CN108604030A - 偏振光照射装置 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于将规定的方向即第一方向的偏振光成分的光、及与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光向同一对象物(W)照射。从光源(11)照射并通过偏振片(13A)或偏振片(13B)进行偏振后的光向载置于工作台(20)的对象物(W)中的、供第一方向的偏振光成分的光照射的第一区域(Wa)、以及供第二方向的偏振光成分的光照射的第二区域(Wb)的至少一方照射，该光源(11)沿着与对象物(W)的扫描方向大致正交的方向设置，该偏振片(13A)使第一方向的偏振光成分的光透过，偏振片(13B)使与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光透过。

Description

偏振光照射装置

技术领域

本发明涉及偏振光照射装置。

背景技术

在专利文献1中公开了使用线栅偏振片的光取向用偏振光照射装置。另外，在专利文献1中公开了在需要大的线栅偏振片的情况下将多个偏振片组合并作为一个线栅偏振片而使用的内容。

在专利文献2中公开了如下的光取向装置，该光取向装置在基板之上以规定的间隔设置有遮光膜，使入射角为+θ的紫外线入射而进行对于基板的A区域的取向，使入射角为-θ的紫外线入射而进行对于基板的B区域的取向(分配取向)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-144884号公报

专利文献2：日本特开2002-350858号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在专利文献1所记载的发明中，即使将多个偏振片组合，也仅向对象物照射一个方向的偏振光。在专利文献2所记载的发明中，存在当进行分配取向时必须精密地进行照射头的旋转、基板的对位等的问题。并且，对于专利文献2所记载的发明中的分配取向，紫外线的入射角不同，偏振光的朝向也不同。

本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供能够向同一对象物照射规定的方向即第一方向的偏振光成分的光、及与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光的偏振光照射装置。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题，本发明所涉及的偏振光照射装置的特征在于，例如具备：工作台，其载置供偏振光照射的对象物；以及偏振光照射部，其具有沿与所述对象物的扫描方向大致正交的方向设置的光源、及设置在所述光源与所述工作台之间且对从所述光源照射的光进行偏振的偏振片，所述偏振光照射部向所述对象物的第一区域和所述对象物的第二区域中的至少一方照射偏振光，该第一区域为供从所述光源照射的光中的规定的方向即第一方向的偏振光成分的光照射的区域，该第二区域为供从所述光源照射的光中的与所述第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光照射的区域。

根据本发明所涉及的偏振光照射装置，从光源照射并通过偏振片进行偏振后的光向载置于工作台的对象物中的、供第一方向的偏振光成分的光照射的第一区域、及供与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光照射的第二区域中的至少一方照射，该光源沿着与对象物的扫描方向大致正交的方向设置。这样，能够将第一方向的偏振光成分的光、及与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光向同一对象物照射。

在此，也可以为，所述光源具有在所述扫描方向上相邻地设置的第一光源以及第二光源，所述偏振片具有：第一偏振片，其使从所述第一光源照射的光中的所述第一方向的偏振光成分透过；以及第二偏振片，其使从所述第二光源照射的光中的所述第二方向的偏振光成分透过。由此，能够向对象物同时照射不同方向的偏振光。

在此，也可以为，所述偏振光照射部具有第一遮光部，该第一遮光部设置在所述偏振片与所述工作台之间，且具有遮挡从所述第一光源照射的光的一部分的第一遮光板、及遮挡从所述第二光源照射的光的一部分的第二遮光板。在该情况下，在未设置有遮光板的区域被照射有偏振光，而在设置有遮光板的区域未被照射有偏振光，在它们的边界处曝光量急剧地发生变化。由此，能够在对象物中相邻地设置照射不同的偏振光成分的光的区域。

在此，也可以为，偏振光照射装置具备：信息取得部，其取得与所述对象物相关的信息；遮光板驱动部，其使所述第一遮光板沿着所述第一光源移动，使所述第二遮光板沿着所述第二光源移动；以及遮光板控制部，其根据由所述信息取得部取得的信息来决定所述第一遮光板以及所述第二遮光板的位置，并以使所述第一遮光板以及所述第二遮光板向所决定的该位置移动的方式控制所述遮光板驱动部。由此，能够根据对象物自动地进行遮光，自动地照射与对象物相应的方向的偏振光。

在此，也可以为，所述偏振光照射装置具备工作台驱动部，该工作台驱动部使所述工作台在所述扫描方向上移动，并且使所述工作台在与所述扫描方向大致正交的移位方向上移动移位量，所述光源具有以长度方向沿着所述扫描方向的方式设置的多个灯，通过将所述多个灯沿着与所述扫描方向大致正交的方向排列地设置，从而所述第一光源以及所述第二光源设置为沿着与所述扫描方向大致正交的方向，在所述工作台在所述移位方向上移动所述移位量后，所述遮光板控制部使所述第一遮光板以及所述第二遮光板在所述移位方向上移动所述移位量。由此，能够向未设置有遮光板的区域稳定地照射偏振光。另外，通过使用以长度方向沿着扫描方向的方式设置的灯，能够增大来自灯的光的出射角度θ，使设置有遮光板的区域与未没置有遮光板的区域的边界的曝光量的变化更加急剧。其结果是，能够在对象物内相邻地设置照射不同的偏振光成分的光的区域，从而更加高效地利用对象物。

在此，也可以为，所述光源具有以长度方向沿着所述扫描方向的方式设置的多个灯，通过将所述多个灯沿着与所述扫描方向大致正交的方向排列地设置，从而所述第一光源以及所述第二光源设置为沿着与所述扫描方向大致正交的方向，所述偏振光照射装置具备：信息取得部，其取得与所述对象物相关的信息；以及光源控制部，其根据由所述信息取得部取得的信息来求出所述光源的点亮区域，并仅使所述多个灯中的位于所述点亮区域的灯点亮。由此，能够仅使位于点亮区域的灯点亮，从而防止过度地产生热。

在此，也可以为，所述工作台能够旋转地设置在第一位置与第二位置之间，所述偏振片使所述第一方向的偏振光成分透过，所述偏振光照射部具有第二遮光部，该第二遮光部设置在所述偏振片与所述工作台之间，且具有沿着所述扫描方向的长度为所述光源的沿着所述扫描方向的长度以上的第三遮光板、及与所述扫描方向大致正交的方向上的长度为所述光源的与所述扫描方向大致正交的方向上的长度以上的第四遮光板，在所述工作台位于所述第一朝向时，所述第三遮光板设置于如下位置，该位置为沿着所述扫描方向呈带状地覆盖所述光源的位置，并且是相当于所述对象物的所述第一区域以外的区域的位置，在所述工作台处于第二朝向时，所述第四遮光板设置于覆盖所述对象物的所述第一区域的位置。由此，能够通过一个种类的偏振片(不使用使第一方向的偏振光成分透过的第一偏振片、及使第二方向的偏振光成分透过的第二偏振片)，将不同方向的偏振光成分的光向同一对象物W照射。另外，光源全部常时点亮，因此仅通过改变第三遮光板、第四遮光板的位置，便能够对多个种类的基板连续地进行曝光。

