CN108139283B - 柔性触角传感器及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种柔性触角传感器及其制造方法，而柔性触角传感器，包括：聚合物层；第一金属层，形成于上述聚合物层的上部；第一传感器层，包括形成于上述第一金属层的上部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于上述应变仪的金属线；第一覆盖层，保护上述第一传感器层；第二金属层，形成于上述聚合物层的下部；第二传感器层，包括形成于上述第二金属层的下部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于上述应变仪的金属线；及第二覆盖层，保护上述第二传感器层。

Description

柔性触角传感器及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种柔性触角传感器及其制造方法，尤其涉及一种可在两面检测触角的柔性触角传感器及其制造方法。
背景技术
触角传感器是用于检测传感器和物体之间的接触参数(parameter)，即受接触影响的局部的力或压力的传感器。
触角传感器不仅可用于为手术、癌症诊断等的各种医疗器械及医疗施术，而且，还可用于虚拟现实实现领域及触角领域的各种领域。已开发出用于工业机器人的六自由度的力量/扭矩传感器和用于机器人的夹具(gripper)的可检测接触力及瞬间滑动的触角传感器。例如，已开发出的触角传感器的示例例如有可检测对来自X、Y、Z轴方向的接触力的信息的基于三轴力量分析的触角传感器等。
韩国注册专利第10-0703082号公开柔性触角传感器及其制造方法。上述专利公开一种触角传感器，包括：薄膜层，具备检测区域并由感光性聚合物构成；薄膜支持层，以在上述薄膜层下面具备定义上述检测区域的窗口的形式形成且由至少两个感光性聚合物层构成；多个金属应变仪，形成于上述薄膜层下面以使至少一部分位于上述检测区域且相互对向排列；第一金属线，形成于上述薄膜层下面以各连接于上述多个金属应变仪；第二金属线，形成于上述至少两个感光性聚合物层之间以各连接于上述多个金属应变仪。
韩国注册专利第10-0997108号公开触角传感器及其制造方法。上述专利公开一种即使在从外部施加于触角传感器的作用力小的情况下也能检测作用力的小型触角传感器，而且，还提供一种制造工艺简单，节省制造费用、制造时间且可提高生产性的触角传感器的制造方法。
发明内容
发明要解决的问题
本发明的一实施例提供一种可在两面检测力的柔性触角传感器及其制造方法。
本发明的一实施例提供一种通过减少传感器的厚度提高柔性，且可在两面进行检测，从而可提高检测的准确性的柔性触角传感器及其制造方法。
本发明的一实施例提供一种通过简化传感器结构提高生产性的柔性触角传感器及其制造方法。
解决问题的方法
在实施例中，一种柔性触角传感器，包括：聚合物层；第一金属层，形成于上述聚合物层的上部；第一传感器层，包括形成于上述第一金属层的上部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于上述应变仪的金属线；第一覆盖层，保护上述第一传感器层；第二金属层，形成于上述聚合物层的下部；第二传感器层，包括形成于上述第二金属层的下部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于上述应变仪的金属线；及第二覆盖层，保护上述第二传感器层。
在一实施例中，上述聚合物层可以是聚酰亚胺层。
在一实施例中，上述第一金属层及第二金属层可以是镍铬(Ni-Cr)层。
在一实施例中，第一传感器层，可包括：第一应变仪和各连接于上述第一应变仪的一端和另一端的第一金属线；及第二应变仪和各连接于上述第二应变仪的一端和另一端的第二金属线。
在一实施例中，上述第一应变仪和上述第二应变仪各自的长度方向的轴和平面的垂直轴可形成一定角度。
在一实施例中，上述第一应变仪和上述第二应变仪相互隔开且各自的长度方向的轴可呈“∧”状。
