CN108461630B - 柔性显示基板、显示面板、显示装置及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种柔性显示基板及其制造方法,柔性显示基板具有图案化的第一表面以及与所述第一表面相背的第二表面,所述柔性显示基板的第一表面用于形成器件,所述柔性显示基板的第一表面具有排成阵列的多个第一凸起结构,每两个相邻的所述第一凸起结构之间具有间隙。本发明提供的柔性显示基板及其制造方法通过对用于形成器件的表面进行图案化而使柔性显示基板的厚度不均一,从而减轻柔性显示基板在弯折时发生的应力集中的问题、增大柔性显示基板的曲率半径。本发明还公开了对应的显示面板及其制造方法、对应的显示装置及其制造方法。
Description
技术领域
本发明涉及柔性显示技术领域,更具体地,涉及柔性显示基板及其制造方法、显示面板及其制造方法、显示装置及其制造方法。
背景技术
柔性显示装置中通常采用柔性显示基板承载薄膜晶体管、有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,简称OLED)等器件,因此柔性显示装置能够被弯曲,在显示市场中存在着巨大的潜在优势。
在柔性显示基板的传统制造方法中,通常采用柔性材料形成厚度均匀的柔性显示基板。然而,这种柔性显示基板的柔韧性较差、在弯曲时承受的应力过于集中,从而限制了柔性显示装置能够达到的最大曲率半径。当柔性显示装置被过度弯折或被长时间弯折、拉伸时,柔性显示装置容易出现裂纹、显示黑斑等问题,甚至可能完全失效。
发明内容
鉴于此,本发明的目的在于提供一种柔性显示基板及其制造方法、显示面板及其制造方法、显示装置及其制造方法,通过对柔性显示基板的表面进行图案化而使柔性显示基板的厚度不均一,从而减轻柔性显示基板在弯折和拉伸时发生的应力集中的问题、增大柔性显示基板的曲率半径。
根据本发明的第一方面,提供了一种柔性显示基板,其特征在于,
所述柔性显示基板具有图案化的第一表面以及与所述第一表面相背的第二表面,所述柔性显示基板的第一表面用于形成器件,所述柔性显示基板的第一表面具有排成阵列的多个第一凸起结构,每两个相邻的所述第一凸起结构之间具有间隙。
优选地,每个所述第一凸起结构的形状包括多棱柱形、圆柱形、梯台形、圆台形以及锥形之一。
优选地,所述柔性显示基板的第二表面具有多个第二凸起结构。
优选地,所述多个第二凸起结构与所述多个第一凸起结构错位排列。
优选地,所述柔性显示基板包括:由柔性材料制成的第一柔性层和第二柔性层,所述第一柔性层用于提供所述柔性显示基板的第一表面,所述第二柔性层用于提供所述柔性显示基板的第二表面;以及位于所述第一柔性层和所述第二柔性层之间的用于阻隔液体和气体的隔离层。
优选地,所述隔离层的材料包括金属氧化物、硅的氧化物、硅的氮化物中的一种或多种的混合物。
根据本发明的第二方面,提供了一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括如上所述的任一项柔性显示基板。
根据本发明的第三方面,提供了一种显示装置,其特征在于,所述显示装置包括如上所述的显示面板。
根据本发明的第四方面,提供了一种柔性显示基板的制造方法,其特征在于,包括步骤:提供载体基板;在所述载体基板的承载表面上制备所述柔性显示基板,所述柔性显示基板具有相背的第一表面和第二表面,所述柔性显示基板的第二表面与所述载体基板的承载表面相对;将所述柔性显示基板的第一表面图案化,使得所述柔性显示基板的第一表面具有多个第一凸起结构,每两个相邻的所述第一凸起结构之间存在间隙;以及将所述柔性显示基板与所述载体基板分离。
优选地,将所述柔性显示基板的第一表面图案化的步骤包括:对所述柔性显示基板的第一表面进行至少一次压印制程,以形成所述多个第一凸起结构。
优选地,所述至少一次压印制程包括步骤:对所述柔性显示基板的第一表面进行第一次压印制程,以在所述柔性显示基板的第一表面形成多个沿第一方向延伸的第一凹槽;对所述柔性显示基板的第一表面进行第二次压印制程,以在所述柔性显示基板的第一表面形成多个沿第二方向延伸的第二凹槽,其中,所述多个第一凹槽和所述多个第二凹槽交叉互连以在所述柔性显示基板的第一表面上形成排列成阵列的所述多个第一凸起结构。
优选地,所述第一方向与所述第二方向之间具有小于90度的夹角。
优选地,所述制造方法还包括:在所述载体基板的承载表面上制备所述柔性显示基板之前,在所述载体基板的承载表面上形成图案层,使得所述柔性显示基板的第二表面形成与所述图案层互补的多个第二凸起结构。
