CN108453777A - 物品保持装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种物品保持装置，与现有装置相比，该物品保持装置能够容易地增大吸附力，从而能够更可靠地保持布料等片状的物品。物品保持装置具有基部和流路。基部具有凹部，且基部在下表面具有能够保持片状的物品的保持部。流路设于基部，流路与设于保持部的孔相连通。孔具有第一孔和第二孔。第一孔设于保持部的、与水平部平行的规定方向上的一侧，第一孔向与规定方向正交的方向中的第一方向开口。第二孔设于保持部的规定方向上的另一侧，该第二孔与第一孔平行，且该第二孔向第一方向的反向即第二方向开口。流路具有第一流路和第二流路。凹部设于第一孔与第二孔之间，凹部与保持部的水平部相比向上方凹进。

Description

物品保持装置

技术领域

本发明涉及一种物品保持装置。

背景技术

以往，有一种装置，其通过非接触式吸附半导体晶圆等较薄的面状零件来保持该面状零件。日本特许公开2012年第40621号公报所述的装置具有基体。基体在下表面具有凹部，在凹部设有能够使流体(空气)排出的流体排出部。凹部的周围是非接触式吸附部。该装置使流体排出部排出的流体经过非接触式吸附部，在装置与物品之间产生负压，利用该负压非接触式吸附物品来保持该物品。现有装置中，从流体排出部排出的流体在引导体的引导下流向装置的外方，并经过非接触式吸附部。该装置在要对表面积大于半导体晶圆的表面积的布料等片状的物品进行保持时，需要增大吸附力。在该情况下，需要提高经过非接触式吸附部的空气的流量，或需要提高空气的压力，装置变得大型化。因此，对现有装置而言，存在难以增大吸附力的问题。

发明内容

本发明的目的是，提供一种物品保持装置，与现有装置相比，该物品保持装置能够容易地增大吸附力，从而能够更可靠地保持布料等片状的物品。

技术方案1的物品保持装置具有：基部，其在下表面具有能够保持片状的物品的保持部；及流路，其设于所述基部，该流路与设于所述保持部的孔相连通，通过使被供给到所述流路中的流体从所述孔排出，从而使所述保持部与所述物品之间产生负压，利用该负压吸附所述物品来保持所述物品，其中，所述保持部具有水平地延伸的水平部，所述孔具有：第一孔，其设于所述保持部的、与所述水平部平行的规定方向的一侧，该第一孔向与所述规定方向正交的方向中的一个方向即第一方向开口；及第二孔，其设于所述保持部的、所述规定方向的与所述一侧相反的另一侧，该第二孔与所述第一孔平行，且该第二孔向所述第一方向的反向即第二方向开口，所述流路具有：第一流路，其与所述第一孔相连通，该第一流路朝向所述第一孔去沿所述第一方向延伸；及第二流路，其与所述第二孔相连通，该第二流路朝向所述第二孔去沿所述第二方向延伸，所述基部具有凹部，该凹部设于所述第一孔与所述第二孔之间，该凹部与所述保持部的所述水平部相比向上方凹进。该物品保持装置通过向第一流路和第二流路供给流体，从而使流体从第一孔向第一方向排出，从第二孔向第二方向排出。由于第一孔和第二孔以使凹部位于第一孔和第二孔之间的方式向彼此相反的方向排出流体，因此，能够有效率地使保持部与物品之间的凹部处的空间呈负压，与不设凹部的装置相比，能够用较大的力将与保持部相对的物品向凹部侧吸引。因此，与现有装置相比，物品保持装置能够容易地提高吸附力，从而能够更可靠地通过吸附布料等片状的物品来保持该物品。

也可以是，技术方案2的物品保持装置的所述孔还具有：第三孔，其设于所述保持部的相对于所述凹部而言的所述规定方向的一侧；及第四孔，其设于所述保持部的相对于所述凹部而言的所述规定方向的另一侧，所述流路还具有：第三流路，其与所述第三孔和所述第一流路相连通；及第四流路，其与所述第四孔和所述第二流路相连通，从所述第三流路朝向所述第三孔的方向是所述第二方向，从所述第四流路朝向所述第四孔的方向是所述第一方向。该物品保持装置通过向第一流路～第四流路供给流体，从而，与仅向第一流路、第二流路供给流体的装置相比，能够更可靠地使保持部与物品之间的凹部处的空间呈负压，从而能够将与保持部相对的物品向凹部侧吸引。