在此，也可以为，所述偏振光照射装置具备：信息取得部，其取得与所述对象物相关的信息；工作台驱动部，其使所述工作台在所述第一位置与所述第二位置之间旋转，并且使所述工作台沿着所述扫描方向移动；遮光板驱动部，其使所述第三遮光板以及所述第四遮光板移动；以及控制部，其控制所述工作台驱动部以及所述遮光板驱动部，所述控制部根据由所述信息取得部取得的信息来决定所述第三遮光板的位置，使所述第三遮光板向所决定的该位置移动，并且，根据由所述信息取得部取得的信息来决定所述第四遮光板的位置，并以将所述第四遮光板保持在所决定的该位置的方式，使所述第四遮光板与所述工作台一起在所述扫描方向上移动。由此，能够根据对象物自动地遮挡不需要的光。

在此，也可以为，所述控制部使所述工作台旋转而成为所述第一朝向，并且，根据由所述信息取得部取得的信息，以所述第三遮光板沿着所述扫描方向呈带状地覆盖所述光源、所述第四遮光板不覆盖所述光源的方式使所述第三遮光板以及所述第四遮光板移动，使所述工作台以所述第一朝向在所述扫描方向上移动，所述控制部使所述工作台旋转而成为所述第二朝向，并且，根据由所述信息取得部取得的信息，以所述第三遮光板不覆盖所述光源、所述第四遮光板覆盖所述第一区域的方式使所述第三遮光板以及所述第四遮光板移动，在保持所述工作台与所述第四遮光板之间的位置关系的状态下，使所述工作台以所述第二朝向在所述扫描方向上移动，并且使所述第四遮光板在所述扫描方向上移动。这样，通过在各个曝光处理中使用不同的遮光板遮挡不需要的光，从而能够在使全部的光源点亮的情况下，在同一对象物W依次形成供第一方向的偏振光成分的光照射的第一区域、供与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光照射的第二区域。

在此，也可以为，所述工作台驱动部使所述工作台在所述扫描方向上移动，并且使所述工作台在与所述扫描方向大致正交的移位方向上移动移位量，所述光源具有以长度方向沿着所述扫描方向的方式设置的多个灯，通过将所述多个灯沿着与所述扫描方向大致正交的方向排列地设置，从而所述光源设置为沿着与所述扫描方向大致正交的方向，所述控制部使所述工作台在所述移位方向上移动所述移位量，并且使所述第三遮光板或者所述第四遮光板在所述移位方向上移动所述移位量。由此，能够向未设置有遮光板的区域稳定地照射偏振光。

发明效果

根据本发明，能够将规定的方向即第一方向的偏振光成分的光、及与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光向同一对象物照射。

附图说明

图1是示出第一实施方式所涉及的偏振光照射装置1的概要的主视图。

图2是示出偏振光照射部10的概要的俯视图。

图3是示出从侧面观察偏振光照射部10时的概要的主要部分透视图。

图4是示出偏振光照射装置1的电气结构的框图。

图5是示出偏振光照射装置1的处理的流程的流程图。

图6是示意性地示出偏振光照射部10的一部分的图，并且是例示位于光源列11a的灯11x、特定波长透过滤光片12、偏振片13A以及遮光板14a的图。

图7是示出曝光条件的一例的图。

图8是示出在以图7所示的曝光条件向对象物W照射偏振光的情况下，对象物W的偏振光的照射量的图。

图9是对使用偏振光照射部10仅将一个方向的偏振光向对象物W照射的情况进行说明的图。

图10是对第二实施方式所涉及的偏振光照射装置的偏振光照射部10A进行说明的图。

图11是对第三实施方式所涉及的偏振光照射装置的偏振光照射部10B进行说明的图。

图12是示出第三实施方式的偏振光照射装置的处理的流程的流程图。

图13是对第四实施方式所涉及的偏振光照射装置的偏振光照射部10C进行说明的图。

图14是示出第五实施方式所涉及的偏振光照射装置2的概要的主视图。

图15是示出偏振光照射部10D的概要的俯视图。

图16是示出从侧面观察偏振光照射部10D时的概要的主要部分透视图。

图17是示出偏振光照射装置2的电气结构的框图。

图18是示出偏振光照射装置2的处理的流程的流程图。

图19是对偏振光照射装置2对载置于位于+y侧的工作台20的对象物W进行曝光处理时的流程进行说明的图，并且是第一次曝光处理的示意图。

图20是对偏振光照射装置2对载置于位于+y侧的工作台20的对象物W进行曝光处理时的流程进行说明的图，并且是第二次曝光处理的示意图。

图21是对偏振光照射装置2对载置于位于+y侧的工作台20的对象物W进行曝光处理时的流程进行说明的图，并且是第三次曝光处理的示意图。

图22是对偏振光照射装置2对载置于位于+y侧的工作台20的对象物W进行曝光处理时的流程进行说明的图，并且是第四次曝光处理的示意图。

图23是示意遮光板14e与工作台20之间的位置关系成为步骤S34中决定的位置关系时的光源11B、遮光板14e以及对象物W(工作台20)之间的位置关系的图。

图24是示出使遮光板14e与对象物W(工作台20)一起向y方向(在此为-y方向)移动的状态的图。

图25是示出使遮光板14e以及对象物W(工作台20)进一步向y方向(在此为-y方向)移动，遮光板14e在光源11B之下通过结束的状态的图。

具体实施方式

以下，参照附图而对本发明的实施方式进行详细说明。

<第一实施方式>

图1是示出第一实施方式所涉及的偏振光照射装置1的概要的主视图。偏振光照射装置1例如使来自光源的光通过偏振膜而得到偏振光，将该偏振光向玻璃基板等(以下，称作对象物W)的被曝光面照射，从而生成液晶面板用的取向膜等。特别是，为了提高对象物W的虚拟区域的活用度，在采用一个对象物W内配置多个多种大小的单元(例如，大尺寸的单元和小尺寸的单元)的MMG(Multi-Model on Glass)方式的曝光的情况下是有用的。

以下，将对象物W的搬运方向设为y方向，将与搬运方向正交的方向设为x方向，将铅垂方向设为z方向。

偏振光照射装置1主要具有偏振光照射部10、工作台20、以及工作台驱动部30。

偏振光照射部10向对象物W照射偏振光。对于偏振光照射部10，之后详细叙述。

工作台20设置为能够沿x方向(与对象物W的扫描方向大致正交的方向)以及y方向(对象物W的扫描方向)移动。在工作台20的上表面载置有对象物W。

工作台驱动部30具有沿y方向延设的工作台导轨31、以及具有致动器等的驱动部32。驱动部32使工作台20沿着工作台导轨31(即，扫描方向)移动(参照图1的粗箭头)。另外，驱动部32使工作台20沿与扫描方向(y方向)大致正交的移位方向(x方向)仅移动移位量(之后详细叙述)。工作台驱动部30使工作台20移动的结构公知，因此省略说明。

接下来，对偏振光照射部10详细地进行说明。图2是示出偏振光照射部10的概要的俯视图。图3是示出从侧面观察偏振光照射部10时的概要的主要部分透视图。

偏振光照射部10主要具有光源11、特定波长透过滤光片12、偏振片13、遮光部14、以及反射器15。需要说明的是，在图2中，省略了特定波长透过滤光片12以及反射器15的图示。

光源11包括多个灯11x。灯11x呈棒状，照射未进行偏振的光(例如，紫外光)。作为灯11x，能够使用高效地发出光取向处理所需的短波长紫外光(例如，254nm波长光)的长弧灯。

