CN108339295A - 除泡装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种除泡装置及方法，属于胶状溶液处理领域。所述除泡装置包括真空容器、溶液导入部件和流液平台，所述流液平台设置在所述真空容器的腔体内，所述流液平台为伞状结构，所述伞状结构的伞边缘与所述真空容器的腔壁之间存在间隙；所述溶液导入部件用于将待除泡溶液从所述流液平台上方导入，使所述待除泡溶液从所述间隙流动至所述真空容器底部。本发明解决了相关技术中除泡的耗时较长，效率较低的问题，实现了缩短除泡时间，提高除泡效率的效果，用于对胶状溶液进行除泡。

Description

除泡装置及方法

技术领域

本发明涉及胶状溶液处理领域，特别涉及一种除泡装置及方法。

背景技术

在工业生产中，经常用到胶状溶液。由于胶状溶液的密度较大，流动性较差，所以胶状溶液中容易产生不易去除的气泡，这些气泡对后续的生产会造成不良影响。示例的，在制造柔性显示装置的柔性基板的过程中，柔性基板的重要组成部分之一是聚酰亚胺(英文：polyimides；简称：PI)膜，为了得到PI膜，需要通过涂布工艺将PI胶溶液涂覆至玻璃上，再对玻璃进行高温固化处理。但PI胶溶液常含有大量的气泡，为了保证PI膜的质量，避免不良PI膜对柔性基板造成影响，在将PI胶溶液涂覆至玻璃上之前，需要去除PI胶溶液中的气泡。

相关技术中为了去除胶状溶液中的气泡，通常将胶状溶液放置于真空腔体中，对胶状溶液进行搅拌。在搅拌的过程中，胶状溶液中的气泡自然上浮，随后破裂消失。

但采用上述方法去除气泡每次大约需要8个小时，耗时较长，效率较低。

发明内容

为了解决相关技术中除泡的耗时较长，效率较低的问题，本发明实施例提供了一种除泡装置及方法。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种除泡装置，所述除泡装置包括真空容器、溶液导入部件和流液平台，

所述流液平台设置在所述真空容器的腔体内，所述流液平台为伞状结构，所述伞状结构的伞边缘与所述真空容器的腔壁之间存在间隙；

所述溶液导入部件用于将待除泡溶液从所述流液平台上方导入，使所述待除泡溶液从所述间隙流动至所述真空容器底部。

可选的，所述溶液导入部件包括：溶液拉升组件和控制组件，所述溶液拉升组件设置在所述真空容器的腔体内，所述溶液拉升组件和所述控制组件连接，

所述流液平台设置有通孔，所述溶液拉升组件穿过所述通孔，所述溶液拉升组件在所述控制组件的控制下能够沿着所述通孔的高度方向移动，将所述真空容器底部的待除泡溶液拉升至所述流液平台上方。

可选的，所述溶液拉升组件包括：拉杆和位于所述拉杆一端的底板，所述拉杆在所述控制组件的控制下能够沿着所述通孔的高度方向下移，带动所述底板移动至所述真空容器底部的待除泡溶液中，在所述底板承接所述待除泡溶液后，所述拉杆在所述控制组件的控制下能够沿着所述通孔的高度方向上移，带动所述底板经过所述通孔移动至所述流液平台上方。

可选的，所述底板为板状结构，所述底板在经过所述通孔时，与所述通孔形成底部密封的柱形腔。

可选的，所述溶液拉升组件还包括：支撑板，所述拉杆共两个，

所述底板的两端的每一端与一个拉杆的一端活动连接，两个拉杆的另一端均与所述支撑板连接，所述控制组件与所述支撑板连接。

可选的，所述溶液拉升组件还包括：两个拉绳和第一驱动机构，所述两个拉绳包括第一拉绳和第二拉绳，

所述第一驱动机构设置在所述支撑板上，所述底板通过所述第一拉绳与所述支撑板连接，并通过所述第二拉绳与所述第一驱动机构连接，所述第二拉绳在所述第一驱动机构的驱动作用下控制所述底板的板面与所述通孔的高度方向垂直或平行。

可选的，所述底板的密度不均匀。

可选的，所述两个拉绳与所述底板的连接点的第一连线垂直于所述两个拉杆与所述底板的连接点的第二连线。

可选的，所述底板包括两个体积相等的第一子板和第二子板，所述第一子板的密度大于所述第二子板的密度，所述第一拉绳与所述第二子板连接，所述第二拉绳与所述第一子板连接。

可选的，所述控制组件包括第二驱动机构、导轨和丝杠，

所述导轨设置在所述腔体的顶部上，所述导轨的高度方向与所述通孔的高度方向平行；

所述第二驱动机构设置在所述导轨上；

所述丝杠分别与所述第二驱动机构和所述支撑板连接，所述第二驱动机构能够带动所述丝杠转动以使所述支撑板沿着所述通孔的高度方向移动。

可选的，所述控制组件还包括第一传感器，所述第一传感器设置在所述导轨上，

所述第一传感器用于在检测到所述底板的上表面边缘与所述通孔的顶端位于同一平面时，指示所述第一驱动机构转动，以使所述底板的板面与所述通孔的高度方向平行，并指示所述第二驱动机构带动所述丝杠转动，以使所述支撑板沿着所述通孔的高度方向下移。

和/或，所述控制组件还包括第二传感器，所述第二传感器设置在所述导轨上，

所述第二传感器用于在检测到与所述通孔的高度方向平行的底板的顶端离开所述通孔并移动至所述真空容器底部的待除泡溶液时，指示所述第一驱动机构转动，以使所述底板的板面与所述通孔的高度方向垂直，并指示所述第二驱动机构带动所述丝杠转动，以使所述支撑板沿着所述通孔的高度方向上移。

可选的，所述溶液导入部件还包括：设置在所述真空容器的腔体顶部的入料口。

可选的，所述流液平台的伞面包括第一曲面、第二曲面和两个平面，

所述第二曲面的两侧分别通过一个平面与所述第一曲面连接，所述第一曲面的伞边缘与所述腔壁之间的间隙小于所述第二曲面的伞边缘与所述腔壁之间的间隙；

所述入料口在所述真空容器底部上的投影位于所述第二曲面在所述真空容器底部上的投影内。

可选的，所述第一曲面在所述真空容器底部上的投影面积大于所述第二曲面在所述真空容器底部上的投影面积。

可选的，所述真空容器包括真空腔室、以及设置在所述真空腔室顶端的顶盖和设置在所述真空腔室底端的底座，所述真空腔室的内壁、所述顶盖的内壁和所述底座的内壁围成所述腔体。

