CN108267828A - 曝光系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种曝光系统，包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；光源组件、投影组件和承载台均设置于曝光腔室内；光源组件用于产生曝光光线；投影组件设置有连杆构件、支撑构件以及驱动机构；驱动机构包括驱动器、滑轮、连接线，驱动器用于摆动透镜并将透镜保持在预定的角度；驱动器包括驱动主体和动力传递轴，圆盘状的滑轮安装在动力传递轴的前端；透镜的透镜主体的边缘部安装有两个轨道部件，第一、第二连接部件分别固定在轨道部件的左右方向的中间部分；支撑构件具有安装台，安装台包括支承构件和支撑部件，驱动器设置在支承构件的板状部的下表面。本发明能调整曝光系统中的投影组件的透镜的朝向。

Description

曝光系统

技术领域

本发明涉及曝光技术领域，特别涉及一种曝光系统。

背景技术

传统的曝光系统一般包括曝光光源和投影镜片，该曝光光源用于产生曝光光线，并将该曝光光线通过该投影镜片照射待进行曝光处理的器件。

该投影镜片在上述传统的曝光系统中的位置和角度一般是固定的，也就是说，该投影镜片无法改变其接收曝光光线或输出曝光光线的角度。

当需要对具有斜面的显示器件或半导体器件进行曝光处理时，由于上述传统的曝光系统中的投影镜片无法改变其朝向，因此上述传统的曝光系统无法向该具有斜面的显示器件或半导体器件输出正对该斜面的曝光光线，从而无法对待进行曝光处理的显示器件或半导体器件进行更优的曝光处理。

故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种曝光系统，其能调整曝光系统中的投影组件的透镜的朝向。

为解决上述问题，本发明的技术方案如下：

一种曝光系统，所述曝光系统包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；所述投影组件设置有连杆构件、支撑构件以及用于摆动所述光源组件的透镜以改变所述透镜的角度的驱动机构；所述驱动机构包括驱动器、滑轮、连接线，所述驱动器用于摆动所述透镜并将所述透镜保持在预定的角度；所述驱动器包括驱动主体和从所述驱动主体的上表面的中央部分向上延伸的动力传递轴，圆盘状的所述滑轮安装在所述动力传递轴的前端，所述滑轮由所述动力传递轴驱动而旋转；所述透镜的透镜主体的边缘部安装有两个轨道部件，第一连接部件、第二连接部件分别固定在所述轨道部件的左右方向的中间部分；所述动力传递轴的旋转力经由所述滑轮和所述连接线传递到所述第一连接部件，所述透镜以中心轴为中心摆动，从而使得所述透镜朝向预定角度；所述支撑构件具有安装台，所述安装台包括支承构件和支撑部件，所述驱动器设置在所述支承构件的板状部的下表面。

优选地，所述驱动器为旋转气动驱动器。

优选地，每根所述连接线的一端固定在所述滑轮的周边部分上。

优选地，每根所述连接线的另一端通过所述滑轮连接到所述第一连接部件。

优选地，所述支承构件的条状支承件的突出部插入到所述支撑部件的筒状部内。

优选地，一对所述条状支承件在各个所述突出部插入所述筒状部的状态下在前后方向上分离地向上方延伸。

优选地，所述支承构件安装在所述支撑部件的上方。

优选地，所述透镜主体侧设置有轴承部。

优选地，设置于所述轴承部的贯通孔内的轴承可摆动地支承第一接收部件、第二接收部件的插入轴部分。

优选地，所述第一接收部件、所述第二接收部件附接于所述支承构件的上端部。

相对现有技术，本发明能调整曝光系统中的投影组件的透镜的朝向。

附图说明

图1为本发明的曝光系统的示意图。

图2为图1所示的曝光系统中的投影组件的示意图。

具体实施方式

参考图1和图2，图1为本发明的曝光系统的示意图，图2为图1所示的曝光系统中的投影组件的示意图。

本发明的曝光系统用于对显示器件或半导体器件进行曝光处理。

本发明的曝光系统包括曝光腔室101、光源组件104、投影组件107、承载台108、固定支撑件102、支撑框架103、第一发射镜105和第二反射镜106。

所述光源组件、所述投影组件、所述承载台、所述固定支撑件、所述支撑框架均设置于所述曝光腔室内。

所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件。具体地，光源组件用于通过第一反射镜和第二反射镜将曝光光线输出至投影组件。

