CN108198777A - 一种玻璃基板旋转对位传输机 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种玻璃基板旋转对位传输机,包括:机架10、对位支撑单元20、旋转升降单元30、主传输单元40以及过渡传输单元50,其中,对位支撑单元20用于对玻璃基板60进行对位,旋转升降单元30用于调节玻璃基板60的高度以及水平方向,主传输单元40用于传输玻璃基板60以及为玻璃基板60进行初步整形,过渡传输单元50用于将玻璃基板60传输到所述主传输单元40上,从而实现玻璃基板60的旋转对位。

Description

一种玻璃基板旋转对位传输机
技术领域
本发明属于大型玻璃自动传输连线设备领域,更具体涉及一种玻璃基板旋转对位传输机。
背景技术
大型玻璃基板的自动传输连线设备是太阳能行业和液晶行业产线的关键设备之一。在大型液晶玻璃基板和太阳能玻璃基板生产的自动传输过程中,需要对玻璃基板的位置进行精确调整,为了满足生产工艺和自动化进程的需要,一种旋转对位传输机应用而生,为下道加工工艺提供必要的位置基础,将上游传输来的玻璃基板以不同的需求姿态传输至后道加工工序中,以保证玻璃基板位置达到实际加工工艺的精度要求。玻璃的自动旋转对位传输机在大型玻璃基板的自动传输连线设备的自动传输过程中起着举足轻重的作用。随着液晶屏和太阳能发电基板需求量的不断增加,传输线的自动化程度要求也在不断提高,在其自动生产连线的传输过程中,有多道工序需要对玻璃基板进行旋转对位,玻璃基板旋转对位的运动特性直接影响到玻璃基板的整形定位精度,该大型玻璃旋转对位传输机,是根据玻璃基板的大小及定位整形的实际需求来灵活改善玻璃基板旋转对位的运动特性,从而优化基板玻璃的定位整形精度,在满足生产工艺和性能的基础上,提高设备的性能和稳定性。
发明内容
鉴于上述技术问题,鉴于上述技术问题,本发明一种玻璃基板旋转对位传输机,包括:机架10、对位支撑单元20、旋转升降单元30、主传输单元40以及过渡传输单元50,
其中,对位支撑单元20用于对玻璃基板进行对位,包括UVW平台21、多个对位镜头组件22、多个顶销支撑组件23,所述UVW平台 21和多个对位镜头组件22安装在机架10上,所述多个顶销支撑组件23安装在UWV平台21上;
进一步,所述旋转升降单元30用于调节玻璃基板的高度以及水平方向,包括多个升降器31、马达32、升降框架33和旋转顶板34,所述DD马达32底面安装于升降框架33上,顶面与旋转顶板34连接,所述升降框架33与多个升降器31连接,所述多个升降器31安装在机架10上,
进一步,所述主传输单元40用于传输玻璃基板以及为玻璃基板进行初步整形,包括主传输框架41、多个滚轮组件42和整形组件43,所述多个滚轮组件42和整形组件43布置在主传输框架41上,所述主传输框架41安装在旋转顶板34上;
所述过渡传输单元50用于将玻璃基板传输到所述主传输单元40 上,包括多个框架升降装置51、过渡传输框架52和多个过渡滚轮组件53,所述多个过渡滚轮组件53通过轴承均匀布置在过渡传输框架 52上,所述过渡传输框架52布置在框架升降装置51上,通过框架升降装置51实现过渡传输框架52和多个过渡滚轮组件53的升降。进一步,所述对位镜头组件22包括镜头220和支撑镜头的支架221,所述镜头220设置在支撑镜头的支架221上,可以上下左右移动,所述支撑镜头的支架221设置在机架10上,所述对位镜头组件22设置有两个,分别对应布置在玻璃基板的其中一组对角位置。
进一步,所述多个顶销支撑组件23包括顶销托架2300和设置在顶销托架上的支撑矩阵,所述支撑矩阵由多个支撑滚球组件2310、多个支撑顶销组件2320以及多个真空支撑滚球组件2330排列组合构成,支撑矩阵的四个角为真空支撑滚球组件2330,支撑矩阵的其余位点由支撑滚球组件2310、支撑顶销组件2320以及真空支撑滚球组件2330穿插排列构成;
所述支撑滚球组件2310包括滚球万向球2311、滚球支柱2312、滚球导向轴支座2313,所述滚球支柱通过滚球导向轴支座固定在顶销托架上,滚球支柱上面安装有滚球万向球,所述滚球万向球是可以滚动的;
