CN108155122A - 一种二极管链式封装炉 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种二极管链式封装炉,包括炉体、气氛控制系统、温度控制系统和传动系统,炉体设置有直通敞口,炉体包括依次设置的进口平台、进口过渡段、进口保温段、加热段、出口保温段、冷却段、出口过渡段和出口平台,进口过渡段和出口过渡段均设置有过渡气封钢套,气氛控制系统包括气氛发生装置、温度控制装置、气路控制装置和烟气通道,温度控制系统包括温控仪表、K分度热偶和温度报警系统,传动系统包括网带传送装置和设置在温控仪表上的变频调速装置,网带传送装置设置在炉体的直通敞口位置处。本发明的方案可使得封装炉整体的漏点少,全程氧含量满足工艺要求,温控效果好,连续传动稳定,操作方便,使得生产的产品质量更好。
Description
技术领域
本发明涉及二极管封装设备技术领域,具体涉及一种二极管链式封装炉。
背景技术
链式封装炉主要是为了使得二极管、三极管等电子元器件玻璃封装产品在保护气氛下的熔封、金属化等工艺,现有链式炉对气密性控制不好,以至于全程氧含量要求不达标,设备温控想效果不好,使得产品质量较低,另外传统的封装炉还存在传动不稳定、不方便操作、操作效率低等现象。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种二极管链式封装炉,克服了现有技术的不足,使得封装炉整体的漏点少,全程氧含量满足工艺要求,结构设计合理,使得温控效果好,连续传动稳定,操作方便,使得生产的产品质量更好。
(二)技术方案
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:
一种二极管链式封装炉,包括炉体、气氛控制系统、温度控制系统和传动系统,所述炉体设置有直通敞口,所述炉体包括依次设置的进口平台、进口过渡段、进口保温段、加热段、出口保温段、冷却段、出口过渡段和出口平台,所述进口过渡段和出口过渡段均设置有过渡气封钢套,所述过渡气封缸套用于产生氮气气幕,所述气氛控制系统包括气氛发生装置、温度控制装置、气路控制装置和烟气通道,所述气氛发生装置为氮气发生装置,所述气路控制装置包括贯穿在炉体的炉衬上的热气通道,所述温度控制装置用于控制氮气的温度,所述温度控制装置设置在热气通道外或气氛发生装置的出口端或烟气通道的进口端,所述烟气通道设置在过渡气封缸套内,所述烟气通道用于产生氮气气幕,所述温度控制系统包括温控仪表、K分度热偶和温度报警系统,所述K分度热偶和温度报警系统均通过信号线连接在温控仪表上,所述K分度热偶设置在炉体上的温度调节区内,所述传动系统包括网带传送装置和设置在温控仪表上的变频调速装置,所述网带传送装置设置在炉体的直通敞口位置处。
所述进口保温段和出口保温段均采用陶瓷纤维机制板。
所述冷却段设置有不锈钢的冷却水套,所述冷却水套的末端连接在出口过渡段的过渡气封钢套上。
所述过渡气封钢套上均设置一个排气烟囱,所述排气烟囱上设置有文氏助排管,所述文氏助排管上设有阀门,所述阀门用于调节气体流量大小。
所述网带传送装置包括变频电机、减速器、网带、链条、主动轮和被动轮,所述主动轮通过变频电机驱动,所述减速器设置在变频电机上,所述被动轮通过链条连接在主动轮上,所述网带与被动轮之间的摩擦力驱动。
所述炉体的进出口端设置有网带纠偏装置,所述网带纠偏装置为橡胶滚轮。
所述温度控制装置包括加热元件和冷却水套,所述加热元件为螺旋管穿电阻丝。
所述炉衬为整体式马弗管,所述热气通道为多路热气通道。
(三)有益效果