优选地,所述多个第二凸起结构与所述多个第一凸起结构错位排列。
优选地,在所述载体基板的承载表面上制备柔性显示基板的步骤包括:在所述载体基板的承载表面上制备第一柔性层;在所述第一柔性层上制备用于阻隔液体和气体的隔离层;以及在所述隔离层上制备第二柔性层。
优选地,所述载体基板的硬度大于所述柔性显示基板的硬度。
优选地,所述柔性显示基板的第一表面用于形成器件。
根据本发明的第五方面,提供了一种显示面板的制造方法,其特征在于,包括如上所述的任一项柔性显示基板的制造方法。
根据本发明的第六方面,还提供了一种显示装置的制造方法,其特征在于,包括如上所述的显示面板的制造方法。
本发明的柔性显示基板及其制造方法、显示面板及其制造方法、显示装置及其制造方法通过在柔性显示基板的第一表面实现图案化,使得柔性显示基板的厚度不均一,从而能够在柔性显示基板被弯曲或被拉伸时分散应力,提高了柔性显示基板的柔韧性,即提高了柔性显示基板能够达到的最大曲率半径。应用了这种柔性显示基板的显示面板和显示装置不易因过度弯折或长时间的弯折、拉伸而产生裂纹、显示黑斑等问题,因此能够适用于更多的应用场景。
在一些优选的实施例中,柔性显示基板的第二表面也被图案化,从而进一步提升了柔韧性;柔性显示基板中也可以包括隔离层,从而能够防止水汽、氧气等容易伤害器件和电路的物质通过柔性显示基板进入显示面板和显示装置内部,因此能够进一步保护显示面板和显示装置。
附图说明
通过以下参照附图对本发明实施例的描述,本发明的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚。
图1示出了本发明第一实施例的柔性显示基板的结构示意图。
图2示出了应用本发明第一实施例的柔性显示基板的柔性显示装置的剖面示意图。
图3示出了本发明第二实施例的柔性显示基板的结构示意图。
图4示出了应用本发明第二实施例的柔性显示基板的柔性显示装置的剖面示意图。
图5示出本发明第三实施例的柔性显示基板的结构示意图。
图6示出了应用本发明第三实施例的柔性显示基板的柔性显示装置的剖面示意图。
图7示出本发明第四实施例的柔性显示基板的结构示意图。
图8示出了应用本发明第四实施例的柔性显示基板的柔性显示装置的剖面示意图。
图9a至图9e示出本发明第五实施例的柔性显示基板的制造方法的步骤示意图。
图10示出本发明第六实施例的柔性显示基板的制造方法的部分步骤示意图。
图11示出本发明第七实施例的柔性显示基板的制造方法的部分步骤示意图。
具体实施方式
以下将参照附图更详细地描述本发明。在各个附图中,相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见,附图中的各个部分没有按比例绘制。此外,在图中可能未示出某些公知的部分。
在下文中描述了本发明的许多特定的细节,例如器件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术,以便更清楚地理解本发明。但正如本领域的技术人员能够理解的那样,可以不按照这些特定的细节来实现本发明。
本发明可以各种形式呈现,以下将描述其中一些示例。
图1示出了本发明第一实施例的柔性显示基板的结构示意图。
如图1所示,本发明第一实施例的柔性显示基板100具有图案化的第一表面110以及与第一表面相背的第二表面120。第一表面110用于形成器件,例如在柔性显示装置中,柔性显示基板100的第一表面110用于制作薄膜晶体管、有机发光二极管等器件。
具体地,柔性显示基板100的第一表面被图案化以形成多个第一凸起结构111,每两个相邻的第一凸起结构111之间具有间隙112,每个第一凸起结构111例如为多棱柱形、圆柱形、梯台形、圆台形以及锥形等多种形态之一,也可以是其他形态(例如沙堆形)。当柔性显示基板100被弯折或被拉伸时:由于各个间隙112处的基板厚度较薄,因此各个第一凸起结构111能够将其受到的应力分散至与其相邻的各个间隙112处,从而能够避免柔性显示基板100在被弯折或被拉伸时受到过于集中的应力,在一定程度上提高了柔性显示基板100的柔韧性。
优选地,各个第一凸起结构111在柔性显示基板的第一表面111上按照至少两个方向排列为阵列,从而各个间隙112能够连通形成至少两个方向上的凹槽,使得柔性显示基板100受到的应力能够在至少两个方向上被分散,从而避免柔性显示基板100在被弯折或被拉伸时受到过于集中的应力,在一定程度上提高了柔性显示基板100能够达到的最大曲率半径以及抗弯折、抗拉伸的能力。进一步地,由于所述至少两个方向之间形成的较小夹角越小,应力分散的指向性就越高,应力分散的效果就越好,因此所述至少两个方向之间的较小夹角优选为锐角。