所述支撑顶销组件2320包括顶销2321、顶销支柱2322、顶销导向轴支座2323,所述顶销支柱2322通过顶销导向轴支座2323固定在顶销托架2300上,顶销支柱2322上面安装有顶销2321,所述顶销2321是固定的;
所述真空支撑滚球组件2330包括真空万向球2331、真空支柱 2332、真空导向轴支座2333,所述真空支柱通过真空导向轴支座固定在顶销托架2300上,真空支柱2332上面安装有真空万向球2331,所述真空万向球2331是可以滚动的,但是在真空支柱2332内部抽真空的条件下所述真空万向球2331停止滚动。
进一步,所述升降器31设置有四个,分别布置在升降框架33的四角位置,并支撑升降框架33,所述四个升降器31同步运动。
进一步,所述整形组件43包括8个整形装置430,分别布置在主传输框架41的四周,每边布置两个。
进一步,所述整形装置430包括摆动气缸安装板431、摆动气缸 432、摆动板433、导向轴434以及导向轮435;所述摆动气缸432 安装在摆动气缸安装板431上,摆动气缸432的主轴上安装有摆动板 433,摆动板433与导向轴434的一端连接,导向轴434的另一端与导向轮435连接,
其中所述摆动板433、导向轴434以及导向轮435随摆动气缸432 的主轴的旋转而旋转,由水平状态旋转成竖直状态,由此通过导向轮435对设置在支撑平台上的玻璃基板进行整形。
进一步,所述主传输框架41是长方形的框架,在长方形框架的两个长边上设置两排轴承,每排轴承与之对应的中间位置设置一排轴承,一共设置有4排轴承,所述每个滚轮组件42一边与框架长边上面的轴承连接,另一边与相对应的中间位置的轴承连接,所述滚轮组件42相平行排列
进一步,所述滚轮组件42都是由两边的轴承固定均匀排列设置在主传输框架41上,所述滚轮组件42包括滚轮轴420及通过轴承均匀设置在滚轮轴420上的多个滚轮421。
进一步,所述框架支撑装置51包括气缸511和导向组件512、底板513、顶板514、上顶板515和顶板514支撑上顶板515的支柱 516;所述底板513安装在机架10上,所述气缸511和导向组件512 分别与底板513和顶板514连接,所述顶板514四角分别布置1个支柱516支撑上顶板515。
进一步,所述过渡传输框架52是长方形的框架,在长方形框架的两个长边上设置两排轴承,每排轴承与之对应的中间位置设置一排轴承,一共设置有4排轴承,所述每个过渡滚轮组件53一边与框架长边上面的轴承连接,另一边与相对应的中间位置的轴承连接,所述过渡滚轮组件53相平行排列,所述过渡滚轮组件53都是由两边的轴承固定均匀排列设置在过渡主传输框架52上,所述过渡滚轮组件53 包括过渡滚轮轴530及通过轴承均匀设置在过渡滚轮轴530上的多个过渡滚轮531。
有益效果
本发明作为大型玻璃自动传输连线设备中的重要部分,也即,大型玻璃旋转对位传输机,其能够根据玻璃基板的大小及定位整形的实际需求来灵活改善玻璃基板旋转对位的运动特性,从而优化基板玻璃的定位整形精度,在满足生产工艺和性能的基础上,提高设备的性能和稳定性。
附图说明
图1为根据本发明一个实施方案的玻璃旋转对位传输机的结构的侧视示意图。
图2为根据本发明一个实施方案的玻璃旋转对位传输机的结构的等轴侧示意图。
图3为图1所示结构中的主传输单元旋转±90°后的结构示意图。
图4为根据本发明一个实施方案的对位支撑单元的结构示意图。
图5为根据本发明一个实施方案的旋转升降单元的结构示意图。
图6为根据本发明一个实施方案的主传输单元的结构示意图。
图7是根据本发明一个实施方案的整形组件中整形装置的三维立体图示意图。
图8是根据本发明一个实施方案的顶销支撑组件的侧视示意图。
图9是根据本发明一个实施方案的顶销支撑组件的万向球组件示意图。
图10是根据本发明一个实施方案的顶销支撑组件的顶销组件示意图。
图11是根据本发明一个实施方案的顶销支撑组件的真空万向球组件示意图。
图12是根据本发明一个实施方案的顶销支撑组件的真空万向球组件剖视示意图。
