CN108239750A - Oled蒸镀坩埚 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体和坩埚本体上设置的蒸镀蒸汽喷出结构，蒸镀蒸汽喷出结构包括用于蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口，蒸镀蒸汽喷出结构上设置有防喷口堵塞机构。本发明通过喷嘴转动设置降低了喷嘴处降温速度，这样在整个蒸镀过程中只需控制好转轴的转速，就能实现喷嘴其喷口处始终处于一个还算较高的温度，这样避免了蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况；或者通过将喷嘴采用钢管并配合电涡流的方式使得喷口处钢管的温度达到防止蒸镀蒸汽在喷口冷凝的温度，也避免了蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况。
Description
技术领域
本发明涉及OLED蒸镀坩埚。
背景技术
OLED，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display，OLED)。因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空镀膜工艺是OLED制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜。因为它是关系到OLED的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。而在蒸镀中蒸镀坩埚是应用得较多的一个设备，现有的技术中，蒸镀钳锅包括坩埚本体和喷嘴，坩埚本体中设置有加热装置，而喷嘴处没有加热装置，因此蒸镀过程中蒸镀材料容易沉积在喷嘴口处，导致喷嘴堵塞，影响到正常的蒸镀速率，使得蒸镀的时间变长。此外，在蒸镀过程中蒸镀材料在喷嘴口处冷却后，部分会回流到坩埚内，当再次被加热蒸发时，会以大分子或分子团的形式进行蒸镀，影响到膜层的均匀性，并且经过一次加热蒸发的材料，往往会部分变性，再次蒸镀这些回流材料会使显示器件中的膜层性能受到影响。
发明内容
本发明的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供OLED蒸镀坩埚，实现喷嘴其喷口处始终处于一个还算较高的温度，可以避免蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况。
为实现上述目的，本发明的技术方案是设计OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体和坩埚本体上设置的蒸镀蒸汽喷出结构，蒸镀蒸汽喷出结构包括用于蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口，蒸镀蒸汽喷出结构上设置有防喷口堵塞机构。防喷口堵塞机构的设置能实现喷嘴其喷口处始终处于一个还算较高的温度，可以避免蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况。
进一步的技术方案是，蒸镀蒸汽喷出结构为管状喷嘴，喷口为喷嘴的两个端口，防喷口堵塞机构包括转动设置在坩埚本体上顶板内的转轴，转轴上连接若干个喷嘴，相邻喷嘴设有间距，所有喷嘴在转轴上摆放位置相同，转轴的轴线与喷嘴的轴线垂直设置，转轴连接在喷嘴外周面其轴向的中间位置，上顶板上设置呈矩形的喷嘴旋转孔，喷嘴旋转孔其长与喷嘴的高相适配，喷嘴旋转孔其宽与喷嘴的最大外径相适配，喷嘴旋转孔的数量与喷嘴的数量一致；转轴有一端伸出上顶板的侧边并与传动机构的输出轴相连。这样将原先的喷嘴长度增大一倍，多出来的部分设置在坩埚本体内，这样喷嘴下端靠近加热源，温度较高，喷嘴可以采用比坩埚本体导热系数高的材质，设置好传动机构(传动机构与脉冲式驱动机构相连)其启动频率，则可以实现在整个蒸镀的过程中一旦喷口处温度降低则将喷口转至坩埚本体内，而将位于下方的喷嘴调至上方充当喷口。
进一步的技术方案是，喷嘴采用导热系数高于坩埚本体的材质制成，喷嘴的外周面套设保温层；所述传动机构为减速机，减速机由电机驱动，电机及减速机设置在坩埚外部；转轴上固定连接或卡接若干个喷嘴。电机的得电是脉冲式的，大部分时候是断电的，需要调换喷嘴上下方向时才得电，然后转轴旋转至喷嘴上下口调换后电机又失电。保温层采用耐高温隔热材料制成，并且这样的设置不需要额外增加热源，就利用坩埚本身的热源，相比于直接在喷嘴处加设热源大大节约了热量的消耗，结构也相对简单。
进一步的技术方案为，喷嘴旋转孔的两短边上分别固定设置一个碳纤维材质的弹性挡板，弹性挡板靠近喷嘴的一端设有和喷嘴外周面适配的弧面。这样在喷嘴的喷口处提高了温度，避免了蒸镀蒸汽在喷口处冷凝而堵塞的情况，并且通过电源调节器的设置可以调节喷口的具体温度，以适应不同蒸镀蒸汽冷凝温度，适用性广。