灯11x以长度方向沿着y方向的方式设置。通过将多个灯11x沿x方向排列设置，从而配置有沿x方向延伸的光源列11a、11b、11c、11d。光源列11a、11b、11c、11d设置为在y方向上相邻。需要说明的是，光源列11a、11b、11c、11d各自所包含的灯11x的数量不限于图2所示的方式。另外，在图2中，光源11具有四个光源列11a、11b、11c、11d，但光源11所具有的光源列的数量也不限于四个。

从灯11x照射的光被反射器15反射，通过特定波长透过滤光片12、偏振片13，而向对象物W照射(参照图3)。

在光源11的下侧(-z侧)、即光源11与工作台20之间设置有特定波长透过滤光片12、偏振片13以及遮光部14(参照图3)。特定波长透过滤光片12以及偏振片13对于一个灯11x而各设置有一个，遮光部14设置于各光源列11a、11d。

特定波长透过滤光片12是制作为仅使特定的波长范围的光透过而吸收其他波长的光的滤光片。特定波长透过滤光片12在作为板状的玻璃(石英玻璃等)的透明基板上形成有仅使特定的波长范围的光透过的带通滤光片的滤光层。但是，形成在透明基板上的滤光片不限于带通滤光片，例如也可以为低截滤光片、反射滤光片。

偏振片13对无偏振的光进行偏振，设置于特定波长透过滤光片12的下侧(-z侧)。偏振片13可以针对每个灯11x而各设置一个，也可以针对每个灯11x设置两个以上。

作为偏振片13，使用入射角度依存性少的线栅偏振片。线栅偏振片是指，在透明基板13a(参照图3)的表面形成有金属线13b(参照图3)的偏振片。通过将金属线13b的间距设为入射的光的波长以下，从而将与金属线13b的长度方向大致平行的偏振光成分反射，并使与金属线13b的长度方向大致正交的偏振光成分通过。金属线13b例如由铝形成。在图3中，图示了金属线13b的长度方向。

偏振片13具有偏振方向不同的两种偏振片13A、13B。如图3所示，偏振片13A的金属线13b的长度方向沿着y方向，使x方向的偏振光成分通过。偏振片13B的金属线13b的长度方向沿着x方向，使y方向的偏振光成分通过。这样，对于偏振片13A、13B，通过的偏振光成分的方向不同。

在位于光源列11a、11b、11c的灯11x之下设置有偏振片13A。在位于光源列11d的灯11x之下设置有偏振片13B。图中用空心箭头示意性地示出偏振光的朝向。

如图2所示，对于设置有不同的偏振片13A、13B的光源列11a、11d，位于光源列11a、11d的灯11x的x方向的位置相同。相对于此，对于设置有相同的偏振片13A的光源列即光源列11a、11b、11c，位于光源列11a的灯11x、位于光源列11b的灯11x、以及位于光源列11c的灯11x分别在x方向上错开规定量(以下，称为错开量S)。而且，根据该规定量来决定移位量(之后详细叙述)。

需要说明的是，偏振片13不限于线栅偏振片，能够使用仅使任意的方向的光透过的各种偏振片。

遮光部14遮挡通过偏振片13后的偏振光，不使偏振光照射至对象物W。

遮光部14具有遮光板14a。如图3所示，遮光板14a设置于偏振片13的下侧、即偏振片13与工作台20之间。在本实施方式中，具有两块遮光板14a，在光源列11a、11d分别各设置有一块遮光板14a。如图2所示，设置于光源列11a的遮光板14a遮挡从位于光源列11a的灯11x照射的光的一部分，设置于光源列11d的遮光板14a遮挡从位于光源列11d的灯11x照射的光的一部分。

为了高效地遮挡偏振光，遮光板14a设置在尽可能接近对象物W的位置。在本实施方式中，灯11x与对象物W的距离为130～140mm左右，遮光板14a与对象物W的距离为2mm左右(参照图3)。

另外，遮光部14主要具有沿着x方向的轴14b(参照图2)、以及使遮光板14a沿着轴14b移动的致动器等遮光板驱动部14c(参照图4)。因此，遮光板14a能够沿着光源列11a、11d(x方向)移动。

图4是示出偏振光照射装置1的电气结构的框图。偏振光照射装置1构成为主要包括控制部101、存储部102、输入部103、以及输出部104。

控制部101是运算装置即CPU(Central Processing Unit)等程序控制设备，按照存储于存储部102的程序而进行动作。在本实施方式中，该控制部101作为仅点亮位于点亮区域(之后详细叙述)的灯11x的光源控制部101a、控制遮光板驱动部14c的遮光板控制部101b、以及控制驱动部32的工作台控制部101c而发挥功能。对于控制部101的详细动作的内容，之后详细叙述。

存储部102是非易失性存储器、易失性存储器等，保持由控制部101执行的程序等，并且作为控制部101的工作存储器而进行动作。

输入部103包括键盘、鼠标等输入设备。在本实施方式中，从输入部103输入与对象物W相关的信息。输出部104是显示器等。

对这样构成的偏振光照射装置1的作用进行说明。图5是示出偏振光照射装置1的处理的流程的流程图。在进行处理前，工作台20位于图1所示的初始位置。

当从输入部103输入与对象物W相关的信息时，首先，光源控制部101a决定点亮区域，遮光板控制部101b决定遮光板14a的位置(步骤S10)。以下，对步骤S10的处理详细地进行说明。

与对象物W相关的信息例如是指表示对象物W具有区域Wa和区域Wb的信息，区域Wa(参照图2)是使沿着y方向的偏振光照射的区域，区域Wb(参照图2)是使沿着x方向的偏振光照射的区域。

点亮区域由x方向的位置表示。对于光源列11d(y方向的偏振光成分透过)，光源控制部101a将在曝光前对象物W载置于工作台20时的区域Wa的x方向的位置决定为点亮区域。另外，对于光源列11a(x方向的偏振光成分透过)，光源控制部101a将在曝光前对象物W载置于工作台20时的区域Wb的x方向的位置决定为点亮区域。

在存储部102中存储有对于各个灯11x将编号和位置相关联的信息(关于灯11x的信息)。光源控制部101a能够根据关于灯11x的信息，判断位于点亮区域的灯11x是哪个灯。

另外，遮光板控制部101b将遮光板14a的端部与点亮区域的边界大致一致且遮光板14a不与点亮区域重叠的位置决定为遮光板14a的位置。

接下来，光源控制部101a使位于步骤S10中决定的点亮区域的灯11x点亮(步骤S12)。在图2中，对于位于点亮区域的灯11x进行阴影线显示。与此同时，遮光板控制部101b借助遮光板驱动部14c而使遮光板14a沿着轴14b移动，使遮光板14a移动至步骤S10中决定的位置(步骤S12)。在图2中，对遮光板14a进行阴影线显示。

返回图5的说明。工作台控制部101c借助驱动部32而使工作台20(即，对象物W)沿着扫描方向即y方向移动(往复一次)，进行将从偏振光照射部10照射的光向对象物W的被曝光面照射而生成取向膜等的曝光处理(步骤S14)。

图6是示意性地示出偏振光照射部10的一部分的图，例示了位于光源列11a的灯11x、特定波长透过滤光片12、偏振片13A以及遮光板14a。在图6中用细双点划线示出从灯11x照射的光。

对于未配置遮光板14a的部分，从灯11x照射的光通过特定波长透过滤光片12以及偏振片13而照射至对象物W。相对于此，对于配置有遮光板14a的部分，从灯11x照射的光通过特定波长透过滤光片12以及偏振片13，但被遮光板14a遮挡而不会照射至对象物W。