机架10、对位支撑单元20、旋转升降单元30、主传输单元40、过渡传输单元50、玻璃基板60、UVW平台21、多个对位镜头组件 22、多个顶销支撑组件23、多个升降器31、DD马达32、升降框架 33、旋转顶板34、主传输框架41、多个滚轮组件42、整形组件43、多个框架升降装置51、过渡传输框架52、多个过渡滚轮组件53、镜头220、支撑镜头的支架221、顶销托架2300、支撑滚球组件2310、支撑顶销组件2320、真空支撑滚球组件2330、滚球万向球2311、滚球支柱2312、滚球导向轴支座2313,顶销2321、顶销支柱2322、顶销导向轴支座2323、真空万向球2331、真空支柱2332、真空导向轴支座2333、整形装置430、摆动气缸安装板431、摆动气缸432、摆动板433、导向轴434、导向轮435、滚轮轴420、滚轮421、气缸511、导向组件512、底板513、顶板514、上顶板515、支柱516、过渡滚轮轴530、过渡滚轮531、
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本发明进一步详细说明。需要说明的是,在附图或说明书描述中,相似或相同的部分都使用相同的图号。附图中未绘示或描述的实现方式,为所属技术领域中普通技术人员所知的形式。另外,虽然本文可提供包含特定值的参数的示范,但应了解,参数无需确切等于相应的值,而是可在可接受的误差容限或设计约束内近似于相应的值。实施例中提到的方向用语,例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等,仅是参考附图的方向。因此,使用的方向用语是用来说明并非用来限制本发明的保护范围。
图1是本发明创造的整体结构示意图,图2为本发明创造的整体结构等轴侧示意图。本发明提供了一种大型玻璃旋转对位传输机,包机架10、对位支撑单元20、旋转升降单元30、主传输单元40以及过渡传输单元50。
参考图1、图2和图3,机架10为整个机器设备的基础框架,这样的机架为本领域技术人员所熟知,在此并不赘述。如图1、图2 和图4所示,对位支撑单元20包括UVW平台21、多个对位镜头组件22以及多个顶销支撑组件23,UVW平台21和对位镜头组件22 可以安装在机架10上,UVW平台是本技术领域所熟知的,可以进行 X、Y方向的移动以及可以在X、Y平面上的角度微调的平台,UVW 平台21上面可以是顶销支撑组件23,顶销支撑组件23可以用于支撑玻璃基板60,UVW平台21可以实现顶销组件23在X和Y、方向的移动及X、Y平面上的角度微调,从而实现玻璃基板60的运动,使玻璃基板60与对位镜头组件22对位,其中对位镜头组件22包括镜头220和支撑镜头的支架221,镜头220设置在支撑镜头的支架221 上,可以上下左右移动,支撑镜头的支架221设置在机架10上,其中对位镜头组件22设置有两个,分别对应布置在玻璃基板的其中一组对角位置,启动控制UVW平台21移动来实现玻璃基板标志点(Mark 点)和镜头220自动对位,其中设置的两个镜头220分别识别玻璃基板上下对角位置的标志点(Mark点),两个镜头220分别对玻璃基板上的Mark点进行拍照,从而计算玻璃基板上的Mark点的各方向数值与起初设置的注册值比对,计算出偏差值,传输到UVW平台上,则UVW 平台会根据偏差值通过顶销支撑组件23移动玻璃基板60使玻璃基板上的mark点移动到起初设置的注册值位置,则视为对位完成。根据本发明的教导并结合现有技术,本领域技术人员可以很容易实现这样的对位以及控制。
如图1、图2和图5所示,所述旋转升降单元30包括多个升降器31、马达32、升降框架33和旋转顶板34,其中升降器31设置有四个,并安装在机架上,分别支撑升降框架33的四角,马达32底面安装在升降框架33上,顶面与旋转顶板34连接,马达32例如可以是DD马达32,这种马达是本技术领域人员所知的一种高精度、力矩大的直接驱动电机,DD马达的定位精度可达秒级,噪音小,寿命长。