可选的，所述底座朝向所述顶盖的一面为锥面，所述锥面的中心到所述顶盖的距离大于所述锥面的边缘到所述顶盖的距离。

可选的，所述除泡装置还包括溶液搅拌器和与所述溶液搅拌器电连接的第三驱动机构，

所述第三驱动机构设置在所述底座远离所述顶盖的一侧。

可选的，所述底座设置有空腔，所述底座内部设置有温度调节组件，所述底座内部的温度调节组件用于使所述底座上的待除泡溶液的温度保持为目标温度，

和/或，所述流液平台设置有空腔，所述流液平台内部设置有温度调节组件，所述流液平台内部的温度调节组件用于使流经所述流液平台的待除泡溶液的温度保持为目标温度。

可选的，所述除泡装置还包括支撑柱，支撑柱固定设置在所述流液平台与所述底座之间，用于支撑所述流液平台，

每个所述支撑柱为中空结构，用于容纳温度调节组件的连接线。

可选的，所述底座还设置有出料口，除泡后的溶液通过所述出料口流出。

可选的，所述顶盖设置有真空口和入气口，所述真空腔室通过所述真空口与外界真空泵连通，外部气体能够通过所述入气口进入所述真空腔室。

另一方面，提供了一种除泡方法，用于第一方面所述的除泡装置，所述方法包括：

采用溶液导入部件将待除泡溶液从流液平台上方导入，使所述待除泡溶液从所述流液平台与真空容器的腔壁之间的间隙流动至真空容器底部。

可选的，所述溶液导入部件包括：溶液拉升组件和控制组件，所述流液平台设置有通孔，

所述采用溶液导入部件将待除泡溶液从流液平台上方导入，包括：

采用所述控制组件控制所述溶液拉升组件沿着所述通孔的高度方向移动，将所述真空容器底部的待除泡溶液拉升至所述流液平台上方。

可选的，所述溶液导入部件还包括：设置在所述真空容器的腔体顶部的入料口，

所述采用溶液导入部件将待除泡溶液从流液平台上方导入，包括：

从所述入料口将所述待除泡溶液导入所述流液平台；

在所述待除泡溶液从所述流液平台与所述真空容器的腔壁之间的间隙流动至所述真空容器底部后，每隔预设时长执行一次再次导入过程，所述再次导入过程包括：

采用所述控制组件控制所述溶液拉升组件沿着所述通孔的高度方向移动，将所述真空容器底部的待除泡溶液拉升至所述流液平台上方，再次将所述待除泡溶液导入至所述流液平台，使所述待除泡溶液从所述间隙流动至所述真空容器底部。

可选的，在所述从所述入料口将所述待除泡溶液导入所述流液平台之后，所述方法还包括：

密封所述真空容器的腔体，并对所述真空容器的腔体进行抽真空。

可选的，在所述每隔预设时长执行一次再次导入过程之后，所述方法还包括：

向真空腔室内充入预设压强的气体；

将除泡后的溶液从所述真空容器的腔体中排出。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明实施例提供的除泡装置及方法，该除泡装置的溶液导入部件能够将待除泡溶液从流液平台上方导入，使待除泡溶液从流液平台与真空容器的间隙流动至真空容器底部。相较于相关技术，该除泡装置能够通过流液平台与真空容器的间隙对待除泡溶液除泡，缩短了除泡时间，提高了除泡效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1-1是本发明实施例提供的一种除泡装置的结构示意图；

图1-2是本发明实施例提供的另一种除泡装置的结构示意图；

图2-1是本发明实施例提供的又一种除泡装置的结构示意图；

图2-2是本发明实施例提供的一种流液平台的结构示意图；

图2-3是本发明实施例提供的一种溶液拉升组件的结构示意图；

图2-4是本发明实施例提供的一种底板的结构示意图；

图2-5是图2-4所示底板的俯视图；

图2-6是丝杠与溶液拉升组件的支撑板的连接示意图；

图2-7是图2-2所示流液平台的俯视图；

图2-8是本发明实施例提供的另一种流液平台的结构示意图；

图2-9是本发明实施例提供的一种底座的结构示意图；

图2-10是本发明实施例提供的一种真空容器的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的一种除泡方法的流程图；

图4-1是本发明实施例提供的另一种除泡方法的流程图；

图4-2是本发明实施例提供的将真空容器底部的待除泡溶液拉升至流液平台上方的流程图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

本发明实施例提供了一种除泡装置，参见图1-1，该除泡装置包括真空容器100、溶液导入部件200和流液平台300。

流液平台300设置在真空容器100的腔体内，流液平台300为伞状结构，伞状结构的伞边缘与真空容器100的腔壁之间存在间隙。

溶液导入部件200用于将待除泡溶液从流液平台300上方导入，使待除泡溶液从间隙(即伞状结构的流液平台的伞边缘与真空容器的腔壁之间的间隙)流动至真空容器100底部。

综上所述，本发明实施例提供的除泡装置，该除泡装置的溶液导入部件能够将待除泡溶液从流液平台上方导入，使待除泡溶液从流液平台与真空容器的间隙流动至真空容器底部。相较于相关技术，该除泡装置能够通过流液平台与真空容器的间隙对待除泡溶液除泡，缩短了除泡时间，提高了除泡效率。

需要说明的是，溶液导入部件可以如图1-1所示，设置在真空容器100的腔体内，也可以如图1-2所示，设置在真空容器100的腔体外，本发明实施例对溶液导入部件的位置不做限定。当溶液导入部件200设置在真空容器的腔体内时，待除泡溶液最初可以从真空容器的底部进入真空容器的腔体内，并位于真空容器底部，溶液导入部件能够将真空容器底部的待除泡溶液拉升至流液平台300上方；当溶液导入部件设置在真空容器的腔体外时，待除泡溶液最初可以从真空容器的底部进入真空容器的腔体内，并位于真空容器底部，溶液导入部件能够将真空容器底部的待除泡溶液引出，被引出的待除泡溶液再通过真空容器的顶部进入真空容器的腔体，且流经流液平台。此外，当溶液导入部件设置在真空容器的腔体外时，待除泡溶液最初也可以从真空容器的顶部进入真空容器的腔体，然后从流液平台与真空容器的间隙流动至真空容器底部，并由溶液导入部件将真空容器底部的待除泡溶液从流液平台上方导入。

