偿电路的输出端相连接；所述抗混叠滤波电路的输出端为所述的增强地音传感器低频测量能力的电路的输出端；
所述信号放大与阻尼调整电路包括可调转轨电阻、第一电阻及第一运算放大器，所述地音传感器的差分输入信号分别与所述第一运算放大器的同相输入端及反相输入端相连接；所述可调转轨电阻的一端与所述第一运算放大器的反相输入端相连接，另一端与所述第一运算放大器的同相输入端相连接；所述第一电阻的两端分别与所述第一运算放大器的两个引脚相连接；所述第一运算放大器的输出端连接于所述高通滤波器的输入端。
进一步地，所述第一运算放大器的放大增益是通过调节所述第一电阻的大小来调节的。
进一步地，所述地音传感器的阻尼比是通过调节所述可调转轨电阻的阻值来调节的。
进一步地，所述高通滤波电路包括第一电容、第二电阻及第二运算放大器，所述第一电容的两端分别连接于所述信号放大与阻尼调整电路的输出端及所述第二运算放大器的同相输入端；所述第二电阻的一端接地，另一端连接于所述第二运算放大器的同相输入端；所述第二运算放大器的反相输入端与所述第二运算放大器的输出端相连接，且所述第二运算放大器的输出端连接于所述低频增强与补偿电路。
进一步地，所述低频增强与补偿电路包括补偿电路及低频增强电路，所述补偿电路连接所述低频增强电路及所述高通滤波电路，所述低频增强电路的输出端连接于所述抗混叠滤波电路的输入端。
进一步地，所述补偿电路包括第二电容、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第三电容及第三运算放大器，所述第二电容的两端分别连接于所述高通滤波电路的输出端及所述第三运算放大器的反相输入端；所述第三电阻与所述第二电容并联；所述第四电阻的两端分别连接于所述第三运算放大器的反相输入端及所述第五电阻的一端，所述第五电阻的另一端连接于所述第三运算放大器的输出端，所述第三电容与所述第五电阻并联；所述第三运算放大器的同相输入端接地。
进一步地，所述第二电容为可变电容；所述第三电阻为可变电阻。
进一步地，所述低频增强电路包括第四电容、第六电阻、第七电阻、第五电容、第八电阻及第四运算放大器，所述第六电阻的两端分别连接于所述补偿电路的输出端及所述第七电阻的一端，所述第七电阻的另一端连接于所述第四运算放大器的反相输入端；所述第四电容与所述第六电阻并联；所述第八电阻的两端分别连接于所述第四运算放大器的反相输入端及输出端；所述第五电容与所述第八电阻并联；所述第四运算放大器的同相输入端接地。
进一步地，所述第八电阻为可变电阻；所述第五电容为可变电容；通过改变所述第八电阻和所述第五电容的值来调节带宽扩展频点。
进一步地，所述抗混叠滤波电路包括第九电阻、第十电阻、第六电容、第七电容及第五运算放大器，所述第九电阻的两端分别连接所述低频增强与补偿电路及所述第十电阻的一端，所述第十电阻的另一端连接于所述第五运算放大器的同相输入端；所述第五运算放大器的反相输入端连接于所述第五运算放大器的输出端；所述第六电容的一端连接于所述第九电阻与所述第十电阻之间的节点，另一端连接于所述第五运算放大器的输出端。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，本发明提供的增强地音传感器低频测量能力的电路主要具有以下有益效果：
1.所述的增强地音传感器低频测量能力的电路的带宽扩展频点和阻尼比是可以调节的，通过调整可调转轨电阻来实现地音传感器的阻尼比的调整，具有更好的环境适应性和应用对象适应性。
2.所述的增强地音传感器低频测量能力的电路还设置了补偿电路，所述补偿电路通过改变所述第三电阻及所述第二电容的值来调节所述补偿电路在所述地音传感器固有频率处的幅频响应，其用于抵消阻尼比改变所引起的固有频率附近超调或者过阻尼响应，使得所述地音传感器可以在固有频率附近获得平坦的幅频响应。
3.所述信号放大与阻尼调整电路用于将输入信号进行放大，并消除共模干扰，其中所述第一运算放大器具有很低的1f噪声，有效的减少了噪声。
