CN108573887A - 支撑载具、泄漏测试系统与方法 - Google Patents

Abstract

一种支撑载具、泄漏测试系统与方法。支撑载具包含基座、二夹具盘、转动件与固定机构。基座具有一容置空间。此二夹具盘位于容置空间内，用以共同夹合一研磨工件于其间。转动件可转动地连接基座，且可分离地连接此二夹具盘。固定机构将转动件与二夹具盘结合为一体。

Description

支撑载具、泄漏测试系统与方法

技术领域

本揭露有关于一种载具，尤指一种支撑载具、泄漏测试系统与方法。

背景技术

在半导体元件的制程中，半导体元件的表面平坦化的具体表现将愈来愈受到重视。其中对于半导体晶圆基板的其中一种平坦化手段为化学-机械平坦化技术(Chemical-Mechanical Planarization，CMP)。CMP是一种机械研磨装置，透过化学蚀刻以及物理研磨的方式来平坦化半导体晶圆基板的表面。

机械研磨装置上的研磨工件需要卸载研磨工件以进行清洁、维修或更换零件等的日常维护工作，过程中以人力多次翻转研磨工件以拆解研磨工件的多个次组件。在完成清洁、维修或更换零件等的日常维护工作，再以人力透过多次翻转的工序组装研磨工件的多个次组件研磨工件。

发明内容

本揭露有关一种支撑载具。支撑载具包含基座、第一夹具盘、第二夹具盘、转动件与固定机构。基座具有一容置空间。第一夹具盘位于容置空间内，第二夹具盘相对第一夹具盘，用以与第一夹具盘共同夹合一研磨工件于其间。转动件可翻转地连接基座，且可分离地连接第二夹具盘与第一夹具盘。固定机构将转动件、第一夹具盘与第二夹具盘结合为一体。

本揭露更有关一种泄漏测试系统。泄漏测试系统包含一支撑载具与一测试装置。支撑载具包含基座、第一夹具盘、第二夹具盘、转动件与固定机构。基座具有一容置空间。第一夹具盘位于容置空间内，第二夹具盘相对第一夹具盘，用以与第一夹具盘共同夹合一研磨工件于其间。研磨工件具有内部空间与喷嘴。喷嘴位于研磨工件的表面，外露于第二夹具盘的一面，且接通内部空间。转动件可翻转地连接基座，且可分离地连接第二夹具盘与第一夹具盘。固定机构将转动件、第一夹具盘与第二夹具盘结合为一体。测试装置透过喷嘴接通内部空间，并测试研磨工件是否泄漏。

本揭露更有关一种泄漏测试方法。泄漏测试方法包含步骤如下。将一研磨工件固定于一可翻转的支撑载具上。测试支撑载具上的研磨工件是否泄漏。

附图说明

本揭露最佳是在结合随附附图解读时自以下详细描述来理解。应强调，根据工业中的标准实务，各种特征并非按比例绘制且仅用于说明目的。事实上，出于论述清晰的目的，可任意增加或减小各种特征的尺寸。

图1绘示依照本揭露一实施例的支撑载具的立体图；

图2绘示图1的支撑载具的分解图；

图3绘示图1的支撑载具沿线段A-A的局部剖视图；

图4绘示图1的支撑载具的操作示意图；

图5绘示图1的区域M的局部放大图；

图6绘示图1的支撑载具沿线段B-B的局部剖视图；

图7绘示依照本揭露一实施例的支撑载具的电子方块图；

图8A绘示图1的第一夹具盘的放大立体图；

图8B绘示图8A的第一夹具盘翻转后的立体图；

图9A绘示图1的第二夹具盘的放大立体图；

图9B绘示图9A的第二夹具盘翻转后的立体图；

图10A绘示依照本揭露一实施例的第一夹具盘的立体图；

图10B绘示图10A的第一夹具盘翻转后的立体图；

图11绘示依照本揭露一实施例的支撑载具的立体图；

图12绘示依照本揭露一实施例的泄漏测试系统的示意图；

图13绘示图12的泄漏测试系统沿线段C-C的局部剖视图；

图14绘示依照本揭露一实施例的泄漏测试方法的流程图；

图15绘示图14的步骤1410依照一实施例的细部流程图；

图16绘示图14的这些步骤之间依照一实施例的细部流程图；

图17绘示图14的步骤1420依照一实施例的的细部流程图；以及

图18绘示图14的步骤1410依照一实施例的的细部流程图。

具体实施方式

以下揭露内容提供许多不同实施例或实例用于实施所提供的标的物的不同特征。下文描述元件及布置的特定实例以简化本揭露。当然，此等仅为实例且并不意欲为限制性。举例而言，以下描述中在第二特征上方或第二特征上形成第一特征可包括以直接接触形成第一特征及第二特征的实施例，且亦可包括可在第一特征与第二特征之间形成额外特征以使得第一特征与第二特征可不直接接触的实施例。另外，本揭露可在各种实例中重复元件符号及/或字母。此重复是出于简明性及清晰的目的，且本身并不指示所论述的各种实施例及/或配置之间的关系。

此外，为便于描述，本文可使用空间相对性术语(诸如“之下”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”及类似者)来描述附图中所说明的一个元件或特征与另一元件(或多个元件)或特征(或多个特征)的关系。除了附图中所描绘的定向外，空间相对性术语意欲包含在使用或操作中的装置的不同定向。设备可以其他方式定向(旋转90度或其他定向)且因此可同样地解释本文所使用的空间相对性描述词。

本揭露大致上是关于支撑载具、含所述支撑载具的泄漏测试系统及泄漏测试方法。详言之，本揭露是用以翻转研磨工件的支撑载具、含所述支撑载具的泄漏测试系统及泄漏测试系统的泄漏测试方法。举例来说，研磨工件为用于平坦化半导体晶圆基板的机械化学研磨头(Chemical-Mechanical Planarization，CMP)，然而，本揭露不仅限于此。