所述承载台用于承载待进行曝光处理的显示器件或半导体器件。

支撑框架的基端部连接固定支撑件，并且支撑框架的末端部连接光源组件。

支撑框架包括第一移动框架、第二移动框架以及具有正交的第一枢轴、第二枢轴的转动构件。第一移动框架、第二移动框架和转动构件的每个可移动部分构成具有锁定构件的第一活动部至第七活动部。

支撑框架包括第一活动部至第七活动部以及第一锁定构件至第七锁定构件，第一锁定构件至第七锁定构件分别用于将第一活动部至第七活动部锁定。

固定支撑件由三个支撑柱构成，每个支撑柱用于通过调节器调节长度(高度)，三个支撑柱彼此间隔预定距离并平行布置，三个支撑柱通过联接杆彼此连接，两个支撑柱的联接杆相互连接。

在支撑框架中，第一移动框架的基端部分连接到固定支撑件的一个支撑柱，并且第二移动框架的基端部分连接到第一移动框架的远端部，转动构件的基座与第二移动框架的前端部连接。

所述支撑框架包括第一臂体、第二臂体和第三臂体。

第二移动框架设置有构造为平行连杆构件的第三臂体。第三臂体由第一水平杆和第二水平杆连接，第一水平杆、第二水平杆以及设置在第一水平杆、第二水平杆的端部之间的第一垂直杆、第二垂直杆形成为平行四边形形状。

连结块与固定支撑件的一个支撑柱相固定。

所述支撑框架还包括活动轴。活动轴构成用于使第一臂体在水平方向上枢转的第一活动部，第一锁定构件设置于活动轴中。

联接杆连接支撑柱。

第二锁定构件、第三锁定构件设置在相应的第一旋转轴、第二旋转轴上。

联接部(第一移动框架的远端部分)连接到第二臂体的远端，在联接部上具有沿垂直方向的枢动轴。枢动轴上设置有第四锁定构件，第二移动框架用于通过枢动轴相对于第一移动框架的第二臂体在水平方向上转动。

第一枢轴和第二枢轴分别设有第六锁定构件、第七锁定构件。第六活动部和第七活动部分别由第一枢轴、第二枢轴构成。

第三臂体的基端部分通过上端联接块经由枢动轴与第二臂体的前端侧的联接部连结，以沿水平方向自由旋转。转动构件的基座固定到设置在垂直第二移动框架或下端联接块的上端和下端处的第二垂直杆。转动构件的基座安装在由平行连杆构件构成的第二移动框架的前端部，以在保持恒定姿态的同时在垂直方向上平移。

第一转动轴支撑第三臂体的基端部分以在竖直方向上旋转，并且第三臂体通过第一转动轴在竖直方向上旋转。转动构件的基座用于根据第三臂体的远端部分的位移而位移。第五活动部用于相对于第三臂体在竖直方向上旋转，以保持恒定的姿态。在构成为平行连杆构件的第三臂体中，第一水平杆和第二水平杆的基端部由第一转动轴支承，以沿上下方向转动，从而在整个垂直方向上摆动。第五活动部设置有第五锁定构件。

安装在第二移动框架的前端部的转动构件具有相对于基座以第一枢轴为中心转动的第一转动部分，以及相对于第一转动部分围绕第二枢轴转动的第二转动部分。第一枢轴设定为平行于第三臂体的移动垂直水平方向的轴线，第一转动部分用于围绕水平的第一枢轴沿竖直平面旋转。

第二枢轴设置在第一转动部分上，作为与第一枢轴垂直的轴线，第二转动部分用于绕第二枢轴转动。

第二转动部分是作为安装有光源组件的托架的构件，光源组件附接到第二转动部分。

具体地，光源组件的头部主体安装于第二转动部分。

第一移动框架用于通过活动轴从与连结块连接的第一臂体的基端部分转动到第二移动框架的基端部分。

头部主体内置有用于向由头部主体的壳体主体保持的振动体施加超声波振动作用力的振动发生器。振动体与头部主体相连接。振动体用于带动头部主体振动，以使光源组件所产生的光线在头部主体振动的同时射向所述显示器件。