进一步的技术方案为，蒸镀蒸汽喷出结构为固定连接在坩埚本体上顶板的钢管，钢管的一端与坩埚本体内腔相通、另一端作为蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口，在钢管另一端的外周面绕设有使钢管产生电涡流的线圈，线圈通过电压调节器与电源相连，线圈外包覆设置隔磁隔热层。除了中部的钢管是直管，其余部分的钢管设置成弯管，这样可以根据实际情况将其余部分的钢管设置成向中部弯曲或向坩埚本体侧壁弯曲以满足不同需求(需要实现各基片蒸镀均匀，则弯管设置成向坩埚本体侧壁弯曲以扩大蒸汽散发的均匀性；若需尽量避免蒸汽沉积到坩埚本体侧壁污染坩埚本体内侧壁则弯管设置成向中部弯曲)。
进一步的技术方案为，钢管设有若干个以形成多个喷口，位于坩埚本体中部的钢管为直管，其余钢管为弯管。
另一种技术方案为，蒸镀蒸汽喷出结构包括用于蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口，蒸镀蒸汽喷出结构包括一个转动设置在坩埚本体上顶板下表面的遮孔板，遮孔板呈矩形板，坩埚本体上顶板呈尺寸大于遮孔板的矩形板，喷口为设置在坩埚本体上顶板上的通孔，遮孔板的一角设置贯穿的孔，坩埚本体上顶板的下表面固定设置一根与前述孔适配的轴，遮孔板通过此根轴转动连接在坩埚本体上顶板上，遮孔板的一个侧板上固定连接一根弹簧的一端，遮孔板上设置贯穿的孔的一角的对角线上的那个角的位置附近固定连接前述弹簧，弹簧的另一端固定连接在坩埚本体的一个侧板上，弹簧处于拉伸状态，遮孔板上与固定连接弹簧的侧板相对的侧板上固定设置铁块，与铁块正对的坩埚本体的侧板上固定设置电磁铁，电磁铁外设置防止蒸镀蒸汽进入电磁铁的护罩，坩埚本体上顶板的下表面上固定设置的轴的另一端与坩埚本体的下底板固定相连，前述轴采用导热系数高于坩埚本体材料的材质，轴上固定设置一个卡环以卡住遮孔板防止其由于自重往下掉；为便于遮孔板的转动，还可以在坩埚本体上顶板的下表面上设置突出的槽型滑轨，遮孔板上固定设置一个销，销与遮孔板垂直设置，销的顶端转动设置滚珠，滚珠与槽型滑轨相适配，槽型滑轨上还设置避免滚珠离开槽型滑轨的限位板；电磁铁未得电时由于弹簧的弹力，遮孔板上设置贯穿的孔的一角的对角线上的那个角被拉向坩埚本体的侧板直至遮孔板上设置贯穿的孔的一角的对角线上的那个角被坩埚本体的侧板挡住，而遮孔板上设置与上顶板上的通孔匹配的孔，但此时遮孔板上的孔与上顶板上的通孔不对应，因此被遮住，而在蒸镀时，(电磁铁的电路与蒸镀热源的电路串联)电磁铁得电，因此电磁铁对遮孔板上的铁块产生吸引力，由此克服弹簧的弹力，遮孔板转动至其设置铁块的一角被坩埚本体的侧板挡住则遮孔板无法再转动，这时遮孔板上的孔与上顶板上的通孔则正好相对，以露出通孔便于蒸镀蒸汽从坩埚中喷出或溢出。由于采用了导热系数更高的轴将坩埚本体底部的热量传导至遮孔板处，这样遮孔板处的温度高，避免了以往坩埚本体上顶板处喷嘴温度低容易造成蒸镀蒸汽凝结在喷嘴上的问题，现在坩埚本体上顶板由于遮孔板的传热，坩埚本体上顶板温度高于以前未这么设置时的温度，遮孔板可以采用和轴同样的导热系数较高的材料。
本发明的优点和有益效果在于：通过喷嘴转动设置降低了喷嘴处降温速度，这样在整个蒸镀过程中只需控制好转轴的转速，就能实现喷嘴其喷口处始终处于一个还算较高的温度，这样避免了蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况；或者通过将喷嘴采用钢管并配合电涡流的方式使得喷口处钢管的温度达到防止蒸镀蒸汽在喷口冷凝的温度，也避免了蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况；将原先的喷嘴长度增大一倍，多出来的部分设置在坩埚本体内，这样喷嘴下端靠近加热源，温度较高，喷嘴可以采用比坩埚本体导热系数高的材质，设置好传动机构(传动机构与脉冲式驱动机构相连)其启动频率，则可以实现在整个蒸镀的过程中一旦喷口处温度降低则将喷口转至坩埚本体内，而将位于下方的喷嘴调至上方充当喷口。电机的得电是脉冲式的，大部分时候是断电的，需要调换喷嘴上下方向时才得电，然后转轴旋转至喷嘴上下口调换后电机又失电。这样的设置不需要额外增加热源，就利用坩埚本身的热源，相比于直接在喷嘴处加设热源大大节约了热量的消耗，结构也相对简单；在喷嘴的喷口处提高了温度，避免了蒸镀蒸汽在喷口处冷凝而堵塞的情况，并且通过电源调节器的设置可以调节喷口的具体温度，以适应不同蒸镀蒸汽冷凝温度，适用性广。除了中部的钢管是直管，其余部分的钢管设置成弯管，这样可以根据实际情况将其余部分的钢管设置成向中部弯曲或向坩埚本体侧壁弯曲以满足不同需求(需要实现各基片蒸镀均匀，则弯管设置成向坩埚本体侧壁弯曲以扩大蒸汽散发的均匀性；若需尽量避免蒸汽沉积到坩埚本体侧壁污染坩埚本体内侧壁则弯管设置成向中部弯曲)。
附图说明
图1是本发明OLED蒸镀坩埚实施例一的示意图；
图2是图1的俯视图；
图3是本发明实施例二的结构示意图；
图4是图3中线圈部分的放大示意图；
图5是本发明实施例三的示意图；
图6是图5的主视图；
图7是图6的俯视图；
图8是图7中电磁铁得电后的状态示意图。
图中：1、坩埚本体；2、蒸镀蒸汽喷出结构；3、喷口；4、上顶板；5、转轴；6、喷嘴旋转孔；7、减速机；8、保温层；9、电机；10、钢管；11、线圈；12、电压调节器；13、电源；14、隔磁隔热层；15、遮孔板；16、通孔；17、轴；18、弹簧；19、铁块；20、电磁铁；21、下底板；22、卡环；23、槽型滑轨；24、销；25、滚珠；26、限位板。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