图1绘示依照本揭露一实施例的支撑载具200的立体图。图2绘示图1的支撑载具200的分解图。图3绘示图1的支撑载具200沿线段A-A的局部剖视图。如图1至图3所示，本揭露有关一种支撑载具200。支撑载具200至少包含基座210、第一夹具盘220、第二夹具盘300、第一转动件400、第二转动件500与固定机构600。基座210设有一容置空间218。第一夹具盘220、第二夹具盘300、第一转动件400与第二转动件500位于容置空间218内。第一转动件400可翻转地连接基座210的一侧，第一转动件400可分离地连接第二夹具盘300及第一夹具盘220，并且与第二夹具盘300及第一夹具盘220连动。第二转动件500与第一转动件400相对配置，且第二转动件500可翻转地连接基座210的另侧。第二转动件500可分离地连接第二夹具盘300与第一夹具盘220，并且第二转动件500与第二夹具盘300及第一夹具盘220连动。第一夹具盘220与第二夹具盘300相对配置。固定机构600将第一转动件400、第二转动件500、第一夹具盘220与第二夹具盘300结合为一体。

图4绘示图1的支撑载具200的操作示意图。如图3与图4所示，当一研磨工件900被夹合于第一夹具盘220与第二夹具盘300之间，且固定机构600将第一转动件400、第二转动件500、第一夹具盘220与第二夹具盘300结合为一体时，研磨工件900、第一夹具盘220与第二夹具盘300皆得以随着第一转动件400与第二转动件500相对基座210转动。如此，操作人员得以轻松且顺利地反复翻转此研磨工件900，以便在支撑载具200上组合或拆解研磨工件900，进而方便后续的日常维护工作。

具体来说，如图1与图2，基座210包含底座211、第一壳体212与第二壳体214。第一壳体212与第二壳体214彼此相对地位于底座211上。底座211、第一壳体212与第二壳体214共同定义出上述的容置空间218。基座210还包含第一档板216与第二档板217。第一档板216连接底座211、第一壳体212与第二壳体214，第二档板217连接底座211、第一壳体212与第二壳体214，且容置空间218介于第一档板216与第二档板217之间，第一档板216与第二档板217保护落下的物体不致掉出容置空间218。

在本实施例中，如图2与图3所示，第一转动件400与第二转动件500皆被夹合于第二夹具盘300与第一夹具盘220之间，以便连动第二夹具盘300与第一夹具盘220对应转动。具体来说，第一转动件400配置于第一壳体212的第一内面213。第一内面213面向容置空间218，且第一内面213具有第一开口213P。第一转轴部430可枢转地位于第一开口213P中(图3)。第一转动件400与第一转轴部430共轴。故，第一转动件400透过第一转轴部430在第一壳体212上转动，意即，第一转动件400绕着第一转轴部430的轴心线(参考线段N的方向)转动。第二转动件500与第一转动件400相对配置，第二转动件500配置于第二壳体214的第二内面215，第二内面215面向第一内面213。第二内面215具有第二开口215P。第二转轴部530可枢转地位于第二开口215P中。第二转动件500与第二转轴部530共轴。故，第二转动件500透过第二转轴部530在第二壳体214上转动，意即，第二转动件500绕着第二壳体214的轴心线(参考线段N的方向)转动。

在本实施例中，如图2与图3所示，第一转动件400包含第一连接体410与第一延伸体420。第一连接体410可翻转地位于第一壳体212的第一内面213，且固接第一转轴部430。第一延伸体420固接于第一连接体410相对第一内面213的一面，且受夹合于第一夹具盘220与第二夹具盘300之间。第二转动件500包含第二连接体510与第二延伸体520。第二连接体510可翻转地位于第二壳体214的第二内面215，且固接第二转轴部530。第二延伸体520固接第二连接体510相对第二内面215的一面，且受夹合于第一夹具盘220与第二夹具盘300之间。故，可理解到研磨工件900位于第二转动件500、第一转动件400、第一夹具盘220与第二夹具盘300之间所定义出的空间S内。

如图2所示，固定机构600包含第一压迫件610、第二压迫件620、第三压迫件630与第四压迫件640。第一压迫件610与第二压迫件620分别连接第一转动件400的二相对侧。这些第一压迫件610间隔地位于第一夹具盘220上。这些第二压迫件620间隔地位于第二夹具盘300上。透过触压第一夹具盘220相对第一转动件400的一面，第一压迫件610可选择性地将第一夹具盘220压制于第一转动件400的一侧。透过触压第二夹具盘300相对第一转动件400的一面，第二压迫件620可选择性地将第二夹具盘300压制于第一转动件400的另侧。

第三压迫件630与第四压迫件640分别连接第二转动件500的二相对侧。这些第三压迫件630间隔地位于第一夹具盘220上。这些第四压迫件640间隔地位于第二夹具盘300。透过触压第一夹具盘220相对第一转动件400的一面，第三压迫件630可选择性地将第一夹具盘220压制于第二转动件500的一侧。透过触压第二夹具盘300相对第二转动件500的一面，第四压迫件640可选择性地将第二夹具盘300压制于第二转动件500的另侧。如此，当第一压迫件610、第二压迫件620、第三压迫件630与第四压迫件640皆触压第一夹具盘220与第二夹具盘300上，研磨工件900得以稳固地位于第一夹具盘220与第二夹具盘300之间。