图2示出了应用本发明第一实施例的柔性显示基板的柔性显示装置的剖面示意图。
如图2所示,作为一种实施例,本发明第一实施例的柔性显示基板100上例如设置有缓冲层10,并且缓冲层10上设置有薄膜晶体管20以及有机发光元件30等器件,从而形成具有良好柔韧性的柔性显示装置。
优选地,在柔性显示装置中,柔性显示基板100的各个第一凸起结构111可以与各个薄膜晶体管20的位置对应,以在柔性显示装置弯曲时保护各个薄膜晶体管20。
图3示出了本发明第二实施例的柔性显示基板的结构示意图。
如图3所示,本发明第二实施例的柔性显示基板200具有图案化的第一表面210以及与第一表面相背的第二表面220。第一表面210用于形成器件,例如在柔性显示装置中,柔性显示基板200的第一表面210用于制作薄膜晶体管、有机发光二极管等器件。
与上述第一实施例不同的是,本发明第二实施例的柔性显示基板200的第二表面220同样被图案化。
具体地,如图3所示,柔性显示基板的第一表面210具有排列成阵列的多个第一凸起结构211,柔性显示基板的第二表面220具有多个第二凸起结构221,并且多个第二凸起结构221与多个第一凸起结构211错位排列,从而柔性显示基板的第一表面210和第二表面220在弯曲时承受的应力能够分别被多个第一凸起结构211和多个第二凸起结构221分散,进一步提高了柔性显示基板200的柔韧性。
同样地,每个第一凸起结构211和每个第二凸起结构221例如为多棱柱形、圆柱形、梯台形、圆台形以及锥形等多种形状之一,也可以是其他形态(例如沙堆形)。各个第一凸起结构211的形状可以与各个第二凸起结构221的形状不同。
每两个相邻的第一凸起结构211之间具有间隙212。由于各个第二凸起结构221与各个第一凸起结构211错位排列,因此每两个相邻的第二凸起结构之间也存在间隙。
优选地,各个第一凸起结构211在柔性显示基板的第一表面210上按照至少两个方向排列为阵列,从而各个间隙212能够连通形成至少两个方向上的凹槽,使得柔性显示基板100能够在至少两个方向上实现最大的曲率半径。进一步地,由于所述至少两个方向之间形成的较小夹角越小,应力分散的指向性就越高,应力分散的效果就越好,因此所述至少两个方向之间的较小夹角优选为锐角。
图4示出了应用本发明第二实施例的柔性显示基板的柔性显示装置的剖面示意图。
如图4所示,作为一种实施例,本发明第一实施例的柔性显示基板200上例如设置有缓冲层10,并且缓冲层10上设置有薄膜晶体管20以及有机发光元件30等器件,从而形成具有良好柔韧性的柔性显示装置。
优选地,在柔性显示装置中,柔性显示基板200的各个第一凸起结构211或各个第二凸起结构221可以与各个薄膜晶体管20的位置对应,以在柔性显示装置弯曲时保护各个薄膜晶体管20。
在上述的第一实施例和第二实施例中,柔性显示基板的厚度例如为10至100μm,柔性显示基板由一层或多层叠加的柔性材料层制成,该柔性材料例如为聚酰亚胺、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚醚砜树脂、聚堆萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚芳酯、纤维强化塑料等材料中的一种或多种的混合物。
然而,上述柔性材料虽然具有较好的柔韧性,但是通常不能阻隔液体和气体。下面,本发明进一步对上述第一实施例和第二实施例的柔性显示基板进行了改进,使得柔性显示基板具有阻隔液体和气体的功能。
图5示出本发明第三实施例的柔性显示基板的结构示意图。
如图5所示,本发明第三实施例的柔性显示基板300与本发明第一实施例的柔性显示基板100(见图1)基本相同,不同之处在于:柔性显示基板300进一步包括第一柔性层330、第二柔性层340以及位于第一柔性层和第二柔性层之间的隔离层350。
其中,第一柔性层330和第二柔性层340分别提供柔性显示基板300的第一表面310和第二表面320。第一柔性层330用于形成多个第一凸起结构311和各个第一凸起结构之间的间隙312。
隔离层350用于阻隔液体和气体,以防止水汽、氧气等容易伤害器件和电路的物质通过柔性显示基板进入柔性显示装置内部而导致柔性显示装置失效。
具体地,隔离层350由金属氧化物、硅的氧化物、硅的氮化物等无机材料中的一种或多种的混合物制成。
图6示出了应用本发明第三实施例的柔性显示基板的柔性显示装置的剖面示意图。
