CN108534961A - 多工位自密封快速氦质谱检漏装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多工位自密封快速氦质谱检漏装置，该装置包括多个密封子件、左密封盖、右密封盖、支撑柱和支撑筒；左密封盖和右密封盖分别固定在支撑筒的两开口端，支撑柱固定在支撑筒的下方；多个密封子件均匀固定在支撑筒的上方；每个密封子件均包括过渡螺杆和密封接头，密封接头旋进过渡螺杆内后过渡螺杆孔内形成由上至下依次安装上垫圈、上密封圈、下密封圈和下垫圈的密封小区间，且可通过调节密封接头与过渡螺杆的配合间隙调整上垫圈与下垫圈之间的间隙；需要检漏时，将待检漏产品通过接触器的排气管插入到过渡螺杆孔内并通过该密封小区间，本装置定位精度高、密封可靠、操作快速且自密封效果好。
Description
技术领域
本发明涉及接触器技术领域，尤其涉及一种多工位自密封快速氦质谱检漏装置。
背景技术
在一种直流高压接触器生产中，其陶瓷组件高温真空钎焊后和成品激光焊接后的检漏工序是判断产品质量的关键工序。接触器结构复杂，内部的材料牌号种类多，漏率要求达到10E-13数量级，对检漏装置要求高。现有检漏工装采用分体安装，手工定位旋紧治具，单工位操作，其主要缺点是装置结构不合理，分体安装后检漏精度低，密封效果差；对高漏率要求的部件容易影响测试结果，需要多次测试且测试灵敏度只有10E-9数量级。操作繁琐，效率低。
发明内容
针对上述技术中存在的不足之处，本发明提供一种结构简捷、安装快速、加工成本低、定位精度高及自密封效果好的多工位自密封快速氦质谱检漏装置。
为实现上述目的，本发明提供一种多工位自密封快速氦质谱检漏装置，包括多个密封子件、左密封盖、右密封盖、支撑柱和支撑筒；所述左密封盖和右密封盖分别固定在支撑筒的两开口端，所述支撑柱固定在支撑筒的下方；所述多个密封子件均匀固定在支撑筒的上方，且密封子件与支撑筒之间、支撑筒与左密封盖和右密封盖之间及支撑筒与支撑柱之间均通过高温真空钎焊工艺焊接成整体；每个密封子件均包括过渡螺杆和密封接头，所述密封接头旋进过渡螺杆内后过渡螺杆孔内形成由上至下依次安装上垫圈、上密封圈、下密封圈和下垫圈的密封小区间，且可通过调节密封接头与过渡螺杆的配合间隙调整上垫圈与下垫圈之间的间隙；需要检漏时，将待检漏产品通过接触器的排气管插入到过渡螺杆孔内并通过该密封小区间。
其中，所述支撑柱的中间镂空呈细孔，且该支撑柱的上接口为双台阶形状，下接口为斜面形后该支撑柱构成蝴蝶扣状。
其中，所述支撑筒采用管状材料且中间设计成大镂空，为过渡密封子件的主体，检漏时形成排气通道。
本发明的有益效果是：与现有技术相比，本发明提供的多工位自密封快速氦质谱检漏装置，调节密封接头与过渡螺杆的配合间隙，使上垫圈、上密封圈、下垫圈和下密封圈组成一个密封小区间，当待检漏产品通过接触器的排气管插入到并通过其中间时，两者的过盈配合会挤压产生一个初步密封效果；当检漏仪抽气时，内外压差会使密封圈产生一个再次弹性变形，使自身内径缩小，从而使排气管得到了更好的密封和紧固，漏率要求达到10E-13数量级，完全满足要求。本专利通过对密封子件的合理设计，待检漏产品可快速方便插入并进行可靠密封；同时当检漏仪测试结束放气后，也可以快速方便取出接触器，开始下一轮检漏操作；本装置定位精度高、密封可靠、操作快速且自密封效果好。
附图说明
图1为本发明中密封子件的剖视图；
图2为本发明的结构剖视图；
图3为本发明的使用状态图。
具体实施方式
为了更清楚地表述本发明，下面结合附图对本发明作进一步地描述。
请参阅图1-3，本发明提供的多工位自密封快速氦质谱检漏装置，包括多个密封子件10、左密封盖11、右密封盖12、支撑柱13和支撑筒14；所述左密封盖和右密封盖分别固定在支撑筒的两开口端，所述支撑柱固定在支撑筒的下方；所述多个密封子件均匀固定在支撑筒的上方，且密封子件与支撑筒之间、支撑筒与左密封盖和右密封盖之间及支撑筒与支撑柱之间均通过高温真空钎焊工艺焊接成整体；每个密封子件均包括过渡螺杆101和密封接头102，所述密封接头旋进过渡螺杆内后过渡螺杆孔内形成由上至下依次安装上垫圈103、上密封圈104、下密封圈105和下垫圈106的密封小区间，且可通过调节密封接头与过渡螺杆的配合间隙调整上垫圈与下垫圈之间的间隙；需要检漏时，将待检漏产品15通过接触器16的排气管17插入到过渡螺杆孔内并通过该密封小区间。