在一实施例中，上述第一应变仪和上述第二应变仪可呈连续的
Figure BDA0001572096770000021
状。
在一实施例中，上述第一应变仪和上述第二应变仪可呈连续的“X”状。
在一实施例中，上述第一应变仪和上述第二应变仪的应变仪的线宽的长度和线宽之间的间隙的长度可各不相同。
在一实施例中，上述第一应变仪的线宽长度为40～90μm，线之间的间隙的长度为110～160μm，而上述第二应变仪的线宽长度为50～100μm，线之间的间隙的长度为100～150μm。
在一实施例中，上述第一应变仪可输出第一检测值，而上述第二应变仪可输出用于修正上述第一检测值的第二检测值。
在一实施例中，第二传感器层，可包括：第三应变仪和各连接于上述第三应变仪的一端和另一端的第三金属线；及第四应变仪和各连接于上述第四应变仪的一端和另一端的第四金属线。
在一实施例中，第一传感器层可包括第一应变仪和各连接于上述第一应变仪的一端和另一端的第一金属线，而上述第二传感器层可包括第二应变仪和各连接于上述第二应变仪的一端和另一端的第二金属线。
在一实施例中，上述第一应变仪和上述第二应变仪各自的长度方向的轴可相互垂直。
在实施例中，一种触角传感器的制造方法，可包括：在聚合物层的上部和下部可形成第一金属层和第二金属层的步骤；在上述第一金属层的上部和上述第二金属层的下部各图案化形成应变仪的步骤；图案化形成连接于上述各应变仪的金属线的步骤；及形成用于保护形成于上述第一金属层的上部的应变仪和金属线的第一覆盖层和用于保护形成于上述第二金属层的下部的应变仪和金属线的第二覆盖层的步骤。
在一实施例中，上述图案化形成应变仪的步骤可包括在上述第一金属层的上部和上述第二金属层的下部各图案化形成第一应变仪和第二应变仪的步骤。
在一实施例中，上述第一应变仪和上述第二应变仪各自的长度方向的轴和平面的垂直轴可图案化形成一定角度。
在一实施例中，上述第一应变仪和上述第二应变仪相互隔开且各自的长度方向的轴可呈“∧”状。
在一实施例中，上述第一应变仪和上述第二应变仪可图案化形成为连续的
Figure BDA0001572096770000031
状。
在一实施例中，上述第一应变仪和上述第二应变仪的应变仪的线宽的长度和线宽之间的间隙的长度可图案化形成为各不相同。
在一实施例中，上述图案化形成应变仪的步骤可包括在上述第一金属层的上部图案化形成第一应变仪，在上述第二金属层的下部图案化形成第二应变仪的步骤。
在一实施例中，上述图案化形成应变仪的步骤可图案化形成为使上述第一应变仪和上述第二应变仪各自的长度方向的轴相互垂直。
在实施例中，一种触角传感器的制造方法，可包括：在聚合物层的上部形成第一金属层的步骤；在上述第一金属层的上部图案化形成应变仪的步骤；图案化形成连接于上述应变仪的金属线的步骤；形成用于保护形成于上述第一金属层的上部的应变仪和金属线的第一覆盖层的步骤；在聚合物层的下部形成第二金属层的步骤；在上述第二金属层的下部图案化形成应变仪的步骤；图案化形成连接于上述应变仪的金属线的步骤；及形成用于保护形成于上述第二金属层的下部的应变仪和金属线的第二覆盖层的步骤。
发明效果
本发明一实施例的柔性触角传感器通过在两面检测力，可提供更准确的检测结果。
本发明一实施例的柔性触角传感器及其制造方法提供一种通过减少传感器的厚度提高柔性，且可在两面进行检测，从而可提高检测的准确性的柔性触角传感器。
本发明一实施例的柔性触角传感器及其制造方法可通过简化传感器结构提高生产性。
附图说明
图1为本发明一实施例的柔性触角传感器的概略截面图；
图2为图1所示的柔性触角传感器的具体截面图；
图3为说明图2所示的柔性触角传感器的应变仪和金属线的示意图；
图4为表示图2所示的柔性触角传感器的实现例的示意图；
图5为表示触角传感器模块的另一实现例的示意图；
图6为表示触角传感器模块的又一实现例的示意图；
图7为表示图4所示的柔性触角传感器的特性的曲线图；
图8为表示图4所示的柔性触角传感器的根据弯曲半径的电阻的变化量的曲线图；