如图6所示,作为一种实施例,本发明第三实施例的柔性显示基板300上例如设置有缓冲层10,并且缓冲层10上设置有薄膜晶体管20以及有机发光元件30等器件,从而形成具有良好柔韧性和隔离性的柔性显示装置。
优选地,在柔性显示装置中,柔性显示基板300的各个第一凸起结构311可以与各个薄膜晶体管20的位置对应,以在柔性显示装置弯曲时保护各个薄膜晶体管20。
图7示出本发明第四实施例的柔性显示基板的结构示意图。
如图7所示,本发明第四实施例的柔性显示基板400与本发明第二实施例的柔性显示基板200(见图3)基本相同,不同之处在于:柔性显示基板400进一步包括第一柔性层430、第二柔性层440以及位于第一柔性层和第二柔性层之间的隔离层450。
其中,第一柔性层430和第二柔性层440分别提供柔性显示基板400的第一表面410和第二表面420。第一柔性层430用于形成多个第一凸起结构411,第二柔性层440用于形成多个第二凸起结构421。
隔离层450用于阻隔液体和气体,以防止水汽、氧气等容易伤害器件和电路的物质通过柔性显示基板进入柔性显示装置内部而导致柔性显示装置失效。
具体地,隔离层450由金属氧化物、硅的氧化物、硅的氮化物等无机材料中的一种或多种的混合物制成。
图8示出了应用本发明第四实施例的柔性显示基板的柔性显示装置的剖面示意图。
如图8所示,作为一种实施例,本发明第一实施例的柔性显示基板400上例如设置有缓冲层10,并且缓冲层10上设置有薄膜晶体管20以及有机发光元件30等器件,从而形成具有良好柔韧性和隔离性的柔性显示装置。
优选地,在柔性显示装置中,柔性显示基板400的各个第一凸起结构411或各个第二凸起结构421可以与各个薄膜晶体管20的位置对应,以在柔性显示装置弯曲时保护各个薄膜晶体管20。
在本发明提供的上述各实施例中,通过在柔性显示基板的第一表面实现图案化,使得柔性显示基板的厚度不均一,从而能够在柔性显示基板被弯曲或被拉伸时分散应力,从而提高了柔性显示基板的柔韧性,即提高了柔性显示基板能够达到的最大曲率半径。应用了这种柔性显示基板的柔性显示装置不易因过度弯折或被长时间的弯折、拉伸而产生裂纹、显示黑斑等问题,因此能够适用于更多的应用场景。
在一些优选的实施例中,柔性显示基板的第二表面也被图案化,从而进一步提升了柔韧性;柔性显示基板中也可以包括隔离层,从而能够防止水汽、氧气等容易伤害器件和电路的物质通过柔性显示基板进入柔性显示装置内部,因此能够进一步保护柔性显示装置。
相应的,本发明还提供一种显示面板,所述显示面板至少采用上述各实施例所述的柔性显示基板之一;相应的,本发明还提供一种显示装置,所述显示装置采用所述显示面板。
图9a至图9e示出本发明第五实施例的柔性显示基板的制造方法的步骤示意图。包括步骤S10至S50。
如图9a所示,在步骤S10中,提供载体基板500,用于在制备过程中支撑柔性显示基板。具体地,载体基板500具有平整的承载表面510,其硬度大于柔性显示基板,载体基板500例如为玻璃基板。
如图9b所示,在步骤S20中,在载体基板的承载表面510上制备一层或多层叠加的柔性材料,以形成柔性显示基板600,柔性显示基板600的总厚度例如为10至100μm。柔性显示基板600具有相背的第一表面610和第二表面620,其中第二表面620与载体基板的承载表面510相对且贴合。
具体地,通过涂布工艺在承载表面510上制备柔性显示基板600,柔性材料例如为聚酰亚胺、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚醚砜树脂、聚堆萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚芳酯、纤维强化塑料等材料中的一种或多种的混合物。
如图9c所示,在步骤S30中,将柔性显示基板600的第一表面610图案化,使得第一表面610具有多个第一凸起结构611,且每两个相邻的第一凸起结构611之间存在间隙612。
具体地,可以通过对柔性显示基板600的第一表面610进行至少一次的压印制程以形成多个第一凸起结构611,例如利用单独的压印模板直接在所述柔性显示基板600的第一表面610进行单次压印制程,以形成多个第一凸起结构611。优选地,通过至少两次压印制程叠加地形成多个第一凸起结构611,从而能够使得多个第一凸起结构611的形成过程具有更好的可控性和灵活性,并且使得多个第一凸起结构611具有更好的保形性。