4.所述低频增强电路通过改变所述第八电阻及所述第三电容的数值来调节带宽补偿后的目标频点以适应不同的带宽扩展需求，提高了适应性；所述高通滤波电路具有极低的截止频率，可以滤掉电路中的直流分量，以防止电路饱和失稳。
附图说明
图1是本发明提供的增强地音传感器低频测量能力的电路使用时的模块示意图。
图2是图1中的增强地音传感器低频测量能力的电路的信号放大与阻尼调整电路的示意图。
图3是采用图1中的增强地音传感器低频测量能力的电路获得的阻尼对地音传感器的灵敏度的影响示意图。
图4是图1中的增强地音传感器低频测量能力的电路的高通滤波电路的示意图。
图5是图1中的增强地音传感器测量能力的电路的低频增强与补偿电路的示意图。
图6是图1中的增强地音传感器测量能力的电路的抗混叠滤波电路的示意图。
图7是采用图1中的增强地音传感器低频测量能力获得的地音传感器及扩展电路的响应曲线与原始的地音传感器的响应曲线的对比示意图。
在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：101-信号放大与阻尼调整电路，102-高通滤波电路，103-低频增强与补偿电路，401-低频增强电路，402-补偿电路，104-抗混叠滤波电路，R-可调转轨电阻，R1-第一电阻，UV1-第一运算放大器，C1-第一电容，R2-第二电阻，UV2-第二运算放大器，C2-第二电容，R3-第三电阻，R4-第四电阻，R5-第五电阻，R6-第六电阻，R7-第七电阻，R8-第八电阻，C3-第三电容，C4-第四电容，UV3-第三运算放大器，UV4-第四运算放大器，R9-第九电阻，R10-第十电阻，C7-第七电容，UV5-第五运算放大器。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
请参阅图1，本发明提供的增强地音传感器低频测量能力的电路106，所述电路106的带宽扩展频点和阻尼比是可以调节的，通过调整可调转轨电阻R来实现地音传感器的阻尼比的调整。当所述地音传感器作为前馈控制中测量地基振动的参考传感器时，地音传感器带宽扩展的目标频率根据地音传感器的信噪比进行调整；当地音传感器作为反馈控制中测量被隔振对象参与振动的误差传感器的时候，地音传感器的频点根据反馈低频稳定性需要调整，相比于以往根据传感器后级放大电路信噪比确定的固定频点带宽扩展，具有更好的环境适应性和应用对象适应性。
此外，当环境振动较弱时，通过调整可调转轨电阻R，减少传感器的阻尼比来提高传感器的灵敏度，等效于改善测量过程的信噪比，从而增加了传感器低频可用带宽，而当环境振动较强的时候，增加传感器的阻尼比来避免传感器的饱和，此种调节传感器的阻尼比来改善信噪比的方法，不同于常见的通过增加传感器放大电路增益而获得更大测量信号的方法，通过信号后级放大的方式会将传感器的信号和噪声同时放大，不能改变测量过程的变信噪比。同时，所述电路106还设置了补偿电路，所述补偿电路用于抵消阻尼比改变所引起的固有频率附近超调或者过阻尼响应，使得所述地音传感器可以在固有频率附近获得平坦的幅频响应。
所述电路106包括连接于地音传感器的信号放大与阻尼调整电路101、高通滤波电路102、低频增强与补偿电路103及抗混叠滤波电路104，所述信号放大与阻尼调整电路101的输入端与所述地音传感器的差分信号输出端相连接。所述高通滤波电路102的输入端及输出端分别与所述信号放大与阻尼调整电路101的输出端及所述低频增强与补偿电路103的输入端相连接。所述抗混叠滤波电路104的输入端与所述低频增强与补偿电路103的输出端相连接。所述低频增强与补偿电路103的输出端为低频性能增强后的信号输出端。
请参阅图2、图3及图4，所述信号放大与阻尼调整电路101的输入端Vin为增强地音传感器低频测量能力的电路106的输入端，其输出端Vout1与所述高通滤波电路102的输入端Vin2连接。所述信号放大与阻尼调整电路101包括可调转轨电阻R、第一电阻R1及第一运算放大器UV1，所述地音传感器的差分输入信号Vin+及Vin-分别与所述第一运算放大器UV1的同相输入端IN+及反相输入端IN-相连接。所述可调转轨电阻R的一端与所述第一运算放大器UV1的反相输入端相连接，另一端与所述第一运算放大器UV1的同相输入端相连接。所述第一电阻R1的两端分别与所述第一运算放大器UV1的两个引脚RG相连接。所述第一运算放大器UV1的输出端即为所述信号放大与阻尼调整电路101的信号输出端Vout1，其放大增益G是通过调节所述第一电阻R1的大小来调节的。所述信号放大与阻尼调整电路用于对输入信号Vin进行放大，并消除共模干扰。其中，所