本发明实施例提供了一种二极管链式封装炉。具备以下有益效果:通过气氛控制系统为炉体提供多路气体保护,使得为炉体内的加工件提供①进口气幕:进口氮气气幕防止外部空气进入炉膛,直到氧含量达到工艺要求;②升温氮气:用于升温段正常氮气补充;③ 高温氮气:用于高温段正常氮气补充;④降温氮气:用于降温段正常氮气补充及冷却工件;⑤冷却氮气:用于吹扫工件,有效降低工件温度,并可防止炉膛气氛向水冷套扩散;⑥助排氮气:助排用氮气;⑦出口气幕:出口氮气气幕,防止外部空气进入炉膛,使氧含量达到工艺要求。温度控制系统采用温控仪表控制,温控仪表安装在出口端使得便于操作,另外K分度热偶配合温控仪表以及温度报警系统协同工作可以实现PID参数自整定,且具有高温上限报警、热电偶失效指示、电阻丝开断等多项报警保护功能,通过控制方式为固态继电器过零触发方式,实现平衡加热,使得温控操作更方便,效果更好,所产出的产品质量更高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明中所述二极管链式封装炉的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
参阅图1所示,本发明提供一种二极管链式封装炉,包括炉体1、气氛控制系统、温度控制系统3和传动系统4,炉体1设置有直通敞口11,炉体1包括依次设置的进口平台、进口过渡段、进口保温段、加热段、出口保温段、冷却段、出口过渡段和出口平台,进口过渡段和出口过渡段均设置有过渡气封钢套,过渡气封缸套用于产生氮气气幕,气氛控制系统包括气氛发生装置、温度控制装置、气路控制装置和烟气通道,气氛发生装置为氮气发生装置,气路控制装置包括贯穿在炉体的炉衬上的热气通道,温度控制装置用于控制氮气的温度,温度控制装置设置在热气通道外或气氛发生装置的出口端或烟气通道的进口端,烟气通道设置在过渡气封缸套内,烟气通道用于产生氮气气幕,温度控制系统3包括温控仪表31、K分度热偶和温度报警系统32,K分度热偶和温度报警系统均通过信号线连接在温控仪表上,K分度热偶设置在炉体上的温度调节区内,传动系统4包括网带传送装置和设置在温控仪表上的变频调速装置,网带传送装置设置在炉体的直通敞口11位置处。
优选的,进口保温段和出口保温段均采用陶瓷纤维机制板;冷却段设置有不锈钢的冷却水套,冷却水套的末端连接在出口过渡段的过渡气封钢套上;过渡气封钢套上均设置一个排气烟囱,排气烟囱上设置有文氏助排管,文氏助排管上设有阀门,阀门用于调节气体流量大小;网带传送装置包括变频电机、减速器、网带、链条、主动轮和被动轮,主动轮通过变频电机驱动,减速器设置在变频电机上,被动轮通过链条连接在主动轮上,网带与被动轮之间的摩擦力驱动;炉体的进出口端设置有网带纠偏装置,网带纠偏装置为橡胶滚轮;温度控制装置包括加热元件和冷却水套,加热元件为螺旋管穿电阻丝;炉衬为整体式马弗管,热气通道为多路热气通道。
通过气氛控制系统为炉体提供多路气体保护,使得为炉体内的加工件提供①进口气幕:进口氮气气幕防止外部空气进入炉膛,直到氧含量达到工艺要求;②升温氮气:用于升温段正常氮气补充;③ 高温氮气:用于高温段正常氮气补充;④降温氮气:用于降温段正常氮气补充及冷却工件;⑤ 冷却氮气:用于吹扫工件,有效降低工件温度,并可防止炉膛气氛向水冷套扩散;⑥ 助排氮气:助排用氮气;⑦出口气幕:出口氮气气幕,防止外部空气进入炉膛,使氧含量达到工艺要求。
温度控制系统采用温控仪表控制,温控仪表安装在出口端使得便于操作,该温控仪表可以是日本岛电智能温度调节仪,另外温度调节区均设置有K分度热偶。采用日本岛电智能温度调节仪控温,PID参数自整定,且具有高温上限报警、热电偶失效指示、电阻丝开断等多项报警保护功能,控制方式为固态继电器过零触发方式,并实现平衡加热。
本炉体加热段由各个温区组成,每个温区300mm都有一套独立的测温,控温系统及温度超温报警系统,分别控制各自温区,并且当某个温区温度发生超温现象时,相应温区的温度超温报警系统立即发出声光报警信号并同时切断该温区的加,其它温区正常工作,蜂鸣器发出报警声。
炉体保温采用陶瓷纤维机制板。由于完全采用了超轻质材料保温,热容小、升降温快,因此温度控制灵敏,并且有明显的节能效果。不锈钢的冷却水套, 采用内部气冷结合外部水冷的联合冷却方式,可同时降低工件和承烧盘的温度,保证出炉的产品温度。
另外该炉体为很好的实施生产,解决上述技术问题优选的技术参数为:
1.额定温度:1000℃;最高温度:1100℃
2.炉口有效尺寸:150*80mm
3.马弗材料:整体马弗管