图5绘示图1的区域M的局部放大图。如图3与图5所示，更具体地，每一第一压迫件610包含第一座体611、第一悬臂612、第一操作部614与第一压迫部615。第一座体611固定于第一连接体410的一侧。例如但不以此为限，第一座体611锁固于第一连接体410的一侧。第一悬臂612枢接第一座体611。具体地，第一悬臂612的一端枢接第一座体611，另端套接第一压迫部615。第一操作部614枢接第一座体611，且连动第一悬臂612。具体地，第一操作部614例如为一扳杆，且第一操作部614透过第一结合部613与第一悬臂612结合。故，当扳动第一操作部614并连动第一悬臂612接近第一夹具盘220时，第一悬臂612相对第一座体611转动，使得第一压迫部615触压第一夹具盘220。第一压迫部615将第一夹具盘220压制于第一延伸体420的一侧，或者，当扳动第一操作部614并连动第一悬臂612远离第一夹具盘220时，第一悬臂612相对第一座体611转动，使得第一压迫部615脱离第一夹具盘220，而不再压制第一夹具盘220。

第二压迫件620包含第二座体621、第二悬臂622、第二操作部624、第二压迫部625。第二座体621固定于第一连接体410的另侧。第二悬臂622的一端枢接第二座体621，另端套接第二压迫部625。第二操作部624枢接第二座体621，且连动第二悬臂622。参考上述第一压迫件610的作动原理，第二操作部624经操作后，第二压迫部625得以触压或远离第二夹具盘300相对第一转动件500的一面。第三压迫件630包含第三座体631、第三悬臂632、第三操作部634、第三压迫部635。第三座体631固定于第二连接体410的一侧。第三悬臂632的一端枢接第三座体631，另端套接第三压迫部635。第三操作部634枢接第三座体631，且连动第三悬臂632。参考上述第一压迫件610的作动原理，第三操作部634经操作后，第三压迫部635得以触压或远离第一夹具盘220相对第二转动件500的一面。第四压迫件640包含第四座体641、第四悬臂642、第四操作部644、第四压迫部645。第四座体641固定于第二连接体410的另侧。第四悬臂642的一端枢接第四座体641，另端套接第四压迫部645。第四操作部644枢接第四座体641，且连动第四悬臂642。参考上述第一压迫件610的作动原理，第四操作部644经操作后，第四压迫部645得以触压或远离第二夹具盘300相对第二转动件500的一面。

然而，本揭露不限于上述第一压迫件610、第二压迫件620、第三压迫件630与第四压迫件640的数量与位置。例如上述第一压迫件610、第二压迫件620、第三压迫件630与第四压迫件640亦可以设置于基座210的第一壳体212与第二壳体214。

如图1与图3所示，如此，在本实施例中，为了工安目的，支撑载具200只允许位处较上方的第一压迫件610与第三压迫件630脱离对应的夹具盘(如第一夹具盘220)，使得位处较上方的夹具盘(如第一夹具盘220)不致轻易掉落。换言的，位处较下方的第二压迫件620与第四压迫件640被禁止脱离夹具盘(如第二夹具盘300)。然而，本揭露不限于此。

具体来说，当第二夹具盘300位于第一夹具盘220与底座211之间，因为第一压迫件610与第三压迫件630分别位于第一壳体212的顶面212T与第二壳体214的顶面214T，不致受到第一壳体212的第一内面213以及第二壳体214的第二内面215的阻碍，所以操作人员得以透过第一压迫件610与第三压迫件630将第一夹具盘220脱离支撑载具200。

反观，由于第二压迫件620位于第一转动件400下方，以及第四压迫件640位于第二转动件500下方，因为第二压迫件620以及第四压迫件640会受到第一壳体212的第一内面213以及第二壳体214的第二内面215的阻碍，所以第二压迫件620的第二压迫部625以及第四压迫件640的第四压迫部645无法远离第二夹具盘300，导致研磨工件900与第二夹具盘300不致轻易掉落。

在本实施例中，如图1与图3所示，支撑载具200还包含感测手段。感测手段用以感测上述第一至第四压迫件610、620、630、640是否将第一夹具盘220与第二夹具盘300压制于第一转动件400与第二转动件500上，进而协助监控第一夹具盘220与第二夹具盘300与研磨工件900的结合状态。

在本实施例中，如图1与图3所示，支撑载具200包含二第一感测元件670与二第二感测元件680。这些第一感测元件670与第二感测元件680分别位于基座210上，用以分别感测位处上方的第一压迫件610与第三压迫件630，或者第二压迫件620与第四压迫件640的操作状态，并且因应上述的感测结果，分别发出匹配感测结果的感测信号。举例来说，第一感测元件670与第二感测元件680分别依据红外线收发感测方式感测位于基座210最上方的二压迫件(如第一压迫件610与第三压迫件630)的操作状态。然而，本揭露不限于其他感测方式。如此，支撑载具得以通过这些对应的感测信号进行自动化工作，详述于下文。

具体来说，如图3与图5，第一感测元件670倾斜地位于第一壳体212内，且面向第一破口212P，用以透过第一破口212P感测对应的第一压迫件610是否压制第一夹具盘220。如图5所示，当第一操作部614受扳动而连动第一悬臂612接近第一夹具盘220时，第一操作部614不在第一破口212P的位置；反之，未示于图5中，当第一操作部614受扳动而连动第一悬臂612远离第一夹具盘220时，第一操作部614位于第一破口212P的位置。因此，举例来说，在其中一种感测方法中，当操作人员扳动第一操作部614并连动第一压迫部615触压第一夹具盘220时，由于第一操作部614并非位于第一破口212P的位置，第一感测元件670在有效感测范围(例如约第一破口212P处)中无法感测到第一操作部614，第一感测元件670便发出匹配感测结果的感测信号；反之亦然。然而，本揭露并不限于第一感测元件670的感测依据。