如图1、图2和图6所示,所述主传输单元40包括主传输框架 41、多个滚轮组件42和整形组件43,所述多个滚轮组件42和整形组件43布置在主传输框架41上,所述主传输框架41安装在旋转顶板34上。主传输框架41安装在旋转顶板34上,滚轮组件42都是由两边的轴承固定均匀排列设置在主传输框架41上,滚轮组件42包括滚轮轴420及通过轴承均匀设置在滚轮轴420上的多个滚轮421;其中升降器33的上下运动可以实现主传输框架41的上下运动从而实现玻璃基板60的升降运动,主传输框架41为了不妨碍玻璃基板的整形定位,主传输框架41会下降,玻璃基板就会由顶销支撑组件23支撑,主传输框架41停止下降,启动玻璃整形组件为玻璃基板整形,玻璃基板整形到基准位置,主传输框架继续下降,通过UVW平台21的运动实现玻璃基板与对位镜头组件对位,之后由机械手取走玻璃进入下一个工艺流程。
如图1和2所示,根据下一步的工艺流程,如果玻璃需要旋转,则玻璃基板60通过过渡传输框架52传送到主传输框架41上后,气缸511放气,通过导向组件512导向,过渡传输框架52下降,在过渡传输框架52下降,玻璃基板60在主传输框架41上,启动DD马达 32可以实现旋转顶板34上的主传输框架41上的玻璃基板同时±90°和±180°的旋转,旋转之后在整形定位。如图1中的左边所示是过渡传输单元50,包括两个框架支撑装置51、过渡传输框架52和多个过渡滚轮组件53,多个过渡滚轮组件20均匀布置在过渡传输框架52 上,过渡传输框架52布置在框架支撑装置51上,并可以通过调整螺钉来实现过渡传输框架52的水平位置调节,其中框架支撑装置51包括气缸511、导向轴组件512、底板513、顶板514、上顶板515和支撑上顶板的支柱516。底板513安装在机架10上,气缸511和导向轴组件512下面安装在底板513上,上面与顶板连接,顶板514上面四个角分别设置一个支柱516支撑上顶板515,上顶板515上面是过渡传输框架52,过渡传输框架52是长方形的框架,在长方形框架的两个长边上设置两排轴承,每排轴承与之对应的中间位置设置一排轴承,一共设置有4排轴承,所述每个过渡滚轮组件53一边与框架长边上面的轴承连接,另一边与相对应的中间位置的轴承连接,所述过渡滚轮组件53相平行排列,所述过渡滚轮组件53都是由两边的轴承固定均匀排列设置在过渡主传输框架52上,所述过渡滚轮组件53包括过渡滚轮轴530及通过轴承均匀设置在过渡滚轮轴530上的多个过渡滚轮531。
如图1和2所示,在主传输框架41的左上边和右下边的对角位置设置两个对位镜头组件22,每个对位镜头组件22包括镜头220和支撑镜头的支架221,两个对位镜头组件22中的镜头220在支架上可以前后左右微调,一般在第一块玻璃基板60进入主传输框架41后,调整镜头220,与玻璃基板对位好,镜头220固定,后续玻璃基板进入后,镜头220固定不动,只调节玻璃基板的位置即可。
图3为本发明创造的主传输单元旋转±90°后整体结构示意图。如图3所示,玻璃基板通过过渡传输框架52进入到主传输框架41上,过渡传输框架52通过气缸511放气,导向轴组件512导向下降,玻璃基板位于主传输框架41上,启动整形组件43,整形组件 43包括设置在主传输框架41四边上的8个整形装置430,其每个边上均匀设置两个整形装置430,整形装置430为玻璃整形并夹住玻璃旋转±90°之后主传输框架41下降,待玻璃接触顶销支撑组件23时,再次为玻璃基板整形,整形之后主传输框架继续下降到最低点,如图 3所示主传输框架位置,启动UVW平台21,调整顶销支撑组件位置使玻璃基体上的标准点(mark标)与对位镜头组件22上的镜头220 进行对位。
图4为根据本发明一个实施方案的对位支撑组件的结构示意图。如图4所示,UVW平台21上面是顶销支撑组件23,玻璃基板60在顶销支撑组件23上,如图8所示顶销支撑组件23包括顶销托架2300和设置在顶销托架上的支撑矩阵,所述支撑矩阵由多个支撑滚球组件2310、多个支撑顶销组件2320以及多个真空支撑滚球组件2330排列组合构成,支撑矩阵的四个角为真空支撑滚球组件2330,支撑矩阵的其余位点由支撑滚球组件2310、支撑顶销组件2320以及真空支撑滚球组件2330穿插排列构成。
如图9所示,支撑滚球组件2310包括滚球万向球2311、滚球支柱2312、滚球导向轴支座2313,所述滚球支柱通过滚球导向轴支座固定在顶销托架上,滚球支柱上面安装有滚球万向球,所述滚球万向球是可以滚动的。