1/f述第一运算放大器UV1为低电压噪声的仪表运算放大器，具有很低的1/f噪声，有效的减少了噪声；通过调节所述可调转轨电阻R的阻值来调节所述地音传感器的阻尼比，进而改善所述地音传感器的灵敏度。在环境振动较弱的时候，使用较小的阻尼比和较大的灵敏度来改善信噪比；而在环境振动较强的时候，使用较大的阻尼比和较小的灵敏度来避免传感器的饱和。
图3中分别显示了所述可调转轨电阻R为50k欧、1740欧、500欧时地音传感器的响应曲线，即图1中的105的输出。由图3可以看出，通过调节所述可调转轨电阻R可以改变所述地音传感器的灵敏度，即减小所述可调转轨电阻R的值会增大所述地音传感器的灵敏度，同时使得固有频率处出现超调；增加所述可调转轨电阻R的值会减小所述地音传感器的灵敏度，同时会出现阻尼响应。
请参阅图5，所述高通滤波电路102的输出端Vout2连接于所述低频增强与补偿电路103的输入端Vin3，其包括第一电容C1、第二电阻R2及第二运算放大器UV2，所述第一电容C1的一端为所述高通滤波电路102的输入端Vin2，另一端连接于所述第二运算放大器UV2的同相输入端。所述第二电阻R2的一端接地，另一端连接于所述第二运算放大器UV2的同相输入端。所述第二运算放大器UV2的反相输入端与所述第二运算放大器UV2的输出端相连接。所述第二运算放大器UV2的输出端即为所述高通滤波电路102的输出端Vout2。其中，所述高通滤波电路102的传替函数为截止频率为所述高通滤波电路102具有极低的截止频率，可以滤掉电路中的直流分量，以防止电路饱和失稳。
请参阅图6及图7，所述低频增强与补偿电路103的输出端Vout3与所述抗混叠滤波电路104的输入端Vin4相连接。所述低频增强与补偿电路103包括补偿电路402及低频增强电路401，所述补偿电路402连接所述高通滤波电路102及所述低频增强电路401，所述低频增强电路401的输出端连接于所述抗混叠滤波电路104。
所述补偿电路402包括第二电容C2、第三电阻R3、第四电阻R4、第五电阻R5、第三电容C3及第三运算放大器UV3，所述第二电容C2的一端为所述低频增强与补偿电路103的输入端Vin3，另一端连接于所述第三运算放大器UV3的反相输入端。所述第三电阻R3的一端连接于所述低频增强与补偿电路103的输入端Vin3，另一端连接于所述第三运算放大器UV3的反相输入端。所述第四电阻R4的一端连接于所述第三运算放大器UV3的反相输入端，另一端连接于所述第五电阻R5的一端。所述第五电阻R5的另一端连接于所述第三运算放大器UV3的输出端。所述第三电容C3的两端分别连接于所述第五电阻R5的两端，使所述第三电容C3与所述第五电阻R5之间形成并联。所述第三运算放大器UV3的同相输入端接地。本实施方式中，所述第三电阻R3是可变电阻；所述第二电容C2是可变电容。
所述补偿电路402通过改变所述第三电阻R3及所述第二电容C2的值来调节所述补偿电路402在所述地音传感器固有频率处的幅频响应，补偿前级由于所述可调转轨电阻R调整导致的传感器固有频率处幅频响应问题，由此可以在固有频率附近获得平坦的幅频响应，以适应控制系统的需求。