也可以是，技术方案3的物品保持装置的所述基部在所述保持部具有：第一流路部，其设有所述第一孔、所述第三孔，该第一流路部突出到比所述凹部靠下方处；第二流路部，其相对于所述凹部而言位于与所述第一流路部所处那一侧相反的一侧，该第二流路部设有所述第二孔、所述第四孔，该第二流路部突出到比所述凹部靠下方处；第一倾斜部，其与所述第一流路部的上端、所述第二流路部的上端和所述凹部相连接，该第一倾斜部沿所述第一方向去向下方倾斜；及第二倾斜部，其与所述第一流路部的上端、所述第二流路部的上端和所述凹部相连接，该第二倾斜部沿所述第二方向去向下方倾斜。在该物品保持装置中，从第一孔、第四孔排出的流体沿着第一倾斜部移动，从第二孔、第三孔排出的流体沿着第二倾斜部移动。因此，该物品保持装置能够更可靠地使保持部与物品之间的凹部处的空间呈负压，从而能够将与保持部相对的物品向凹部侧吸引。

也可以是，技术方案4的物品保持装置中，从所述第一孔、所述第三孔到所述第一流路部的靠所述凹部侧的端部之间在所述规定方向上的距离和从所述第二孔、所述第四孔到所述第二流路部的靠所述凹部侧的端部之间在所述规定方向上的距离均小于所述凹部的规定方向长度的一半。为了有效率地使凹部呈负压，优选使流体从距凹部更近处排出。对物品保持装置而言，能够将第一孔、第三孔设置得较靠近凹部与第一流路部的交界，能够将第二孔、第四孔设置得较靠近凹部与第二流路部的交界。因此，物品保持装置能够有效率地使凹部呈负压。

附图说明

图1是输送系统1的立体图。

图2是输送系统1的主视图。

图3是物品保持装置23处于保持位置且载置台21上升时的、多关节机械臂装置3和物品供给装置4的左视图。

图4是物品保持装置23的立体图。

图5是物品保持装置23的立体图。

图6是物品保持装置23的仰视图。

图7是抑制构件52和抑制构件54处于突出位置时的、图4的A－A剖视图。

图8是抑制构件52和抑制构件54处于退避位置时的、图4的A－A剖视图。

图9是将图7中的抑制构件52附近部分放大后得到的图。

图10是表示物品保持装置23的电气结构的框图。

图11是物品保持处理的流程图。

图12是物品保持装置23从保持位置上升之后的、多关节机械臂装置3和物品供给装置4的左视图。

具体实施方式

参照附图，说明本发明的一实施方式。说明输送系统1的示意结构。下面的说明使用附图中用箭头表示的左右、前后、上下。

如图1和图2所示，输送系统1具有框体2、多关节机械臂装置(下面称为“臂装置”)3、物品供给装置4、物品供给装置5、工作台6和PC100(参照图10)。框体2是通过将铁或铝制的棒材组装成矩形来构成的。在框体2的外框的内侧配置有臂装置3、物品供给装置4、物品供给装置5和工作台6。臂装置3为工业用机械手，能够将物品供给装置4的物品保持装置23、物品供给装置5的物品保持装置23所保持的片状的物品9输送到规定的输送位置。本实施方式的输送位置是物品保持装置23处于工作台6的上部且其上下方向的位置比图2中的物品保持装置23的位置靠下方时物品保持装置23所在的位置。输送位置为缝制装置的机座部的上部等处，可以根据输送系统的结构适当地变更输送位置。本实施方式的物品9为角部带有圆角的呈梯形形状的布片。臂装置3同物品供给装置4和物品供给装置5一起将物品9输送到工作台6。臂装置3具有臂部11、臂部12、支承部13和基座部14。臂部11具有转动直线驱动装置(下面称为“驱动装置”)15。驱动装置15具有滚珠丝杠16、第一马达18和第二马达19。滚珠丝杠16沿上下方向延伸。滚珠丝杠16贯穿臂部11的一端部。驱动装置15能够在第一马达18的作用下使滚珠丝杠16绕其轴线转动。驱动装置15能够在第二马达19的作用下使滚珠丝杠16沿着其延伸方向移动。滚珠丝杠16绕其轴线转动是指以滚珠丝杠16的轴线为中心的顺时针方向转动或逆时针方向转动。臂部12沿前后方向延伸，在臂部12前端部以臂部11能够转动的方式支承该臂部11的另一端部。支承部13沿上下方向延伸，在支承部13的上端以臂部12能够转动的方式支承该臂部12的后端部。基座部14为水平地延伸的板状构件，且固定于框体2。基座部14与支承部13的下端相连结，从而固定臂装置3。臂装置3能够分别使臂部11和臂部12转动。