如图10所示,支撑顶销组件2320包括顶销2321、顶销支柱2322、顶销导向轴支座2323,所述顶销支柱2322通过顶销导向轴支座2323 固定在顶销托架2300上,顶销支柱2322上面安装有顶销2321,所述顶销2321是固定的。
如图11和图12所示,所述真空支撑滚球组件2330包括真空万向球2331、真空支柱2332、真空导向轴支座2333,所述真空支柱通过真空导向轴支座固定在顶销托架2300上,真空支柱2332上面安装有真空万向球2331,所述真空万向球2331是可以滚动的,但是在真空支柱2332内部抽真空的条件下所述真空万向球2331停止滚动。
图5为根据本发明一个实施方案的旋转升降单元的结构示意图。如图5所示,升降器31支撑升降框架33,升降框架33上面是DD马达32,DD马达32底面安装在升降框架33上,顶面与旋转顶板34连接,其中升降器31设置为四个,本别支撑升降框架33的四个角,四个升降器31安装在机架上,是本技术领域所知的同步电机带动四个升降器31同步升降,并可以通过调整螺钉14实现升降框架33的水平位置调节。
图6为根据本发明一个实施方案的主传输单元的结构示意图。如图6所示,主传输单元包括主传输框架41、多个滚轮组件42 和整形组件43,所述滚轮组件42和整形组件43布置在主传输框架上,当下一步工艺需要玻璃基板60旋转时,玻璃基板60在主传输框架41上的滚轮组件42上,启动整形组件43的整形装置430在为玻璃整形的同时夹住玻璃基板旋转,可以固定玻璃,以防止旋转时玻璃滑落。
工作流程:根据后续的工艺要求确定玻璃基板是否进行旋转。
1、玻璃基板不旋转的工况
一般玻璃基板60都是长方形,玻璃基板60纵向进入到过渡传输框架52上,由过渡传输框架52把玻璃基板60传送到主传输框架 41上,气缸511放气,通过导向单元组件512导向下降,过渡传输框架52下降,启动主传输框架41上的整形组件43为玻璃整形,使玻璃基板60整形到基准位置,升降器31下降,同时带动主传输框架 41下降,玻璃基板落到顶销支撑组件23上时,主传输框架41继续下降到最底端,玻璃基板60在顶销支撑组件23上,启动控制UVW 平台21移动来实现玻璃基板标志点(Mark点)和镜头220自动对位,其中设置的两个镜头220分别识别玻璃基板上下对角位置的标志点 (Mark点),两个镜头220分别对玻璃基板上的Mark点进行拍照,从而计算玻璃基板上的Mark点的各方向数值与起初设置的注册值比对,计算出偏差值,传输到UVW平台上,则UVW平台会根据偏差值通过顶销支撑组件23移动玻璃基板60使玻璃基板上的mark点移动到起初设置的注册值位置,,则视为对位完成。通过UVW平台实现顶销支撑单元23的在X和Y方向的移动,及X、Y平面上的角度微调,玻璃基板对位之后,玻璃基板被机械手拖走进入下一个工艺流程。主传输单元40随着升降器上升复位,最后过渡传输单元50复位,等待下一块玻璃基板进入。
2、玻璃基板旋转的工况
一般玻璃基板60都是长方形,玻璃基板60纵向进入到过渡传输框架52上,由过渡传输框架52把玻璃基板60传送到主传输框架 41上,气缸511放气,通过导向单元组件512导向,过渡传输框架 52下降,启动主传输框架41上的整形组件43为玻璃整形,并夹住玻璃基板60防止玻璃基板滑动,启动DD马达32,带动旋转顶板34和主传输框架41及玻璃基板60进行±90°和±180°的旋转,旋转之后,整形组件43复位,升降器31带动主传输框架41下降,玻璃基板60落到顶销支撑组件23上时,主传输框架41停止下降,再次启动整形装置430对玻璃基板60进行2次整形,使玻璃基板60整形到基准位置,主传输框架41继续下降到最低点,玻璃基板在顶销支撑组件23上,启动UVW平台移动来实现自动对位,通过UVW平台 21实现顶销支撑单元23的顶销在X和Y方向的移动,及在X、Y平面上的角度微调,使玻璃基板标志点(Mark点)位置与对位镜头组件22的镜头220对位之后,玻璃基板60被机械手拖走进入下一个工艺流程。主传输单元40随着升降器的上升复位,主传输单元40旋转复位,过渡传输单元50也进行上升复位,等待下一块玻璃基板进入。

Claims (10)

1.一种玻璃基板旋转对位传输机,包括:
