CN108528463A - 一种加长超高真空载样小车 - Google Patents
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Abstract
加长超高真空载样小车，小车起码有两节，两节以上小车能够载样正常跨越插板阀，所述的超高真空样品输运的每节小车均设有超高真空样品存储平台，每节小车均设有固定在样品存储台的永磁铁，每节小车均起码设有4个小车导向轮；每节小车的长度超过插板阀宽度两倍。该加长超高真空样品输运小车不仅可以载样16块，还可以在超高真空下有插板阀的导轨间正常通行，实现样品在不停系统多腔室的中的传递工作，结构简单。
Description
技术领域
本发明涉及一种加长超高真空轨道样品输运小车，特别是在超高真空下能跨越插板阀，在多腔室间传递的设计样品输运小车。
背景技术
超高真空系统在物理、化学、半导体、机械加工、材料和生物科学等各个领域应用广泛。超高真空设备系统一般由真空泵、真空计、真空腔体及其他部件组成，由真空管道互相连接。
在超高真空系统制备样品后，为了保证样品不受外界环境的污染，保证样品性质的稳定性，通常需要在高真空环境下进行原位测试和分析。一般的方法有：真空腔体内通入惰性气体做保护气体，再将样品取出并快速放入干净的真空箱中；或者现在样品上镀上一层保护膜再取出等等。但都必须开仓取样，操作麻烦并且会造成样品污染。
在不破坏超高真空环境的条件下，将制备系统和测试系统等腔室连接起来的方案就此提出，这就需要一些能够在真空系统中具有存储和转移样品能力的装置。
同时，不同腔室间存在插板阀，使导轨中断，载样装置在导轨中的通行存在困难。而插板阀是多腔室真空系统的必要设计。
发明内容
本发明目的是，解决如下问题，提供一种加长超高真空样品输运小车，该小车可以保证一组(16个)样品始终在超高真空传送系统内传送，从一个超高真空系统转移到其他多个超高真空系统的过程中，能够正常通过被插板阀隔开的导轨。尤其是小车用于插板阀是多腔室真空系统输运。
本发明的技术方案是，加长超高真空载样小车，小车起码有两节，两节以上小车能够载样正常跨越插板阀，所述的超高真空样品输运的每节小车均设有超高真空样品存储平台，每节小车均设有固定在样品存储台的永磁铁，每节小车均起码设有4个小车导向轮；每节小车的长度超过插板阀宽度(指轨道上因插板阀产生的间隙)两倍。两节小车的重心在两节小车的中间。
加长超高真空载样小车，其特征是小车起码有两节，两节以上小车能够载样正常跨越插板阀，所述的超高真空样品输运的每节小车均设有超高真空样品存储平台，每节小车均设有固定在样品存储台的永磁铁，每节小车均起码设有4个小车导向轮。尤其是两节小车，两节小车的重心在两节小车的中间。
其中样品存储台是一个八面体结构，可以同时装载16块样品进行输运。
其中2个固定在样品存储台的永磁铁实现超高真空样品小车在传送系统内的运动，同时，可以实现样品存储台360°的自由旋转，完成样品的装载。
其中8个独特小车导向轮既可以实现以最小的阻力在超高真空传送系统内固定的轨道上运动，又可以实现小车在闸板阀之间的跨越运动。
每节小车在二条导轨上运动。
其中，在2个样品存储台之间的μ金属隔板(隔磁材料，如纯铁等)排除2个永磁铁之间的相互干扰，从而满足磁铁驱动小车在传送系统内轨道上运动同时也可以实现样品存储台360°的自由旋转，便于样品的装载。
优选的，插板阀开启后，导轨中断。由于对称结构，小车的重心在小车中间，当每节小车的长度超过插板阀宽度两倍时，这样小车跨越插板阀时，重心始终在导轨上，跨越插板阀时，小车车身始终保持水平，因此能在连接不同腔室中断的导轨间通行。
有益效果：该加长超高真空样品输运小车不仅可以载样16块，还可以在超高真空下有插板阀的导轨间正常通行，实现样品在不停系统多腔室的中的传递工作，结构简单，方便灵活。
附图说明
图1为本发明加长载样小车的侧视图；
图2、3、4分别为本发明加长载样小车跨越插板阀的过程图。
图中1载样小车的磁铁，2样品存储腔室，3样品托，4小车车轮，5插板阀，6连接导轨，7控制磁铁。
具体操作方式
如图所示，本发明是一种用于在不同超高真空系统间转移样品的载样小车。
图1显示了载样小车侧视图的结构。图2、3、4显示了小车在轨道中行进时，跨越插板阀的过程。
加长超高真空载样小车，小车起码有两节，两节以上小车能够载样正常跨越插板阀，所述的超高真空样品输运的每节小车均设有超高真空样品存储平台，每节小车均设有固定在样品存储台的永磁铁，每节小车均起码设有4个小车导向轮。尤其是两节小车，两节小车的重心在两节小车的中间。
插板阀5使不同工作系统的腔室能相互隔离,但会隔断导轨6，样品托3存放好样品后，放入小车腔室2，由磁铁1受真空系统外磁铁7磁力驱动的小车，能在导轨6上行进，导轨在插板阀位置有间隙，经过插板阀5时，由于长度大于两倍插板阀间隙5间距，小车重心始终在导轨上，平稳前进，完成插板阀的跨越。
配合超高真空传送系统外的磁铁实现输运小车在超高真空传送系统内的运动；8个小车导向轮，通过8个导向轮实现超高真空样品小车在超高真空传送系统内的自由运动；加长的车体，插板阀开启后，两断导轨有悬空间隔，加长的车体使小车重心始终在导轨上，正常通过插板阀，通过上述四部分的配合，可以实现在需要隔离的超高真空传送系统中同时传送16块样品。
虽然以上对本发明的实施案例的结构、特征和具体的操作方法进行了详细的描述，但是这些描述并不意图限制本发明。任何本领域普通技术人员阅读这些描述后，在本发明的精神下对本发明进行显而易见的改进或变更都是可能的，并且这些改进和变更都落入本发明的保护范围内。本发明的保护范围仅由所附权利要求书确定。
Claims (5)
1.加长超高真空载样小车，其特征是小车起码有两节，两节以上小车能够载样正常跨越插板阀，所述的超高真空样品输运的每节小车均设有超高真空样品存储平台，每节小车均设有固定在样品存储台的永磁铁，每节小车均起码设有4个小车导向轮；每节小车的长度超过插板阀宽度两倍。
2.根据权利要求1所述的超高真空样品输运小车，其特征是，小车为两节，两节小车的重心在两节小车的中间。
3.根据权利要求1所述的超高真空样品输运小车，其特征是，其中样品存储台是一个八面体结构，同时装载16块样品进行输运。
4.根据权利要求1所述的超高真空样品输运小车，其特征是，每节小车在二条导轨上运动。
5.根据权利要求1所述的超高真空样品输运小车，其特征是，在2个样品存储台之间设有μ金属隔板。
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