本发明实施例提供了另一种除泡装置，参见图2-1，该除泡装置包括真空容器100、溶液导入部件、流液平台300和溶液搅拌器400。

流液平台300设置在真空容器100的腔体内，流液平台300为伞状结构，伞状结构的伞边缘与真空容器100的腔壁之间存在间隙。

溶液搅拌器400位于真空容器100的底部。

溶液导入部件用于将待除泡溶液从流液平台300上方导入，使待除泡溶液从间隙(即伞状结构的流液平台的伞边缘与真空容器的腔壁之间的间隙)流动至真空容器100底部，由溶液搅拌器400进行搅拌。溶液搅拌器搅拌待除泡溶液，能够减小气泡在除泡溶液内部的稳定性，促使气泡向上移动。

本发明实施例中的待除泡溶液为胶状溶液，示例的，可以为PI胶溶液。

可选的，如图2-1所示，溶液导入部件包括：溶液拉升组件210和控制组件220。溶液拉升组件210设置在真空容器100的腔体内，溶液拉升组件210和控制组件220连接。

如图2-2所示，流液平台300设置有通孔310。溶液拉升组件(图2-1中的210)穿过该通孔310。溶液拉升组件在控制组件(图2-1中的220)的控制下能够沿着该通孔310的高度方向(图2-2中u所指示的方向及u所指示的方向的反方向)移动，将真空容器(图2-1中的100)底部的待除泡溶液拉升至流液平台300上方。

可选的，如图2-3所示，溶液拉升组件210包括：拉杆211和位于拉杆211一端的底板212。拉杆211在控制组件(图2-1中的220)的控制下能够沿着通孔(图2-2中的310)的高度方向下移(即沿着图2-2中u所指示方向的反方向移动)，带动底板212移动至真空容器(图2-1中的100)底部的待除泡溶液中。在底板212承接待除泡溶液后，拉杆211在控制组件的控制下能够沿着通孔的高度方向上移(即沿着图2-2中u所指示的方向移动)，带动底板212经过通孔移动至流液平台(图2-1中的300)上方。拉杆和底板使得真空容器底部的待除泡溶液能够被拉升至流液平台上方。

如图2-3所示，底板212为板状结构，底板212在经过通孔时，与通孔形成底部密封的柱形腔。该底板与通孔相互配合来盛放拉升待除泡溶液，避免待除泡溶液发生遗漏现象。可选的，通孔可以是方形孔，也可以是圆形孔。当通孔是方形孔时，底板是方形底板；当通孔是圆形孔时，底板是圆形底板。通孔和底板的形状相匹配即可，本发明实施例对通孔和底板的具体形状不作限定。

为了使底板上的待除泡溶液更加快速地流向流液平台，底板的上表面(也即底板靠近真空容器的顶部的一面)可以为锥面。如图2-4所示，该锥面的中心到底板底端的距离a1大于该锥面的边缘到底板底端的距离a2。为了承接更多的待除泡溶液，该锥面的锥角大于预设值。

进一步的，如图2-3所示，溶液拉升组件210还包括：支撑板215，拉杆211共两个。

底板212的两端的每一端与一个拉杆211的一端活动连接。两个拉杆211的另一端均与支撑板215连接，控制组件(图2-1中的220)与支撑板215连接。

进一步的，如图2-3所示，溶液拉升组件210还包括：两个拉绳和第一驱动机构216，两个拉绳包括第一拉绳218和第二拉绳219。

第一驱动机构216设置在支撑板215上，底板212通过第一拉绳218与支撑板215连接，并通过第二拉绳219与第一驱动机构216连接。第二拉绳219在第一驱动机构216的驱动作用下控制底板212的板面与通孔的高度方向垂直或平行。

可选的，底板212的密度不均匀。在待除泡溶液中，该底板212的板面与通孔的高度方向平行。

为了更加平稳地将待除泡溶液拉升至流液平台上方，如图2-3所示，两个拉绳与底板212的连接点的第一连线n1垂直于两个拉杆211与底板212的连接点的第二连线n2。

示例的，如图2-5所示，底板212可以包括两个体积相等的第一子板2121和第二子板2122，且第一子板2121的密度大于第二子板2122的密度，第一拉绳218与第二子板2122连接，第二拉绳219与第一子板2121连接。第一子板2121和第二子板2122为一体件。

假设通孔是圆形孔，底板是圆形底板。当底板为圆形底板时，第一子板和第二子板均可以为半圆形，那么两个拉杆可以设置在半圆的直边的两端。由于第一子板和第二子板的体积相同，第一子板的密度大于第二子板的密度，所以第一子板的重量大于第二子板的重量。那么当第一子板不受第二拉绳的拉力时，底板会绕半圆的直边旋转90度，进而使第一子板位于第二子板的下方。

参见图2-3，当第一驱动机构216顺时针转动时，与第一子板(图2-5中的2121)连接的第二拉绳219的长度增大，第一子板不受第二拉绳219的拉力，底板212旋转90度，第一子板位于第二子板的下方，此时，底板的板面与通孔的高度方向平行，第一驱动机构216停止转动；当第一驱动机构216逆时针转动时，与第一子板连接的第二拉绳219被拉紧，第一子板受到第二拉绳219的拉力，底板212旋转-90度，第一子板与第二子板位于同一水平面，此时，底板的板面与通孔的高度方向垂直，第一驱动机构216停止转动。底板由第一拉绳218和第二拉绳219同时固定，能够平稳上移。示例的，第一驱动机构可以为电机。该电机的转动可以由脉冲信号控制，具体过程可以参考相关技术。