物品供给装置4和物品供给装置5具有相同的结构，因此，详细地对物品供给装置4进行说明，省略对物品供给装置5的说明。如图3所示，物品供给装置4具有物品供给机构24和物品保持装置23。物品保持装置23在物品供给装置4和物品供给装置5之间是共通的。物品供给机构24用于将片状的物品9供给到物品保持装置23。物品供给机构24固定在框体2的内侧(参照图1)。物品供给机构24具有载置台21、气缸22和轴25。载置台21具有能够装载多个物品9的面31。面31大致水平地延伸，俯视时呈大致矩形形状。面31的面积大于物品的面积。气缸22具有沿上下方向延伸的轴26，气缸22能够使载置台21向上方移动。气缸22是所谓的无杆气缸。气缸22具有活塞和主体部27。活塞设于轴26的内部，活塞具有磁体。主体部27设于轴26的外周，主体部27具有磁体。活塞的磁体隔着轴26与主体部27的磁体磁力结合。气缸22通过向轴26的内部供给空气使活塞移动，从而使主体部27沿着轴26移动。轴25与轴26平行地延伸。轴25贯穿于在载置台21的后端部设置的孔中。载置台21的后部与主体部27相连结。载置台21能够与主体部27一起沿着轴25移动。气缸22借助管与压缩机相连接。物品供给机构24的控制部通过对设于管的电磁阀进行控制，来控制气缸22的驱动。

物品保持装置23与臂装置3相连接。物品保持装置23固定在滚珠丝杠16的下端。物品保持装置23能够在与载置台21相对的保持位置对载置在载置台21上的物品9进行保持。保持位置为图3所示的情况下的物品保持装置23所在的位置。在物品保持装置23处于保持位置时，基部32处于载置台21的上方。在物品保持装置23处于保持位置时，基部32处于物品供给机构24的上方。

如图3～图10所示，物品保持装置23具有基部32、流路70～流路78、抑制构件52、抑制构件54和控制部80。如图6所示，基部32在仰视时呈角部带有圆角的矩形形状。将在基部32的左右方向中心沿前后方向延伸的假想线设为中心线M。基部32具有保持部33、装配部34、气缸35、气缸36和供给口37。保持部33是基部32的下表面，能够保持物品9。保持部33的外周部是水平地延伸的水平部331。流路70～流路78设于基部32，流路70～流路78与设于保持部33的孔61～孔68相连通。保持部33具有第一流路部41、凹部43、第二流路部42、第一倾斜部44和第二倾斜部45。水平部331将第一流路部41、凹部43、第二流路部42、第一倾斜部44和第二倾斜部45围起来。第一流路部41、凹部43和第二流路部42在仰视时呈在前后方向上较长的矩形形状。第一流路部41、凹部43和第二流路部42的左右方向长度相同，第一流路部41、凹部43和第二流路部42从前方向后方依次排列在基部32的中心线M上。第一流路部41和第二流路部42的前后方向长度相同，但大于凹部43的前后方向长度。第一流路部41设有孔61、孔63、孔65、孔66，第一流路部41突出到比凹部43靠下方处。孔61、孔63、孔65、孔66处于保持部33的规定方向一侧。本实施方式的规定方向是指前后方向，一侧是指前侧。规定方向与保持部33的水平部331平行。孔61、孔65设于第一流路部41的右表面，向右方开口，孔63、孔66设于第一流路部41的左表面，向左方开口。孔65在孔61的前方，孔66在孔63的前方，孔65和孔66相对配置。凹部43设于孔61与孔62之间，凹部43与保持部33的水平部331相比向上方凹进。凹部43与孔61～孔68相比向上方凹进。第二流路部42相对于凹部43而言位于与第一流路部41所处那一侧相反的一侧，第二流路部42设有孔62、孔64、孔67、孔68，第二流路部42突出到比凹部43靠下方处。孔62、孔64、孔67、孔68处于保持部33的规定方向上的与一侧相反的另一侧。本实施方式的另一侧是指后侧。孔64、孔67设于第二流路部42的右表面，向右方开口，孔62、孔68设于第二流路部42的左表面，向左方开口。孔61～孔68处于比凹部43的上端靠下方处。孔67在孔64的后方，孔68在孔62的后方，孔67和孔68相对配置。孔61、孔63、孔65、孔66的开口方向与孔62、孔64、孔67、孔68的开口方向平行。孔61～孔68的大小和上下方向位置均相同。孔61、孔64、孔65、孔67处于基部32的中心线M的右方(第一方向)。孔62、孔63、孔66、孔68处于中心线M的左方(第二方向)。在前后方向上，从孔61、孔63到第一流路部41的后端部之间的距离和从孔62、孔64到第二流路部42的前端部之间的距离均小于凹部43的长度的一半。第一倾斜部44设于第一流路部41、凹部43和第二流路部42的右方。第一倾斜部44与第一流路部41的上端、第二流路部42的上端和凹部43相连接，第一倾斜部44向右下方倾斜。第二倾斜部45设于第一流路部41、凹部43和第二流路部42的左方。第二倾斜部45与第一流路部41的上端、第二流路部42的上端和凹部43相连接，第二倾斜部45向左下方倾斜。第一倾斜部44和第二倾斜部45以使第一流路部41、凹部43和第二流路部42位于第一倾斜部44和第二倾斜部45之间的方式在左右方向上相对配置。物品保持装置23通过使被供给到流路70～流路78中的流体从孔61～孔68排出，从而在保持部33与物品9之间产生负压，利用该负压吸附物品9来保持该物品9。本实施方式的流体是空气。