遮光板14a设置在端部与点亮区域的边界大致一致、且不与点亮区域重叠的位置，因此对于点亮区域以外的区域，不向对象物W照射偏振光。

这样，在步骤S14中，仅未被遮光板14a遮挡的光照射至对象物W的被曝光面。在本实施方式中，在区域Wa中仅照射有从光源列11d照射的光中的y方向的偏振光，与此同时，在区域Wb中仅照射有从光源列11a照射的光中的x方向的偏振光。需要说明的是，曝光处理本身是一般的处理，因此省略详细的说明。

返回图5的说明。工作台控制部101c判断是否将曝光处理进行了规定的曝光次数(步骤S14)(步骤S16)。曝光次数根据移位量等而预先决定，并存储于存储部102。另外，移位量根据错开量S(参照图2)而预先决定，并存储于存储部102。例如，移位量是错开量S的1/2的值、错开量S的1/4的值等。另外，例如，在错开量S为144mm，移位量为24mm的情况下，曝光次数为6次(＝144mm/24mm)。

在未将曝光处理进行了曝光次数的情况下(步骤S16中为否)，工作台控制部101c借助驱动部32而使工作台20在移位方向上移动移位量(步骤S18)。与此同时，遮光板控制部101b借助遮光板驱动部14c而使遮光板14a在移位方向上移动移位量(步骤S18)。需要说明的是，移位方向预先决定，并存储于存储部102。

然后，工作台控制部101c在使工作台20以及遮光板14a在移位方向上移动了移位量的状态下，进行曝光处理(步骤S14)。

在将曝光处理进行了曝光次数的情况下(步骤S16中为是)，工作台控制部101c结束对于一块对象物W的处理。

在此，对在设置有遮光板14a并仅使点亮区域的灯11x点亮的情况下，通过图5所示的处理如何使对象物W曝光进行说明。图7是示出曝光条件(点亮区域、移位量、移位方向等)的一例的图，图8是示出在以图7所示的曝光条件向对象物W照射偏振光的情况下，对象物W的偏振光的照射量的图。

在图7中，在x方向为48mm、192mm、336mm以及480mm的位置设置有灯11x。另外，在图7中，在点亮区域x≥192mm，位于x方向＝192mm、336mm以及480mm的位置的灯11x被点亮。在图7中，对位于点亮区域的灯11x进行阴影线显示。

另外，遮光板14a设置为，在第一次曝光时(对象物W未在移位方向上移动的情况)，端部的x方向的位置为192mm，并且不与点亮区域重合(即，遮光板14a的x方向的位置为192mm以下)。另外，图7示出移位方向为-x方向、移位量为24mm而进行6次曝光处理的情况。

图8的横轴的数字表示第一次曝光时的对象物W的x方向的位置。如图8所示，在相当于对象物W未在移位方向上移动的状态下的点亮区域(x为192mm以上)的区域中，稳定地向对象物W照射偏振光。相对于此，对于设置有遮光板14a的区域，不向对象物W照射偏振光。另外，设置有遮光板14a，因此在对象物W未在移位方向上移动的状态下的点亮区域的端部附近，曝光量急剧地发生变化，曝光量不稳定的区域变窄。

根据本实施方式，能够向同一对象物同时照射不同方向的偏振光。例如，能够使从某一光源列(例如，光源列11a)照射的光透过偏振片(例如，偏振片13A)而向对象物W的某一区域(例如，区域Wa)照射，该偏振片使与扫描方向大致正交或者大致平行的第一方向的偏振光成分透过。而且，与此同时，使从另一光源列(例如，光源列11d)照射的光透过偏振片(例如，偏振片13B)而向对象物W的与区域Wa不同的区域(例如，区域Wb)照射，该偏振片使与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分透过。由此，能够同时向对象物W照射规定的方向即第一方向的偏振光成分的光、以及与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光，在区域Wa、Wb同时生成朝向分别不同的取向膜等。例如，通过在区域Wa形成小尺寸的单元，在区域Wb形成大尺寸的单元，能够应对MMG，能够提高对象物W的虚拟区域的活用度。

另外，根据本实施方式，通过在与点亮区域相邻的位置设置遮光板14a，在对一块对象物W同时照射不同方向的偏振光的情况下，能够相邻地设置照射不同的偏振光成分的光的区域(例如，区域Wa、Wb)。

另外，根据本实施方式，仅点亮位于点亮区域的灯11x，因此防止多度地产生热。这仅在使用以长度方向沿着扫描方向的方式设置的灯11x的情况下能够实现。

另外，根据本实施方式，通过使用以长度方向沿着扫描方向的方式设置的灯，能够增大来自灯的光的出射角度θ(参照图6)，使设置有遮光板的区域与未设置有遮光板的区域的边界的曝光量的变化更加急剧。其结果是，例如，能够缩短形成于区域Wa的小尺寸的单元与形成于区域Wb的大尺寸的单元的距离，从而更加高效地利用对象物W。

另外，根据本实施方式，控制部101自动地决定点亮区域、遮光板14a的位置，因此能够根据对象物W而自动地进行曝光。

需要说明的是，在本实施方式中，透过偏振片13A的偏振光成分的朝向与透过偏振片13B的偏振光成分的朝向大致正交，但透过各个偏振片的偏振光的成分不限于此。例如，也可以为，在光源列11a、11b、11c的下侧设置的偏振片使与扫描方向大致正交的方向(或者，大致平行的方向)的偏振光成分通过，在光源列11d的下侧设置的偏振片使自与扫描方向大致正交的方向(或者，大致平行的方向)倾斜5度～10度左右的方向的偏振光成分通过。另外，在光源列11a、11b、11c的下侧设置的偏振片可以为与扫描方向大致正交的方向或者大致平行的方向，也可以为与扫描方向无关的规定的方向。而且，该规定的方向能够根据形成于对象物W的面板(单元)的规格来决定。

另外，在本实施方式中，控制部101根据与对象物W相关的信息来决定点亮区域以及遮光板14a的位置，但也可以由作业者决定点亮区域、遮光板14a的位置，并存储于存储部102。另外，在本实施方式中，控制部101将位于点亮区域的灯11x自动地点亮，并使遮光板14a自动地移动，但也可以由作业者通过手动而将点亮区域的灯11x点亮、或由作业者通过手动来配置遮光板14a。

<第一实施方式的变形例1>

如已经说明那样，偏振光照射装置1通过向对象物W同时照射不同方向的偏振光，能够在区域Wa、Wb同时生成朝向分别不同的取向膜等，但也可以仅将一个方向的偏振光向对象物W照射。

图9是对使用偏振光照射部10仅将一个方向的偏振光向对象物W照射的情况进行说明的图。

使遮光板14a移动至不与光源列11a、11d的灯11x重叠的位置，使光源列11a、11b、11c的灯11x点亮(参照图9的阴影线显示)。由此，能够仅将通过偏振片13A后的x方向的偏振光向对象物W照射。

这样，偏振光照射装置1能够同时照射不同方向的偏振光，也能够仅照射一个方向的偏振光。需要说明的是，对于仅照射一个方向的偏振光的情况，处理的流程也与图5所示的情况相同，因此省略说明。