图9a至图9d为说明制造本发明的一实施例的柔性触角传感器的方法的示意图。
具体实施方式
关于所公开的技术内容只不过是用来说明结构或功能的实施例，因此所公开的技术的权利范围不应受本文所描述的实施例的限制。即实施例可进行各种变形，具有各种形式，因此，所公开的技术的权利范围应包括可实现技术思想的均等物。本发明的特定实施例不是需包括全部上述目的活性效果或只包括如下效果，因此，所公开的技术的权利范围不受此限制。
另外，用于本本发明的术语需按如下方式理解。
“第一”、“第二”等术语用于从一个构成要素区分另一构成要素，但权利要求范围不受上述术语的限制。例如，第一构成要素可以命名为第二构成要素，而与此相似，第二构成要素也可以命名为第一构成要素。
一个结构“连接”或“接入”另一个结构是指直接连接或接入另一个结构或通过其他结构连接或接入。与此相反，一个结构与另一个结构“直接连接”是指中间不存在其他结构。说明结构之间关系的其他描述，例如“……之间”和“就在……之间”或“相邻于……”和“相接于……”等也是同样的意思。
在语境中没有明显的区别，则单数的记载包含复数的含义，“包括”或“拥有”等术语表示存在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、结构、部件或它们的组合，而非预先排除一个或以上的其他特征、数字、步骤、动作、结构、部件或它们的组合的存在或附加可能性。
在各步骤中，识别符号(例如，a、b、c等)是为说明的便利所使用的，识别符号不是说明各步骤的顺序，除非在文脉上明确记载特定顺序，各步骤也可按以所记载的顺序不同的顺序实施。即，各步骤可按所记载的顺序实施，也可实际上同时实施，还可按相反的顺序实施。
除非有特别的说明，包括技术或科学术语在内的在此使用的所有术语的意思与本实用新型所属技术领域的技术人员通常所理解的意思一样。一般使用的与词典中定义的术语相同的术语具有与相关技术的语境中的意思相同的含义，除非有明确的定义，在本申请中不具有理想的或过度的含义。
图1为本发明一实施例的柔性触角传感器的概略截面图。
如图1所示，柔性触角传感器，包括：聚合物层110；第一金属层120，形成于聚合物层110的上部；第一传感器层130，包括形成于第一金属层120的上部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于应变仪的金属线；第一覆盖层150，保护第一传感器层130；第二金属层121，形成于聚合物层110的下部；第二传感器层131，包括形成于第二金属层121的下部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于应变仪的金属线；及第二覆盖层151，保护第二传感器层131。
聚合物层110可在维持传感器的结构的同时，可受外力柔软地弯曲。在一实施例中，聚合物层110可以是聚酰亚胺(PI，Polyimide)层。聚酰亚胺层具有高的热稳定性和稳定的物理、化学特性，薄且弯曲性好。在一实施例中，聚合物层110可以25μm的厚度形成。
在聚合物层110的上部(或外部方向)和下部(或外部方向)各形成第一金属层120和第二金属层121。第一金属层120和第二金属层121可在聚合物层110的上部和下部沉积镍-铬(Ni-Cr)而成。在一实施例中，第一金属层120和第二金属层121可各以
Figure BDA0001572096770000061
A的厚度形成。在一实施例中，第一金属层120和第二金属层121可只在图案化形成应变仪的位置沉积而成。
第一传感器层130包括形成于第一金属层120的上部并根据变形改变电阻值的应变仪(strain gauge)及连接于应变仪的金属线。在第一金属层120的上部图案化形成应变仪之后，可在应变仪连接金属线。在应变仪的一端和另一端各连接金属线，以与第一电极及第二电极连接。金属线可由铜图案化形成并连接于应变仪。在一实施例中，第一传感器层130可以13μm的厚度形成。