机架(10)、对位支撑单元(20)、旋转升降单元(30)、主传输单元(40)以及过渡传输单元(50),
其中,所述对位支撑单元(20)用于对玻璃基板进行对位,包括UVW平台(21)、多个对位镜头组件(22)、多个顶销支撑组件(23),所述UVW平台(21)和多个对位镜头组件(22)安装在机架(10)上,所述多个顶销支撑组件(23)安装在UWV平台(21)上;
所述旋转升降单元(30)用于调节玻璃基板的高度以及水平方向,包括多个升降器(31)、马达(32)、升降框架(33)和旋转顶板(34),所述DD马达(32)底面安装于升降框架(33)上,顶面与旋转顶板(34)连接,所述升降框架(33)与多个升降器(31)连接,所述多个升降器(31)安装在机架(10)上;
所述主传输单元(40)用于传输玻璃基板以及为玻璃基板进行初步整形,包括主传输框架(41)、多个滚轮组件(42)和整形组件(43),所述多个滚轮组件(42)和整形组件(43)布置在主传输框架(41)上,所述主传输框架(41)安装在旋转顶板(34)上;
所述过渡传输单元(50)用于将玻璃基板传输到所述主传输单元(40)上,包括多个框架升降装置(51)、过渡传输框架(52)和多个过渡滚轮组件(53),所述多个过渡滚轮组件(53)通过轴承均匀布置在过渡传输框架(52)上,所述过渡传输框架(52)布置在框架升降装置(51)上,通过框架升降装置(51)实现过渡传输框架(52)和多个过渡滚轮组件(53)的升降。
2.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述对位镜头组件(22)包括镜头(220)和支撑镜头的支架(221),所述镜头(220)设置在支撑镜头的支架(221)上,可以上下左右移动,所述支撑镜头的支架(221)设置在机架(10)上,所述对位镜头组件(22)设置有两个,分别对应布置在玻璃基板的其中一组对角位置。
3.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述多个顶销支撑组件(23)包括顶销托架(2300)和设置在顶销托架上的支撑矩阵,所述支撑矩阵由多个支撑滚球组件(2310)、多个支撑顶销组件(2320)以及多个真空支撑滚球组件(2330)排列组合构成,支撑矩阵的四个角为真空支撑滚球组件(2330),支撑矩阵的其余位点由支撑滚球组件(2310)、支撑顶销组件(2320)以及真空支撑滚球组件(2330)穿插排列构成;
所述支撑滚球组件(2310)包括滚球万向球(2311)、滚球支柱(2312)、滚球导向轴支座(2313),所述滚球支柱通过滚球导向轴支座固定在顶销托架上,滚球支柱上面安装有滚球万向球,所述滚球万向球是可以滚动的;
所述支撑顶销组件(2320)包括顶销(2321)、顶销支柱(2322)、顶销导向轴支座(2323),所述顶销支柱(2322)通过顶销导向轴支座(2323)固定在顶销托架(2300)上,顶销支柱(2322)上面安装有顶销(2321),所述顶销(2321)是固定的;
所述真空支撑滚球组件(2330)包括真空万向球(2331)、真空支柱(2332)、真空导向轴支座(2333),所述真空支柱通过真空导向轴支座固定在顶销托架(2300)上,真空支柱(2332)上面安装有真空万向球(2331),所述真空万向球(2331)是可以滚动的,但是在真空支柱(2332)内部抽真空的条件下所述真空万向球(2331)停止滚动。
4.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述升降器(31)设置有四个,分别布置在升降框架(33)的四角位置,并支撑升降框架(33),所述四个升降器(31)同步运动。
5.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述整形组件(43)包括8个整形装置(430),分别布置在主传输框架41的四周,每边布置两个。