<第二实施方式>

本发明的第一实施方式在各光源列11a、11d分别各使用一块遮光板14a，但遮光板14a的数量不限于此。

第二实施方式是在各光源列11a、11d分别使用多个遮光板14a的方式。以下，对第二实施方式的偏振光照射装置进行说明。第一实施方式的偏振光照射装置1与第二实施方式的偏振光照射装置的差异仅为遮光板14a的数量，因此，以下仅对第二实施方式的偏振光照射装置的偏振光照射部10A进行说明。另外，对于与第一实施方式相同的部分，标注相同的附图标记并省略说明。

图10是对偏振光照射部10A进行说明的图。偏振光照射部10A主要具有光源11、特定波长透过滤光片12(省略图示)、偏振片13、遮光部14A、以及反射器15(省略图示)。遮光部14A在各光源列11a、11d分别各设置有三块遮光板14a。

对于光源列11d，光源控制部101a将在曝光前对象物W载置于工作台20时的区域Wc的x方向的位置决定为点亮区域。另外，对于光源列11a，光源控制部101a将在曝光前对象物W载置于工作台20时的区域Wd的x方向的位置决定为点亮区域。在图10中，对位于点亮区域的灯11x进行阴影线显示。

另外，遮光板控制部101b将设置于光源列11a的遮光板14a以及设置于光源列11d的遮光板14a的端部与点亮区域的边界大致一致且遮光板14a不与点亮区域重叠的位置决定为遮光板14a的位置。在图10中，对遮光板14a进行阴影线显示。

在本实施方式中，能够向对象物W同时照射不同方向的偏振光。需要说明的是，处理的流程与图5所示的情况相同，因此省略说明。

需要说明的是，通过将遮光板14a的块数设为多个，能够以完全覆盖图10中的点亮区域以外的区域的方式配置遮光板14a。因此，在通过遮光板14a完全覆盖点亮区域以外的区域的情况下，即使将光源列11a、11d的灯11x全部点亮，也能够得到与仅将位于点亮区域的灯11x点亮的情况同样的效果。

<第三实施方式>

本发明的第一实施方式使用遮光板14a进行遮光，但遮光板不是必需的。

第三实施方式是不使用遮光板14a的方式。以下，对第三实施方式的偏振光照射装置进行说明。第一实施方式的偏振光照射装置1与第三实施方式的偏振光照射装置的差异仅为遮光部14的有无，因此以下，仅对第三实施方式的偏振光照射装置的偏振光照射部10B进行说明。另外，对于与第一实施方式相同的部分，标注相同的附图标记并省略说明。

图11是对偏振光照射部10B进行说明的图。偏振光照射部10B主要具有光源11、特定波长透过滤光片12(省略图示)、偏振片13、以及反射器15(省略图示)(未设置有遮光部14)。

图12是示出第三实施方式的偏振光照射装置的处理的流程的流程图。

当从输入部103输入与对象物W相关的信息时，首先，光源控制部101a决定点亮区域(步骤S11)。例如，对于光源列11d，光源控制部101a将在曝光前对象物W载置于工作台20时的区域We的x方向的位置决定为点亮区域。另外，对于光源列11a，光源控制部101a将在曝光前对象物W载置于工作台20时的区域Wf的x方向的位置决定为点亮区域。

接下来，光源控制部101a使位于步骤S10中决定的点亮区域的灯11x点亮(步骤S13)。在图12中，对位于点亮区域的灯11x进行阴影线显示。

工作台控制部101c进行曝光处理(步骤S14)，并判断是否将曝光处理进行了规定的曝光次数(步骤S16)。在未将曝光处理进行了曝光次数的情况下(步骤S16中为否)，工作台控制部101c借助驱动部32而使工作台20在移位方向上移动移位量(步骤S19)。然后，工作台控制部101c在使工作台20在移位方向上移动了移位量的状态下，进行曝光处理(步骤S14)。

在将曝光处理进行了曝光次数的情况下(步骤S16中为是)，工作台控制部101c结束对于一块对象物W的处理。

在本实施方式中，能够向对象物W同时照射不同方向的偏振光。但是，在本实施方式中，不设置遮光板14a，因此无法使照射不同方向的偏振光的区域We、Wf相邻。因此，为了高效地生成取向膜等，优选设置遮光板14a。另外，为了使区域We、Wf尽可能地接近，优选尽可能地增大自灯11x的出射角度θ(参照图6)(例如，大致45度以下)。而且，为了尽可能地增大自灯11x的出射角度θ，优选使用光源11，该光源11将以长度方向沿着y方向的方式设置的棒状的灯11x形成为在x方向排列有多个并沿x方向延伸的光源列11a、11b、11c、11d。

(第四实施方式)

本发明的第一实施方式将以长度方向沿着y方向的方式设置的灯11x沿x方向排列多个而形成光源列，但光源的方式不限于此。

第四实施方式是使用沿着x方向的长灯的方式。以下，对第四实施方式的偏振光照射装置进行说明。第一实施方式的偏振光照射装置1与第四实施方式的偏振光照射装置的差异仅为光源的方式，因此以下，仅对第四实施方式的偏振光照射装置的偏振光照射部10C进行说明。另外，对于与第一实施方式相同的部分，标注相同的附图标记并省略说明。

图13是对偏振光照射部10C进行说明的图。偏振光照射部10C主要具有光源11A、特定波长透过滤光片12(省略图示)、偏振片13、遮光部14B、以及反射器15(省略图示)。

光源11A具有两个沿着x方向设置的灯11y。两个灯11y设置为在y方向上相邻。需要说明的是，灯11y的个数不限于两个。

在灯11y的下侧相邻地设置有多个偏振片13A、13B。遮光部14B具有针对两个灯11y而分别设置的多个遮光板14a和轴14b。

在第三实施方式的偏振光照射装置中，当从输入部103输入与对象物W相关的信息时，遮光板控制部101b根据与对象物W相关的信息来决定遮光板14a的位置，并使遮光板14a向决定的位置移动。需要说明的是，在图13中，对遮光板14a进行阴影线显示。

接下来，光源控制部101a将灯11y点亮，工作台控制部101c进行曝光处理。

在本实施方式中，也能够向对象物W同时照射不同方向的偏振光。需要说明的是，在本实施方式中，也可以不具有光源控制部101a。另外，为了遮挡从灯11y照射的光，优选设置多个遮光板14a。

另外，在本实施方式中，通过使遮光板14a移动至不与灯11y重叠的位置，仅使一方的灯11y点亮，也能够仅将通过偏振片13A或者偏振片13B后的一个方向的偏振光向对象物W照射。

<第五实施方式>

在本发明的第一实施方式中，将规定的方向即第一方向的偏振光成分的光、及与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光同时向对象物W照射，在对象物W同时生成区域Wa、Wb，但即使不将第一方向的偏振光成分的光和第二方向的偏振光成分的光同时向对象物W照射，也能够在对象物W生成供第一方向的偏振光成分的光照射的区域、及供第二方向的偏振光成分的光照射的区域。

第五实施方式是通过单独的曝光动作而在对象物W生成供第一方向的偏振光成分的光照射的区域、及供第二方向的偏振光成分的光照射的区域的方式。以下，对第五实施方式的偏振光照射装置2进行说明。在第一实施方式的偏振光照射装置1与第五实施方式的偏振光照射装置2中，对于相同的部分，标注相同的附图标记并省略说明。

图14是示出偏振光照射装置2的概要的主视图。偏振光照射装置2主要具有偏振光照射部10D、工作台20、以及工作台驱动部30A。偏振光照射装置2在偏振光照射部10D的两侧设置有两个工作台20。

