CN108422323A - 一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法。改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置包括：机台，具有报警系统，并针对各类异常输出报警信息；机台主系统，与机台电讯号连接，并接收来自报警系统的报警信息；报警恢复系统，与机台主系统电讯号连接，用以接收来自机台主系统所传输的报警信息，并对报警信息进行分类，进而根据所属分类发出报警操作指令，以反馈至机台主系统，最终通过机台进行指令操作。本发明对于机台可自动恢复的报警信息，促发所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置对腔体内的制品实现自动传送，输出机台，便最大可能的避免由于机台报警未及时有效处理造成产品报废的风险。

Description

一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法。

背景技术

众所周知地，铜研磨制程由于机台报警而造成的产品报废，已经占据铜研磨制程中整个制品报废的65％左右，其报废的主要原因是机台报警之后，而工程师没有在三分钟之内进行有效处理，进而造成整个腔体内的制品受到化学品腐蚀的时间过长，使铜线形成严重损伤，造成产品报废。

目前，铜研磨制程中对于处理铜研磨制程机台报警主要的处理方式仍然集中在人力的管控上，工程师必须值守在车间里以及强化处理流程等。但是，这种控制方式在量产产品的车间里虽然投入了较大的人力，但却无法取得良好的效果，还是需要从技术角度去避免人力的投入，同时实现高效的报警处理。

寻求一种可以对机台报警进行高效、及时处理的装置和方法已成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法。

发明内容

本发明是针对现有技术中，铜研磨制程中对于处理铜研磨制程机台报警主要的处理方式仍然集中在人力的管控上，工程师必须值守在车间里以及强化处理流程，虽然投入人力较大，但效果欠佳等缺陷提供一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置。

本发明之又一目的是针对现有技术中，铜研磨制程中对于处理铜研磨制程机台报警主要的处理方式仍然集中在人力的管控上，工程师必须值守在车间里以及强化处理流程，虽然投入人力较大，但效果欠佳等缺陷提供一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的方法。

为实现本发明之目的，本发明提供一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，包括：机台，具有报警系统，所述报警系统针对各类异常输出报警信息；机台主系统，与所述机台电讯号连接，并接收来自所述机台之报警系统的报警信息；以及报警恢复系统，与所述机台主系统电讯号连接，用以接收来自机台主系统所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类，进而根据所述报警信息之所属分类发出报警操作指令，以反馈至机台主系统，最终通过机台进行指令操作。

可选地，所述机台用以进行铜研磨制程。

可选地，所述机台之正常工艺状态发生异常时所述报警系统输出报警信息。

可选地，所述报警信息为：I类报警，所述I类报警之异常为机台之至少其中之一关键部件异常；II类报警，所述II类报警之异常为研磨液异常、制品消耗品到寿命需更换异常的至少其中之一；III类报警，所述III类报警之异常为清洗单元异常；IV类报警，所述IV类报警之异常为终点监测系统异常、研磨部件异常的至少其中之一。

可选地，所述关键部件为HCLU、干燥部件、电源的至少其中之一。

可选地，针对I类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台停止。

可选地，针对II类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台正常运转，机台之腔体内的制品正常完成，后续制品不连续进入机台。

可选地，针对III类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台正常运转，非关键异常腔体内的制品保持位置不变，后续制品跳过异常单元继续进行，但后续制品不连续进入机台。

可选地，针对IV类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台停止并促发自动恢复功能，自动回收制品到开始位置。

为实现本发明之又一目的，本发明提供一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置之方法，所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置之方法，包括：

执行步骤S1：所述机台之报警系统针对各类异常输出报警信息；

执行步骤S2：与所述机台电讯号连接的机台主系统接收来自所述机台之报警系统的报警信息，并将所述报警信息输出至报警恢复系统；

执行步骤S3：与所述机台主系统电讯号连接的报警恢复系统接收来自机台主系统所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类，进而根据所述报警信息之所属分类发出报警操作指令；

执行步骤S4：所述报警恢复系统发出的报警操作指令反馈至机台主系统，最终通过机台进行指令操作。

综上所述，所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置将机台之报警系统输出的报警信息通过机台主系统传输至报警恢复系统，所述报警恢复系统进而对报警信息分类，并根据报警类型发出不同报警操作指令，以通过机台进行指令操作，对于机台可自动恢复的报警信息，促发所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置对腔体内的制品实现自动传送，输出机台，便最大可能的避免了由于机台报警未及时有效处理造成产品报废的风险。