同样地，如图1与图3，第二感测元件680倾斜地位于第二壳体214内，且面向第二破口214P(图1)，用以透过第二破口214P感测对应的第三压迫件630是否压制第一夹具盘220。同样地，由于第三操作部634受扳动而远离第一夹具盘220时，第三操作部634位于第二破口214P的位置。故，在其中一种感测方法中，当操作人员扳动第三操作部634并连动第三压迫部635触压第一夹具盘220时，由于第三操作部634并非位于第二破口214P的位置，第二感测元件680在有效感测范围(例如约第二破口214P处)中无法感测到第三操作部634，第二感测元件680便发出匹配感测结果的感测信号；反之亦然。然而，本揭露并不限于第二感测元件680的感测依据。此外，本揭露也不限于第一感测元件与第二感测元件的位置与作动原理。

如图2与图3所示，支撑载具200还包含一动力装置700与二控制面板219(图2)。动力装置700固定于基座210上，且对齐第二转动件500的第二转轴部530。例如动力装置700位于第二壳体214内。动力装置700包含一装置本体710与一转动轴心711。转动轴心711自装置本体710的一端伸出，固接第二转轴部530，且与第二转轴部530及第二转动件500同轴。如此，当动力装置700的转动轴心711开始转动时，转动轴心711共同带动研磨工件900、第一夹具盘220与第二夹具盘300、第一转动件400与第二转动件500转动，以供操作人员选择要让第一夹具盘220或第二夹具盘300位处基座210的最上方，以方便操作人员以俯瞰方向进行拆解或组装研磨工件900。动力装置700例如电动马达或气缸，然而，本揭露不限于种类与位置。

这些控制面板219分别位于基座210的第一壳体212与第二壳体214上。例如这些控制面板219分别位于第一壳体212的顶面212T与第二壳体214的顶面214T。这些控制面板219分别电性连接动力装置700，以供操作人员控制动力装置700的作动。然而，本揭露不限于此，其他实施例中，支撑载具200也可以不具动力装置700，而改为手动翻转。

须了解到，当操作人员的双手分别位于这些控制面板219上，操作人员的双手得以远离第一夹具盘220与第二夹具盘300，进而降低其双手受到伤害的机会。

此外，在本实施例中，支撑载具200还包含限位手段。限位手段可选择性地阻止第一夹具盘220与第二夹具盘300转动，进而降低工安事件发生的机会。

图6绘示图1的支撑载具200沿线段B-B的局部剖视图。如图2与图6所示，支撑载具200还包含至少一第一限位模块720与至少一第二限位模块730(图2)。第一限位模块720位于第一壳体212内，用以阻止第一转动件400转动。第二限位模块位于第二壳体214内，用以阻止第二转动件500转动。

更具体地，第一限位模块720包含第一限位销721与第一驱动装置722。第一驱动装置722透过框架F固定于第一壳体212内。第一限位销721的一端轴接第一驱动装置722，第一限位销721的另端可伸缩地伸入第一转动件400的第一销孔411内。第二限位模块730(图2)与第一限位模块720的结构皆一样，请参考第一限位模块720的上述描述以及图6的第一限位模块。故，在此不再加以赘述。

如此，当不须转动研磨工件900时，第一驱动装置722得以驱动第一限位销721伸入第一转动件400的第一销孔411内，进而触压并阻止第一转动件400的转动；同时间下，第二驱动装置也伸入第二转动件500的第二销孔(图中未示)内，进而触压并阻止第二转动件500的转动。反之，第一驱动装置722得以驱动第一限位销721伸出第一销孔411内，以任由第一转动件400得以转动，同时间下，第二驱动装置也伸出第二销孔(图中未示)，以任由第二转动件500得以转动。

图7绘示依照本揭露一实施例的支撑载具200的电子方块图。如图3与图7所示，支撑载具200还包含一处理单元830。处理单元830电性连接动力装置700、第一驱动装置722、第二驱动装置732、第一感测元件670与第二感测元件680。处理单元830例如为中央处理单元、微处理器或单晶片。如此，当第一感测元件670感测到第一压迫件610脱离第一夹具盘220、第二感测元件680感测到第三压迫件630脱离第一夹具盘220，或者二者皆是，为了避免研磨工件900或第一夹具盘220因翻转而掉落，处理单元830依据第一感测元件670及/或第二感测元件680分别发出匹配的感测信号，控制第一驱动装置722驱动第一限位销721以阻止第一转动件400的转动、第二驱动装置732驱动第二限位销731(图2)以阻止第二转动件500的转动，或者二者皆是。如此，透过阻止第一转动件400与第二转动件500转动，研磨工件900或第一夹具盘220不致因翻转而掉落。

另外，处理单元830更电性连接动力装置700、控制面板219、第一感测元件670与第二感测元件680。只要处理单元830收到第一感测元件670及第二感测元件680的感测信号为位处上方的压迫件610、630或620、640并未压迫夹具盘220或300，尽管动力装置700正处于转动时，处理单元830依据上述感测信号关闭动力装置700。

另外，其他实施方式中，只要处理单元830感测到第一驱动装置722已驱动第一限位销721伸入第一销孔411内，处理单元830阻止启动动力装置700。

如此，不仅保护研磨工件900或第一夹具盘220不致因翻转而掉落，更可避免动力装置700、第一限位销721或第二限位销(参考图6的第一限位销721)受到损毁。

本实施方式中，支撑载具200还包含一状态监控单元810。处理单元830电性连接状态监控单元810、第一感测元件670与第二感测元件680。如此，当第一感测元件670感测到第一压迫件610脱离或压迫第一夹具盘220、第二感测元件680感测到第三压迫件630脱离或压迫第一夹具盘220，或者二者皆是，处理单元830依据第一感测元件670及/或第二感测元件680所分别发出的感测信号，控制状态监控单元810指示出位处上方的压迫件610、630或620、640目前的操作状态，以供操作人员确认。状态监控单元810例如为屏幕或指示灯等。