下面以通过两次压印制程形成多个第一凸起结构为例进行具体说明。如图9c所示(为方便说明,图9c以分解图的形式绘制),可以利用第一压印模板710和第二压印模板720分两次对柔性显示基板600的第一表面610进行压印。其中,第一压印模板710的下表面预设有第一压印图案(多个沿第一方向延伸的凸棱711),第二压印模板720的下表面预设有第二压印图案(多个沿第二方向延伸的凸棱721),第一方向和第二方向不平行。由于所述至少两个方向之间形成的较小夹角越小,应力分散的指向性就越高,应力分散的效果就越好,因此第一方向与第二方向之间的较小夹角优选为锐角。从而,通过在柔性显示基板的第一表面610涂覆光刻胶、利用第一压印模板710和第二压印模板720对第一表面610加压以及去除残留的光刻胶等步骤,可以将第一压印图案和第二压印图案叠加地转移到柔性显示基板的第一表面610上,以在第一表面610上形成与凸棱711对应的多个沿第一方向延伸的第一凹槽以及与凸棱721对应的多个沿第二方向延伸的第二凹槽。多个第一凹槽和多个第二凹槽交叉互连以在柔性显示基板的第一表面610上形成排列成阵列的多个第一凸起结构611。
在上述具体的实施例中,每个第一凹槽和每个第二凹槽的深度可以相同,也可以不同。优选地,通过纳米压印工艺,每个第一凹槽和每个第二凹槽的深度和宽度可以达到纳米量级。
在上述具体的实施例中,多个第一凸起结构611可以为包含锐角的四棱柱形。在其他的实施例中,还可以通过一次成型或多次叠加的压印制程在柔性显示基板的第一表面上形成多棱柱形、圆柱形、梯台形、圆台形以及锥形等其他形状的第一凸起结构,以根据需要分散应力、调整柔性显示基板的柔韧性和弯折承受能力。
需要说明的是,上述具体的实施例以压印工艺为例说明了柔性显示基板的制造方法。然而本发明实施例不限于此,本领域技术人员可以采用掩膜工艺或其他材料工艺对柔性显示基板的第一表面进行图案化。
如图9d所示,在步骤S40中,在柔性显示基板600的第一表面610制备缓冲层800以及器件层900,器件层900可以包括多种器件及封装材料,各种器件可以由有源层、金属层、有机发光层以及绝缘层等材料层构成。例如,在柔性显示装置的制备过程中,可以在缓冲层800上制备薄膜晶体管以及有机发光二极管等器件,从而形成具有良好柔韧性柔性显示装置。
具体地,可以采用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)技术在柔性显示基板的第一表面上沉积缓冲层800,缓冲层800的材料可以是硅的氧化物、硅的氮化物、铝的氧化物等绝缘材料中的一种或多种的混合物。
优选地,在柔性显示装置中,柔性显示基板600的各个第一凸起结构611可以与各个薄膜晶体管的位置对应,以在柔性显示装置弯曲时保护各个薄膜晶体管。
如图9e所示,在步骤S50中,将柔性显示基板600与载体基板500分离。例如,利用激光剥离技术(Laser Lift Off,简称LLO)将柔性显示基板600从载体基板500的承载表面上分离出来,在此过程中,需要保证图案化后的柔性显示基板600具有足够的厚度,以能够承受剥离动作。
图10示出本发明第六实施例的柔性显示基板的制造方法的部分步骤示意图。
本发明第六实施例的柔性显示基板的制造方法与上述第五实施例所述的制造方法基本一致,都包括上述步骤S10至S50,相同之处不再赘述,不同之处在于:在步骤S20中,如图10所示,在载体基板的承载表面510上依次制备第一柔性层630、隔离层650以及第二柔性层640,以形成多层结构的柔性显示基板600。其中,第一柔性层630的上表面作为柔性显示基板600的第一表面610、第二柔性层640的下表面作为柔性显示基板600的第二表面620。第一柔性层630用于被图案化。
具体地,隔离层650用于阻隔液体和气体,以防止水汽、氧气等容易伤害器件和电路的物质通过柔性显示基板进入柔性显示装置内部而导致柔性显示装置失效。隔离层650的材料可以是金属氧化物、硅的氧化物、硅的氮化物等无机材料中的一种或多种的混合物。
本实施例的柔性显示基板的制造方法通过在柔性显示基板内设置隔离层,使得柔性显示基板具有良好的柔韧性的同时,也具有阻隔液体和气体的性能,从而通过本实施例的制造方法制成的柔性显示基板能够适用于多种应用场景。
图11示出本发明第七实施例的柔性显示基板的制造方法的部分步骤示意图。
本发明第七实施例的柔性显示基板的制造方法与上述第五实施例或第六实施例所述的制造方法基本一致,都包括上述步骤S10至S50,相同之处不再赘述,不同之处在于:在步骤S10与步骤S20之间还包括步骤S60,柔性显示基板600的第二表面620通过步骤S60也可以被图案化。