流路70在抑制构件52与抑制构件54之间沿前后方向延伸。流路70被分支成沿左右方向延伸的流路71～流路78这八个流路。流路71与孔61相连通，流路71朝向孔61去向右方(第一方向)延伸。流路72与孔62相连通，流路72朝向孔62去向第一方向的反方向即左方(第二方向)延伸。流路73与孔63和流路71相连通。从流路73朝向孔63的方向是左方。流路74与孔64和流路72相连通。从流路74朝向孔64的方向是右方。流路75、流路77均向右方延伸，流路75与孔65相连通，流路77与孔67相连通。流路76、流路78均向左方延伸，流路76与孔66相连通，流路78与孔68相连通。

如图4、图7和图8所示，装配部34以能够被拆装的方式装配在臂装置3的滚珠丝杠16的下端。装配部34设在基部32的上表面的中央处。装配部34为俯视时呈圆形的筒状，装配部34中插有滚珠丝杠16的下端。

如图5～图8所示，抑制构件52、抑制构件54设于保持部33，抑制构件52、抑制构件54通过与保持部33所保持的物品9相接触，能够抑制物品9向沿着保持部33的方向移动。因此，抑制构件52、抑制构件54能够抑制物品9相对于保持部33的位置发生偏移。本实施方式的抑制构件52、抑制构件54是能从保持部33向下方突出的针。抑制构件52、抑制构件54与水平部331大致垂直地延伸。抑制构件52能够贯穿在保持部33设置的孔51，抑制构件54能够贯穿在保持部33设置的孔53。抑制构件52、抑制构件54以使孔61～孔68位于抑制构件52和抑制构件54之间的方式在与水平部331平行的方向(前后方向)上相对配置。气缸35能够使抑制构件52在突出位置与退避位置之间移动，突出位置是抑制构件52从保持部33的孔51向下方突出时所在的位置，退避位置是抑制构件52退到比保持部33靠上方处时所在的位置。气缸35具有活塞351和施力构件。在活塞351的下端固定抑制构件52。施力构件对活塞351向上方施力。气缸36能够使抑制构件54在突出位置与退避位置之间移动，突出位置是抑制构件54从保持部33的孔53向下方突出时所在的位置，退避位置是抑制构件54退到比保持部33靠上方处时所在的位置。气缸36具有活塞361和施力构件。在活塞361的下端固定抑制构件54。施力构件对活塞361向上方施力。图7表示的是抑制构件位于突出位置时的情况，图8表示的是抑制构件位于退避位置时的情况。气缸35能够使抑制构件52向与保持部33的水平部331垂直的方向(上下方向)移动，气缸36能够使抑制构件54向与保持部33的水平部331垂直的方向(上下方向)移动。如图9所示，处于突出位置时的抑制构件52、抑制构件54的自保持部33突出的突出量小于物品9的厚度。也可以是，与物品9的厚度相应地变更突出量。气缸35借助管95与压缩机相连接，气缸36借助管96与压缩机相连接。供给口37与流路70相连通，且供给口37借助管97与压缩机相连接。

控制部80能够控制气缸35、气缸36的驱动。在向流路70～流路78供给流体的期间里，控制部80使抑制构件52、抑制构件54向突出位置移动，在不向流路70～流路78供给流体的期间里，控制部80使抑制构件52、抑制构件54向退避位置移动。在控制部80不向气缸35、气缸36供给空气的期间里，抑制构件52、抑制构件54处于退避位置。在控制部80向气缸35、气缸36供给空气的期间里，抑制构件52、抑制构件54处于突出位置。

如图2所示，工作台6是配置在物品供给装置4和物品供给装置5的右方的呈长方体状的台。工作台6的上表面大致水平。工作台6的上表面所处的高度与物品供给装置4和物品供给装置5的上端所处的高度大致相同。PC100为公知的计算机，PC100与物品保持装置23、物品供给机构24和臂装置3电连接，PC100能够从各装置接收信号并能够向各装置发送信号。

参照图10，说明物品保持装置23的电气结构。物品保持装置23的控制部80具有CPU81、ROM82、RAM83、通信接口84和输入输出接口85。CPU81、ROM82、RAM83借助信号线87与输入输出接口85电连接。CPU81通过按照ROM82中存储的各种程序执行处理，来控制物品保持装置23。ROM82中存储有包含物品供给程序在内的各种程序、各种初始设定参数等。RAM83用于临时存储CPU81的运算结果、各种数据等。通信接口84与输入输出接口85电连接。通信接口84例如为串行通信用的接口。通信接口84与PC100的通信接口相连接。PC100的通信接口与臂装置3的控制部所具有的通信接口以及物品供给机构24的控制部所具有的通信接口相连接。物品保持装置23的控制部80也可以直接控制物品供给机构24。输入输出接口85与电磁阀91电连接。电磁阀91设于压缩机向气缸35、气缸36、供给口37供给空气用的空气供给路径。CPU81通过使电磁阀91开闭，来控制物品保持装置23的驱动和不驱动。

说明输送系统1所执行的处理的概要。输送系统1与臂装置3、物品供给装置4中的物品保持装置23和物品供给机构24、物品供给装置5中的物品保持装置23和物品供给机构24协同动作，将物品供给机构24载置在载置台21上的处于最上方的物品9输送到工作台6上的输送位置。臂装置3按照PC100的指示，控制物品保持装置23的上下方向位置和水平方向位置。物品保持装置23的控制部80控制气缸35、气缸36的驱动以及流体向流路70～流路78的供给。物品供给机构24按照PC100的指示，使载置台21向上方移动。

参照图11，说明物品保持装置23所执行的物品保持处理。当操作者通过PC100向控制部80输入开始指示时，CPU81从ROM82将物品供给程序读出到RAM83，并执行本处理。开始处理时，电磁阀91是关闭的。

CPU81对物品保持装置23是否处于保持位置进行判断(S1)。PC100根据从臂装置3获取的信号，向控制部80输入表示物品保持装置23是否处于保持位置的信号。CPU81根据从PC100获取的信号，对物品保持装置23是否处于保持位置进行判断。在CPU81判断为物品保持装置23不在保持位置时(S1：否)，CPU81使处理返回至S1。在CPU81判断为物品保持装置23处于保持位置时(S1：是)，CPU81对载置台21是否已上升进行判断(S2)。PC100根据从物品供给机构24获取的信号，向控制部80输入表示载置台21是否已上升的信号。CPU81根据从PC100获取的信号，对载置台21是否已上升进行判断。载置台21向上方移动，直到载置在载置台21上的处于最上方的物品9与物品保持装置23相抵接。在载置在载置台21上的处于最上方的物品9与物品保持装置23抵接时，载置台21从物品保持装置23受到朝向下方的力，并停止上升。在载置台21上升之前(S2：否)，CPU81使处理返回至S2。在载置台21上升之后(S2：是)，CPU81使电磁阀91打开(S3)。来自压缩机的空气经供给口37流向流路70。流入流路70的空气还流向流路71～流路78。保持部33的孔61～孔68，使在流路71～流路78中流动的空气沿着保持部33排出。空气沿着保持部33的第一倾斜部44、第二倾斜部45，在保持部33与处于最上方的物品9之间移动。从设于凹部43的前方的孔61、孔63、孔65、孔66排出的空气和从设于凹部43的后方的孔62、孔64、孔67、孔68排出的空气向远离中心线M(参照图6)的那侧流动。孔61、孔64、孔65、孔67和孔62、孔63、孔66、孔68以使中心线M位于孔61、孔64、孔65、孔67所在一侧与孔62、孔63、孔66、孔68所在一侧之间的方式配置。从孔61～孔68排出的空气容易与处于凹部43的空气一起流动。因此，凹部43容易变成负压。物品保持装置23利用在保持部33与载置在载置台21上的处于最上方的物品9之间产生的负压，吸附处于最上方的物品9来保持该物品9。气缸35、气缸36接受空气的供给，向下方移动。抑制构件52、抑制构件54向突出位置移动。针即抑制构件52、抑制构件54在物品9的长边方向(前后方向)端部附近刺入物品9，从而能够抑制物品9相对于保持部33的位置发生偏移。

CPU81根据来自PC100的信号，对载置台21的上升是否已停止进行判断(S5)。在载置台21的上升停止之前(S5：否)，CPU81使处理返回至S5。在载置台21的上升停止之后(S5：是)，CPU81对物品保持装置23的基部32是否处于输送位置进行判断。如图12所示，臂装置3按照PC100的指示，使物品保持装置23向上方移动，之后，使物品保持装置23向输送位置移动。物品保持装置23在从保持位置向输送位置移动的期间里，维持吸附着保持一个物品9的状态。PC100根据从臂装置3获取的信号，向控制部80输入表示物品保持装置23是否处于输送位置的信号。CPU81根据从PC100获取的信号，对物品保持装置23是否处于输送位置进行判断。在CPU81判断为物品保持装置23不在输送位置时(S6：否)，CPU81使处理返回至S6。在CPU81判断为物品保持装置23处于输送位置时(S6：是)，CPU81使电磁阀91关闭，停止从保持部33的孔61～孔68沿着保持部33排出空气，解除对物品9的吸附保持，将物品9载置在工作台6上(S7)。抑制构件52、抑制构件54向退避位置移动。

CPU81对是否结束物品保持处理进行判断(S8)。该判断例如是根据PC100向控制部80输入的信号来判断的。在CPU81判断为物品保持处理结束时(S8：是)，CPU81在此结束物品保持处理。在CPU81判断为物品保持处理未结束时(S8：否)，CPU81使处理返回至S1。

上述实施方式的物品保持装置23的基部32是本发明的基部的一例，上述实施方式的物品保持装置23的保持部33是本发明的保持部的一例，上述实施方式的物品保持装置23的水平部331是本发明的水平部的一例。流路70～流路78是本发明的流路的一例。孔61、孔65均是本发明的第一孔的一例。孔62、孔68均是本发明的第二孔的一例。孔63、孔66均是本发明的第三孔的一例。孔64、孔67均是本发明的第四孔的一例。流路71、流路75均是本发明的第一流路的一例。流路72、流路78均是本发明的第二流路的一例。流路73、流路76均是本发明的第三流路的一例，流路74、流路77均是本发明的第四流路的一例。第一流路部41是本发明的第一流路部的一例，凹部43是本发明的凹部的一例，第二流路部42是本发明的第二流路部的一例，第一倾斜部44是本发明的第一倾斜部的一例，第二倾斜部45是本发明的第二倾斜部的一例。

物品保持装置23具有：基部32，其在下表面具有能够保持片状的物品9的保持部33；及流路70～流路78，它们设于基部32，它们与设于保持部33的孔61～孔68相连通。物品保持装置23通过使被供给到流路70～流路78中的流体从孔61～孔68排出，从而使保持部33与物品9之间产生负压，利用该负压吸附物品9来保持该物品9。物品保持装置23具有孔61、孔62、孔65、孔68、流路71、流路72、流路75、流路78和凹部43。物品保持装置23通过向流路71、流路72、流路75、流路78供给流体，从而使流体从孔61、孔65向第一方向排出，从孔62、孔68向第二方向排出。因此，孔61、孔65和孔62、孔68以使凹部43位于孔61、孔65所在一侧和孔62、孔68所在一侧之间的方式向彼此相反的方向排出流体，因此，能够有效率地使保持部33与物品9之间的凹部43处的空间呈负压，与不设凹部43的装置相比，能够用较大的力将与保持部33相对的物品9向凹部43侧吸引。因此，与现有装置相比，物品保持装置23能够容易地提高吸附力，从而能够更可靠地吸附布料等片状的物品9来保持该物品9。

物品保持装置23具有孔63、孔64、孔66、孔67、流路73、流路74、流路76和流路77。物品保持装置23通过向流路71～流路78供给流体，从而，与仅向流路71、流路72、流路75、流路78供给流体的装置相比，能够更可靠地使保持部33与物品9之间的凹部43处的空间呈负压，从而能够将与保持部33相对的物品9向凹部43侧吸引。

物品保持装置23具有第一流路部41、第二流路部42、第一倾斜部44和第二倾斜部45。物品保持装置23中，从孔61、孔64、孔65、孔67排出的流体沿着第一倾斜部44移动，从孔62、孔63、孔66、孔68排出的流体沿着第二倾斜部45在保持部33与物品9之间移动。因此，与不具有第一倾斜部、第二倾斜部的装置相比，物品保持装置23能够容易地使流体流动，能够更可靠地使保持部33与物品9之间的凹部43处的空间呈负压，从而能够将与保持部33相对的物品9向凹部43侧吸引。

从孔61、孔63到第一流路部41的后端部之间的距离和从孔62、孔64到第二流路部42的前端部之间的距离均小于凹部43的长度的一半。对物品保持装置23而言，能够将孔61、孔63设置得较靠近凹部43与第一流路部41的交界，能够将孔62、孔64设置得较靠近凹部43与第二流路部42的交界。因此，物品保持装置23能够有效率地使凹部43呈负压。

本发明的物品保持装置23除了上述实施方式之外还能够进行各种变更。物品保持装置23无需设于输送系统1的物品供给装置4、物品供给装置5。也可以是，物品保持装置23不以能够被拆装的方式装配于臂装置3。在向臂装置3装配物品保持装置23时，可以适当地变更臂装置3的结构。也可以是，基部32的俯视时的形状不是矩形形状而是椭圆状等其他形状。

孔至少具有第一孔、第二孔，孔只要设为能够沿着保持部供给流体即可。可以适当地变更孔的数量、配置、大小、相对于流路的朝向等。也可以是，物品保持装置的孔仅是孔61、孔65中的至少任一者以及孔62、孔68中的至少任一者。为了有效率地使凹部43呈负压，优选使流体从距凹部43更近处排出。即，物品保持装置中，与将第一孔设置得距凹部43与第一流路部41的交界较远的情况相比，将物品保持装置的第一孔设置得较靠近该交界的话较佳。物品保持装置中，与将第二孔设置得距凹部43与第二流路部42的交界较远的情况相比，将第二孔设置得较靠近该交界的话较佳。例如，就物品保持装置的孔而言，与仅设置孔65、孔68相比，仅设置孔61、孔62的话较佳。物品保持装置的孔既可以仅是孔61、孔62、孔63和孔64，或也可以仅是孔65、孔66、孔67和孔68。可以与孔的数量、形状、大小、配置相应地适当地变更流路。物品保持装置的流路也可以仅是流路71、流路75中的至少任一者以及流路72、流路78中的至少任一者。也可以是，物品保持装置中，第一流路和第二流路的用于供给流体的供给口是不同的。物品保持装置的流路也可以仅是流路71、流路72、流路73和流路74。也可以是，物品保持装置23的保持部33不具有第一流路部41、第二流路部42、第一倾斜部44和第二倾斜部45全部，或不具有其中的一部分。可以适当地变更水平部331、第一流路部41、凹部43、第二流路部42、第一倾斜部44、第二倾斜部45的形状、大小、配置等。也可以是，凹部43向上方呈半球状凹进。

用于执行图11中的物品保持处理的物品保持程序在物品保持装置23执行程序之前存储在物品保持装置23所具有的存储设备中即可。可以适当地变更程序的获取方法、程序的获取路径、用于存储程序的设备各方面。也可以是，物品供给装置4借助线缆或无线通信从其他装置接收处理器要执行的程序，再将该程序存储至存储设备。其他装置例如包括PC、借助网络连接的服务器。物品保持装置23所具有的存储设备也可以是HDD、SSD等存储设备。

图11中的物品保持处理的各步骤不限于由CPU81执行的例子，也可以是，由其他电子设备(例如ASIC)执行其中一部分处理或全部处理。也可以是，上述处理的各步骤由多个电子设备(例如多个CPU)来进行分布式处理。能够根据需要对上述实施方式的物品保持处理的各步骤进行步骤顺序的变更、步骤的省略、步骤的追加。本发明还包含下述方式：根据来自物品保持装置23的处理器的指令，由在物品保持装置23中运行的操作系统(OS)等来进行实际处理中的一部分处理或全部处理，实现上述实施方式的功能。控制部80也可以控制物品供给机构24。

Claims (4)

1.一种物品保持装置，该物品保持装置(23)具有：

基部(32)，其在下表面具有能够保持片状的物品(9)的保持部(33)；及

流路(70～78)，其设于所述基部，该流路与设于所述保持部的孔(61～68)相连通，

通过使被供给到所述流路中的流体从所述孔排出，从而使所述保持部与所述物品之间产生负压，利用该负压吸附所述物品来保持所述物品，

该物品保持装置的特征在于，

所述保持部具有水平地延伸的水平部(331)，

所述孔具有：

第一孔(61、65)，其设于所述保持部的、与所述水平部平行的规定方向的一侧，该第一孔向与所述规定方向正交的方向中的一个方向即第一方向开口；及

第二孔(62、68)，其设于所述保持部的、所述规定方向的与所述一侧相反的另一侧，该第二孔与所述第一孔平行，且该第二孔向所述第一方向的反向即第二方向开口，

所述流路具有：

第一流路(71、75)，其与所述第一孔相连通，该第一流路朝向所述第一孔去沿所述第一方向延伸；及

第二流路(72、78)，其与所述第二孔相连通，该第二流路朝向所述第二孔去沿所述第二方向延伸，

所述基部具有凹部(43)，该凹部设于所述第一孔与所述第二孔之间，该凹部与所述保持部的所述水平部相比向上方凹进。

2.根据权利要求1所述的物品保持装置，其特征在于，

所述孔还具有：

第三孔(63、66)，其设于所述保持部的相对于所述凹部而言的所述规定方向的一侧；及

第四孔(64、67)，其设于所述保持部的相对于所述凹部而言的所述规定方向的另一侧，

所述流路还具有：

第三流路(73、76)，其与所述第三孔和所述第一流路相连通；及

第四流路(74、77)，其与所述第四孔和所述第二流路相连通，

从所述第三流路朝向所述第三孔的方向是所述第二方向，

从所述第四流路朝向所述第四孔的方向是所述第一方向。

3.根据权利要求2所述的物品保持装置，其特征在于，

所述保持部具有：

第一流路部(41)，其设有所述第一孔、所述第三孔，该第一流路部突出到比所述凹部靠下方处；

第二流路部(42)，其相对于所述凹部而言位于与所述第一流路部所处那一侧相反的一侧，该第二流路部设有所述第二孔、所述第四孔，该第二流路部突出到比所述凹部靠下方处；

第一倾斜部(44)，其与所述第一流路部的上端、所述第二流路部的上端和所述凹部相连接，该第一倾斜部沿所述第一方向去向下方倾斜；及

第二倾斜部(45)，其与所述第一流路部的上端、所述第二流路部的上端和所述凹部相连接，该第二倾斜部沿所述第二方向去向下方倾斜。

4.根据权利要求3所述的物品保持装置，其特征在于，

从所述第一孔、所述第三孔到所述第一流路部的靠所述凹部侧的端部之间在所述规定方向上的距离和从所述第二孔、所述第四孔到所述第二流路部的靠所述凹部侧的端部之间在所述规定方向上的距离均小于所述凹部的所述规定方向上的长度的一半。