可选的，如图2-1所示，控制组件220包括第二驱动机构221、导轨222和丝杠223。

导轨222设置在真空容器100的腔体的顶部上。导轨222的高度方向(图2-1中v所指示的方向以及v所指示方向的反方向)与通孔的高度方向(图2-2中u所指示的方向以及u所指示方向的反方向)平行。

第二驱动机构221设置在导轨222上。示例的，第二驱动机构可以为电机。

丝杠223分别与第二驱动机构221和支撑板(图2-3中的215)连接，第二驱动机构221能够带动丝杠223转动以使支撑板沿着通孔的高度方向移动。

图2-6示出了丝杠223与溶液拉升组件的支撑板215的连接示意图，图2-6中，216为第一驱动机构，212为底板。

一方面，如图2-1所示，第二驱动机构221可以套接在导轨222上。当第二驱动机构221套接在导轨222上时，丝杠223在转动的过程中会对第二驱动机构221产生推力或拉力，使第二驱动机构221沿着导轨222移动。导轨用于给第二驱动机构提供导向。比如，丝杠顺时针转动时，对第二驱动机构产生拉力，使第二驱动机构在导轨上沿着导轨的高度方向下移(即沿着图2-1中v所指示方向的反方向移动)；丝杠逆时针转动时，对第二驱动机构产生推力，使第二驱动机构在导轨上沿着导轨的高度方向上移(即沿着图2-1中v所指示的方向移动)。通过沿导轨移动的第二驱动机构可以检测底板的移动位置，进而使第二驱动机构更好地控制溶液拉升组件。

为了使控制组件更好地控制溶液拉升组件下移，进一步的，如图2-1所示，控制组件220还可以包括第一传感器224。第一传感器224设置在导轨222上。

第一传感器224用于在检测到底板(图2-3中的212)的上表面边缘与通孔(图2-2中的310)的顶端位于同一平面时，指示第一驱动机构(图2-3中的216)转动，以使底板的板面与通孔的高度方向平行，并指示第二驱动机构221带动丝杠223转动，以使支撑板(图2-3中的215)沿着通孔的高度方向下移。如上所述，由于第二驱动机构221能够带动丝杠223转动，丝杠223转动使得支撑板沿着通孔的高度方向移动，而由于支撑板通过拉杆与底板连接，因此，当支撑板沿着通孔的高度方向下移时，底板也会沿着通孔的高度方向下移，同时丝杠223转动使得第二驱动机构221沿着导轨222移动，所以，第一传感器224可以设置在导轨222的第一位置，该第一位置为当底板的上表面边缘与通孔的顶端位于同一平面时，第二驱动机构221在导轨222上的位置。这样一来，当第二驱动机构221在丝杠223的推力作用下上移至该第一位置时，第一传感器224便能够确定当前底板的上表面边缘与通孔的顶端位于同一平面。此时，第一传感器224指示第一驱动机构(图2-3中的216)转动，使与第一子板(图2-5中的2121)连接的第二拉绳(图2-3中的219)的长度增大，第一子板不受第二拉绳219的拉力，底板(图2-3中的212)旋转90度，第一子板位于第二子板的下方，底板的板面与通孔的高度方向平行，然后第一驱动机构停止转动。第一传感器224指示第二驱动机构221带动丝杠223转动，使得支撑板(图2-3中的215)沿着通孔的高度方向下移，底板也沿着通孔的高度方向下移。底板竖直缓慢下降，移动至真空容器底部的待除泡溶液中。由于底板的第一子板的重量大于第二子板的重量，所以底板在待除泡溶液中，第一子板仍位于第二子板的下方，底板的板面与通孔的高度方向平行，便于底板承接真空容器底部的待除泡溶液。同时，在底板进入待除泡溶液时，在拉绳的作用下，由于底板的板面与通孔的高度方向平行，所以底板与待除泡溶液的接触面积较小，这样能够避免底板将空气再次带入待除泡溶液而产生新的气泡。

为了使控制组件更好地控制溶液拉升组件上移，进一步的，如图2-1所示，控制组件220还可以包括第二传感器225。第二传感器225设置在导轨222上。

第二传感器225用于在检测到与通孔(图2-2中的310)的高度方向平行的底板(图2-3中的212)的顶端离开通孔并移动至真空容器100底部的待除泡溶液时，指示第一驱动机构216转动，以使底板的板面与通孔的高度方向垂直，并指示第二驱动机构221带动丝杠223转动，以使支撑板(图2-3中的215)沿着通孔的高度方向上移。如上所述，当支撑板沿着通孔的高度方向上移时，底板也会沿着通孔的高度方向上移，同时丝杠223转动使得第二驱动机构221沿着导轨222移动，所以，第二传感器225可以设置在导轨222的第二位置，该第二位置为与通孔的高度方向平行的底板的顶端离开通孔并移动至真空容器底部的待除泡溶液时，第二驱动机构221在导轨222上的位置。这样一来，当第二驱动机构221在丝杠216的拉力作用下下移至该第二位置时，第二传感器225便能够确定与通孔的高度方向平行的底板的顶端离开通孔并移动至真空容器底部的待除泡溶液。此时，第二传感器225指示第一驱动机构(图2-3中的216)转动，使与第一子板(图2-5中的2121)连接的第二拉绳(图2-3中的219)被拉紧，第一子板受到第二拉绳219的拉力，底板(图2-3中的212)旋转-90度，第一子板与第二子板位于同一水平面，底板的板面与通孔的高度方向垂直，底板承接有待除泡溶液，然后第一驱动机构停止转动。第二传感器225指示第二驱动机构221带动丝杠223转动，使得支撑板(图2-3中的215)沿着通孔的高度方向上移，承接有待除泡溶液的底板也沿着通孔的高度方向平稳上移。

另一方面，第二驱动机构可以固定设置在导轨的顶端(即远离真空容器的一端)。丝杠上设置有限位板，该限位板同时套接在导轨上。该限位板能够随着丝杠的运动而沿着导轨移动。比如，丝杠顺时针转动时，限位板沿着导轨的高度方向下移；丝杠逆时针转动时，限位板沿着导轨的高度方向上移。相应的，第一传感器可以设置在当底板的上表面边缘与通孔的顶端位于同一平面时，该限位板在导轨上的位置。第二传感器可以设置在与通孔的高度方向平行的底板的顶端离开通孔并移动至真空容器底部的待除泡溶液时，该限位板在导轨上的位置。