如图7所示，支撑载具200还包含一警示单元820。处理单元830电性连接警示单元820、第一感测元件670与第二感测元件680。如此，当第一感测元件670及/或第二感测元件680分别发出匹配的感测信号至处理单元830时，处理单元830使警示单元820发出感官式(例如声、光或震动等)的警告通知，以警示操作人员。警示单元820例如为屏幕、指示灯、蜂鸣器或扬声器等。

图8A绘示图1的第一夹具盘220的放大立体图。图8B绘示图8A的第一夹具盘220翻转后的立体图。如图8A与图8B所示，上述第一夹具盘220为一种第一治具，包含一第一板体230与一第一贯穿口233。第一板体230具有相对的第一面231与第二面232。第一面231与第二面232大致彼此平行。第一贯穿口233贯穿第一板体230的第一面231与第二面232。在本揭露的一实施例中，第一贯穿口233位于第一板体230的中央位置，第一贯穿口233为圆形，且第一贯穿口233只为单一个。然而，本揭露不限于第一贯穿口233的位置、形状与数量。如此，如图1所示，由于第一贯穿口233露出研磨工件900表面的螺栓(图中未示)，操作人员能够快速地透过第一贯穿口233将螺栓卸除或装载，进而顺利地将研磨工件900的次组件950依序拆解或组装。

第一夹具盘220还包含二个第一垫体234与二个第二垫体235。这些第一垫体234间隔地位于第一板体230的第一面231，以接受第一压迫件610的第一压迫部615的触压(图3)。这些第二垫体235间隔地位于第一板体230的第一面231，以接受第三压迫件630的第三压迫部635的触压(图3)。第一垫体234相对第二垫体235配置，且第一贯穿口233位于第一垫体234与第二垫体235之间。

此外，第一夹具盘220还包含多个第一杆体236与二个第一手把237。这些第一杆体236间隔地固定于第一板体230的第一面231，以保护第一板体230不致变形。第一杆体236的轴心方向彼此平行。这些第一手把237固定于第一板体230的第一面231，且第一贯穿口233位于这些第一手把237之间，以方便操作人员移动第一夹具盘220。

如图3与图8B所示，第一夹具盘220还包含第一凹槽240，用以部分地容纳研磨工件900。第一凹槽240形成于第一板体230的第二面232，且第一凹槽240连接第一贯穿口233。换句话说，第一贯穿口233贯通第一板体230的第二面232的第一凹槽240。第一凹槽240包含第一底面241与第一侧壁面242。第一底面241连接第一贯穿口233与第一侧壁面242，且受到第一侧壁面242的环绕。第一侧壁面242连接第一板体230的第二面232。第一底面241与第一板体230的第二面232属于不同高度的平面。

回图2所示，第一转动件400的第一延伸体420具有用以定位第一夹具盘220与第二夹具盘300的第一定位件421与第二定位件(参考第一定位件421外观)。第一定位件421与第二定位件分别形成于第一延伸体420的二相对面。第一延伸体420的二相对面分别连接第一连接体410背对第一转轴部430的一面。第二转动件500的第二延伸体520具有用以定位第一夹具盘220与第二夹具盘300的第三定位件521与第四定位件(参考第三定位件521外观)。第三定位件521与第四定位件分别形成于第二延伸体520的二相对面。第二延伸体520的二相对面分别连接第二连接体510背对第二转轴部530的一面。

第一夹具盘220还包含至少一第五定位件243与至少一第六定位件244。第五定位件243与第六定位件244形成于第一板体230的第二面232，且第一贯穿口233位于第五定位件243与第六定位件244之间。第五定位件243的外型与第一定位件421的外型相互互补，例如但不以此为限，第五定位件243与第一定位件421分别为凸柱与凹孔。第六定位件244的外型与第三定位件521的外型相互互补，例如但不以此为限，第六定位件244与第三定位件521分别为凸柱与凹孔。如此，透过第五定位件243与第一定位件421(图2)互补地卡固，以及第六定位件244与第三定位件521(图2)互补地卡固，第一夹具盘220得以组装至第一转动件400与第二转动件500上。

图9A绘示图1的第二夹具盘300的放大立体图。图9B绘示图9A的第二夹具盘300翻转后的立体图。如图9A与图9B所示，上述第二夹具盘300为一种第二治具，包含一第二板体310与一第二贯穿口313。第二板体310具有相对的第三面311与第四面312。第三面311与第四面312大致彼此平行。第二贯穿口313贯穿第二板体310的第三面311与第四面312。如图3所示，由于第二贯穿口313露出研磨工件900表面的螺栓(图中未示)，操作人员能够快速地透过第二贯穿口313将螺栓卸除或装载，进而顺利地将研磨工件900的次组件950依序拆解或组装。在本揭露的一实施例中，第二贯穿口313位于第二板体310的中央位置，第二贯穿口313为圆形，且第二贯穿口313只为单一个。然而，本揭露不限于第二贯穿口313的位置、形状与数量。

第二夹具盘300还包含二个第三垫体314与二个第四垫体315。这些第三垫体314间隔地位于第二板体310的第三面311，以接受第二压迫件620的压迫部的触压(图3)。这些第三垫体314间隔地位于第二板体310的第三面311，以接受第四压迫件640的触压(图3)。第三垫体314相对第四垫体315配置，且第二贯穿口313位于第三垫体314与第四垫体315之间。

此外，第二夹具盘300还包含多个第二杆体316与二个第二手把317，这些第二杆体316间隔地固定于第二板体310的第三面311，以保护第二板体310不致变形。第二杆体316的轴心方向彼此平行。这些第二手把317固定于第二板体310的第三面311，且第二贯穿口313位于这些第二手把317之间，以方便操作人员移动第二夹具盘300。