所述低频增强电路401包括第四电容C4、第六电阻R6、第七电阻R7、第五电容C5、第八电阻R8及第四运算放大器UV4，所述第六电阻R6的一端连接于所述第三运算放大器UV3的输出端，另一端连接于所述第七电阻R7的一端，所述第七电阻R7的另一端连接于所述第四运算放大器UV4的反相输入端。所述第四电容C4的两端分别连接于所述第六电阻R6的两端，使得所述第四电容C4与所述第六电阻R6之间形成并联。所述第五电容C5的一端连接于所述第四运算放大器UV4的反相输入端，另一端连接于所述第四运算放大器UV4的输出端。所述第八电阻R8的一端连接于所述第四运算放大器UV4的反相输入端，另一端连接于所述第四运算放大器UV4的输出端。所述第四运算放大器UV4的同相输入端接地。所述第四运算放大器UV4的输出端即为所述低频增强与补偿电路103的输出端Vout3。本实施方式中，所述第八电阻R8为可变电阻；所述第五电容C5为可变电容。所述抗混叠电路104用于约束所述地音传感器的带宽以消除频率混叠。
所述低频增强电路401通过改变所述第八电阻R8及所述第三电容C3的数值来调节带宽补偿后的目标频点以适应不同的带宽扩展需求。当地音传感器作为前馈控制的参考传感器时，如果地基振动比较弱，则将带宽扩展的目标频点向高频调节，直至信噪比满足要求；如果地基振动较强，则将目标频点向低频调节，以改善低频控制效果。对于反馈控制，反馈增益提高，则将带宽扩展的目标频点向低频调节以改善控制稳定性；反馈增益降低，则将目标频点向高频调节以减少地音传感器的噪声对低频的影响，如此显著改善了地音传感器系统性能及噪声抑制能力。
所述低频增强与补偿电路103的传递函数为：
所述低频增强与补偿电路103产生的零点补偿了不同阻尼比情况下所述地音传感器的输出信号在固有频率处的幅值响应，通过改变所述第二电容C2及所述第三电阻R3的值可以调节所述补偿电路402在所述地音传感器固有频率处的幅值响应，补偿前级由于所述可调转轨电阻R调整导致的传感器固有频率处的幅频响应问题，可以在固有频率附近获得平坦的幅频响应，以适应控制系统的需求。此外，所述低频增强与补偿电路103产生的极点取代了所述地音传感器的固有频率，产生了新的较低的固有频率，将测量范围移动到了更低的频率，即将所述地音传感器的固有频率移动到更低的频率点，通过改变所述第五电容C5及所述第八电阻R8的值可以改变固有频率移动到的频率点，以适应不同的频率要求。
所述抗混叠滤波电路104包括第九电阻R9、第十电阻R10、第六电容C6、第七电容C7及第五运算放大器UV5，所述第九电阻R9的一端连接于所述抗混叠滤波电路104的信号输入端Vin4，另一端连接于所述第十电阻R10的一端。所述第十电阻R10的另一端连接于所述第五运算放大器UV5的同相输入端。所述第七电容C7的一端连接于所述第五运算放大器UV5的同相输入端，另一端接地。所述第六电容C6的一端连接于所述第九电阻R9与所述第十电阻R10之间的节点，另一端连接于所述第五运算放大器UV5的输出端。所述第五运算放大器UV5的反相输入端连接于所述第五运算放大器UV5的输出端。所述第五运算放大器UV5的输出端即为所述的增强地音传感器低频测量能力的电路106的输出端Vout。本实施方式中，输入信号Vin为差分电压信号，输出端Vout输出的信号为电压信号。
所述抗混叠滤波电路104的传递函数为：
所述抗混叠滤波电路104用于约束地音传感器的带宽，以消除频率混叠。
如图7所示，曲线601与曲线602为地音传感器的可调转轨电阻R分别调整为50k欧及500欧时的响应曲线。所述电路106可以通过可变的阻尼比补偿曲线601与602的超调或者欠阻尼，所述电路106对应的仿真曲线是603及604，采用本发明提供的增强地音传感器低频测量能力的电路后，所述地音传感器的响应仿真曲线如曲线605及曲线606所示，可见所述的增强地音传感器低频测量能力的电路有效地提升了地音传感器的低频测量能力。
本发明提供的增强地音传感器低频测量能力的电路，所述电路的带宽扩展频点和阻尼比是可以调节的，通过调整可调转轨电阻来实现地音传感器的阻尼比的调整，具有更好的环境适应性和应用对象适应性。此外，所述的增强地音传感器低频测量能力的电路还设置了补偿电路，所述补偿电路通过改变所述第三电阻及所述第二电容的值来调节所述补偿电路在所述地音传感器固有频率处的幅频响应，其用于抵消阻尼比改变所引起的固有频率附近超调或者过阻尼响应，使得所述地音传感器可以在固有频率附近获得平坦的幅频响应。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种增强地音传感器低频测量能力的电路，其特征在于：