偏振光照射部10D向对象物W照射偏振光。对于偏振光照射部10D之后详细叙述。工作台20能够旋转地设置在第一位置与第二位置之间。工作台驱动部30A具有工作台导轨31、驱动部32、以及使工作台20沿着xy平面旋转的旋转驱动部33。旋转驱动部33具有未图示的转动轴和致动器等，使工作台20在第一位置与第二位置之间旋转大致90度。需要说明的是，使工作台20旋转的结构公知，因此省略说明。另外，使工作台20旋转的角度不限于大致90度。

接下来，对偏振光照射部10D详细地进行说明。图15是示出偏振光照射部10D的概要的俯视图。图16是示出从侧面观察偏振光照射部10D时的概要的主要部分透视图。

偏振光照射部10主要具有光源11B、特定波长透过滤光片12、偏振片13A、遮光部14C以及反射器15。需要说明的是，在图15中，省略了特定波长透过滤光片12、偏振片13A以及反射器15的图示。

光源11B包括以长度方向沿着y方向的方式设置的多个灯11x。通过将多个灯11x沿x方向排列地设置，从而配置有沿x方向延伸的光源列11e、11f、11g、11h。光源列11e、11f、11g、11h设置为在y方向上相邻。为了使累计照射量均匀化，四列光源列11e、11f、11g、11h之间的错开量S为各光源列11e、11f、11g、11h中的灯11x间的距离L的四分之一。例如，在距离L为144mm的情况下，错开量S为36mm(144mm/4＝36mm)。

需要说明的是，在本实施方式中，光源11B具有四列光源列11e、11f、11g、11h，但光源11B的方式不限于此，也可以具有三列光源列。在具有三列光源列的情况下，当距离L为144mm时，错开量S为48mm(144mm/3＝48mm)。

在位于光源列11e、11f、11g、11h的灯11x之下，设置有使x方向的偏振光成分通过的偏振片13A。需要说明的是，偏振片13A可以针对一个灯11x而各设置一个，也可以针对一个灯11x而设置两个以上。

遮光部14C设置于偏振片13A的下侧、即偏振片13A与工作台20之间，遮挡通过偏振片13A后的偏振光，从而使得不向对象物W的不需要光照射的位置照射偏振光。遮光部14C具有沿x方向移动的遮光板14d、以及沿y方向移动的遮光板14e。遮光板14d、14e与遮光板14a同样地设置在尽可能地接近对象物W的位置。

遮光板14d的沿着y方向的长度为光源11B的y方向的长度以上。遮光板14d设置于沿x方向延设的轴(未图示)，通过致动器等遮光板驱动部14f(参照图17)而能够沿x方向移动。

遮光板14e的x方向的长度为光源11B的x方向的长度以上。遮光板14e设置于沿y方向延设的轴(未图示)，通过致动器等遮光板驱动部14g(参照图17)而能够沿y方向移动。遮光板14e保持与工作台20之间的位置关系，与工作台20一起沿y方向移动(之后详细叙述)。

对于遮光板14d、14e，在从侧面(x方向或者y方向)观察时，周缘被倾斜地切断。如图16所示，被切断的部分的边相对于铅垂方向(z方向)而倾斜自灯11x的出射角度θ(参照图6)。在本实施方式中，θ＝约60度。

图17是示出偏振光照射装置2的电气结构的框图。偏振光照射装置2构成为主要包括控制部101A、存储部102、输入部103以及输出部104。

控制部101A与控制部101同样地是运算装置即CPU等程序控制设备，按照存储于存储部102的程序而进行动作。在本实施方式中，该控制部101A作为控制遮光板驱动部14f、14g的遮光板控制部101d、以及控制驱动部32以及旋转驱动部33的工作台控制部101e而发挥功能。对于控制部101A的详细动作的内容，之后详细叙述。

对这样构成的偏振光照射装置2的作用进行说明。图18是示出偏振光照射装置2的处理的流程的流程图。图19～22是对偏振光照射装置2对载置于位于+y侧的工作台20的对象物W进行曝光处理时的流程进行说明的图。图19是第一次曝光处理的示意图，图20是第二次曝光处理的示意图，图21是第三次曝光处理的示意图，图22是第四次曝光处理的示意图。在图19～22中，对供偏振光照射的区域进行阴影线显示。

在处理之前，控制部101A首先使全部的灯11x点亮。另外，控制部101A在处理之前，将工作台20设为第一朝向(参照图19)(在工作台20处于第二朝向的情况下，使工作台20旋转)。然后，控制部101A在将对象物W载置于工作台20后，开始图18所示的处理。

并且，控制部101A在处理之前，借助输入部103取得与对象物W相关的信息。在本实施方式中，与对象物W相关的信息例如是指表示对象物W具有区域Wc和区域Wd(参照图19、21等)的信息，区域Wc是在工作台20处于第一朝向时使沿着x方向的偏振光照射的区域，区域Wd是在工作台20处于第二朝向时使沿着x方向的偏振光照射的区域。需要说明的是，在本实施方式中，区域Wc、Wd是沿着扫描方向的或者沿着与扫描方向大致正交的方向的带状的区域，且相邻地设置。区域Wc、Wd是在工作台20处于第一朝向时(参照图19、20)沿着扫描方向的带状的区域、在工作台20处于第二朝向时(参照图21、22)沿着与扫描方向大致正交的方向的带状的区域。

另外，对象物W在区域Wc、Wd之间具有灰色区域We(参照图23～25)。灰色区域We是指，被照射有向区域Wc照射的偏振光成分的光和向区域Wd照射的偏振光成分的光的区域。在灰色区域We不形成单元。

遮光板控制部101d根据与对象物W相关的信息来决定在曝光时配置遮光板14d的位置(步骤S20)。在曝光时配置遮光板14d的位置是沿着扫描方向呈带状地覆盖光源11B的位置，并且是相当于在曝光前对象物W载置于工作台20时的区域Wc以外的区域的位置。遮光板14d的沿着y方向的长度为光源11B的y方向的长度以上，因此遮光板14d覆盖光源11B的沿着扫描方向的整个区域。

而且，遮光板控制部101d借助遮光板驱动部14f使遮光板14d向步骤S20中决定的位置移动(步骤S22)。在图19、20中，遮光板14d以覆盖光源11B的相当于区域Wd以及灰色区域We(即，区域Wc以外的区域)的位置的方式移动。由此，能够根据对象物自动地遮挡不需要的光。实际上，遮光板14d位于光源11B的下侧，为了说明，在图19、20中用实线记载遮光板14d。另外，在图19、20中省略了灰色区域We的图示。需要说明的是，遮光板14e位于不覆盖光源11B的位置。

控制部101A进行第一次曝光处理(步骤S24)。具体而言，在光源11B的灯11x全部点亮、且由遮光板14d覆盖光源11B的一部分的状态下，工作台控制部101e借助驱动部32使工作台20(即，对象物W)沿扫描方向即y方向移动，将从光源11B照射的光向对象物W的被曝光面照射而生成取向膜等。在步骤S24中，如图19所示，使工作台20向-y方向移动而进行第一次曝光处理。

在第一次曝光处理(步骤S24)结束后，如图20所示，工作台控制部101e借助驱动部32使工作台20在移位方向上移动移位量(步骤S26)。与此同时，如图20所示，遮光板控制部101d借助遮光板驱动部14f使遮光板14d在移位方向上移动移位量(步骤S26)。例如，移位量为错开量S(参照图15)的1/2的值、错开量S的1/4的值等，并存储于存储部102。