附图说明

图1所示为本发明改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置之框架结构示意图；

图2所示为本发明改善铜研磨机台报警造成制品报废之方法的流程图。

具体实施方式

为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。

众所周知地，铜研磨制程由于机台报警而造成的产品报废，已经占据铜研磨制程中整个制品报废的65％左右，其报废的主要原因是机台报警之后，而工程师没有在三分钟之内进行有效处理，进而造成整个腔体内的制品受到化学品腐蚀的时间过长，使铜线形成严重损伤，造成产品报废。

目前，铜研磨制程中对于处理铜研磨制程机台报警主要的处理方式仍然集中在人力的管控上，工程师必须值守在车间里以及强化处理流程等。但是，这种控制方式在量产产品的车间里虽然投入了较大的人力，但却无法取得良好的效果，还是需要从技术角度去避免人力的投入，同时实现高效的报警处理。

请参阅图1，图1所示为本发明改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置1之框架结构示意图。所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置1，包括机台11，所述机台11具有报警系统(未图示)，所述报警系统(未图示)便针对各类异常输出报警信息；机台主系统12，所述机台主系统12与所述机台11电讯号连接，并接收来自所述机台11之报警系统(未图示)的报警信息；报警恢复系统13，所述报警恢复系统13与所述机台主系统12电讯号连接，用以接收来自机台主系统12所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类，进而根据所述报警信息之所属分类发出报警操作指令，以反馈至机台主系统12，最终通过机台11进行指令操作。

作为本领域技术人员，容易知晓地，所述机台11用以进行铜研磨制程。所述机台11之报警系统(未图示)针对各类异常输出报警信息，即所述机台11之正常工艺状态发生异常时所述报警系统(未图示)输出报警信息。

所述报警恢复系统13与所述机台主系统12电讯号连接，用以接收来自机台主系统12所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类。为了便于所述分类后之报警信息反馈至所述机台主系统12，最终通过机台11进行指令操作，所述报警信息非限制性的列举为：I类报警，所述I类报警之异常为机台11之至少其中之一关键部件异常，所述关键部件包括但不限于HCLU、干燥部件、电源；II类报警，所述II类报警之异常包括但不限于研磨液异常、制品消耗品到寿命需更换的异常；III类报警，所述III类报警之异常包括但不限于清洗单元异常；IV类报警，所述IV类报警之异常包括但不限于终点监测系统异常以及研磨部件异常。

非限制性地，例如针对I类报警，所述报警恢复系统13发出的报警操作指令为机台11停止。针对II类报警，所述报警恢复系统13发出的报警操作指令为机台11正常运转，机台11之腔体内的制品正常完成，后续制品不连续进入机台11。针对III类报警，所述报警恢复系统13发出的报警操作指令为机台11正常运转，非关键异常腔体内的制品保持位置不变，后续制品跳过异常单元继续进行，但后续制品不连续进入机台11。针对IV类报警，所述报警恢复系统13发出的报警操作指令为机台11停止并促发自动恢复功能，自动回收制品到开始位置。

为了更直观的揭露本发明之技术方案，凸显本发明之有益效果，现结合具体实施方式为例，对所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法进行阐述。在具体实施方式中，所述报警信息的分类种类、异常类型、报警操作指令等仅为列举，不应视为对本发明技术方案的限制。

请参阅图2，并结合参阅图1，图2所示为本发明改善铜研磨机台报警造成制品报废之方法的流程图。所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的方法，包括：

执行步骤S1：所述机台11之报警系统(未图示)针对各类异常输出报警信息；

执行步骤S2：与所述机台11电讯号连接的机台主系统12接收来自所述机台11之报警系统(未图示)的报警信息，并将所述报警信息(未图示)输出至报警恢复系统13；

执行步骤S3：与所述机台主系统12电讯号连接的报警恢复系统13接收来自机台主系统12所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类，进而根据所述报警信息之所属分类发出报警操作指令；