如图2-1所示，溶液导入部件还包括：设置在真空容器100的腔体顶部的入料口230。通过该入料口230，可以将待除泡溶液从流液平台300上方导入。本发明实施例中，待除泡溶液最初也可以从该入料口进入真空容器的腔体，然后从流液平台与真空容器的间隙流动至真空容器底部，并由溶液导入部件将真空容器底部的待除泡溶液从流液平台上方导入。

可选的，如图2-2所示，流液平台300的伞面包括第一曲面320、第二曲面330和两个平面340(图2-2中仅示出了一个平面)。

第二曲面330的两侧分别通过一个平面340与第一曲面320连接，第一曲面320的伞边缘与真空容器(图2-1中的100)的腔壁之间的间隙小于第二曲面330的伞边缘与真空容器的腔壁之间的间隙。

入料口(图2-1中的230)在真空容器底部上的投影位于第二曲面330在真空容器底部上的投影内。待除泡溶液最初从入料口进入真空容器的腔体，可以直接从第二曲面伞边缘与真空容器的腔壁之间的间隙流动至真空容器底部，由溶液搅拌器进行搅拌。

为了控制待除泡溶液通过第二曲面的伞边缘与真空容器的腔壁之间的间隙的速度，如图2-2所示，第二曲面的倾斜度可以小于第一曲面的倾斜度。

图2-7示出了该流液平台300的俯视图，图2-7中的320为第一曲面，330为第二曲面，310为通孔。

该种结构的流液平台，便于待除泡溶液从流液平台与真空容器的间隙流动至真空容器底部。由于待除泡溶液最初从入料口进入真空容器的腔体的速度不易被控制，所以第二曲面的伞边缘与真空容器的腔壁之间的间隙可以较大，待除泡溶液从第二曲面与真空容器的间隙流过，可以实现待除泡溶液的粗略除泡，去除待除泡溶液中的较大气泡；而被拉升的待除泡溶液从第一曲面与真空容器的间隙流过，流液量可以由拉升速度控制，所以第一曲面的伞边缘与真空容器的腔壁之间的间隙可以较小，待除泡溶液从第一曲面与真空容器的间隙流过，待除泡溶液会以较薄的厚度均匀地沿着真空容器的腔壁滑落，进而实现待除泡溶液的精细除泡，去除待除泡溶液中的细小气泡。使用该除泡装置可以执行一次粗略除泡操作，执行多次精细除泡操作。待除泡溶液从流液平台与真空容器的间隙流动的过程中，待除泡溶液中的气泡暴漏在待除泡溶液之外而破裂。该除泡装置通过循环流液，达到快速除泡的目的。

为了对更多待除泡溶液进行精细除泡，第一曲面在真空容器底部上的投影面积可以大于第二曲面在真空容器底部上的投影面积。具体可以参考图2-7。

另外，流液平台300也可以如图2-8所示，流液平台300的伞面包括第一曲面320和第二曲面330。第一曲面320的伞边缘与真空容器的腔壁之间的间隙小于第二曲面330的伞边缘与真空容器的腔壁之间的间隙。第一曲面320和第二曲面330的倾斜度相同。图2-2所示的流液平台相较于图2-8所示的流液平台，控制待除泡溶液通过第二曲面的伞边缘与真空容器的腔壁之间的间隙的速度的效果更好。

可选的，如图2-1所示，真空容器100包括真空腔室110、以及设置在真空腔室110顶端的顶盖120和设置在真空腔室110底端的底座130。真空腔室110的内壁、顶盖120的内壁和底座130的内壁围成腔体。

为了更好地盛放待除泡溶液，便于底板有效承接真空容器底部的待除泡溶液，如图2-9所示，底座130朝向顶盖(图2-1中的120)的一面A为锥面。另外，该底座上的待除泡溶液也能够被溶液搅拌器充分搅拌。

如图2-10所示，底座130锥面的中心到顶盖120的距离d1大于该锥面的边缘到顶盖120的距离d2。

进一步，如图2-1所示，该除泡装置还可以包括第三驱动机构500。

第三驱动机构500与溶液搅拌器400电连接，第三驱动机构500设置在底座130远离顶盖120的一侧。通过该第三驱动机构可以控制溶液搅拌器对待除泡溶液进行搅拌。示例的，第三驱动机构可以为电机。

需要补充说明的是，待除泡溶液一般为有机溶液，而有机溶液通常都有对应的最高温度。当有机溶液的温度超过该最高温度时，有机溶液可能会发生变质现象。所以为了避免底座上的待除泡溶液发生变质现象，图2-1中的底座130可以设置有空腔，该底座130内部设置有温度调节组件(图2-1中未画出)，该温度调节组件用于使底座130上的待除泡溶液的温度保持为目标温度。该目标温度可以为使待除泡溶液的粘度最小的温度。待除泡溶液的粘度越大，越容易发生变质现象。

同样的，为了避免流经流液平台的待除泡溶液发生变质现象，图2-1中的流液平台300可以设置有空腔，该流液平台300内部设置有温度调节组件(图2-1中未画出)，该温度调节组件用于使流经流液平台300的待除泡溶液的温度保持为目标温度。该目标温度可以是使待除泡溶液的粘度最小的温度。

实际应用中，可以根据待除泡溶液的特性调节温度调节组件的温度，以对待除泡溶液进行恒温加热，进而促进气泡的去除。

示例的，底座和流液平台内部的温度调节组件可以包括加热丝和冷却水。其中，加热丝可以在待除泡溶液的温度较低的情况下，对待除泡溶液进行升温，冷却水可以在待除泡溶液的温度较高的情况下，对待除泡溶液进行降温。通过加热丝和冷却水，可以实现对待除泡溶液的温度的控制。

进一步的，如图2-1所示，该除泡装置还包括至少三个长度相等的支撑柱600。至少三个支撑柱600固定设置在流液平台300与底座130之间，用于支撑流液平台300。图2-1示例性地示出了三个支撑柱。可选的，每个支撑柱600为中空结构，用于容纳温度调节组件的连接线。示例的，当温度调节组件包括加热丝时，支撑柱可以容纳加热丝的连接线，当温度调节组件包括冷却水时，支撑柱可以传输冷却水。