支撑框架的第一活动部至第七活动部用于调整光源组件的位置和/或姿势。即第一移动框架用于通过移动以确定光源组件的在水平方向上位置，并且第二移动框架用于通过移动以确定光源组件在垂直方向上的位置。此外，第一转动部分和第二转动部分用于调整光源组件的位置和/或姿势。

在定位和姿势调整完成之后，操作第一活动部至第七活动部的锁定构件以锁定第一活动部至第七活动部不移动。通过使所有的锁定构件进入锁定状态，可以将光源组件稳定地保持并固定在调整位置到定位位置。

由于第二移动框架在上下方向上采用平行连杆构件，第二移动框架的尖端部分可以相对于基端部分平移，可以以一定的姿势支撑连接到第二移动框架的远端部分的转动构件的基座。

设置在前端部与前端部之间的第一活动部至第七活动部用于通过移动而使光源组件位于空间内的任意位置，从而将光源组件的姿势定位。

锁定构件可以设置在第一活动部至第七活动部上。

第一臂体和第二臂体均形成为矩形框架形状。

连接块通过第一旋转轴在水平方向上可旋转地连接到第一臂体，并且第二臂体经由第二旋转轴在水平方向上连接到连接块。

第一锁定构件，第二锁定构件，第三锁定构件用于将旋转轴以预定的角度把持固定。

第一水平杆的两端连接到设置在第二垂直杆的上端联接块和下端联接块，以通过轴线沿水平方向布置的第一转动轴和第二转动轴在竖直方向上旋转。

投影组件具有透镜1071和用于摆动地支撑透镜的支撑构件1072。

投影组件还设置有用于摆动透镜以改变透镜的角度的驱动机构以及构造成使透镜的摇摆运动同步的连杆构件。

支撑构件具有固定在安装部上的安装台。安装台由固定于安装部的支撑部件和设置于支撑部件的上端部的支承构件构成。第一接收部件、第二接收部件附接到支承构件的上端部。

支撑部件是在上下方向延伸的棱柱部件。在支承构件的下端部形成有向下方突出的锥形部分。

支承构件由固定在安装面上的桩构成，通过将锥形部分插入安装面中作为安装部分。在支撑部件的上端部的前后方向的两侧面上设置有沿上下方向延伸的中空的筒状部。支承构件还包括一对条状支承件和一个板状部。形成于支承构件上的条状支承件的下端嵌合于筒状部。即筒状部构成插入部分，该插入部分具有供条状支承件插入的空间。

一对条状支承件的下端部分构成向下侧(支撑部件)突出的突出部。突出部通过嵌合于筒状部的内侧而由支撑部件支承。一对条状支承件在各个突出部插入筒状部的状态下在前后方向上分离地向上方延伸。板状部固定在条状支承件的上端部分上。板状部倾斜以使其后端位于前端的上方。板状部的纵截面大致呈U字形，板状部向下方开口以覆盖各条状支承件的上端部。

通过将一对条状支承件的突出部插入筒状部，从而将支承构件安装于支撑部件。因此，通过使支承构件上升，从筒状部拔出条状支承件，支承构件可以从支撑部件移除。

在安装台的上端部，即支承构件的板状部的上表面设有第一接收部件、第二接收部件。第一接收部件、第二接收部件与透镜连接，第一接收部件、第二接收部件构成透镜的摆动运动的中心轴。第一接收部件、第二接收部件在中心轴的轴向上以预定间隔布置。第一接收部件、第二接收部件设置在透镜主体的前侧面附近的下侧。第一接收部件的下部设置在板状部的上表面的前端部，第二接收部件的上部设置在板状部的上表面的后端部。

第一接收部件、第二接收部件由弯曲成L字形的棒状部件形成。第一接收部件、第二接收部件由联结部和插入轴部分构成。联结部是细长的圆柱状的部件，联结部从板状部的上表面垂直地向上方延伸。插入轴部分是细长的圆柱状的部件，插入轴部分与联结部的前端连续地延伸，并且与板状部平行地向后方延伸。在插入轴部分的前端部附近形成有向径向外侧突出的环状的接触部。接触部构成通过与第一连接部件抵接而限制第一连接部件向下方移动的抵接部(止动部)。插入轴部分从透镜主体的前侧面向后侧面延伸。插入轴部分具有相对于水平面倾斜的轴线。插入轴部分构成透镜的摆动运动的中心轴。