执行步骤S4：所述报警恢复系统13发出的报警操作指令反馈至机台主系统12，最终通过机台11进行指令操作。

所述报警恢复系统13与所述机台主系统12电讯号连接，用以接收来自机台主系统12所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类。为了便于所述分类后之报警信息反馈至所述机台主系统12，最终通过机台11进行指令操作，所述报警信息非限制性的列举为：I类报警，所述I类报警之异常为机台11之至少其中之一关键部件异常，所述关键部件包括但不限于HCLU、干燥部件、电源；II类报警，所述II类报警之异常包括但不限于研磨液异常、制品消耗品到寿命需更换的异常；III类报警，所述III类报警之异常包括但不限于清洗单元异常；IV类报警，所述IV类报警之异常包括但不限于终点监测系统异常以及研磨部件异常。

非限制性地，例如针对I类报警，所述报警恢复系统13发出的报警操作指令为机台11停止。针对II类报警，所述报警恢复系统13发出的报警操作指令为机台11正常运转，机台11之腔体内的制品正常完成，后续制品不连续进入机台11。针对III类报警，所述报警恢复系统13发出的报警操作指令为机台11正常运转，非关键异常腔体内的制品保持位置不变，后续制品跳过异常单元继续进行，但后续制品不连续进入机台11。针对IV类报警，所述报警恢复系统13发出的报警操作指令为机台11停止并促发自动恢复功能，自动回收制品到开始位置。

显然地，所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置1将机台11之报警系统(未图示)输出的报警信息通过机台主系统12传输至报警恢复系统13，所述报警恢复系统13进而对报警信息分类，并根据报警类型发出不同报警操作指令，以通过机台11进行指令操作，对于机台11可自动恢复的报警信息，促发所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置1对腔体内的制品实现自动传送，输出机台11，便最大可能的避免了由于机台11报警未及时有效处理造成产品报废的风险。

综上所述，所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置将机台之报警系统输出的报警信息通过机台主系统传输至报警恢复系统，所述报警恢复系统进而对报警信息分类，并根据报警类型发出不同报警操作指令，以通过机台进行指令操作，对于机台可自动恢复的报警信息，促发所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置对腔体内的制品实现自动传送，输出机台，便最大可能的避免了由于机台报警未及时有效处理造成产品报废的风险。

本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以对本发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本发明涵盖这些修改和变型。

Claims (10)

1.一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，包括：

机台，具有报警系统，所述报警系统针对各类异常输出报警信息；

机台主系统，与所述机台电讯号连接，并接收来自所述机台之报警系统的报警信息；以及，

报警恢复系统，与所述机台主系统电讯号连接，用以接收来自机台主系统所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类，进而根据所述报警信息之所属分类发出报警操作指令，以反馈至机台主系统，最终通过机台进行指令操作。

2.如权利要求1所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，所述机台用以进行铜研磨制程。

3.如权利要求1所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，所述机台之正常工艺状态发生异常时所述报警系统输出报警信息。

4.如权利要求1所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，所述报警信息为：I类报警，所述I类报警之异常为机台的至少其中之一关键部件异常；II类报警，所述II类报警之异常为研磨液异常、制品消耗品到寿命需更换异常的至少其中之一；III类报警，所述III类报警之异常为清洗单元异常；IV类报警，所述IV类报警之异常为终点监测系统异常、研磨部件异常的至少其中之一。

5.如权利要求4所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，所述关键部件为HCLU、干燥部件、电源的至少其中之一。

6.如权利要求4所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，针对I类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台停止。

7.如权利要求4所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，针对II类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台正常运转，机台之腔体内的制品正常完成，后续制品不连续进入机台。

8.如权利要求4所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，针对III类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台正常运转，非关键异常腔体内的制品保持位置不变，后续制品跳过异常单元继续进行，但后续制品不连续进入机台。

9.如权利要求4所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，针对IV类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台停止并促发自动恢复功能，自动回收制品到开始位置。

10.一种如权利要求1所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置之方法，其特征在于，所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置之方法，包括：

执行步骤S1：所述机台之报警系统针对各类异常输出报警信息；

执行步骤S2：与所述机台电讯号连接的机台主系统接收来自所述机台之报警系统的报警信息，并将所述报警信息输出至报警恢复系统；

执行步骤S3：与所述机台主系统电讯号连接的报警恢复系统接收来自机台主系统所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类，进而根据所述报警信息之所属分类发出报警操作指令；

执行步骤S4：所述报警恢复系统发出的报警操作指令反馈至机台主系统，最终通过机台进行指令操作。