在步骤S60中,如图11所示,在载体基板的承载表面510上形成图案层,从而当柔性显示基板被制备在承载表面上之后,柔性显示基板的第二表面能够形成与图案层互补的多个第二凸起结构(如图3所示的第二凸起结构221或图7所示的第二凸起结构421)。
在一些具体的实施例中,可以通过在载体基板500的承载表面510沉积薄膜材料以形成图案层,薄膜材料可以是金属材料、合金材料、复合材料或绝缘材料。在另一些具体的实施例中,可以在载体基板500上直接进行蚀刻、掩膜板曝光以及剥离等图案化制程以在承载表面510上形成图案层。
优选地,步骤S60在柔性显示基板的第二表面形成的多个第二凸起结构与柔性显示基板的第一表面形成的多个第一凸起结构错位排列,从而柔性显示基板的第一表面和第二表面在弯曲时承受的应力能够分别被多个第一凸起结构和多个第二凸起结构分散,进一步提高了柔性显示基板的柔韧性。
相应的,本发明还提供一种显示面板的制造方法,所述显示面板的制造方法至少包括上述各实施例所述的柔性显示基板的制造方法之一;相应的,本发明还提供一种显示装置的制造方法,所述显示装置的制造方法包括上述显示面板的制造方法。
在本发明提供的上述各实施例中,通过对柔性显示基板的第一表面进行图案化,使得柔性显示基板的厚度不均一,从而能够在柔性显示基板被弯曲或被拉伸时分散应力,提高了柔性显示基板的柔韧性,即提高了柔性显示基板能够达到的最大曲率半径。应用了这种柔性显示基板的显示面板和显示装置不易因过度弯折或被长时间的弯折、拉伸而产生裂纹、显示黑斑等问题,因此能够适用于更多的应用场景。
在一些优选的实施例中,通过对载体基板进行图案化,能够让柔性显示基板的第二表面也被图案化,从而进一步提升了柔韧性;柔性显示基板中也可以包括隔离层,从而能够防止水汽、氧气等容易伤害器件和电路的物质通过柔性显示基板进入显示面板和显示装置内部,因此能够进一步保护显示面板和显示装置。
应当说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
依照本发明的实施例如上文所述,这些实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该发明仅为所述的具体实施例。显然,根据以上描述,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本发明的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本发明以及在本发明基础上的修改使用。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (12)
1.一种柔性显示基板,其特征在于,
所述柔性显示基板具有图案化的第一表面以及与所述第一表面相背的第二表面,所述柔性显示基板的第一表面用于形成器件,
所述柔性显示基板的第一表面具有排成阵列的多个第一凸起结构,每两个相邻的所述第一凸起结构之间具有间隙;
所述柔性显示基板的第二表面具有多个第二凸起结构,所述多个第二凸起结构与所述多个第一凸起结构错位排列;
各个所述第一凸起结构在所述柔性显示基板的第一表面上按照至少两个方向排列为阵列,以使各个所述间隙连通并形成至少两个方向上的凹槽,所述至少两个方向之间的较小夹角为锐角。
2.根据权利要求1所述的柔性显示基板,其特征在于,每个所述第一凸起结构的形状包括多棱柱形、圆柱形、梯台形、圆台形以及锥形之一。
3.根据权利要求1或2所述的柔性显示基板,其特征在于,所述柔性显示基板包括:
由柔性材料制成的第一柔性层和第二柔性层,所述第一柔性层用于提供所述柔性显示基板的第一表面,所述第二柔性层用于提供所述柔性显示基板的第二表面;以及
位于所述第一柔性层和所述第二柔性层之间的用于阻隔液体和气体的隔离层。
4.根据权利要求3所述的柔性显示基板,其特征在于,所述隔离层的材料包括金属氧化物、硅的氧化物、硅的氮化物中的一种或多种的混合物。
5.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括如权利要求1至4任一项所述的柔性显示基板。
6.一种显示装置,其特征在于,所述显示装置包括如权利要求5所述的显示面板。
7.一种柔性显示基板的制造方法,其特征在于,包括步骤:
提供载体基板;
在所述载体基板的承载表面上制备所述柔性显示基板,所述柔性显示基板具有相背的第一表面和第二表面,所述柔性显示基板的第二表面与所述载体基板的承载表面相对;
将所述柔性显示基板的第一表面图案化,使得所述柔性显示基板的第一表面具有多个第一凸起结构,每两个相邻的所述第一凸起结构之间存在间隙;以及
