CN108619845A - 一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，涉及粉尘过滤器技术领域。该装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，包括过滤器外壳，所述过滤器外壳的内部活动安装有腔体，所述腔体的左侧外表面连通有进气管，所述进气管的外表面固定安装有第一气泵，所述腔体的一侧设置有集尘槽，所述集尘槽的内部固定安装有静电吸附板。该装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，很好地对废气中的粉尘进行了过滤，并对粉尘进行收集，防止粉尘对设备内部和外部造成污染，以及对人体造成危害，能够对集尘槽内部的粉尘进行集中清理，以及便于对该粉尘过滤器进行维护检修，拆装简单便捷。
Description
技术领域
本发明涉及粉尘过滤器技术领域，具体为一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器。
背景技术
半导体废气处理设备中的粉尘过滤器是一种安装在半导体废气处理设备中，对半导体废气处理设备在加工中产生的废气进行净化，达到保护环境的效果，如今半导体行业发展迅速，粉尘过滤器的应用越来越广泛，对半导体行业的发展起到了不可磨灭的作用。
而传统的粉尘过滤器不能彻底地对粉尘进行过滤，在过滤过程结束后，还经常会残留一定的粉尘在其中，当废气排出后，会对设备外部的环境造成污染，导致粉尘乱飞，对附近的工作人员的身体健康造成危害。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，解决了上述背景技术提出的传统的粉尘过滤器不能彻底地对粉尘进行过滤的问题。
技术方案
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，包括过滤器外壳，所述过滤器外壳的内部活动安装有腔体，所述腔体的左侧外表面连通有进气管，所述进气管的外表面固定安装有第一气泵，所述腔体的一侧设置有集尘槽，所述集尘槽的内部固定安装有静电吸附板，所述腔体的外表面开设有滤尘孔，所述腔体内壁的底部固定安装有密封块，所述密封块的内部套设有粉尘传感器，所述过滤器外壳的右侧外表面固定安装有电机护罩，所述腔体的右侧外表面固定安装有伺服电机，所述伺服电机的左侧外表面固定安装有稳定底座，所述进气管的上方设置有排气管，所述排气管的外表面规定安装有第二气泵，所述过滤器外壳的外表面固定安装有安装支架，所述集尘槽与过滤器外壳之间设置有卡扣，所述电机护罩的外表面开设有散热孔，所述腔体的左侧外表面固定安装有轴承,所述腔体的内壁靠近左侧位置固定安装有过滤网。
进一步的，所述集尘槽与腔体之间活动连接，所述腔体的形状为圆柱体。
进一步的，所述滤尘孔的数量为若干组，且若干组滤尘孔呈一字型横向排列。
进一步的，所述密封块的数量为两组，且密封块分别位于腔体的顶端和底端。
进一步的，所述过滤器外壳的外表面固定安装有控制器，控制器的输出端与第一气泵、粉尘传感器、伺服电机和第二气泵的输入端电信连接。
进一步的，所述卡扣与散热孔的数量均为若干组，且卡扣与过滤器外壳和集尘槽之间活动连接。
有益效果
相比较现有技术：
1、该装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，通过第一气泵、集尘槽、静电吸附板、滤尘孔、粉尘传感器、伺服电机和第二气泵的配合，打开第一气泵使进气管将废气吸入腔体内部，然后粉尘传感器感应到废气中的粉尘，然后发送信号给控制器，控制器控制伺服电机开启，伺服电机带动腔体旋转，在旋转的过程中，废气首先被过滤网进行初步过滤，然后废气在离心力的作用下不断在滤尘孔中来回过滤，然后废气中夹杂的粉尘在靠近静电吸附板时，静电吸附板将粉尘吸附在表面，使集尘槽对粉尘进行收集，当粉尘被吸附完毕后，粉尘传感器感应到无明显粉尘后，控制伺服电机关闭，然后控制第二气泵开启，将过滤之后的废气抽出，很好地对废气中的粉尘进行了过滤，并对粉尘进行收集，防止粉尘对设备内部和外部造成污染，以及对人体造成危害。
2、该装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，通过卡扣、过滤器外壳和集尘槽的配合，将卡扣松开，能够将集尘槽与过滤器外壳松开，能够对集尘槽内部的粉尘进行集中清理，以及便于对该粉尘过滤器进行维护检修，拆装简单便捷。
附图说明
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明的主视图；
图3为本发明的腔体结构图。
图中：1过滤器外壳、2腔体、3进气管、4第一气泵、5集尘槽、6静电吸附板、7滤尘孔、8密封块、9粉尘传感器、10电机护罩、11伺服电机、12稳定底座、13排气管、14第二气泵、15安装支架、16卡扣、17散热孔、18轴承、19过滤网。