如图3与图9B所示，第二夹具盘300还包含第二凹槽320，用以容纳部分的研磨工件900。第二凹槽320形成于第二板体310的第四面312，且第二凹槽320连接第二贯穿口313。换句话说，第二贯穿口313贯通第二板体310的第四面312的第二凹槽320。第二凹槽320包含一第二底面321、一第二侧壁面322与承载面323。第二底面321连接第二贯穿口313与第二侧壁面322。第二侧壁面322连接承载面323与第二底面321。第二底面321、承载面323与第二板体310的第四面312属于不同高度的平面。

此外，如图2与图9B所示，第二夹具盘300还包含至少一第七定位件324与至少一第八定位件325。第七定位件324与第八定位件325形成于第二板体310的第四面312，且第二贯穿口313位于第七定位件324与第八定位件325之间。第七定位件324的外型与第二定位件(参考第一定位件421)的外型相互互补，例如但不以此为限，第七定位件324与第二定位件(参考第一定位件421)分别为凸柱与凹孔。第八定位件325的外型与第四定位件(参考第三定位件521)的外型相互互补，例如但不以此为限，第八定位件325与第四定位件(参考第三定位件521)分别为凸柱与凹孔。如此，通过第七定位件324与第二定位件(参考第一定位件421)互补地卡固，以及第八定位件325与第四定位件(参考第三定位件521)互补地卡固，第二夹具盘300得以组装至第一转动件400与第二转动件500上。

图10A绘示依照本揭露一实施例的第一夹具盘260的立体图。图10B绘示图10A的第一夹具盘260翻转后的立体图。如图10A与图10B所示，本实施例中，上述第一夹具盘260可以改为第三治具，而非第一治具。第一夹具盘260包含一第三板体270与多个贯穿孔273。第三板体270具有相对的第五面271与第六面272。第五面271与第六面272大致彼此平行。这些贯穿孔273分别贯穿第三板体270的第五面271与第六面272。在本揭露的一实施例中，第三板体270的贯穿孔273的孔径小于上述第二贯穿口313。然而，本揭露不限于贯穿孔273的位置、形状与数量。

第一夹具盘260还包含二个第五垫体274与二个第六垫体275。这些第五垫体274间隔地位于第三板体270的第五面271，以接受第一压迫件610的压迫部615的触压。这些第五垫体274间隔地位于第三板体270的第五面271，以接受第三压迫件630的第三压迫部的触压。第五垫体274相对第六垫体275配置，且贯穿孔273位于第三垫体314与第四垫体315之间。

此外，第一夹具盘260还包含多个第三杆体276与二个第三手把277，这些第三杆体276间隔地固定于第三板体270的第五面271，以保护第三板体270不致变形。每一第三杆体276的轴心方向彼此平行。这些第三手把277固定于第三板体270的第五面271，且贯穿孔273分布于这些第三手把277之间，以方便操作人员移动第一夹具盘260。

如图10A与图10B所示，第一夹具盘260还包含第三凹槽280。第三凹槽280形成于第三板体270的第六面272，且第三凹槽280连接所有的贯穿孔273。换句话说，贯穿孔273贯通第三板体270的第六面272的第三凹槽280。第三凹槽280包含一第三底面281、一第三侧壁面282、支撑面283与一第四侧壁面284。贯穿孔273形成于第三底面281上，连接第三侧壁面282，且受到第三侧壁面282的环绕。第三侧壁面282连接第三底面281及支撑面283，且受到支撑面283的环绕。第四侧壁面284连接第三板体270的第六面272与支撑面283，且环绕支撑面283。第三底面281、支撑面283与第三板体270的第六面272属于不同高度的平面。

此外，如图2与图10B所示，第一夹具盘260还包含至少一第九定位件285与至少一第十定位件286。第九定位件285与第十定位件286形成于第三板体270的第六面272，且贯穿孔273分布于第九定位件285与第十定位件286之间。第九定位件285的外型与第一定位件421的外型相互互补，例如但不以此为限，第九定位件285与第一定位件421分别为凸柱与凹孔。第十定位件286的外型与第三定位件521的外型相互互补，例如但不以此为限，第十定位件286与第三定位件521分别为凸柱与凹孔。如此，透过第九定位件285与第一定位件421互补地卡固，以及第十定位件286与第三定位件521互补地卡固，第一夹具盘260分别组装至第一转动件400与第二转动件500上。

图11绘示依照本揭露一实施例的支撑载具201的立体图。如图11所示，图11的支撑载具201与图1的支撑载具200大致相同，其差异的一为，图11的支撑载具201不具上述压迫件，图11的固定机构包含第一钳式结合件650与第二钳式结合件660。第一钳式结合件650独立存在于第一夹具盘220与第二夹具盘300共同的一侧。第二钳式结合件660独立存在于第一夹具盘220与第二夹具盘300共同的另侧。

具体来说，当第一夹具盘220与第二夹具盘300彼此叠合为一叠合结构T时，第一钳式结合件650与第二钳式结合件660分别可移除地结合于叠合结构T的二相对侧，使得第一转动件400、第二转动件500、第一夹具盘220与第二夹具盘300结合为一体。例如但不以此为限，第一钳式结合件650与第二钳式结合件660具弹性，为金属或塑胶材质，且第一钳式结合件650与第二钳式结合件660为C型钳。

此外，第一钳式结合件650与第二钳式结合件660分别具有多个定位凸点651。第一夹具盘220与第二夹具盘300分别具有多个定位孔250。故，透过定位凸点651分别伸入定位孔250，第一钳式结合件650与第二钳式结合件660分别固定地限位于叠合结构T的二相对侧。

图12绘示依照本揭露一实施例的泄漏测试系统10的示意图。图13绘示图12的泄漏测试系统10沿线段C-C的局部剖视图。如图12至图13所示，本揭露更有关一种泄漏测试系统10。泄漏测试系统10包含测试装置100与上述的支撑载具200。测试装置100接通支撑载具200内的研磨工件900，以便对研磨工件900的内部空间940进行抽吸气程序，进而测试此研磨工件900是否泄漏。