将所述柔性显示基板与所述载体基板分离;
所述制造方法还包括:
在所述载体基板的承载表面上制备所述柔性显示基板之前,在所述载体基板的承载表面上形成图案层,使得所述柔性显示基板的第二表面形成与所述图案层互补的多个第二凸起结构,所述多个第二凸起结构与所述多个第一凸起结构错位排列;
将所述柔性显示基板的第一表面图案化的步骤包括:
对所述柔性显示基板的第一表面进行至少一次压印制程,以形成所述多个第一凸起结构;
其中,所述至少一次压印制程包括步骤:
对所述柔性显示基板的第一表面进行第一次压印制程,以在所述柔性显示基板的第一表面形成多个沿第一方向延伸的第一凹槽;
对所述柔性显示基板的第一表面进行第二次压印制程,以在所述柔性显示基板的第一表面形成多个沿第二方向延伸的第二凹槽,
其中,所述多个第一凹槽和所述多个第二凹槽交叉互连以在所述柔性显示基板的第一表面上形成排列成阵列的所述多个第一凸起结构,所述第一方向与所述第二方向之间具有小于90度的夹角。
8.根据权利要求7所述的柔性显示基板的制造方法,其特征在于,在所述载体基板的承载表面上制备柔性显示基板的步骤包括:
在所述载体基板的承载表面上制备第一柔性层;
在所述第一柔性层上制备用于阻隔液体和气体的隔离层;以及
在所述隔离层上制备第二柔性层。
9.根据权利要求7所述的柔性显示基板的制造方法,其特征在于,所述载体基板的硬度大于所述柔性显示基板的硬度。
10.根据权利要求7所述的柔性显示基板的制造方法,其特征在于,所述柔性显示基板的第一表面用于形成器件。
11.一种显示面板的制造方法,其特征在于,包括如权利要求7至10任一项所述的柔性显示基板的制造方法。
12.一种显示装置的制造方法,其特征在于,包括如权利要求11所述的显示面板的制造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810176625.1A CN108461630B (zh) | 2018-03-03 | 2018-03-03 | 柔性显示基板、显示面板、显示装置及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810176625.1A CN108461630B (zh) | 2018-03-03 | 2018-03-03 | 柔性显示基板、显示面板、显示装置及其制造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108461630A CN108461630A (zh) | 2018-08-28 |
CN108461630B true CN108461630B (zh) | 2022-08-16 |
Family
ID=63217651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810176625.1A Active CN108461630B (zh) | 2018-03-03 | 2018-03-03 | 柔性显示基板、显示面板、显示装置及其制造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108461630B (zh) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109036141A (zh) | 2018-08-29 | 2018-12-18 | 武汉华星光电技术有限公司 | 柔性显示面板的弯折区构造 |
CN109411620B (zh) * | 2018-09-28 | 2020-12-04 | 霸州市云谷电子科技有限公司 | 一种显示装置、柔性oled显示面板及其制作方法 |
CN109461836A (zh) * | 2018-09-30 | 2019-03-12 | 云谷(固安)科技有限公司 | 柔性显示面板、显示装置及柔性显示面板的制备方法 |
CN109326712B (zh) * | 2018-10-23 | 2023-03-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性基板的制备方法、柔性基板和显示面板 |
CN109616024B (zh) * | 2018-10-31 | 2020-12-08 | 武汉华星光电技术有限公司 | 面光源及采用该面光源的显示装置 |