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-3所示，本发明实施例提供一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，包括过滤器外壳1，过滤器外壳1的外表面固定安装有控制器，控制器的输出端与第一气泵4、粉尘传感器9、伺服电机11和第二气泵14的输入端电信连接，过滤器外壳1的内部活动安装有腔体2，腔体2的左侧外表面连通有进气管3，进气管3的外表面固定安装有第一气泵4，腔体2的一侧设置有集尘槽5，集尘槽5与腔体2之间活动连接，腔体2的形状为圆柱体，集尘槽5的内部固定安装有静电吸附板6，腔体2的外表面开设有滤尘孔7，滤尘孔7的数量为若干组，且若干组滤尘孔7呈一字型横向排列，腔体2内壁的底部固定安装有密封块8，密封块8的数量为两组，且密封块8分别位于腔体2的顶端和底端，密封块8的内部套设有粉尘传感器9，过滤器外壳1的右侧外表面固定安装有电机护罩10，腔体2的右侧外表面固定安装有伺服电机11，伺服电机11的左侧外表面固定安装有稳定底座12，进气管3的上方设置有排气管13，排气管13的外表面规定安装有第二气泵14，通过第一气泵4、集尘槽5、静电吸附板6、滤尘孔7、粉尘传感器9、伺服电机11和第二气泵14的配合，打开第一气泵4使进气管3将废气吸入腔体2内部，然后粉尘传感器9感应到废气中的粉尘，然后发送信号给控制器，控制器控制伺服电机11开启，伺服电机11带动腔体2旋转，在旋转的过程中，废气首先被过滤网19进行初步过滤，然后废气在离心力的作用下不断在滤尘孔7中来回过滤，然后废气中夹杂的粉尘在靠近静电吸附板6时，静电吸附板6将粉尘吸附在表面，使集尘槽5对粉尘进行收集，当粉尘被吸附完毕后，粉尘传感器9感应到无明显粉尘后，控制伺服电机11关闭，然后控制第二气泵14开启，将过滤之后的废气抽出，很好地对废气中的粉尘进行了过滤，并对粉尘进行收集，防止粉尘对设备内部和外部造成污染，以及对人体造成危害，过滤器外壳1的外表面固定安装有安装支架15，集尘槽5与过滤器外壳1之间设置有卡扣16，卡扣16与散热孔17的数量均为若干组，且卡扣16与过滤器外壳1和集尘槽5之间活动连接，通过卡扣16、过滤器外壳1和集尘槽5的配合，将卡扣16松开，能够将集尘槽5与过滤器外壳1松开，能够对集尘槽5内部的粉尘进行集中清理，以及便于对该粉尘过滤器进行维护检修，拆装简单便捷，电机护罩10的外表面开设有散热孔17，腔体2的左侧外表面固定安装有轴承18,腔体2的内壁靠近左侧位置固定安装有过滤网19。
工作原理：首先将该粉尘过滤器通过安装支架15安装到废气处理设备中，然后打开第一气泵4，使进气管3将废气吸入腔体2内部，然后粉尘传感器9感应到废气中的粉尘，发送信号给控制器，控制器控制伺服电机11打开，伺服电机11配合轴承18对腔体2进行旋转，在旋转的过程中，废气中的粉尘首先通过过滤网19进行初步吸附，然后在离心力的作用下，不断在滤尘孔7之间来回穿梭，当粉尘接近静电吸附板6时，静电吸附板6对粉尘进行吸附，当粉尘被完全吸附后，粉尘传感器9检测不到废气中含有的粉尘时，控制关闭伺服电机11，然后腔体2停止旋转，接着第二气泵14开启，将过滤完毕的气体通过排气管13抽出腔体2内部，完成过滤，很好地对粉尘进行了过滤和收集，防止粉尘跑到设备外，对环境造成污染，以及对人体造成危害，工作人员可定期对集尘槽5进行清理，只需将卡扣16打开，然后集尘槽5与过滤器外壳1分离，将集尘槽5拿出即可对粉尘进行处理，还便于对该粉尘过滤器进行维护和检修，拆装简单方便。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，包括过滤器外壳(1)，其特征在于：所述过滤器外壳(1)的内部活动安装有腔体(2)，所述腔体(2)的左侧外表面连通有进气管(3)，所述进气管(3)的外表面固定安装有第一气泵(4)，所述腔体(2)的一侧设置有集尘槽(5)，所述集尘槽(5)的内部固定安装有静电吸附板(6)，所述腔体(2)的外表面开设有滤尘孔(7)，所述腔体(2)内壁的底部固定安装有密封块(8)，所述密封块(8)的内部套设有粉尘传感器(9)，所述过滤器外壳(1)的右侧外表面固定安装有电机护罩(10)，所述腔体(2)的右侧外表面固定安装有伺服电机(11)，所述伺服电机(11)的左侧外表面固定安装有稳定底座(12)，所述进气管(3)的上方设置有排气管(13)，所述排气管(13)的外表面规定安装有第二气泵(14)，所述过滤器外壳(1)的外表面固定安装有安装支架(15)，所述集尘槽(5)与过滤器外壳(1)之间设置有卡扣(16)，所述电机护罩(10)的外表面开设有散热孔(17)，所述腔体(2)的左侧外表面固定安装有轴承(18),所述腔体(2)的内壁靠近左侧位置固定安装有过滤网(19)。
2.根据权利要求1所述的一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，其特征在于：所述集尘槽(5)与腔体(2)之间活动连接，所述腔体(2)的形状为圆柱体。
3.根据权利要求1所述的一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，其特征在于：所述滤尘孔(7)的数量为若干组，且若干组滤尘孔(7)呈一字型横向排列。
4.根据权利要求1所述的一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，其特征在于：所述密封块(8)的数量为两组，且密封块(8)分别位于腔体(2)的顶端和底端。
5.根据权利要求1所述的一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，其特征在于：所述过滤器外壳(1)的外表面固定安装有控制器，控制器的输出端与第一气泵(4)、粉尘传感器(9)、伺服电机(11)和第二气泵(14)的输入端电信连接。
6.根据权利要求1所述的一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，其特征在于：所述卡扣(16)与散热孔(17)的数量均为若干组，且卡扣(16)与过滤器外壳(1)和集尘槽(5)之间活动连接。
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