透镜包括透镜主体，在透镜主体的边缘部固定有轨道部件。在透镜主体中，与中心轴的轴向正交的一个侧面成为最靠近安装部的下端部前侧面，并且另一个侧面以成为离安装部最远的上端部后侧面的方式倾斜。

两个轨道部件安装在透镜主体的边缘部。轨道部件在中心轴的轴向上隔开预定的间隔配置。两个轨道部件中的一个轨道部件设置在透镜主体的前端与透镜主体的前后方向的中间部之间。两个轨道部件的另一个轨道部件设置在透镜主体的后端与透镜主体的前后方向的中间部之间。轨道部件是以与中心轴正交的方式沿左右方向延伸的细长的棱柱部件。轨道部件的上表面与透镜主体的背面接合。轨道部件在透镜主体的左右两端上延伸。

第一连接部件、第二连接部件分别固定在轨道部件的左右方向的中间部分。第一连接部件、第二连接部件构造成向上开口的U字形。第一连接部件、第二连接部件具有近端部分和远端部分。

第一连接部件、第二连接部件比透镜主体的前侧面、后侧面更接近透镜主体的中央，第一连接部件、第二连接部件正交于透镜主体的中心轴。第一连接部件、第二连接部件之间的间隔相对较窄。支承构件的板状部的长度方向的两端部与第一连接部件、第二连接部件交叉地沿中心轴的轴向延伸。

投影组件还具有固定部。固定部具有沿着轨道部件的纵壁部以及从后侧面向前侧面延伸的横壁部。前端部形成为平板状的轴承部，从固定部的前端(横壁部的前端部)向上方弯曲朝向透镜。即设置于透镜主体侧的轴承部从轨道部件的下表面朝向透镜主体侧延伸。在轴承部上形成有内径比第一接收部件、第二接收部件的插入轴部分的外径大的轴孔。轴孔保持在设置于轴承部的贯通孔内的轴承的内部。即所述透镜主体侧设置有轴承部，设置于轴承部的贯通孔内的轴承可摆动地支承第一接收部件、第二接收部件的插入轴部分。

透镜在下侧具有第一接收部件、第二接收部件的插入轴部分。各插入轴部分朝向透镜主体的后侧面突出。

在透镜主体被支撑构件支撑的状态下，在轴承部的前表面上的轴孔的外边缘部分插入到插入轴部分的接触部中，以限制第一连接部件、第二连接部件以及透镜向下移动，从而对透镜进行定位。轴孔形成于比轨道部件的下表面更靠近透镜主体侧的轴承部。因此，由插入轴部分构成的中心轴与透镜主体的下表面之间的距离比该中心轴与轨道部件的下表面之间的距离小。

驱动机构包括驱动器，滑轮，连接线。驱动器设置在支承构件的板状部的下表面。驱动器用于摆动透镜并将透镜保持在预定的角度。驱动器例如是旋转气动驱动器。

驱动器包括固定在板状部的下表面上的驱动主体和从驱动主体的上表面的中央部分向上延伸的动力传递轴。在动力传递轴的前端安装有圆盘状的滑轮。滑轮由动力传递轴驱动而旋转。每根连接线的一端固定在滑轮的周边部分上。每根连接线的另一端通过从驱动器的前侧上的板状部的上表面突出的滑轮连接到第一连接部件。一根连接线的另一端固定在第一连接部件的背面的中心轴的左侧(前侧)。另一根连接线的另一端固定在比第一连接部件的背面的中心轴靠右侧(后侧)的位置。另一端被固定的连接线与中心轴之间的距离被设定为小于滑轮的半径。因此，透镜的摆动角度比驱动器的动力传递轴的旋转角度大。