第二传感器层131包括形成于第二金属层121的下部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于应变仪的金属线。对第二传感器层131的说明与第一传感器层130相同。
在第一传感器层130的上部形成用于保护第一传感器层130的第一覆盖层150，在第二传感器层131的下部形成用于保护第二传感器层131的第二覆盖层151。在一实施例中，聚合物层151可以是聚酯(PET，Polyester)层。
可在第一传感器层130的上部形成第一粘接层140，而可通过第一粘接层140在第一传感器层130的上部粘接第一覆盖层150。同样，可在第二传感器层131的下部形成第二粘接层141，而可通过第二粘接层141在第二传感器层131的下部粘接第二覆盖层151。例如，可在传感器层130、131涂布粘接剂或附着粘接薄膜之后，粘接覆盖层150、151。
图1的柔性触角传感器在两面具备传感器，从而可在两面检测力。例如，当受外力向一侧弯曲时，柔性触角传感器可在两面检测检测(bending up and bending down)弯曲(bending)，从而可提高检测的准确性。另外，柔性触角传感器可检测施加于该触角传感器的一个位置的垂直力(Normal Force)。
图2为图1所示的柔性触角传感器的具体截面图。
如图2所示，第一传感器层130包括第一应变仪132a和各连接于第一应变仪132a的一端和另一端的第一金属线132b，及第二应变仪134a和各连接于第二应变仪134a的一端和另一端的第二金属线134b。第一应变仪132a和第二应变仪134a可相互隔开形成。
在一实施例中，第一应变仪132a和第一金属线132b可属于驱动用传感器模块，而第二应变仪134a和第二金属线134b可属于修正用传感器模块。例如，第一应变仪132a可通过第一金属线132b输出第一检测值，而第二应变仪134a可通过第二金属线134b输出用于修正第一检测值的第二检测值。
例如，金属应变仪可具有随着温度的上升电阻线性增加的特性。因此，监控服务器包含用于修正检测值的模块或算法，可利用驱动用传感器模块输出的第一检测值和修正用传感器模块输出的第二检测值修正因传感器模块之间的温差造成的检测值的误差。
第二传感器层132包括第三应变仪136a和各连接于第三应变仪136a的一端和另一端的第三金属线136b，及第四应变仪138a和各连接于第四应变仪138a的一端和另一端的第二金属线138b。第三应变仪136a和第四应变仪138a可相互隔开形成。
在一实施例中，第三应变仪136a和第三金属线136b可属于驱动用传感器模块，而第四应变仪138a和第四金属线138b可属于修正用传感器模块。例如，第三应变仪136a可通过第三金属线136b输出第三检测值，而第四应变仪138a过第四金属线138b输出用于修正第三检测值的第四检测值。
在一实施例中，第一金属层和第二金属层可沉积于整个聚合物层110或只沉积于图案化形成应变仪的位置120a、120b、121a、121b。
图3为说明图2所示的柔性触角传感器的应变仪和金属线的示意图。
如图3所示，各应变仪132a、134a、136a、138a可图案化为连续的
Figure BDA0001572096770000071
状。各应变仪的末端可连接各金属线。
在一实施例中，驱动用传感器模块的应变仪132a、136a和修正用传感器模块的应变仪134a、138a的线宽的长度和线之间的间隙的长度可各不相同。线宽的长度和线之间的间隙的长度可根据传感器的应用对象或里的主要测量方向等以不同方式实现。
例如，驱动用传感器模块的应变仪132a、136a的线宽的长度可以为40～90μm，线之间的间隙的长度为110～160μm，而修正用传感器模块的应变仪134a、138a的线宽的长度可为50～100μm，线之间的间隙的长度为100～150μm。
在一实施例中，驱动用传感器模块的应变仪132a、136a的线宽的长度可以为65μm，线之间的间隙的长度为135μm，而修正用传感器模块的应变仪134a、138a的线宽的长度可为75μm，线之间的间隙的长度为125μm。