进一步的，如图2-1所示，该除泡装置还包括至少三个长度相等的地脚700。至少三个地脚700设置在底座130远离顶盖120的一侧。地脚避免除泡装置除地脚之外的部件与地面直接接触，起到支撑其余部件的作用。图2-1示例性地示出了四个地脚。

可选的，如图2-9所示，底座130设置有开孔131，溶液搅拌器可以通过该开孔131与第三驱动机构(图2-1中的500)电连接。

进一步的，如图2-9所示，底座130还设置有出料口132，除泡后的溶液通过该出料口132流出。图2-9中的133为用于固定支撑柱(图2-1中的600)的柱孔。

如图2-10所示，顶盖120设置有真空口121和入气口122，真空腔室110通过真空口121与外界真空泵(图2-10未画出)连通，外部气体能够通过入气口122进入真空腔室110。

从入料口将待除泡溶液导入流液平台之后，通过真空口对真空容器的腔体进行抽真空，使腔体处于低压状态，便于除泡操作的快速进行；在除泡后通过入气口向真空腔体内充入预设压强的气体，使腔体内的压强高于外部压强，便于除泡后的溶液从腔体内流出。

如图2-10所示，顶盖120还设置有螺纹口123，该螺纹口123用于固定控制组件的丝杠(图2-1中的223)。

参见图2-1、图2-2、图2-3和图2-10，在使用本发明实施例提供的除泡装置进行除泡操作时，可以从入料口230将待除泡溶液导入流液平台300，封闭入料口230，密封真空容器100的腔体，并通过外界真空泵从真空口121对真空容器100的腔体进行抽真空，使腔体处于低压状态。待除泡溶液从流液平台300的第二曲面330的伞边缘与真空容器100的腔壁之间的间隙流动至真空容器100底部，实现粗略除泡操作。然后采用溶液搅拌器400对真空容器100底部的待除泡溶液进行搅拌，减小气泡在除泡溶液内部的稳定性，促使气泡向上移动。之后，每隔预设时长执行一次再次导入过程，该再次导入过程包括：

当第一传感器224检测到底板212的上表面边缘与通孔310的顶端位于同一平面时，指示第一驱动机构216转动，使底板212的板面与通孔310的高度方向平行。第一驱动机构216停止转动。第一传感器224指示第二驱动机构221带动丝杠223转动，使得支撑板215沿着通孔310的高度方向下移，支撑板215带动拉杆211下移，底板212也沿着通孔310的高度方向下移。底板212竖直缓慢下降，移动至真空容器100底部的待除泡溶液中。

当第二传感器225检测到与通孔310的高度方向平行的底板212的顶端离开通孔310并移动至真空容器100底部的待除泡溶液时，指示第一驱动机构216转动，使底板212的板面与通孔310的高度方向垂直，底板212承接有待除泡溶液，第一驱动机构216停止转动。第二传感器225指示第二驱动机构221带动丝杠223转动，使得支撑板215沿着通孔的高度方向上移，支撑板215带动拉杆211上移，承接有待除泡溶液的底板215也沿着通孔310的高度方向平稳上移，底板215经过通孔310移动至流液平台300上方。这样一来，待除泡溶液再次被导入至流液平台300，使待除泡溶液能够从第一曲面320的伞边缘与真空容器100的腔壁之间的间隙流动至真空容器100底部，实现精细除泡操作。待除泡溶液每次流动至真空容器100底部时，溶液搅拌器400都能够对待除泡溶液进行搅拌。

执行完整个除泡操作后，通过顶盖上的入气口向真空腔室内充入预设压强的气体，再通过底座上的出料口，将除泡后的溶液从真空容器的腔体中排出。

本发明实施例提供的除泡装置将抽真空、搅拌、循环流液和加热等结合起来进行除泡操作，达到了快速消除气泡的目的。

综上所述，本发明实施例提供的除泡装置，该除泡装置的溶液导入部件能够将待除泡溶液从流液平台上方导入，使待除泡溶液从流液平台与真空容器的间隙流动至真空容器底部，由溶液搅拌器进行搅拌。相较于相关技术，该除泡装置不仅能够对待除泡溶液进行搅拌除泡，还能够通过流液平台与真空容器的间隙对待除泡溶液除泡，且能够对待除泡溶液的温度进行控制，缩短了除泡时间，提高了除泡效率。

本发明实施例还提供了一种除泡方法，用于上述除泡装置，如图3所示，该方法包括：

步骤1501、采用溶液导入部件将待除泡溶液从流液平台上方导入，使待除泡溶液从流液平台与真空容器的腔壁之间的间隙流动至真空容器底部。

综上所述，本发明实施例提供的除泡方法，能够采用溶液导入部件将待除泡溶液从流液平台上方导入，使待除泡溶液从流液平台与真空容器的间隙流动至真空容器底部。相较于相关技术，能够通过流液平台与真空容器的间隙对待除泡溶液除泡，缩短了除泡时间，提高了除泡效率。

可选的，溶液导入部件包括：溶液拉升组件和控制组件，流液平台设置有通孔，相应的，步骤1501可以包括：

采用控制组件控制溶液拉升组件沿着通孔的高度方向移动，将真空容器底部的待除泡溶液拉升至流液平台上方。

本发明实施例还提供了一种除泡方法，用于图2-1所示的除泡装置，如图4-1所示，该方法包括：

步骤1601、从入料口将待除泡溶液导入流液平台。

如图2-1所示，溶液导入部件还包括：设置在真空容器100的腔体顶部的入料口230。从该入料口230将待除泡溶液导入流液平台300，使待除泡溶液从流液平台300与真空容器100的腔壁之间的间隙流动至真空容器100底部。之后，采用溶液搅拌器400对真空容器100底部的待除泡溶液进行搅拌，减小气泡在除泡溶液内部的稳定性，促使气泡向上移动。

步骤1602、密封真空容器的腔体，并对真空容器的腔体进行抽真空。

如图2-1所示，真空容器100包括真空腔室110、以及设置在真空腔室110顶端的顶盖120和设置在真空腔室110底端的底座130，真空腔室110的内壁、顶盖120的内壁和底座130的内壁围成腔体。