具体来说，在本实施例中，如图12至图13所示，第一夹具盘260采用上述的第三治具，第二夹具盘300采用上述的第二治具，且第二治具位处第三治具的上方，即，第一夹具盘260位于第二夹具盘300与底座211之间。此外，研磨工件900具有相对的第一主面910与第二主面920。研磨工件900的第一主面910具有突出部911。突出部911上装设有多个喷嘴912。喷嘴912分别接通研磨工件900的内部空间940。研磨工件900的第二主面920为研磨面，在不使用时，可接受一保护外罩921的覆盖。此外，研磨工件900例如包含6～8层的次组件950。内部空间940形成于这些次组件950之间。测试装置100包含一装置主机110与多个出气嘴120。出气嘴120外露于装置主机110的表面，且接通装置主机110内部。

如此，当研磨工件900被夹合于第一夹具盘260与第二夹具盘300之间时，研磨工件900的第一主面910接触第二夹具盘300的承载面323(图13)，且研磨工件900的突出部911从第二夹具盘300的第二贯穿口313伸出第二夹具盘300。研磨工件900的保护外罩921气密地覆盖第一夹具盘260的第三凹槽280，且保护外罩921接触第一夹具盘260的支撑面283与第四侧壁面284，与第一夹具盘260的第三底面281保持间距。此外，在研磨工件900被夹合于第一夹具盘260与第二夹具盘300之间后，出气嘴120分别透过管体130连接喷嘴912，使得装置主机110接通研磨工件900的内部空间940。装置主机110将气体注入或抽真空出内部空间940，或者，透过管体130对内部空间940抽真空，以测试研磨工件900是否泄漏。

图14绘示依照本揭露一实施例的泄漏测试方法的流程图。如图13与图14所示，本揭露更有关一种泄漏测试方法。泄漏测试方法包含步骤1410～步骤1420。在步骤1410中，先将研磨工件900固定于上述的支撑载具200上。在步骤1420中，测试支撑载具200上的研磨工件900是否泄漏。

更具体地，图15绘示图14的步骤1410依照一实施例的细部流程图。如图15所示，在步骤1410中，本实施例还包含数个细部步骤1411～1413，如下。请参考图3所示，在细部步骤1411中，将研磨工件900放置于第一夹具盘260或第二夹具盘300上。在细部步骤1412中，将研磨工件900、第一转动件400与第二转动件500受夹合于第一夹具盘260与第二夹具盘300之间。在细部步骤1413中，透过上述固定机构600将第一转动件400、第二转动件500、第一夹具盘260与第二夹具盘300结合为一体。

图16绘示图14的这些步骤之间依照一实施例的细部流程图。如图16所示，在步骤1410～步骤1420之间，本实施例还包含细部步骤1414～细部步骤1415。在细部步骤1414中，参考图12所示，翻转研磨工件900，以连动研磨工件900的喷嘴912位处第二夹具盘300上方。换句话说，翻转支撑载具200上的研磨工件900，使得研磨工件900的突出部911与喷嘴912皆位朝上方，以方便操作人员以俯瞰方向连接喷嘴912与测试装置100。在细部步骤1415中，将上述测试装置100透过喷嘴912接通研磨工件900的内部空间940(图13)。

图17绘示图14的步骤1420依照一实施例的细部流程图。如图17所示，步骤1420的一实施例还包含细部步骤1421～细部步骤1424如下。在细部步骤1421中，如图13，对研磨工件900的内部空间940抽真空一段时间；接着，在细部步骤1422中，判断研磨工件900的内部空间940是否呈真空状态，若是，跳至细部步骤1423，否则，跳至细部步骤1424。在细部步骤1423中，当判断出研磨工件900的内部空间940已达真空状态，则判定研磨工件900并未泄漏。在细部步骤1424中，当判断出研磨工件900的内部空间940未达真空状态，则判定研磨工件900泄漏。

图18绘示图14的步骤1410依照一实施例的细部流程图。如图18所示，步骤1420的一实施例还包含细部步骤1421A～细部步骤1424A如下。如图13，在细部步骤1421A中，持续充气至研磨工件900的内部空间940内；接着，在细部步骤1422A中，判断内部空间940于一特定气压下是否得以持续接受充气，若是，跳至细部步骤1423A，否则，跳至细部步骤1424A。在细部步骤1423A中，当判断出内部空间940于特定气压下仍得以持续接受充气，判定研磨工件900泄漏。在细部步骤1424A中，当判断出内部空间940于特定气压下无法持续接受充气，则判定研磨工件900并未泄漏。

本揭露有关一种支撑载具。支撑载具包含基座、第一夹具盘、第二夹具盘、转动件与固定机构。基座具有一容置空间。第一夹具盘位于容置空间内，第二夹具盘相对第一夹具盘，用以与第一夹具盘共同夹合一研磨工件于其间。转动件可翻转地连接基座，且可分离地连接第二夹具盘与第一夹具盘。固定机构将转动件、第一夹具盘与第二夹具盘结合为一体。在一个示例性态样中，固定机构包含一第一压迫件及一第二压迫件。第一压迫件连接转动件，用以选择性地将第一夹具盘压制于转动件的一侧。第二压迫件相对第一压迫件，且连接转动件，用以选择性地将第二夹具盘压制于转动件的另侧。在一个示例性态样中，支撑载具还包含至少一感测元件。感测元件位于基座上，用以感测第一压迫件是否将第一夹具盘压制于转动件的这侧，以及第二压迫件是否将第二夹具盘压制于转动件的另侧。在一个示例性态样中，固定机构包含至少一钳式结合件。钳式结合件可移除地位于相叠合的第一夹具盘与第二夹具盘的同一侧。在一个示例性态样中，支撑载具还包含一限位销及一驱动装置。限位销可伸缩地位于基座上，用以止挡转动件转动。驱动装置位于基座上，连接限位销，用以移动限位销。