6.如权利要求5所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述整形装置(430)包括摆动气缸安装板(431)、摆动气缸(432)、摆动板(433)、导向轴(434)以及导向轮(435);所述摆动气缸(432)安装在摆动气缸安装板(431)上,摆动气缸(432)的主轴上安装有摆动板(433),摆动板(433)与导向轴(434)的一端连接,导向轴(434)的另一端与导向轮(435)连接,
其中所述摆动板(433)、导向轴(434)以及导向轮(435)随摆动气缸(432)的主轴的旋转而旋转,由水平状态旋转成竖直状态,由此通过导向轮(435)对设置在支撑平台上的玻璃基板进行整形。
7.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述主传输框架(41)是长方形的框架,在长方形框架的两个长边上设置两排轴承,每排轴承与之对应的中间位置设置一排轴承,一共设置有4排轴承,所述每个滚轮组件(42)一边与框架长边上面的轴承连接,另一边与相对应的中间位置的轴承连接,所述滚轮组件(42)相平行排列。
8.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述滚轮组件(42)都是由两边的轴承固定均匀排列设置在主传输框架(41)上,所述滚轮组件(42)包括滚轮轴(420)及通过轴承均匀设置在滚轮轴(420)上的多个滚轮(421)。
9.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述框架支撑装置(51)包括气缸(511)和导向组件(512)、底板(513)、顶板(514)、上顶板(515)和顶板(514)支撑上顶板(515)的支柱(516);所述底板(513)安装在机架(10)上,所述气缸(511)和导向组件(512)分别与底板(513)和顶板(514)连接,所述顶板(514)四角分别布置1个支柱(516)支撑上顶板(515)。
10.如权利要求1所述的一种玻璃基板旋转对位传输机,其特征在于,所述过渡传输框架(52)是长方形的框架,在长方形框架的两个长边上设置两排轴承,每排轴承与之对应的中间位置设置一排轴承,一共设置有4排轴承,所述每个过渡滚轮组件(53)一边与框架长边上面的轴承连接,另一边与相对应的中间位置的轴承连接,所述过渡滚轮组件(53)相平行排列,所述过渡滚轮组件(53)都是由两边的轴承固定均匀排列设置在过渡主传输框架(52)上,所述过渡滚轮组件(53)包括过渡滚轮轴(530)及通过轴承均匀设置在过渡滚轮轴(530)上的多个过渡滚轮(531)。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104386908A (zh) * 2014-11-19 2015-03-04 南京熊猫电子股份有限公司 一种玻璃的±90°旋转传输装置
CN106078331A (zh) * 2016-07-06 2016-11-09 深圳市研创精密设备有限公司 一种具有旋转结构的玻璃膜自动上下料机
CN206749208U (zh) * 2017-01-18 2017-12-15 东莞市方胜电子有限公司 一种液晶玻璃全自动对位贴合机
CN208173568U (zh) * 2018-02-12 2018-11-30 北京京城清达电子设备有限公司 一种玻璃基板旋转对位传输机

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104386908A (zh) * 2014-11-19 2015-03-04 南京熊猫电子股份有限公司 一种玻璃的±90°旋转传输装置
CN106078331A (zh) * 2016-07-06 2016-11-09 深圳市研创精密设备有限公司 一种具有旋转结构的玻璃膜自动上下料机
CN206749208U (zh) * 2017-01-18 2017-12-15 东莞市方胜电子有限公司 一种液晶玻璃全自动对位贴合机
CN208173568U (zh) * 2018-02-12 2018-11-30 北京京城清达电子设备有限公司 一种玻璃基板旋转对位传输机

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