如图2-10所示，顶盖120还设置有真空口121。

具体的，通过顶盖上的真空口对真空容器的腔体进行抽真空。

步骤1603、在待除泡溶液从流液平台与真空容器的腔壁之间的间隙流动至真空容器底部后，每隔预设时长执行一次再次导入过程。

该再次导入过程包括：

采用控制组件控制溶液拉升组件沿着通孔的高度方向移动，将真空容器底部的待除泡溶液拉升至流液平台上方，再次将待除泡溶液导入至流液平台，使待除泡溶液从间隙流动至真空容器底部。待除泡溶液每次流动至真空容器底部时，溶液搅拌器都能够对待除泡溶液进行搅拌。

可选的，如图2-3所示，溶液拉升组件210包括：拉杆211和位于拉杆211一端的底板212。相应的，如图4-2所示，采用控制组件控制溶液拉升组件沿着通孔的高度方向移动，将真空容器底部的待除泡溶液拉升至流液平台上方，包括：

步骤16031、采用控制组件控制拉杆沿着通孔的高度方向下移，带动底板移动至真空容器底部的待除泡溶液中。

参见图2-1和图2-3，采用控制组件220控制拉杆211沿着通孔的高度方向下移，带动底板212移动至真空容器100底部的待除泡溶液中。

步骤16032、在底板承接待除泡溶液后，采用控制组件控制拉杆沿着通孔的高度方向上移，带动底板经过通孔移动至流液平台上方。

参见图2-1和图2-3，在底板212承接待除泡溶液后，采用控制组件220控制拉杆211沿着通孔的高度方向上移，带动底板212经过通孔移动至流液平台300上方。

可选的，如图2-3所示，溶液拉升组件还包括两个拉绳、支撑板215和第一驱动机构216。

如图2-1所示，控制组件220包括第二驱动机构221、导轨222和丝杠223。导轨222上设置有第一传感器224和第二传感器225。步骤16031具体包括：

当第一传感器224检测到底板(图2-3中的212)的上表面边缘与通孔(图2-2中的310)的顶端位于同一平面时，指示第一驱动机构(图2-3中的216)转动，以使底板的板面与通孔的高度方向平行，并指示第二驱动机构221带动丝杠223转动，以使支撑板(图2-3中的215)沿着通孔的高度方向下移。

步骤16032具体包括：

当第二传感器225检测到与通孔的高度方向平行的底板的顶端离开通孔并移动至真空容器100底部的待除泡溶液时，指示第一驱动机构转动，以使底板的板面与通孔的高度方向垂直，并指示第二驱动机构221带动丝杠223转动，以使支撑板沿着通孔的高度方向上移。

步骤1604、向真空腔室内充入预设压强的气体。

如图2-10所示，顶盖120还设置有入气口122，可以通过顶盖120上的入气口122向真空腔室内充入预设压强的气体。

步骤1605、将除泡后的溶液从真空容器的腔体中排出。

如图2-9所示，底座130设置有出料口132，可以通过底座130上的出料口132将除泡后的溶液从真空容器的腔体中排出。

综上所述，本发明实施例提供的除泡方法，能够采用溶液导入部件将待除泡溶液从流液平台上方导入，使待除泡溶液从流液平台与真空容器的间隙流动至真空容器底部，由溶液搅拌器进行搅拌。相较于相关技术，不仅能够对待除泡溶液进行搅拌除泡，还能够通过流液平台与真空容器的间隙对待除泡溶液除泡，通过循环流液完成粗略除泡和精细除泡过程，缩短了除泡时间，提高了除泡效率。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的方法的具体步骤，可以参考前述装置实施例中的对应过程，在此不再赘述。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分步骤可以通过硬件来完成，也可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (26)

1.一种除泡装置，其特征在于，所述除泡装置包括真空容器、溶液导入部件和流液平台，

所述流液平台设置在所述真空容器的腔体内，所述流液平台为伞状结构，所述伞状结构的伞边缘与所述真空容器的腔壁之间存在间隙；

所述溶液导入部件用于将待除泡溶液从所述流液平台上方导入，使所述待除泡溶液从所述间隙流动至所述真空容器底部。

2.根据权利要求1所述的除泡装置，其特征在于，

所述溶液导入部件包括：溶液拉升组件和控制组件，所述溶液拉升组件设置在所述真空容器的腔体内，所述溶液拉升组件和所述控制组件连接，

所述流液平台设置有通孔，所述溶液拉升组件穿过所述通孔，所述溶液拉升组件在所述控制组件的控制下能够沿着所述通孔的高度方向移动，将所述真空容器底部的待除泡溶液拉升至所述流液平台上方。

3.根据权利要求2所述的除泡装置，其特征在于，

所述溶液拉升组件包括：拉杆和位于所述拉杆一端的底板，所述拉杆在所述控制组件的控制下能够沿着所述通孔的高度方向下移，带动所述底板移动至所述真空容器底部的待除泡溶液中，在所述底板承接所述待除泡溶液后，所述拉杆在所述控制组件的控制下能够沿着所述通孔的高度方向上移，带动所述底板经过所述通孔移动至所述流液平台上方。

4.根据权利要求3所述的除泡装置，其特征在于，所述底板为板状结构，所述底板在经过所述通孔时，与所述通孔形成底部密封的柱形腔。

5.根据权利要求3所述的除泡装置，其特征在于，所述溶液拉升组件还包括：支撑板，所述拉杆共两个，

所述底板的两端的每一端与一个拉杆的一端活动连接，两个拉杆的另一端均与所述支撑板连接，所述控制组件与所述支撑板连接。

6.根据权利要求5所述的除泡装置，其特征在于，所述溶液拉升组件还包括：两个拉绳和第一驱动机构，所述两个拉绳包括第一拉绳和第二拉绳，

所述第一驱动机构设置在所述支撑板上，所述底板通过所述第一拉绳与所述支撑板连接，并通过所述第二拉绳与所述第一驱动机构连接，所述第二拉绳在所述第一驱动机构的驱动作用下控制所述底板的板面与所述通孔的高度方向垂直或平行。