在一实施例中，应变仪132a、134a、136a、138a可沿容易测量弯曲的力或垂直力的方向形成。例如，应变仪132a、134a、136a、138a可以使柔性触角传感器的可预料的弯折线或弯曲线平行于应变仪132a、134a、136a、138a的长度方向的轴310、312、320、322方式形成。柔性触角传感器的弯折线或弯曲线越平行于应变仪132a、134a、136a、138a的长度方向的轴310、312、320、322，则因应变仪的变形率变大而提高测量准确性。在一实施例中，柔性触角传感器的可预料的弯折线或弯曲线，可根据应用对象、应用位置或测量对象力等由设计者预先假设，而应变仪132a、134a、136a、138a可基于上述假设形成。
例如，在图3中，驱动用传感器模块的第一应变仪132a和修正用传感器模块的第二应变仪134a各自的长度方向的轴310、312可与平面的垂直轴形成一定角度。例如，第一应变仪132a和第二应变仪134a可相互倾斜形成。
在一实施例中，第一应变仪132a和上述第二应变仪134a相互隔开，而各自的长度方向的轴310、312在上部交叉形成“∧”状。
驱动用传感器模块的第三应变仪136a和修正用传感器模块的第四应变仪138a各自的长度方向的轴320、322可与平面的垂直轴形成一定角度。例如，第三应变仪136a和第四应变仪138a可相互倾斜形成。
在一实施例中，第三应变仪136a和上述第四应变仪138a相互隔开，而各自的长度方向的轴320、322在下部交叉形成“∨”状。
在一实施例中，第一应变仪132a和第三应变仪136a可形成于相对向的相反位置，而第二应变仪134a和第四应变仪138a也可形成于相对向的相反位置。在另一实施例中，一侧的第一应变仪132a和第二应变仪134a和相反一侧的第三应变仪136a和第四应变仪138a可相互交叉形成。例如，第一应变仪132a、第二应变仪136a、第三应变仪134a和第四应变仪138a可按顺序相互交叉形成。
上述构成的柔性触角传感器因在两面具备传感器，可在两面准确检测力。
图4为表示图2所示的柔性触角传感器的实现例的示意图。
如图4所示，在柔性触角传感器的一侧形成有驱动用传感器模块410和修正用传感器模块420。触角传感器模块的应变仪可如图4所示形成于相同的一面，也可形成以各自不同的一面。
图5为表示触角传感器模块的另一实现例的示意图。
如图5所示，第一应变仪510可形成于第一面(图5的(a))，而第二应变仪520可形成于第二面(第一面的相反一面)。在一实施例中，第一应变仪510和第二应变仪520可形成为使各自的长度方向的轴相互交叉。在另一实施例中，第一应变仪510和第二应变仪520可形成为使各自的长度方向轴相互倾斜交叉。
例如，在图5中，第一应变仪510可形成为使长度方向的轴垂直于第一面的水平面(图5的(a))，而第二应变仪520可形成为使长度方向的轴平行于第二面的水平面(图5的(b))，从而相互交叉。使用者可通过上述构成的触角传感器模块确认根据所施加的力的变形(strain)方向。
在一实施例中，第一应变仪510属于第一驱动用传感器模块的应变仪，而第二应变仪520属于第二驱动用传感器模块的应变仪。此时，监控服务器(或管理员)包含根据预定的方式修正检测值的模块或算法，而可修正各驱动用传感器模块输出的检测值。
在另一实施例中，第一应变仪510属于驱动用传感器模块的应变仪，而第二应变仪520属于修正用传感器模块的应变仪。
图6为表示触角传感器模块的又一实现例的示意图。
如图6所示，第一应变仪610和第二应变仪620可形成于相同的面。在另一实施例中，第一应变仪610和第二应变仪620可各形成于不同的面。
各应变仪610、620可图案化为“X”状形成，而在各应变仪610、620的末端可各连接金属线。
在一实施例中，第一应变仪610的长度方向的轴和第二应变仪620的长度方向轴可沿不同方向形成。例如，在图6中，第一应变仪610可形成为使长度方向的轴垂直于上述面的水平面，而第二应变仪620可形成为使长度方向的轴平行于上述面的水平面。在另一实施例中，第一应变仪610的长度方向的轴和第二应变仪620的长度方向轴可沿相同方向形成。