在使工作台20以及遮光板14d在移位方向上移动移位量(步骤S26)后，控制部101A进行第二次曝光处理(步骤S28)。通过第一次、第二次曝光处理(步骤S24、S28)，向区域Wc以及灰色区域We照射与对象物W的长度方向大致正交的方向的偏振光成分(本实施方式的第一方向)的光。使工作台20以及遮光板14d在移位方向上移动移位量而进行第二次曝光处理，因此能够向区域Wc稳定地照射偏振光。在第二次曝光处理中，除使工作台20向+y方向移动这一点(参照图20)以外，与第一次曝光(步骤S24)相同，因此省略说明。

在第二次曝光处理(步骤S28)结束后，如图21所示，遮光板控制部101d借助遮光板驱动部14f使遮光板14d向不覆盖光源11B的位置移动(步骤S30)。另外，如图21所示，工作台控制部101e借助旋转驱动部33而使工作台20(即，对象物W)旋转大致90度(步骤S32)。

遮光板控制部101d根据与对象物W相关的信息来决定在曝光时配置遮光板14e的位置(步骤S34)。在曝光时配置遮光板14e的位置为在工作台20处于第二朝向时覆盖之前(第一次以及第二次)被曝光的区域即区域Wc的位置，由与对象物W(即，工作台20)之间的关系来决定。工作台20旋转大致90度(第二朝向)，因此区域Wc沿着x方向。遮光板14e的x方向的长度为光源11B的x方向的长度以上，因此能够覆盖区域Wc整体。

控制部101A进行第三次曝光处理(步骤S36)。首先，工作台控制部101e借助驱动部32使工作台20以第二朝向向y方向(在图21中为-y方向)移动(步骤S361)。

遮光板控制部101d判断遮光板14e与工作台20之间的位置关系是否为步骤S34中决定的位置关系(步骤S363)。在遮光板14e与工作台20之间的位置关系不为步骤S34中决定的位置关系的情况下(步骤S363中为否)，返回步骤S361。

在遮光板14e与工作台20之间的位置关系为步骤S34中决定的位置关系的情况下(步骤S363中为是)，控制部101A使遮光板14e与工作台20同时地以相同的速度(使遮光板14e与工作台20同步)向y方向(在图21中为-y方向)移动(同步扫描)(步骤S365)。

对于步骤S36的处理，使用图23、24、25进行说明。需要说明的是，在图23～25中省略工作台20。另外，在图中，粗箭头表示遮光板14e以及对象物W的移动的情形，阴影线部表示供来自光源11B的光照射的区域。

图23是示意遮光板14e与工作台20之间的位置关系为步骤S34中决定的位置关系时的光源11B、遮光板14e以及对象物W(工作台20)之间的位置关系的图。像这样，通过遮光板14e而不向区域Wc照射光的状态为步骤S34中决定的位置关系(步骤S363中为是)。

图24是示出使遮光板14e与对象物W(工作台20)一起向y方向(在此为-y方向)移动的状态的图。工作台控制部101e借助驱动部32使工作台20(即，对象物W)向-y方向移动，与此同时，遮光板控制部101d借助遮光板驱动部14g使遮光板14e向-y方向移动。由此，以将遮光板14e保持在步骤S34中决定的位置的方式，使遮光板14e与工作台20一起在扫描方向上移动。

图25是示出从图24所示的状态使遮光板14e以及对象物W(工作台20)进一步向y方向(在此为-y方向)移动，遮光板14e在光源11B之下通过结束的状态的图。来自光源11B的光被照射至区域Wd以及灰色区域We，而未被照射至区域Wc。

通过像这样使遮光板14e与对象物W(工作台20)一起向y方向移动，能够以来自光源11B的光不被照射至区域Wc的方式自动地遮挡不需要的光。

需要说明的是，在遮光板14e的周缘，上端面被切断，其角度与自灯11x的出射角度θ(参照图6)大致相同。因此，能够可靠地遮挡从光源11B照射的光。

返回图18的说明。在第三次曝光处理(步骤S36)结束后，如图22所示，工作台控制部101e借助驱动部32使工作台20在移位方向上移动移位量(步骤S38)。与此同时，如图22所示，遮光板控制部101d借助遮光板驱动部14g使遮光板14e在移位方向上移动移位量(步骤S38)。

之后，控制部101A进行第四次曝光处理(步骤S40)。通过第三次、第四次曝光处理(步骤S36、S40)，向区域Wd以及灰色区域We照射与对象物W的长度方向大致平行的方向的偏振光成分(本实施方式的第二方向)的光。另外，在图21、22中省略了灰色区域We的图示。在第四次曝光处理中，除使工作台20向+y方向移动这一点(参照图22)以外，与第三次曝光处理(步骤S36)相同，因此省略说明。由此，对于一块对象物W的曝光处理结束。

以上，以位于偏振光照射部10D的+y侧的工作台20为例而对偏振光照射装置2的处理的流程进行了说明，但对于位于偏振光照射部10D的-y侧的工作台20也进行同样的处理。偏振光照射装置2具有两个工作台20，因此可以在对于一个工作台20进行对象物W的取出、载置的期间，对载置于另一个工作台20的对象物W进行曝光处理。

根据本实施方式，能够向同一对象物照射不同方向的偏振光。例如，通过设置在移位方向上移动的遮光板14d、在扫描方向上移动的遮光板14e，在不使对象物W旋转的状态、使对象物W旋转的状态下分别进行曝光处理，能够通过一个种类的偏振片13A(不使用多个种类的偏振片13A、13B)，将不同方向的偏振光成分的光向同一对象物W照射。另外，在各个曝光处理中使用遮光板14d、14e来遮挡不需要的光，从而能够在同一对象物W形成供第一方向的偏振光成分的光照射的区域Wc、以及供与第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光照射的区域Wd。因此，能够应对在同一对象物W内进行不同的偏振方向的曝光的MMG。

另外，根据本实施方式，通过仅使遮光板14d、14e不覆盖光源11B或者对象物W，即能够对通常的基板进行通常的曝光处理(例如，使全部的灯11x点亮的一次往复的曝光)。例如，在反复进行灯11x的点亮、熄灭的情况下，到灯11x的点亮状态、熄灭状态稳定为止需要30分钟左右的时间，因此无法对多个种类的基板(例如MMG基板和通常的基板)连续地进行曝光。相对于此，在本实施方式中，全部灯11x常时点亮，因此通过改变遮光板14d、14e的位置能够对多个种类的基板连续地进行曝光。

需要说明的是，在本实施方式中，将以长度方向沿着y方向的方式设置的灯11x沿x方向排列多个而形成光源列11e、11f、11g、11h，但也可以使用沿x方向较长的灯11y(参照图13)。

另外，在本实施方式中，将遮光板14d、14e分别各设置有两块，但遮光板14d、14e的块数不限于此。例如，遮光板14d、14e分别可以为一块，也可以三块以上。另外，遮光板14d、14e的大小也不限于图15等所示的大小。

另外，在本实施方式中，首先在遮光板14d覆盖光源11B的一部分的状态下进行区域Wc的曝光处理，接下来在遮光板14e覆盖区域Wc的状态下进行区域Wd的曝光处理，但对区域Wc、Wd进行曝光的顺序不限于此，也可以在进行区域Wd的曝光处理后进行区域Wc的曝光处理。