本揭露更有关一种泄漏测试系统。泄漏测试系统包含一支撑载具与一测试装置。支撑载具包含基座、第一夹具盘、第二夹具盘、转动件与固定机构。基座具有一容置空间。第一夹具盘位于容置空间内，第二夹具盘相对第一夹具盘，用以与第一夹具盘共同夹合一研磨工件于其间。研磨工件具有内部空间与喷嘴。喷嘴位于研磨工件的表面，外露于第二夹具盘的一面，且接通内部空间。转动件可翻转地连接基座，且可分离地连接第二夹具盘与第一夹具盘。固定机构将转动件、第一夹具盘与第二夹具盘结合为一体。测试装置透过喷嘴接通内部空间，并测试研磨工件是否泄漏。

本揭露更有关一种泄漏测试方法。泄漏测试方法包含步骤如下。将一研磨工件固定于一可翻转的支撑载具上。测试支撑载具上的研磨工件是否泄漏。在一个示例性态样中，测试支撑载具上的研磨工件是否泄漏之前，还包含以下步骤。翻转支撑载具上的研磨工件，以连动研磨工件表面的一喷嘴；以及将一测试装置透过喷嘴接通研磨工件的一内部空间。在一个示例性态样中，测试支撑载具上的研磨工件是否泄漏，还包含以下步骤。对研磨工件的一内部空间抽真空一段时间；判断研磨工件的内部空间是否呈真空状态；以及当判断出研磨工件的内部空间未达真空状态，判定研磨工件泄漏。在一个示例性态样中，测试支撑载具上的研磨工件是否泄漏，还包含以下步骤。持续充气至研磨工件的一内部空间内；判断内部空间于一特定气压下是否得以持续接受充气；以及当判断出内部空间于特定气压下仍得以持续接受充气，判定研磨工件泄漏。

前述内容概述若干实施例的特征以使得一般技术者可较佳地理解本揭露的态样。一般技术者应理解，其可容易地使用本揭露作为设计或修改其他制程及结构的基础用于进行本文中所介绍的实施例的相同的目的及/或达成相同的优点。一般技术者亦应意识到，此等等效构建不偏离本揭露的精神及范畴，且其可在本文中进行各种变化、替代及修饰而不偏离本揭露的精神及范畴。

Claims (10)

1.一种支撑载具，其特征在于，包含：

一基座，具有一容置空间；

一第一夹具盘，位于该容置空间内；

一第二夹具盘，用以与该第一夹具盘共同夹合一研磨工件于其间；

一转动件，可翻转地连接该基座，且可分离地连接该第二夹具盘与该第一夹具盘；以及

一固定机构，将该转动件、该第一夹具盘与该第二夹具盘结合为一体。

2.根据权利要求1所述的支撑载具，其特征在于，该固定机构包含：

一第一压迫件，连接该转动件，用以选择性地将该第一夹具盘压制于该转动件的一侧；以及

一第二压迫件，相对该第一压迫件，且连接该转动件，用以选择性地将该第二夹具盘压制于该转动件的另侧。

3.根据权利要求2所述的支撑载具，其特征在于，还包含：

至少一感测元件，位于该基座上，用以感测该第一压迫件是否将该第一夹具盘压制于该转动件的该侧，以及该第二压迫件是否将该第二夹具盘压制于该转动件的该另侧。

4.根据权利要求1所述的支撑载具，其特征在于，该固定机构包含：

至少一钳式结合件，可移除地位于相叠合的该第一夹具盘与该第二夹具盘的同一侧。

5.根据权利要求1所述的支撑载具，其特征在于，还包含：

一限位销，可伸缩地位于该基座上，用以止挡该转动件转动；以及

一驱动装置，位于该基座上，连接该限位销，用以移动该限位销。

6.一种泄漏测试系统，其特征在于，包含：

一支撑载具，包含：

一基座，具有一容置空间；

一第一夹具盘，位于该容置空间内；

一第二夹具盘，用以与该第一夹具盘共同夹合一研磨工件于其间，其中该研磨工件具有一内部空间与一喷嘴，该喷嘴位于该研磨工件的表面，外露于该第二夹具盘的一面，且接通该内部空间；

一转动件，可翻转地连接该基座，且可分离地连接该第二夹具盘与该第一夹具盘；以及

一固定机构，将该转动件、该第一夹具盘与该第二夹具盘结合为一体；以及

一测试装置，用以透过该喷嘴接通该内部空间，并测试该研磨工件是否泄漏。

7.一种泄漏测试方法，其特征在于，包含：

将一研磨工件固定于一可翻转的支撑载具上；以及

测试该支撑载具上的该研磨工件是否泄漏。

8.根据权利要求7所述的泄漏测试方法，其特征在于，测试该支撑载具上的该研磨工件是否泄漏之前，还包含：

翻转该支撑载具上的该研磨工件，以连动该研磨工件表面的一喷嘴；以及将一测试装置透过该喷嘴接通该研磨工件的一内部空间。

9.根据权利要求7所述的泄漏测试方法，其特征在于，测试该支撑载具上的该研磨工件是否泄漏，还包含：

对该研磨工件的一内部空间抽真空一段时间；

判断该研磨工件的该内部空间是否呈真空状态；以及

当判断出该研磨工件的该内部空间未达真空状态，判定该研磨工件泄漏。

10.根据权利要求7所述的泄漏测试方法，其特征在于，测试该支撑载具上的该研磨工件是否泄漏，还包含：

持续充气至该研磨工件的一内部空间内；

判断该内部空间于一特定气压下是否得以持续接受充气；以及

当判断出该内部空间于该特定气压下仍得以持续接受充气，判定该研磨工件泄漏。