7.根据权利要求6所述的除泡装置，其特征在于，

所述底板的密度不均匀。

8.根据权利要求6所述的除泡装置，其特征在于，

所述两个拉绳与所述底板的连接点的第一连线垂直于所述两个拉杆与所述底板的连接点的第二连线。

9.根据权利要求7所述的除泡装置，其特征在于，

所述底板包括两个体积相等的第一子板和第二子板，所述第一子板的密度大于所述第二子板的密度，所述第一拉绳与所述第二子板连接，所述第二拉绳与所述第一子板连接。

10.根据权利要求6所述的除泡装置，其特征在于，所述控制组件包括第二驱动机构、导轨和丝杠，

所述导轨设置在所述腔体的顶部上，所述导轨的高度方向与所述通孔的高度方向平行；

所述第二驱动机构设置在所述导轨上；

所述丝杠分别与所述第二驱动机构和所述支撑板连接，所述第二驱动机构能够带动所述丝杠转动以使所述支撑板沿着所述通孔的高度方向移动。

11.根据权利要求10所述的除泡装置，其特征在于，所述控制组件还包括第一传感器，所述第一传感器设置在所述导轨上，

所述第一传感器用于在检测到所述底板的上表面边缘与所述通孔的顶端位于同一平面时，指示所述第一驱动机构转动，以使所述底板的板面与所述通孔的高度方向平行，并指示所述第二驱动机构带动所述丝杠转动，以使所述支撑板沿着所述通孔的高度方向下移；

和/或，所述控制组件还包括第二传感器，所述第二传感器设置在所述导轨上，

所述第二传感器用于在检测到与所述通孔的高度方向平行的底板的顶端离开所述通孔并移动至所述真空容器底部的待除泡溶液时，指示所述第一驱动机构转动，以使所述底板的板面与所述通孔的高度方向垂直，并指示所述第二驱动机构带动所述丝杠转动，以使所述支撑板沿着所述通孔的高度方向上移。

12.根据权利要求1所述的除泡装置，其特征在于，

所述溶液导入部件还包括：设置在所述真空容器的腔体顶部的入料口。

13.根据权利要求12所述的除泡装置，其特征在于，所述流液平台的伞面包括第一曲面、第二曲面和两个平面，

所述第二曲面的两侧分别通过一个平面与所述第一曲面连接，所述第一曲面的伞边缘与所述腔壁之间的间隙小于所述第二曲面的伞边缘与所述腔壁之间的间隙；

所述入料口在所述真空容器底部上的投影位于所述第二曲面在所述真空容器底部上的投影内。

14.根据权利要求13所述的除泡装置，其特征在于，

所述第一曲面在所述真空容器底部上的投影面积大于所述第二曲面在所述真空容器底部上的投影面积。

15.根据权利要求1至14任一所述的除泡装置，其特征在于，所述真空容器包括真空腔室、以及设置在所述真空腔室顶端的顶盖和设置在所述真空腔室底端的底座，所述真空腔室的内壁、所述顶盖的内壁和所述底座的内壁围成所述腔体。

16.根据权利要求15所述的除泡装置，其特征在于，

所述底座朝向所述顶盖的一面为锥面，所述锥面的中心到所述顶盖的距离大于所述锥面的边缘到所述顶盖的距离。

17.根据权利要求15所述的除泡装置，其特征在于，所述除泡装置还包括溶液搅拌器和与所述溶液搅拌器电连接的第三驱动机构，

所述第三驱动机构设置在所述底座远离所述顶盖的一侧。

18.根据权利要求15所述的除泡装置，其特征在于，

所述底座设置有空腔，所述底座内部设置有温度调节组件，所述底座内部的温度调节组件用于使所述底座上的待除泡溶液的温度保持为目标温度，

和/或，所述流液平台设置有空腔，所述流液平台内部设置有温度调节组件，所述流液平台内部的温度调节组件用于使流经所述流液平台的待除泡溶液的温度保持为目标温度。

19.根据权利要求18所述的除泡装置，其特征在于，所述除泡装置还包括支撑柱，支撑柱固定设置在所述流液平台与所述底座之间，用于支撑所述流液平台，

所述支撑柱为中空结构，用于容纳所述温度调节组件的连接线。

20.根据权利要求15所述的除泡装置，其特征在于，

所述底座还设置有出料口，除泡后的溶液通过所述出料口流出。

21.根据权利要求15所述的除泡装置，其特征在于，所述顶盖设置有真空口和入气口，所述真空腔室通过所述真空口与外界真空泵连通，外部气体能够通过所述入气口进入所述真空腔室。

22.一种除泡方法，其特征在于，用于权利要求1至21任一所述的除泡装置，所述方法包括：

采用溶液导入部件将待除泡溶液从流液平台上方导入，使所述待除泡溶液从所述流液平台与真空容器的腔壁之间的间隙流动至真空容器底部。

23.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，所述溶液导入部件包括：溶液拉升组件和控制组件，所述流液平台设置有通孔，

所述采用溶液导入部件将待除泡溶液从流液平台上方导入，包括：

采用所述控制组件控制所述溶液拉升组件沿着所述通孔的高度方向移动，将所述真空容器底部的待除泡溶液拉升至所述流液平台上方。

24.根据权利要求23所述的方法，其特征在于，所述溶液导入部件还包括：设置在所述真空容器的腔体顶部的入料口，

所述采用溶液导入部件将待除泡溶液从流液平台上方导入，包括：

从所述入料口将所述待除泡溶液导入所述流液平台；

在所述待除泡溶液从所述流液平台与所述真空容器的腔壁之间的间隙流动至所述真空容器底部后，每隔预设时长执行一次再次导入过程，所述再次导入过程包括：

采用所述控制组件控制所述溶液拉升组件沿着所述通孔的高度方向移动，将所述真空容器底部的待除泡溶液拉升至所述流液平台上方，再次将所述待除泡溶液导入至所述流液平台，使所述待除泡溶液从所述间隙流动至所述真空容器底部。

25.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，

在所述从所述入料口将所述待除泡溶液导入所述流液平台之后，所述方法还包括：

密封所述真空容器的腔体，并对所述真空容器的腔体进行抽真空。

26.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，

在所述每隔预设时长执行一次再次导入过程之后，所述方法还包括：

向真空腔室内充入预设压强的气体；

将除泡后的溶液从所述真空容器的腔体中排出。