4.网带宽度:150mm
5.网带材质:镍铬合金V形编制炉带
6.传动系统:大包角摩擦传动
7.调速范围:100mm-400mm/min,变频器无级调速,网带速度数字显示典型带速300mm/min
8.网带支持:全滚轮支持
9.加热元件:电阻丝(螺旋管穿丝)
10.烧结气氛:氮气
11.气路组成:多路气体保护。
12.排气系统:进出口过渡钢套上各设一个排气烟囱(含文氏助排)
13.冷却方式:内部气体冷却,外部采用水冷;
14.控温稳定度:±1℃,日本岛电智能调节仪控制,具有PID参数自整定功能;
15.温区个数:6个;(上下加热),每个温区长度300mm
16.报警保护:超温、断偶、断水、断加热丝等声光报警保护(指示灯指示);
17.氮气耗量:约8-10m3/h;
18.氮气工作压力:0.4-0.6Mpa;
19. 冷却进水温度:小于30℃;
20.冷却水耗量:3-4m3/h;
21.冷却水工作压力:0.2-0.25Mpa;
22.表面温升:<45℃;
23.出料温度:<80℃;
24.最大升温功率:30KW
25.电源:3相5线,380/220VAC,50Hz;
26.外形尺寸:8600×1200mm×1350(L×W×H)mm。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (8)
1.一种二极管链式封装炉,包括炉体、气氛控制系统、温度控制系统和传动系统,其特征在于:所述炉体设置有直通敞口,所述炉体包括依次设置的进口平台、进口过渡段、进口保温段、加热段、出口保温段、冷却段、出口过渡段和出口平台,所述进口过渡段和出口过渡段均设置有过渡气封钢套,所述过渡气封缸套用于产生氮气气幕,所述气氛控制系统包括气氛发生装置、温度控制装置、气路控制装置和烟气通道,所述气氛发生装置为氮气发生装置,所述气路控制装置包括贯穿在炉体的炉衬上的热气通道,所述温度控制装置用于控制氮气的温度,所述温度控制装置设置在热气通道外或气氛发生装置的出口端或烟气通道的进口端,所述烟气通道设置在过渡气封缸套内,所述烟气通道用于产生氮气气幕,所述温度控制系统包括温控仪表、K分度热偶和温度报警系统,所述K分度热偶和温度报警系统均通过信号线连接在温控仪表上,所述K分度热偶设置在炉体上的温度调节区内,所述传动系统包括网带传送装置和设置在温控仪表上的变频调速装置,所述网带传送装置设置在炉体的直通敞口位置处。
2.如权利要求1所述的二极管链式封装炉,其特征在于:所述进口保温段和出口保温段均采用陶瓷纤维机制板。
3.如权利要求1所述的二极管链式封装炉,其特征在于:所述冷却段设置有不锈钢的冷却水套,所述冷却水套的末端连接在出口过渡段的过渡气封钢套上。
4.如权利要求1所述的二极管链式封装炉,其特征在于:所述过渡气封钢套上均设置一个排气烟囱,所述排气烟囱上设置有文氏助排管,所述文氏助排管上设有阀门,所述阀门用于调节气体流量大小。
5.如权利要求1所述的二极管链式封装炉,其特征在于:所述网带传送装置包括变频电机、减速器、网带、链条、主动轮和被动轮,所述主动轮通过变频电机驱动,所述减速器设置在变频电机上,所述被动轮通过链条连接在主动轮上,所述网带与被动轮之间的摩擦力驱动。
6.如权利要求1所述的二极管链式封装炉,其特征在于:所述炉体的进出口端设置有网带纠偏装置,所述网带纠偏装置为橡胶滚轮。
7.如权利要求1所述的二极管链式封装炉,其特征在于:所述温度控制装置包括加热元件和冷却水套,所述加热元件为螺旋管穿电阻丝。
8.如权利要求1所述的二极管链式封装炉,其特征在于:所述炉衬为整体式马弗管,所述热气通道为多路热气通道。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111843093A (zh) * | 2020-06-04 | 2020-10-30 | 蚌埠市双环电子集团股份有限公司 | 一种软磁材料生产加工用链带式气氛钎焊炉 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2906505Y (zh) * | 2006-05-25 | 2007-05-30 | 展丰能源技术(上海)有限公司 | 太阳能硅片烧结炉 |
CN101440427A (zh) * | 2008-12-19 | 2009-05-27 | 攀钢集团成都钢铁有限责任公司 | 钢管正火方法 |
CN101963451A (zh) * | 2010-10-28 | 2011-02-02 | 合肥高歌热处理应用技术有限公司 | 一种隧道式网带烧结炉 |
CN102185024A (zh) * | 2011-04-01 | 2011-09-14 | 湘潭大学 | 一种处理制备cigs太阳能电池吸收层的硒化炉及制备方法 |
CN102299059A (zh) * | 2010-06-25 | 2011-12-28 | 光洋热系统株式会社 | 连续扩散处理装置 |
CN102337594A (zh) * | 2010-07-20 | 2012-02-01 | 光洋热系统株式会社 | 连续扩散处理装置 |
CN102560324A (zh) * | 2012-01-17 | 2012-07-11 | 中山市格普斯纳米电热科技有限公司 | 一种热喷涂电热膜生产设备 |
CN103579414A (zh) * | 2013-08-05 | 2014-02-12 | 北京吉阳技术股份有限公司 | 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法 |
-
2017
- 2017-12-22 CN CN201711400502.3A patent/CN108155122B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2906505Y (zh) * | 2006-05-25 | 2007-05-30 | 展丰能源技术(上海)有限公司 | 太阳能硅片烧结炉 |
CN101440427A (zh) * | 2008-12-19 | 2009-05-27 | 攀钢集团成都钢铁有限责任公司 | 钢管正火方法 |
CN102299059A (zh) * | 2010-06-25 | 2011-12-28 | 光洋热系统株式会社 | 连续扩散处理装置 |
CN102337594A (zh) * | 2010-07-20 | 2012-02-01 | 光洋热系统株式会社 | 连续扩散处理装置 |
CN101963451A (zh) * | 2010-10-28 | 2011-02-02 | 合肥高歌热处理应用技术有限公司 | 一种隧道式网带烧结炉 |
CN102185024A (zh) * | 2011-04-01 | 2011-09-14 | 湘潭大学 | 一种处理制备cigs太阳能电池吸收层的硒化炉及制备方法 |
CN102560324A (zh) * | 2012-01-17 | 2012-07-11 | 中山市格普斯纳米电热科技有限公司 | 一种热喷涂电热膜生产设备 |
CN103579414A (zh) * | 2013-08-05 | 2014-02-12 | 北京吉阳技术股份有限公司 | 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111843093A (zh) * | 2020-06-04 | 2020-10-30 | 蚌埠市双环电子集团股份有限公司 | 一种软磁材料生产加工用链带式气氛钎焊炉 |
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CN108155122B (zh) | 2021-04-16 |
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GR01 | Patent grant | ||
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