相较于现有技术的情况，本发明提供的多工位自密封快速氦质谱检漏装置，调节密封接头与过渡螺杆的配合间隙，使上垫圈、上密封圈、下垫圈和下密封圈组成一个密封小区间，当待检漏产品排气管插入到并通过其中间时，两者的过盈配合会挤压产生一个初步密封效果；当检漏仪抽气时，内外压差会使密封圈产生一个再次弹性变形，使自身内径缩小，从而使排气管得到了更好的密封和紧固，漏率要求达到10E-13数量级，完全满足要求。本专利通过对密封子件的合理设计，待检漏产品可快速方便插入并进行可靠密封；同时当检漏仪测试结束放气后，也可以快速方便取出接触器，开始下一轮检漏操作；本装置定位精度高、密封可靠、操作快速且自密封效果好。
在本实施例中，所述支撑柱13的中间镂空呈细孔131，且该支撑柱的上接口为双台阶形状132，下接口为斜面形133后该支撑柱构成蝴蝶扣状。所述支撑筒采用管状材料且中间设计成大镂空，为过渡密封子件的主体，检漏时形成排气通道。
本发明的具体效果分析如下：
本发明设计一种结构简捷，安装快速，加工成本低、定位精度高、自密封效果好的氦质谱检漏装置，并可根据实际情况扩展工位数量。
图1中的密封子件中，调节密封接头与过渡螺杆的配合间隙，使上垫圈、上密封圈、下垫圈和下密封圈组成一个密封小区间，当待检漏产品排气管插入到并通过其中间时，两者的过盈配合会挤压产生一个初步密封效果。
图2的密封组件中，密封子件共五个、右密封盖、左密封盖、支撑筒、支撑柱组装成，形成一个密封真空腔室。
支撑柱结构经过优化，中间镂空成细孔，上接口为双台阶形状，下接口为斜面形，构成蝴蝶扣状，既是整个检漏装置的主体支撑部分，也可与各种检漏仪器进行可靠密封连接。
支撑筒采用管状材料，中间大镂空，为过渡密封腔的主体，检漏时形成排气通道。
接触器经过高温钎焊工艺、激光焊接工艺后，其内部腔体成为一个密封空间，接触器通过排气管与密封子件相联接。
密封子件中的过渡螺杆通过高温钎焊加工成一体，保证可靠连接和气密性，可根据需要进行扩展密封子件数量。
支撑筒、支撑柱通过镂空，形成合适排气通道，可快速形成、维持高真空状态。使用时，接触器的排气管插入到密封子件中的密封小区间；由于、上下垫圈，上、下密封圈的结构和尺寸经过优化及科学计算，当检漏仪抽气时，内外压差会使密封圈产生一个再次弹性变形，使自身内径缩小。从而使排气管得到了更好的密封和紧固，漏率要求达到10E-13数量级，完全满足要求。本专利通过对密封子件的合理设计，接触器可快速方便插入并进行可靠密封；同时当检漏仪测试结束放气后，也可以快速方便取出接触器，开始下一轮检漏操作。本装置定位精度高、密封可靠、快速操作。
以上公开的仅为本发明的几个具体实施例，但是本发明并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本发明的保护范围。
Claims (3)
1.一种多工位自密封快速氦质谱检漏装置，其特征在于，包括多个密封子件、左密封盖、右密封盖、支撑柱和支撑筒；所述左密封盖和右密封盖分别固定在支撑筒的两开口端，所述支撑柱固定在支撑筒的下方；所述多个密封子件均匀固定在支撑筒的上方，且密封子件与支撑筒之间、支撑筒与左密封盖和右密封盖之间及支撑筒与支撑柱之间均通过高温真空钎焊工艺焊接成整体；每个密封子件均包括过渡螺杆和密封接头，所述密封接头旋进过渡螺杆内后过渡螺杆孔内形成由上至下依次安装上垫圈、上密封圈、下密封圈和下垫圈的密封小区间，且可通过调节密封接头与过渡螺杆的配合间隙调整上垫圈与下垫圈之间的间隙；需要检漏时，将待检漏产品通过接触器的排气管插入到过渡螺杆孔内并通过该密封小区间。
2.根据权利要求1所述的多工位自密封快速氦质谱检漏装置，其特征在于，所述支撑柱的中间镂空呈细孔，且该支撑柱的上接口为双台阶形状，下接口为斜面形后该支撑柱构成蝴蝶扣状。
3.根据权利要求1所述的多工位自密封快速氦质谱检漏装置，其特征在于，所述支撑筒采用管状材料且中间设计成大镂空，为过渡密封子件的主体，检漏时形成排气通道。
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