实施例一：
如图1、图2所示，本发明是OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体1和坩埚本体1上设置的蒸镀蒸汽喷出结构2，蒸镀蒸汽喷出结构2包括用于蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口3，蒸镀蒸汽喷出结构2上设置有防喷口堵塞机构。蒸镀蒸汽喷出结构2为管状喷嘴，喷口3为喷嘴的两个端口，防喷口堵塞机构包括转动设置在坩埚本体1上顶板4内的转轴5，转轴5上固定连接若干个喷嘴，相邻喷嘴间隔设置，所有喷嘴在转轴5上摆放位置相同，转轴5的轴线与喷嘴的轴线垂直设置，转轴5固定连接在喷嘴外周面其轴向的中间位置，上顶板4上设置呈矩形的喷嘴旋转孔6，喷嘴旋转孔6其长与喷嘴的高相适配，喷嘴旋转孔6其宽与喷嘴的最大外径相适配，喷嘴旋转孔6的数量与喷嘴的数量一致；转轴5有一端伸出上顶板4的侧边并与传动机构的输出轴相连。喷嘴采用导热系数高于坩埚本体1的材质制成，喷嘴的外周面套设保温层8；所述传动机构为减速机7，减速机7由电机9驱动，电机9及减速机7设置在坩埚外表面上。
实施例二：
与实施例一的不同在于，如图3、图4所示(为便于图示，图3未示出全部线圈)，蒸镀蒸汽喷出结构2为固定连接在坩埚本体1上顶板4的钢管10，钢管10的一端与坩埚本体1内腔相通、另一端作为蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口3，钢管10的外周面绕设线圈11，线圈11通过电压调节器12与电源13相连，线圈11外包覆设置隔磁隔热层14。钢管10设有若干个以形成多个喷口3，位于坩埚本体1中部的钢管10为直管，其余钢管10为弯管。
实施例三：
与实施例一的不同在于，如图5至图8所示(为便于图示，图5未示出通孔16与电磁铁20；图6未示出坩埚本体的侧板)，蒸镀蒸汽喷出结构包括用于蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口，蒸镀蒸汽喷出结构包括一个转动设置在坩埚本体上顶板4下表面的遮孔板15，遮孔板15呈矩形板，坩埚本体上顶板4呈尺寸大于遮孔板15的矩形板，喷口为设置在坩埚本体上顶板4上的通孔16，遮孔板15的一角设置贯穿的孔，坩埚本体上顶板4的下表面固定设置一根与前述孔适配的轴17，遮孔板15通过此根轴17转动连接在坩埚本体上顶板4上，遮孔板15的一个侧板上固定连接一根弹簧18的一端，遮孔板15上设置贯穿的孔的一角的对角线上的那个角的位置附近固定连接前述弹簧18，弹簧18的另一端固定连接在坩埚本体的一个侧板上，弹簧18处于拉伸状态，遮孔板15上与固定连接弹簧18的侧板相对的侧板上固定设置铁块19，与铁块19正对的坩埚本体的侧板上固定设置电磁铁20，电磁铁20外设置防止蒸镀蒸汽进入电磁铁20的护罩，坩埚本体上顶板4的下表面上固定设置的轴17的另一端与坩埚本体的下底板21固定相连，前述轴17采用导热系数高于坩埚本体材料的材质，轴17上固定设置一个卡环22以卡住遮孔板15防止其由于自重往下掉；为便于遮孔板15的转动，还可以在坩埚本体上顶板4的下表面上设置突出的槽型滑轨23，遮孔板15上固定设置一个销24，销24与遮孔板15垂直设置，销24的顶端转动设置滚珠25，滚珠25与槽型滑轨23相适配，槽型滑轨23上还设置避免滚珠25离开槽型滑轨23的限位板26。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (6)
1.OLED蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚本体和坩埚本体上设置的蒸镀蒸汽喷出结构，蒸镀蒸汽喷出结构包括用于蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口，蒸镀蒸汽喷出结构上设置有防喷口堵塞机构。
2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀蒸汽喷出结构为管状喷嘴，喷口为喷嘴的两个端口，防喷口堵塞机构包括转动设置在坩埚本体上顶板内的转轴，转轴上连接若干个喷嘴，相邻喷嘴设有间距，所有喷嘴在转轴上摆放位置相同，转轴的轴线与喷嘴的轴线垂直设置，转轴连接在喷嘴外周面其轴向的中间位置，上顶板上设置呈矩形的喷嘴旋转孔，喷嘴旋转孔其长与喷嘴的高相适配，喷嘴旋转孔其宽与喷嘴的最大外径相适配，喷嘴旋转孔的数量与喷嘴的数量一致；转轴有一端伸出上顶板的侧边并与传动机构的输出轴相连。
3.根据权利要求2所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于，所述喷嘴采用导热系数高于坩埚本体的材质制成，喷嘴的外周面套设保温层；所述传动机构为减速机，减速机由电机驱动，电机及减速机设置在坩埚外部；转轴上固定连接或卡接若干个喷嘴。
4.根据权利要求3所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于，所述喷嘴旋转孔的两短边上分别固定设置一个碳纤维材质的弹性挡板，弹性挡板靠近喷嘴的一端设有和喷嘴外周面适配的弧面。