当驱动器启动时，动力传递轴旋转。动力传递轴的旋转力经由滑轮和连接线传递到第一连接部件，透镜以中心轴为中心摆动，从而使得透镜朝向预定角度。

在支撑部件固定于设置部的过程中，支撑部件的锥形部分撞击安装面，并且支撑部件垂直地固定到安装部分。

支承构件的条状支承件的下端部(突出部)插入到支撑部件的筒状部内。突出部装配在筒状部内，并且支承构件支撑于支撑部件的上方。

当插入轴部分在轴孔内滑动时，第一接收部件、第二接收部件的后端部分与插入轴部分的接触部接触。第一接收部件、第二接收部件的进一步向下移动受到限制，并确定第一接收部件、第二接收部件和第一连接部件、第二连接部件的相对位置。

由于第一连接部件、第二连接部件固定于轨道部件，当透镜主体摆动时，作用于透镜主体的应力可以避免对透镜主体的损伤。根据上述实施例，插入轴部分设置有接触部，接触部用于限制第一连接部件、第二连接部件的向下移动。因此，能够防止插入到轴孔中的插入轴部分的位置在轴向上偏移，并且能够稳定地摆动透镜。

由于透镜经由多个插入轴部分和轴孔被安装台支承，所以透镜能够摆动。

由于多个第一连接部件，第二连接部件配置在透镜主体的中央附近，支撑第一连接部件、第二连接部件的板状部的长度能够减小支承构件的尺寸。

透镜的中心轴和重心彼此相对接近。因此，由于透镜的负荷而在中心轴附近产生的力矩减小，所以能够减小透镜的摆动力。

固定在轨道部件上的第一连接部件，第二连接部件和第一接收部件，第二接收部件位于与轨道部件对应的位置上。

第一连接部件，第二连接部件形成有轴孔。或者，第一接收部件，第二接收部件上形成轴孔，第一连接部件，第二连接部件上形成插入轴部。

突出部设置在支承构件的下部，突出部插入到支撑部件的筒状部(插入部)，支承构件安装在支撑部件的上方。也可以在支撑部件的上部设置突起，在支承构件的下部设置插入突起的插入部。

通过上述技术方案，本发明能调整曝光系统中的投影组件的透镜的朝向。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种曝光系统，其特征在于，所述曝光系统包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；

所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；

所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；

所述投影组件设置有连杆构件、支撑构件以及用于摆动所述光源组件的透镜以改变所述透镜的角度的驱动机构；

所述驱动机构包括驱动器、滑轮、连接线，所述驱动器用于摆动所述透镜并将所述透镜保持在预定的角度；

所述驱动器包括驱动主体和从所述驱动主体的上表面的中央部分向上延伸的动力传递轴，圆盘状的所述滑轮安装在所述动力传递轴的前端，所述滑轮由所述动力传递轴驱动而旋转；

所述透镜的透镜主体的边缘部安装有两个轨道部件，第一连接部件、第二连接部件分别固定在所述轨道部件的左右方向的中间部分；

所述动力传递轴的旋转力经由所述滑轮和所述连接线传递到所述第一连接部件，所述透镜以中心轴为中心摆动，从而使得所述透镜朝向预定角度；

所述支撑构件具有安装台，所述安装台包括支承构件和支撑部件，所述驱动器设置在所述支承构件的板状部的下表面。

2.根据权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，所述驱动器为旋转气动驱动器。

3.根据权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，每根所述连接线的一端固定在所述滑轮的周边部分上。

4.根据权利要求3所述的曝光系统，其特征在于，每根所述连接线的另一端通过所述滑轮连接到所述第一连接部件。

5.根据权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，所述支承构件的条状支承件的突出部插入到所述支撑部件的筒状部内。

6.根据权利要求5所述的曝光系统，其特征在于，一对所述条状支承件在各个所述突出部插入所述筒状部的状态下在前后方向上分离地向上方延伸。

7.根据权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，所述支承构件安装在所述支撑部件的上方。

8.根据权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，所述透镜主体侧设置有轴承部。

9.根据权利要求8所述的曝光系统，其特征在于，设置于所述轴承部的贯通孔内的轴承可摆动地支承第一接收部件、第二接收部件的插入轴部分。

10.根据权利要求9所述的曝光系统，其特征在于，所述第一接收部件、所述第二接收部件附接于所述支承构件的上端部。