所述电路包括连接于地音传感器的信号放大与阻尼调整电路、高通滤波电路、低频增强与补偿电路及抗混叠滤波电路，所述信号放大与阻尼调整电路的输入端与所述地音传感器的差分信号输出端相连接；所述高通滤波电路的输入端及输出端分别与所述信号放大与阻尼调整电路的输出端及所述低频增强与补偿电路的输入端相连接；所述抗混叠滤波电路的输入端与所述低频增强与补偿电路的输出端相连接；所述抗混叠滤波电路的输出端为所述的增强地音传感器低频测量能力的电路的输出端；
所述信号放大与阻尼调整电路包括可调转轨电阻、第一电阻及第一运算放大器，所述地音传感器的差分输入信号分别与所述第一运算放大器的同相输入端及反相输入端相连接；所述可调转轨电阻的一端与所述第一运算放大器的反相输入端相连接，另一端与所述第一运算放大器的同相输入端相连接；所述第一电阻的两端分别与所述第一运算放大器的两个引脚相连接；所述第一运算放大器的输出端连接于所述高通滤波器的输入端；
所述高通滤波电路包括第一电容、第二电阻及第二运算放大器，所述第一电容的两端分别连接于所述信号放大与阻尼调整电路的输出端及所述第二运算放大器的同相输入端；所述第二电阻的一端接地，另一端连接于所述第二运算放大器的同相输入端；所述第二运算放大器的反相输入端与所述第二运算放大器的输出端相连接，且所述第二运算放大器的输出端连接于所述低频增强与补偿电路；
所述低频增强与补偿电路包括补偿电路及低频增强电路，所述补偿电路连接所述低频增强电路及所述高通滤波电路，所述低频增强电路的输出端连接于所述抗混叠滤波电路的输入端；
所述抗混叠滤波电路包括第九电阻、第十电阻、第六电容、第七电容及第五运算放大器，所述第九电阻的两端分别连接所述低频增强与补偿电路及所述第十电阻的一端，所述第十电阻的另一端连接于所述第五运算放大器的同相输入端；所述第五运算放大器的反相输入端连接于所述第五运算放大器的输出端；所述第六电容的一端连接于所述第九电阻与所述第十电阻之间的节点，另一端连接于所述第五运算放大器的输出端。
2.如权利要求1所述的增强地音传感器低频测量能力的电路，其特征在于：所述第一运算放大器的放大增益是通过调节所述第一电阻的大小来调节的。
3.如权利要求1所述的增强地音传感器低频测量能力的电路，其特征在于：所述地音传感器的阻尼比是通过调节所述可调转轨电阻的阻值来调节的。
4.如权利要求1所述的增强地音传感器低频测量能力的电路，其特征在于：所述补偿电路包括第二电容、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第三电容及第三运算放大器，所述第二电容的两端分别连接于所述高通滤波电路的输出端及所述第三运算放大器的反相输入端；所述第三电阻与所述第二电容并联；所述第四电阻的两端分别连接于所述第三运算放大器的反相输入端及所述第五电阻的一端，所述第五电阻的另一端连接于所述第三运算放大器的输出端，所述第三电容与所述第五电阻并联；所述第三运算放大器的同相输入端接地。
5.如权利要求4所述的增强地音传感器低频测量能力的电路，其特征在于：所述第二电容为可变电容；所述第三电阻为可变电阻。
6.如权利要求1所述的增强地音传感器低频测量能力的电路，其特征在于：所述低频增强电路包括第四电容、第六电阻、第七电阻、第五电容、第八电阻及第四运算放大器，所述第六电阻的两端分别连接于所述补偿电路的输出端及所述第七电阻的一端，所述第七电阻的另一端连接于所述第四运算放大器的反相输入端；所述第四电容与所述第六电阻并联；所述第八电阻的两端分别连接于所述第四运算放大器的反相输入端及输出端；所述第五电容与所述第八电阻并联；所述第四运算放大器的同相输入端接地。
7.如权利要求6所述的增强地音传感器低频测量能力的电路，其特征在于：所述第八电阻为可变电阻；所述第五电容为可变电容；通过改变所述第八电阻和所述第五电容的值来调节带宽扩展频点。
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