5.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀蒸汽喷出结构为固定连接在坩埚本体上顶板的钢管，钢管的一端与坩埚本体内腔相通、另一端作为蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口，在钢管另一端的外周面绕设有使钢管产生电涡流的线圈，线圈通过电压调节器与电源相连，线圈外包覆设置隔磁隔热层。
6.根据权利要求5所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于，所述钢管设有若干个以形成多个喷口，位于坩埚本体中部的钢管为直管，其余钢管为弯管。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114182210A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-03-15 | 昆山国显光电有限公司 | 蒸镀用坩埚 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110082820A (ko) * | 2010-01-12 | 2011-07-20 | 주식회사 에스에프에이 | 유기전계발광 디스플레이 패널 제조용 증발원 및 이를 포함하는 증착장치 |
| CN205133726U (zh) * | 2015-11-26 | 2016-04-06 | 昆山国显光电有限公司 | 蒸镀机的喷嘴系统 |
| CN208136321U (zh) * | 2018-04-08 | 2018-11-23 | 江阴市光科真空机械有限公司 | Oled蒸镀坩埚 |
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2018
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110082820A (ko) * | 2010-01-12 | 2011-07-20 | 주식회사 에스에프에이 | 유기전계발광 디스플레이 패널 제조용 증발원 및 이를 포함하는 증착장치 |
| CN205133726U (zh) * | 2015-11-26 | 2016-04-06 | 昆山国显光电有限公司 | 蒸镀机的喷嘴系统 |
| CN208136321U (zh) * | 2018-04-08 | 2018-11-23 | 江阴市光科真空机械有限公司 | Oled蒸镀坩埚 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114182210A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-03-15 | 昆山国显光电有限公司 | 蒸镀用坩埚 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 214400 Changshan Road, Jiangyin High-tech Park, Wuxi City, Jiangsu Province Applicant after: JIANGYIN GKVAC MACHINERY Co.,Ltd. Address before: 214400 Changshan Road, Jiangyin High-tech Park, Wuxi City, Jiangsu Province Applicant before: JIANGYIN GUANGKE VACUUM MACHINERY Co.,Ltd. |
|
| CB02 | Change of applicant information | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Country or region after: China Address after: 225400 He Han 1 and 6 Groups, Hanzhuang Village, Huangqiao Town, Taixing City, Taizhou City, Jiangsu Province Applicant after: Jiangsu Guangke Precision Equipment Co.,Ltd. Address before: 214400 Changshan Road, Jiangyin High-tech Park, Wuxi City, Jiangsu Province Applicant before: JIANGYIN GKVAC MACHINERY Co.,Ltd. Country or region before: China |
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| CB02 | Change of applicant information |