CN109560088B (zh) * | 2018-12-19 | 2021-06-22 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 柔性显示基板及其制作方法 |
CN109585461B (zh) * | 2018-12-29 | 2020-09-22 | 上海天马微电子有限公司 | 一种显示面板及显示装置 |
CN109697940A (zh) * | 2019-03-01 | 2019-04-30 | 华域视觉科技(上海)有限公司 | 柔性led显示屏及包含其的汽车 |
CN110085641A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-08-02 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示面板及显示装置 |
CN110570762A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-12-13 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种柔性显示面板 |
CN111129031A (zh) * | 2019-12-18 | 2020-05-08 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及其制备方法 |
CN112086571A (zh) * | 2020-09-09 | 2020-12-15 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 柔性显示模组 |
CN112086573A (zh) * | 2020-09-09 | 2020-12-15 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及其制备方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102136392B1 (ko) * | 2013-09-05 | 2020-07-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 표시장치 및 터치 스크린 패널의 제조 방법 |
KR102052686B1 (ko) * | 2013-09-30 | 2019-12-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법 |
CN203746831U (zh) * | 2014-03-03 | 2014-07-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示器 |
CN103887261B (zh) * | 2014-03-03 | 2016-08-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示器及其制备方法 |
CN104392901B (zh) * | 2014-10-28 | 2017-08-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性衬底基板及其制作方法 |
CN106340523B (zh) * | 2016-10-25 | 2019-08-06 | 厦门天马微电子有限公司 | 一种柔性显示面板及其制备方法、柔性显示装置 |
CN107068862B (zh) * | 2017-03-06 | 2020-06-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置、载体基板 |
CN107611162A (zh) * | 2017-09-13 | 2018-01-19 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 柔性oled显示面板及其制作方法 |
-
2018
- 2018-03-03 CN CN201810176625.1A patent/CN108461630B/zh active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN108461630A (zh) | 2018-08-28 |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |