CN108449949A - 微机械的转速传感器及其运行方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有：第一科里奥利元件（110）；第一驱动臂（113），所述第一驱动臂沿着第一科里奥利元件（110）布置并且通过第一弹簧（114）耦合到第一科里奥利元件（110）上；以及第一驱动电极载体（136、137），所述驱动电极载体从第一驱动臂（113）朝相对于第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于第一驱动臂（113）延伸的第一驱动电极（138、139）。从另一视角，提供了用于运行这样的微机械的转速传感器（100）的方法。

Description

微机械的转速传感器及其运行方法

技术领域

本发明涉及一种微机械的转速传感器，尤其是涉及一种具有振荡的科里奥利元件的转速传感器。从另一视角，本发明涉及一种用于运行这样的微机械的转速传感器的方法。

背景技术

一般公知的是具有科里奥利元件、也就是说具有振荡地被驱动的块的微机械的转速传感器，所述振荡地被驱动的块在转速传感器旋转时由于作用到所述块上的科里奥利力而受到偏转。这样，公知的微机械的转速传感器具有振荡体，所述振荡体在x-y平面内延伸并且被置于沿着在该平面内的空间轴（例如x轴）的线性振动中。在绕着垂直于该平面的转轴（z轴）旋转时，科里奥利力造成振荡体沿在该平面内垂直于振动轴（x轴）的方向（y轴）的移动。该移动可以借助于测量电极电容式地来探测和分析。

如在DE 10 2011 006 394 A1中公开的那样，这种转速传感器例如包括第一科里奥利元件和第二科里奥利元件以及耦合环节，所述耦合环节使第一科里奥利元件和第二科里奥利元件彼此机械地耦合成反平行的驱动模式。科里奥利元件被U形的、彼此耦合的驱动元件包围，所述驱动元件在分别朝向的侧面上冒出并且在支脚上具有向外伸出的能移动的电极，所述电极梳状地啮合在固定的电极中，所述固定的电极通过轴承块与衬底固定地连接。

对于很多应用来说值得期望的是减小转速传感器所需的结构空间。

发明内容

与此相应地，提供了微机械的转速传感器，所述微机械的转速传感器具有第一科里奥利元件、第一驱动臂-所述第一驱动臂沿着第一科里奥利元件布置并且通过第一弹簧耦合到第一科里奥利元件上-以及第一驱动电极载体，所述驱动电极载体从第一驱动臂朝相对于第一科里奥利元件相反的方向延伸并且承载多个平行于第一驱动臂延伸的第一驱动电极。平行于驱动臂延伸的驱动电极能够借助于例如梳状地啮合到第一驱动电极中的固定的电极来实现对驱动臂沿平行于驱动臂的方向的振荡驱动。

从另一视角，提供了用于运行这样的微机械的转速传感器的方法。

本发明的优点。

通过驱动电极载体从驱动臂朝相对于第一科里奥利元件相反的方向延伸，可以驱动科里奥利元件，而没有被承载驱动电极的驱动元件包围。因此，尤其是科里奥利元件的垂直于驱动臂延伸的侧面可以空着，这能够实现转速传感器沿平行于驱动臂的方向的特别紧凑的结构类型。此外，沿着驱动臂的远离第一科里奥利元件的一侧，由于在该侧上缺少科里奥利元件，可以设置更大数目的驱动电极载体，所述驱动电极载体的作用相加，使得每个单个的驱动电极载体只需要承载小数目的驱动电极并且只需要小的长度。因而，按照本发明的转速传感器能够实现也沿垂直于驱动臂的方向的紧凑的结构类型。

按照一个优选的扩展方案，微机械的转速传感器还包括：第二科里奥利元件，所述第二科里奥利元件在背离第一驱动臂的一侧布置在第一科里奥利元件旁边；以及耦合环节，所述耦合环节使第一科里奥利元件和第二科里奥利元件耦合成反平行的驱动模式。例如，在反平行的驱动模式下，第一和第二科里奥利元件沿平行于驱动臂的方向实施反平行的振荡运动。

优选地，耦合环节包括：摇臂，所述摇臂垂直于第一驱动臂在第一和第二科里奥利元件旁边延伸以及与第一和第二科里奥利元件分别通过耦合弹簧棒弹性地耦合；和摇动弹簧棒，摇动弹簧棒使摇臂和在第一与第二科里奥利元件之间的定位点弹性地连接。该实施方案能够实现：除了耦合成反平行的驱动模式之外，同时使科里奥利元件耦合成在转速传感器的主延伸平面内的反平行的探测模式以及进一步耦合成从主延伸平面出来的反平行的探测模式，在所述主延伸平面内布置有驱动臂和科里奥利元件。以这种方式，转速传感器在极其紧凑的结构类型的情况下可以探测针对绕着第一转轴和绕着第二转轴旋转的相应的转速，所述第一转轴垂直于主延伸平面延伸，所述第二转轴在主延伸平面内垂直于驱动臂延伸。

按照一个优选的扩展方案，第一驱动电极分别朝第一驱动臂的最近的端部的方向延伸。以这种方式，驱动臂在火车上运行时承受负载，这能够实现更高的机械稳定性。

按照一个优选的扩展方案，第一驱动臂与固定在相应的端部上的悬挂弹簧弹性地悬挂。以这种方式，这样造成驱动臂的机械悬挂并且还能够实现驱动臂在运行时实施特别均匀的、通过弹簧的弹簧常数确定的振荡运动。优选地，悬挂弹簧更近地固定在驱动臂上的与第一科里奥利元件相反侧上。驱动电极载体处在该侧，使得有利地在重心附近进行悬挂。

按照一个优选的扩展方案，还设置旋转振荡器以及第三弹簧，所述旋转振荡器在第一驱动臂的朝向第一科里奥利元件的一侧布置在第一和第二科里奥利元件旁边，所述第三弹簧使旋转振荡器弹性地耦合到第一驱动臂上。这能够实现借助于旋转振荡器探测还绕着另一转轴的旋转。因为旋转振荡器在驱动臂的朝向第一科里奥利元件的一侧布置在科里奥利元件旁边，所以驱动臂可以在整体上小的结构空间之内沿着不仅科里奥利元件而且旋转振荡器延伸地特别长地来构造，这使驱动运动进一步稳定。

按照一个优选的扩展方案，微机械的转速传感器还包括第二驱动臂，所述第二驱动臂平行于第一驱动臂沿着第二科里奥利元件的背离第一科里奥利元件的一侧布置并且通过第二弹簧耦合到第二科里奥利元件上。以这种方式，可以以特别均衡的方式从两侧进行驱动，而通过第一弹簧、第一科里奥利元件、耦合环节、第二科里奥利元件和第二弹簧也实现了驱动臂彼此间的使驱动稳定的机械耦合。优选地，还设置第二驱动电极载体，所述第二驱动电极载体从第二驱动臂朝相对于第一科里奥利元件相反的方向延伸并且承载多个平行于第二驱动臂延伸的第二驱动电极。因此，为了特别均衡的驱动，驱动臂可以对称地来实施，而保持转速传感器沿平行于驱动臂的方向的特别紧凑的结构类型。

附图说明

图1示出了按照本发明的一个实施方式的微机械的转速传感器的示意性俯视图，其中未示出固定部分。

图2示出了用于按照一个实施方式的微机械的转速传感器的运行方法的流程图。

只要没有明确地另外提及，附图中的相同的附图标记就涉及相同的或等效的元件。

具体实施方式

图1示出了按照本发明的一个示例性的实施方式的转速传感器100。图1是具有主延伸平面（x-y平面）的未进一步示出的衬底的俯视图，在所述主延伸平面内，在第一驱动臂113与第二驱动臂123之间布置有第一科里奥利元件110、第二科里奥利元件120和旋转振荡器140。如在图1的左上角以图形说明的那样，在图1中，x方向从上指向下，y方向从左指向右并且z方向从绘图平面出发指向观察者。

第一和第二科里奥利元件110、120被构造为相同形状和尺寸的矩形的、框架形的结构，所述结构以其长边平行于x方向来取向并且并排地布置，使得第一科里奥利元件110的长边和第二科里奥利元件120的长边通过间隙来间隔开地彼此对置，其中科里奥利元件110、120的短边成对地彼此对齐。科里奥利元件110、120的框架结构通过如下方式得到：这些科里奥利元件在彼此避开的长边附近分别具有栅形的重量减轻区域，在所述栅形的重量减轻区域中纵向地形成延伸的、只通过薄的隔片彼此分开的留空部。

在第一和第二科里奥利元件的彼此对齐的、相邻的短边的两对短边上，科里奥利元件110、120通过两个镜面对称的耦合环节101以能彼此移动的方式来耦合。每个耦合环节101都包括摇臂102，所述摇臂在第一和第二科里奥利元件110、120旁边平行于彼此对齐的短边延伸，其中摇臂102的每个端部都与短边的中间对置。在摇臂102的两端，耦合环节101分别具有耦合弹簧棒103，所述耦合弹簧棒使摇臂102的端部以最短的路程与相对应的科里奥利元件的对置的短边的中间弹性地连接。此外，耦合环节101包含摇动弹簧棒104，所述摇动弹簧棒从摇臂102的与科里奥利元件110、120之间的间隙对置的中间延伸直至在该间隙中的衬底定位点105，以便摇臂102与衬底弹性地连接。

因此，各个耦合环节101整体上具有“E”的造型，其中摇动弹簧棒104在当前的实施方式中比耦合弹簧棒103更长地来构造。例如，摇动弹簧棒104具有耦合弹簧棒103的两到三倍的长度。

相对于第一科里奥利元件110的远离第二科里奥利元件120地放置的长边，第一驱动臂113沿x方向延伸。科里奥利元件110在该长边上的两个角各以一个第一弹簧114弹性地耦合到驱动臂113上。驱动臂113本身在其各有一个悬挂弹簧130（所述悬挂弹簧分别更靠近第一驱动臂113的背离科里奥利元件110、120的一侧）的两端上在与衬底固定连接的衬底定位点上弹性地悬挂，使得该驱动臂能沿x方向振荡地移动。

在第一驱动臂113的背离科里奥利元件110、120的一侧上构造有多个第一驱动电极载体136、137，所述第一驱动电极载体从第一驱动臂113朝相对于科里奥利元件110、120相反侧的方向伸长并且基本上平行于y方向延伸。第一驱动电极载体136、137中的每个第一驱动电极载体都承载多个第一驱动电极138、139，所述多个第一驱动电极平行于x方向伸展。在当前的实施方式中应示例性地认为：驱动臂113包括驱动电极载体136、137和驱动电极138、139在内都具有沿z方向恒定的厚度，所述厚度大于驱动电极138、139沿y方向的宽度，而且例如可以等于驱动臂113沿y方向的宽度。借此，各个驱动电极138、139具有平行于x和z方向的平坦的伸展。

在当前的实施方式中，沿着第一驱动臂113设置有多个第一驱动电极载体136、137，其中驱动电极载体中的一半136朝向第一驱动臂113的端部分组地来布置并且驱动电极载体的另一半137朝向第一驱动臂113的另一端部分组地来布置。在这两个组之间，没有驱动电极载体的区段处在第一驱动臂113的中间。在两组驱动电极载体136、137上的相应的驱动电极138、139分别指向第一驱动臂113的最近的端部的一侧。

第二驱动臂123与第一驱动臂113镜面对称地相对于第二科里奥利元件120的远离第一科里奥利元件110地放置的长边延伸。科里奥利元件120在该长边上的两个角各以一个第二弹簧124弹性地耦合到第二驱动臂123上。在第二驱动臂123的背离科里奥利元件110、120的一侧上构造有多个第二驱动电极载体146、147，所述多个第二驱动电极载体从第二驱动臂123朝相对于科里奥利元件110、120相反的方向伸长。每个第二驱动电极载体146、147都承载多个第一驱动电极148、149。由于由第一驱动臂113、第一弹簧114和第一科里奥利元件110组成的装置与由第二驱动臂123、第二弹簧124和第二科里奥利元件120组成的装置的镜面对称，进一步详细地参阅了上面的关于第一驱动臂113的实施方案。

在当前的实施方式中，两个驱动臂113、123分别与科里奥利元件110、120的长边的一端齐平地对齐，而伸出超过另一端部，其中在科里奥利元件110、120旁边形成的在驱动臂113、123之间的另一空间内布置有旋转振荡器140。利用第三和第四弹簧144、145，旋转振荡器140耦合到第一或第二驱动臂113、123上。在当前的实施方式中，旋转振荡器140具有矩形的轮廓造型，所述矩形的轮廓造型的长边只比短边形成得稍长并且在形成间隙的情况下分别与驱动臂113、123平行延伸地与驱动臂对置。这能够实现转速传感器的特别紧凑的结构类型以及结构空间的充分利用。在可替换的实施方式中，旋转振荡器140例如可以正方形地、圆形地或椭圆地来构建。

在旋转振荡器140的处在旋转振荡器140的几何中心附近的轴位置处，形成旋转振荡轴承157，所述旋转振荡轴承以能振荡旋转的方式绕着沿z方向延伸经过穿过轴位置的衬底定位点155的旋转振荡轴来支撑旋转振荡器140。注意到：在可替换的实施方式中，轴位置也可以准确地处在旋转振荡器140的几何中心或者另一位置中，只要旋转振荡器140可以绕着延伸经过轴位置的旋转振荡轴实施振荡的旋转运动。优选地，旋转振荡器140的重心处在轴位置上。旋转振荡轴承157包括在旋转振荡器140中矩形的留空部（Aussparung），衬底定位点155处在所述留空部之内。两个隔片156从留空部的两个对置的边缘朝向衬底定位点155的方向延伸，其中在每个隔片156的远端与衬底定位点155之间分别留有间隔（Abstand）。

在留空部的留在隔片156两侧的区域内，旋转振荡轴承157分别具有支承环节151，所述支承环节使隔片156和衬底定位点155彼此连接。每个支承环节151都包括摇臂152，所述摇臂在隔片156和衬底定位点155旁边平行于彼此对齐的隔片156延伸，其中摇臂152的每个端部都与隔片156的端部对置。在摇臂152的两端，支承环节151分别具有支承弹簧棒153，所述支承弹簧棒使摇臂152的端部以最短的路程与所属的隔片156弹性地连接。此外，支承环节151包含摇动弹簧棒154，所述摇动弹簧棒从摇臂152的与衬底定位点155对置的中间延伸直至衬底定位点155，以便使摇臂152与衬底弹性地连接。因此，类似于耦合环节101、102地，各个支承环节151整体上都具有“E”的造型，其中摇动弹簧棒154和支承弹簧棒153在当前的实施方式中都构造得一样长。

在微机械的转速传感器100运行时，驱动电极138、139、148、149和所属的静止电极（未示出）（所述静止电极相对于衬底不能移动并且与驱动电极138、139、148、149分别啮合）协调地加载有不同的、随时间交替的电压，使得驱动臂113、123被置于反平行的驱动模式150下，在所述反平行的驱动模式下，所述驱动臂沿着x轴实施彼此间相位错开180°的振荡运动。

例如，在具有驱动电极138、139、148、149的驱动臂113保持在恒定的接地电位上期间，借助于电子控制设备（未示出），首先与指向科里奥利元件110、120的一侧（在图1中向上）的驱动电极138啮合在第一驱动臂113上的静止电极和与指向旋转振荡器140的相反侧（在图1中向下）的驱动电极149啮合在第二驱动臂123上的静止电极相对于地加载有电压，使得第一驱动臂113通过静电力朝在图1中指向上的方向加速，而第二驱动臂123通过静电力朝在图1中指向下的方向加速。紧接着，切断所施加的电压，对此，驱动臂113、123通过悬挂弹簧130的回复力减速并且重新朝初始位置的方向加速。

随后，与在图1中指向上的驱动电极148啮合在第二驱动臂123上的静止电极和与在图1中指向下的驱动电极139啮合在第一驱动臂113上的静止电极相对于地加载有电压，使得第一驱动臂113通过静电力朝在图1中指向下的方向加速，而第二驱动臂123通过静电力朝在图1中指向上的方向加速。紧接着，重新切断所施加的电压，对此，驱动臂113、123首先通过悬挂弹簧130的回复力减速并且接着朝初始位置的方向加速。

在这种情况下，上面的操控可以有利地随时间周期来重复，所述时间周期与反平行的振荡模式150的固有频率基本上一致，在所述反平行的振荡模式下，由第一驱动臂113、第一驱动电极载体136、137和第一驱动电极138、139组成的第一驱动块112和由第二驱动臂123、第二驱动电极载体146、147和第二驱动电极148、149组成的第二驱动块112沿着x轴反相地振荡。在该驱动模式150下，第一科里奥利元件110由于通过第一弹簧114的耦合而实施如下振荡运动，所述振荡运动与第一驱动块112相位错开恒定的角度（例如同相），而第二科里奥利元件由于通过第二弹簧124的耦合而实施如下振荡运动，所述振荡运动与第二驱动块112（例如在如在当前的实施方式中那样对称的构造和操控的情况下）同样相位错开恒定的角度。这意味着：第一科里奥利元件110和第二科里奥利元件120朝相对于驱动臂平行的方向实施反平行的振荡运动，所述反平行的振荡运动通过经由耦合环节101、102的机械耦合附加地予以稳定。

在上面的反平行的驱动模式150下，旋转振荡器140还由于通过第三和第四弹簧144、145的耦合而被置于绕着沿z方向延伸经过旋转振荡轴承157的衬底定位点155的轴的振荡的旋转运动中。通过一方面第三弹簧144、旋转振荡器140和第四弹簧154以及另一方面第一弹簧114、第一科里奥利元件110、耦合环节101、第二科里奥利元件120和第二弹簧124，在第一和第二驱动块112、122的振荡运动之间得到机械耦合，所述机械耦合使反平行的驱动模式150稳定。

如果转速传感器100在连续实施反平行的驱动模式150的情况下绕着x轴旋转，那么有如下转矩对旋转振荡器140起作用，所述转矩使旋转振荡器绕着经过第三和第四弹簧144以及支承环节151的摇动弹簧棒154的轴从主延伸平面中偏转。

如果转速传感器100绕着y轴旋转，那么有力对科里奥利元件110、120起作用，所述力使这些科里奥利元件朝彼此相反的方向从主延伸平面中偏转。在此，通过使耦合环节101的摇臂102绕着所属的摇动弹簧棒104倾斜，在两个科里奥利元件110、120的偏转之间进行稳定的机械耦合。

如果转速传感器100绕着z轴旋转，那么有力对科里奥利元件110、120起作用，所述力使这些科里奥利元件朝彼此相反的方向平行于y轴地偏转。在此，通过使耦合弹簧棒103弯曲，在两个科里奥利元件110、120的偏转之间进行稳定的机械耦合。对旋转振荡器和科里奥利元件110、120的偏转的探测可以在上面的情况下分别通过在适当地定位的测量电极（未示出）处的电容变化来进行。

图2示出了针对用于运行微机械的转速传感器、诸如上文描述的来自图1的转速传感器100的方法的流程图，所述微机械的转速传感器具有第一和第二科里奥利元件，所述第一和第二科里奥利元件并排地布置并且通过耦合环节耦合成反平行的驱动模式。

在步骤200至206中，借助于微机械过程来制造转速传感器。在步骤200中，设置第一驱动臂，所述第一驱动臂沿着第一科里奥利元件布置并且通过第一弹簧耦合到第一科里奥利元件上。在步骤202中，设置第一驱动电极载体，所述第一驱动电极载体从第一驱动臂朝相对于第一科里奥利元件相反的方向延伸并且承载多个平行于第一驱动臂延伸的第一驱动电极。在步骤204中，设置第二驱动臂，所述第二驱动臂平行于第一驱动臂沿着第二科里奥利元件的背离第一科里奥利元件的一侧布置并且通过第二弹簧耦合到第二科里奥利元件上。在步骤206中，设置第二驱动电极载体，所述第二驱动电极载体从第二驱动臂朝相对于第一科里奥利元件相反的方向延伸并且承载多个平行于第二驱动臂延伸的第二驱动电极。注意到：在图2中，步骤200至206虽然被示出为同时进行，但是在可替换的实施方式中，在适当的微机械或者其它制造方法的范围内，例如也可以一个接一个地执行。

在步骤208中，与第一驱动电极啮合的多个第一静止电极和与第二驱动电极啮合的多个第二静止电极通过加载一个电压或者多个电压协调地来操控，以便在反平行的驱动模式下驱动第一和第二科里奥利元件。

Claims (10)

1.微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有：

第一科里奥利元件（110）；

第一驱动臂（113），所述第一驱动臂沿着所述第一科里奥利元件（110）来布置并且通过第一弹簧（114）耦合到第一科里奥利元件（110）上；以及第一驱动电极载体（136、137），所述第一驱动电极载体从第一驱动臂（113）朝相对于所述第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于所述第一驱动臂（113）延伸的第一驱动电极（138、139）。

2.根据权利要求1所述的微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器还具有：第二科里奥利元件（120），所述第二科里奥利元件在背离所述第一驱动臂（113）的一侧布置在所述第一科里奥利元件（110）旁边；

和耦合环节（101），所述耦合环节使所述第一科里奥利元件（110）和所述第二科里奥利元件（120）耦合成反平行的驱动模式。

3.根据权利要求2所述的微机械的转速传感器（100），其中所述耦合环节（101）具有：

摇臂（102），所述摇臂垂直于所述第一驱动臂（113）在所述第一和第二科里奥利元件（110、120）旁边延伸以及与所述第一和第二科里奥利元件（110、120）分别通过耦合弹簧棒（103）弹性地耦合；

和摇动弹簧棒（104），所述摇动弹簧棒使所述摇臂（102）和在所述第一与第二科里奥利元件（110、120）之间的定位点（105）弹性地连接。

4.根据上述权利要求之一所述的微机械的转速传感器（100），其中多个第一驱动电极（138、139）朝所述第一驱动臂（113）的分别最近的端部的方向延伸。

5.根据上述权利要求之一所述的微机械的转速传感器（100），其中所述第一驱动臂（113）与固定在相应的端部上、尤其是在相对于所述第一科里奥利元件（120）相反侧上的悬挂弹簧（130）弹性地悬挂。

6.根据上述权利要求之一所述的微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器还具有：

旋转振荡器（140），所述旋转振荡器在所述第一驱动臂（113）的朝向所述第一科里奥利元件（110）的一侧布置在所述第一和第二科里奥利元件（110、120）旁边；以及

第三弹簧（144），所述第三弹簧使所述旋转振荡器（140）弹性地耦合到所述第一驱动臂（113）上。

7.根据上述权利要求之一所述的微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器还具有第二驱动臂（123），所述第二驱动臂平行于所述第一驱动臂（113）沿着所述第二科里奥利元件（120）的背离所述第一科里奥利元件（110）的一侧布置并且通过第二弹簧（124）耦合到所述第二科里奥利元件（120）上。

8.根据权利要求7所述的微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器还具有第二驱动电极载体（146、147），所述第二驱动电极载体从第二驱动臂（123）朝相对于所述第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于所述第二驱动臂（123）延伸的第二驱动电极（138、139）。

9.用于运行微机械的转速传感器（100）的方法，所述微机械的转速传感器具有第一和第二科里奥利元件（110、120），所述第一和第二科里奥利元件并排地布置并且通过耦合环节（101）耦合成反平行的驱动模式，所述方法具有如下步骤：

设置（200）第一驱动臂（113），所述第一驱动臂沿着第一科里奥利元件（110）来布置并且通过第一弹簧（114）耦合到所述第一科里奥利元件（110）上；

设置（202）第一驱动电极载体（136、137），所述第一驱动电极载体从所述第一驱动臂（113）朝相对于所述第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于所述第一驱动臂（113）延伸的第一驱动电极（138、139）；以及

操控（208）多个第一静止电极，所述多个第一静止电极与第一驱动电极啮合，以便在反平行的驱动模式下驱动所述第一和第二科里奥利元件（110、120）。

10.根据权利要求9所述的方法，所述方法还具有如下步骤：

设置（204）第二驱动臂（123），所述第二驱动臂平行于所述第一驱动臂（113）沿着所述第二科里奥利元件（120）的背离所述第一科里奥利元件（110）的一侧布置并且通过第二弹簧（124）耦合到所述第二科里奥利元件（120）上；以及

设置（206）第二驱动电极载体（146、147），所述第二驱动电极载体从所述第二驱动臂（123）朝相对于所述第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于所述第二驱动臂（123）延伸的第二驱动电极（148、149）；

其中操控（208）的步骤包括对多个第二静止电极的协调的操控，所述多个第二静止电极与所述第二驱动电极（138、139）啮合。