以上，参照附图对本发明的实施方式进行了详细说明，但具体结构并不限定于该实施方式，也包括不脱离本发明主旨的范围的设计变更等。

另外，本发明中的“大致”是指，不仅包括严格相同的情况，还包括不丧失一致性的程度的误差、变形的概念。例如，大致平行不限于严格平行的情况。另外，例如，在仅表达为平行、正交等情况下，不仅包括严格平行、正交等情况，也包括大致平行、大致正交等情况。另外，本发明中的“附近”是指，例如在为A的附近时，接近A且可以包括A也可以不包括A的概念。

附图标记说明

1、2：偏振光照射装置；

10、10A、10B、10C、10D：偏振光照射部；

11、11A、11B：光源；

11a、11b、11c、11d、11e、11f、11g、11h：光源列；

11x、11y：灯；

12：特定波长透过滤光片；

13、13A、13B：偏振片；

13a：透明基板；

13b：金属线；

14、14A、14B、14C：遮光部；

14a、14d、14e：遮光板；

14b：轴；

14c、14f、14g：遮光板驱动部；

15：反射器；

20：工作台；

30、30A：工作台驱动部；

31：工作台导轨；

32：驱动部；

33：旋转驱动部；

101、101A：控制部；

101a：光源控制部；

101b、101d：遮光板控制部；

101c、101e：工作台控制部；

102：存储部；

103：输入部；

104：输出部。

Claims (10)

1.一种偏振光照射装置，其特征在于，具备：

工作台，其载置供偏振光照射的对象物；以及

偏振光照射部，其具有沿与所述对象物的扫描方向大致正交的方向设置的光源、及设置在所述光源与所述工作台之间且对从所述光源照射的光进行偏振的偏振片，

所述偏振光照射部向所述对象物的第一区域和所述对象物的第二区域中的至少一方照射偏振光，该第一区域为供从所述光源照射的光中的规定的方向即第一方向的偏振光成分的光照射的区域，该第二区域为供从所述光源照射的光中的与所述第一方向不同的方向即第二方向的偏振光成分的光照射的区域。

2.根据权利要求1所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述光源具有在所述扫描方向上相邻地设置的第一光源以及第二光源，

所述偏振片具有：第一偏振片，其使从所述第一光源照射的光中的所述第一方向的偏振光成分透过；以及第二偏振片，其使从所述第二光源照射的光中的所述第二方向的偏振光成分透过。

3.根据权利要求2所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述偏振光照射部具有第一遮光部，该第一遮光部设置在所述偏振片与所述工作台之间，且具有遮挡从所述第一光源照射的光的一部分的第一遮光板、及遮挡从所述第二光源照射的光的一部分的第二遮光板。

4.根据权利要求3所述的偏振光照射装置，其特征在于，具备：

信息取得部，其取得与所述对象物相关的信息；

遮光板驱动部，其使所述第一遮光板沿着所述第一光源移动，使所述第二遮光板沿着所述第二光源移动；以及

遮光板控制部，其根据由所述信息取得部取得的信息来决定所述第一遮光板以及所述第二遮光板的位置，并以使所述第一遮光板以及所述第二遮光板向所决定的该位置移动的方式控制所述遮光板驱动部。

5.根据权利要求4所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述偏振光照射装置具备工作台驱动部，该工作台驱动部使所述工作台在所述扫描方向上移动，并且使所述工作台在与所述扫描方向大致正交的移位方向上移动移位量，

所述光源具有以长度方向沿着所述扫描方向的方式设置的多个灯，

通过将所述多个灯沿着与所述扫描方向大致正交的方向排列地设置，从而所述第一光源以及所述第二光源设置为沿着与所述扫描方向大致正交的方向，

在所述工作台在所述移位方向上移动所述移位量后，所述遮光板控制部使所述第一遮光板以及所述第二遮光板在所述移位方向上移动所述移位量。

6.根据权利要求2所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述光源具有以长度方向沿着所述扫描方向的方式设置的多个灯，

通过将所述多个灯沿着与所述扫描方向大致正交的方向排列地设置，从而所述第一光源以及所述第二光源设置为沿着与所述扫描方向大致正交的方向，

所述偏振光照射装置具备：

信息取得部，其取得与所述对象物相关的信息；以及

光源控制部，其根据由所述信息取得部取得的信息来求出所述光源的点亮区域，并仅使所述多个灯中的位于所述点亮区域的灯点亮。

7.根据权利要求1所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述工作台能够旋转地设置在第一位置与第二位置之间，

所述偏振片使所述第一方向的偏振光成分透过，

所述偏振光照射部具有第二遮光部，该第二遮光部设置在所述偏振片与所述工作台之间，且具有沿着所述扫描方向的长度为所述光源的沿着所述扫描方向的长度以上的第三遮光板、及与所述扫描方向大致正交的方向上的长度为所述光源的与所述扫描方向大致正交的方向上的长度以上的第四遮光板，

在所述工作台位于所述第一朝向时，所述第三遮光板设置于如下位置，该位置为沿着所述扫描方向呈带状地覆盖所述光源的位置，并且是相当于所述对象物的所述第一区域以外的区域的位置，

在所述工作台处于第二朝向时，所述第四遮光板设置于覆盖所述对象物的所述第一区域的位置。

8.根据权利要求7所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述偏振光照射装置具备：

信息取得部，其取得与所述对象物相关的信息；

工作台驱动部，其使所述工作台在所述第一位置与所述第二位置之间旋转，并且使所述工作台沿着所述扫描方向移动；

遮光板驱动部，其使所述第三遮光板以及所述第四遮光板移动；以及

控制部，其控制所述工作台驱动部以及所述遮光板驱动部，

所述控制部根据由所述信息取得部取得的信息来决定所述第三遮光板的位置，使所述第三遮光板向所决定的该位置移动，并且，根据由所述信息取得部取得的信息来决定所述第四遮光板的位置，并以将所述第四遮光板保持在所决定的该位置的方式，使所述第四遮光板与所述工作台一起在所述扫描方向上移动。

9.根据权利要求8所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述控制部使所述工作台旋转而成为所述第一朝向，并且，根据由所述信息取得部取得的信息，以所述第三遮光板沿着所述扫描方向呈带状地覆盖所述光源、所述第四遮光板不覆盖所述光源的方式使所述第三遮光板以及所述第四遮光板移动，使所述工作台以所述第一朝向在所述扫描方向上移动，

所述控制部使所述工作台旋转而成为所述第二朝向，并且，根据由所述信息取得部取得的信息，以所述第三遮光板不覆盖所述光源、所述第四遮光板覆盖所述第一区域的方式使所述第三遮光板以及所述第四遮光板移动，在保持所述工作台与所述第四遮光板之间的位置关系的状态下，使所述工作台以所述第二朝向在所述扫描方向上移动，并且使所述第四遮光板在所述扫描方向上移动。

10.根据权利要求8或9所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述工作台驱动部使所述工作台在所述扫描方向上移动，并且使所述工作台在与所述扫描方向大致正交的移位方向上移动移位量，

所述光源具有以长度方向沿着所述扫描方向的方式设置的多个灯，

通过将所述多个灯沿着与所述扫描方向大致正交的方向排列地设置，从而所述光源设置为沿着与所述扫描方向大致正交的方向，

所述控制部使所述工作台在所述移位方向上移动所述移位量，并且使所述第三遮光板或者所述第四遮光板在所述移位方向上移动所述移位量。