在一实施例中，第一应变仪610属于第一驱动用传感器模块的应变仪，而第二应变仪620属于第二驱动用传感器模块的应变仪。此时，监控服务器(或管理员)包含根据预定的方式修正检测值的模块或算法，而可修正各驱动用传感器模块输出的检测值。
在另一实施例中，第一应变仪610属于驱动用传感器模块的应变仪，而第二应变仪620属于修正用传感器模块的应变仪。
在如图4至图6所示的实施例中，各柔性触角传感器包含相同图案的应变仪，但在一个柔性触角传感器中也可包含不同图案的应变仪。例如，在一个柔性触角传感器中可同时包含连续的
Figure BDA0001572096770000101
状的应变仪和“X”状的应变仪。
图7为表示图4所示的柔性触角传感器的特性的曲线图。
图7的(a)表示根据温度的柔性触角传感器的电阻变化率的曲线图。如图7的(a)所示，制造出的柔性触角传感器的电阻随温度的增加线性增加。
图7的(b)表示根据外部施加的力的柔性触角传感器的输出至的曲线图。如图7的(b)所示，制造出的柔性触角传感器的输出值随外部施加的力的增加线性增加。
图8为表示图4所示的柔性触角传感器的根据弯曲半径的电阻的变化量的曲线图。
如图8所示，当柔性触角传感器弯曲半径(bending radius)小于5mm时，电阻的变化量没有异常，但当弯曲半径大于5mm时，柔性触角传感器中发生电阻的变化量，且随着弯曲半径的增加变化量逐渐减少。
另外，当向上述柔性触角传感器的一侧施力时，在受力一侧(内侧)的传感器模块中可测得负的变化量值，而在相反一侧(外侧)的传感器模块中可测得正的变化量值。
在弯曲半径(bending radius)小于5mm的情况下，可稳定使用柔性触角传感器。
图9a至图9d为说明制造本发明的一实施例的柔性触角传感器的方法的示意图。
图9a至图9d说明同时制造柔性触角传感器的两面的方法的示意图。
首先，在聚合物层110的上部和下部各形成第一金属层120和第二金属层121。(图9a)第一金属层120和第二金属层121可在聚合物层110的上部和下部沉积镍-铬(Ni-Cr)而成。
之后，在第一金属层120的上部和第二金属层121的下部各图案化形成应变仪132a、134a、136a、138a。(图9b)在一实施例中，各应变仪132a、134a、136a、138a可图案化为连续的
Figure BDA0001572096770000111
状。在另一实施例中，各应变仪132a、134a、136a、138a可图案化为“X”状。
在一实施例中，驱动用传感器模块的应变仪132a、136a和修正用传感器模块的应变仪134a、138a的线宽的长度和线之间的间隙的长度可各不相同。
驱动用传感器模块的应变仪136a、136a和修正用传感器模块的应变仪134a、138a各自的长度方向的轴可与平面的垂直轴形成一定角度。
在图5的柔性触角传感器的情况下，可在第一金属层的上部图案化形成第一应变仪，可在第二金属层的下部图案化形成第二应变仪在一实施例中，第一应变仪和上述第二应变仪可图案化为使各自的长度方向的轴相互垂直。
再如图9所示，在图案化形成应变仪之后，在各应变仪132a、134a、136a、138a上图案化形成金属线。(图9c)
图案化形成金属线连接于各应变仪之后，形成用于保护形成于第一金属层120的上部的应变仪和金属线的第一覆盖层150和用于保护形成于第二金属层121的下部的应变仪和金属线的第二覆盖层151。(图9d)
例如，可在形成于金属层120、121的上部的应变仪和金属线上涂布粘接剂或附着粘接薄膜之后，粘接覆盖层150、151。
虽然图9a至图9d说明了同时制造柔性触角传感器的两面的方法，但可先制作一面之后再制作另一面。此时，除制作顺序之外的各层的具体的制作过程与在图9a至图9d中说明的内容相同。
上述实施例仅用以说明本发明而非限制，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明进行修改、变形或者等同替换，而不脱离本发明的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
工业实用性
本发明涉及一种柔性触角传感器及其制造方法，尤其涉及一种可在两面感测触角的柔性触角传感器及其制造方法。

Claims (4)

1.一种柔性触角传感器，包括：
聚合物层；
第一金属层，形成于上述聚合物层的上部；
第一传感器层，包括形成于上述第一金属层的上部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于上述应变仪的金属线；
第一粘接层，形成于上述第一传感器层的上部；
第一覆盖层，作为聚酯层，保护上述第一传感器层，通过上述第一粘接层粘接在上述第一传感器层的上部；
第二金属层，形成于上述聚合物层的下部；
第二传感器层，包括形成于上述第二金属层的下部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于上述应变仪的金属线；
第二粘接层，形成于上述第二传感器层的下部；及
第二覆盖层，作为聚酯层，保护上述第二传感器层，通过上述第二粘接层粘接在上述第二传感器层的下部，
第一传感器层，包括：
输出第一检测值的第一应变仪和各连接于上述第一应变仪的一端和另一端的第一金属线；及
输出用于修正第一检测值的第二检测值的第二应变仪和各连接于上述第二应变仪的一端和另一端的第二金属线，
第二传感器层，包括：
输出第三检测值的第三应变仪和各连接于上述第三应变仪的一端和另一端的第三金属线；及
输出用于修正第三检测值的第四检测值的第四应变仪和各连接于上述第四应变仪的一端和另一端的第四金属线，
上述第一应变仪和上述第二应变仪的应变仪的线宽的长度和线宽之间的间隙的长度各不相同，上述第三应变仪和上述第四应变仪的应变仪的线宽的长度和线宽之间的间隙的长度各不相同，柔性触角传感器的弯折线或弯曲线平行于上述第一应变仪、上述第二应变仪、上述第三应变仪及上述第四应变仪的长度方向的轴。
2.根据权利要求1所述的柔性触角传感器，其特征在于：上述第一应变仪和上述第二应变仪各自的长度方向的轴和平面的垂直轴形成一定角度。
3.根据权利要求2所述的柔性触角传感器，其特征在于：上述第一应变仪和上述第二应变仪相互隔开且各自的长度方向的轴呈“∧”状。
4.一种触角传感器的制造方法，包括：
在聚合物层的上部形成第一金属层的步骤；
在上述第一金属层的上部图案化形成输出第一检测值的第一应变仪和输出用于修正第一检测值的第二检测值的第二应变仪的步骤；
图案化形成连接于上述第一应变仪的第一金属线和连接于上述第二应变仪的第二金属线的步骤；
形成用于保护形成于上述第一金属层的上部的上述第一应变仪及上述第二应变仪和上述第一金属线及上述第二金属线的第一覆盖层的步骤；
在上述聚合物层的下部形成第二金属层的步骤；
在上述第二金属层的下部图案化形成输出第三检测值的第三应变仪和输出用于修正第三检测值的第四检测值的第四应变仪的步骤；
图案化形成连接于上述第三应变仪的第三金属线和连接于上述第四应变仪的第四金属线的步骤；及
形成用于保护形成于上述第二金属层的下部的上述第三应变仪及上述第四应变仪和上述第三金属线及上述第四金属线的第二覆盖层的步骤，
第一粘接层形成于第一传感器层的上部，上述第一覆盖层作为聚酯层，通过上述第一粘接层粘接在上述第一传感器层的上部，第二粘接层形成于第二传感器层的下部，上述第二覆盖层作为聚酯层，通过上述第二粘接层粘接在上述第二传感器层的下部，上述第一应变仪和上述第二应变仪的应变仪的线宽的长度和线宽之间的间隙的长度各不相同，上述第三应变仪和上述第四应变仪的应变仪的线宽的长度和线宽之间的间隙的长度各不相同，柔性触角传感器的弯折线或弯曲线平行于上述第一应变仪、上述第二应变仪、上述第三应变仪及上述第四应变仪的长度方向的轴。
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