CN108107567A - 数字微镜器件组件 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种数字微镜器件组件，包括：数字微镜器件电路板，所述数字微镜器件电路板上设有数字微镜器件芯片，以及，第一散热部件，其中数字微镜器件芯片夹设在数字微镜器件电路板和第一散热部件之间，第一散热部件包括主体部和散热部，散热部为多个，主体部和散热部连接，主体部位于多个散热部之间，主体部覆盖数字微镜器件芯片表面的一部分，第一散热部件与组件固定端连接；以及，第二散热部件，数字微镜器件电路板夹设于第一散热部件和第二散热部件之间，第二散热部件的导热块与数字微镜器件芯片相接触。本发明可提高数字微镜器件组件的散热性能和使用的可靠性。

Description

数字微镜器件组件

技术领域

本发明涉及成像设备技术，尤其涉及一种数字微镜器件组件。

背景技术

在DLP投影设备中，数字微镜器件（Digital Micromirror Device，DMD）芯片是光机组件中的核心部件，用于根据图像信号对照射其上的照明光束进行调制，并将调制后的照明光信号送入镜头组件进行成像。在光机组件中，照明光束通过一系列光学镜片最终到达数字微镜器件芯片，数字微镜器件芯片对光信号进行处理，最终形成图像。

数字微镜器件芯片表面包括成千上万个微小的反射镜，根据调制驱动信号进行翻转，实现光线的调制，并反射进入镜头中进行成像。芯片表面尺寸较小，通常在零点几个英寸，但是接受照明光束的功率非常高，可达百瓦以上，并且根据图像帧频率，芯片微小反射镜也要进行相应频率的翻转，消耗电能，也会聚积热量。同时，作为数字微镜器件对应的驱动控制电路部分，长期工作下也会发热，使得数字微镜器件所在工作环境的温升变化。可见，无论是数字微镜器件本身，还是其周围的组件，都会带来热量的积累，形成一个高温的工作环境，而数字微镜器件本身为电子元件，高温会影响元件的性能，因此，数字微镜器件在工作过程中需要进行及时有效的散热，来保障元件的正常工作，延长使用寿命。

具体地，在工作过程中，数字微镜器件芯片表面包括工作区和非工作区，理论设计上照明光束通过开口应照射在数字微镜器件芯片的工作区上，但因为光学设计调节以及加工公差和组装公差等综合原因，通常实际使用中，光斑大小会大于理论设计值，从而照明光束在照射数字微镜器件芯片的工作区的同时也容易照射在数字微镜器件芯片的非工作区上，由于照明光束的能量较大，因此照明光束照射到数字微镜器件芯片的非工作区也会导致数字微镜器件芯片非工作区的温度过高，并且长期的高温会使器件本身可能发生变化，比如分子渗漏，进入芯片结构内部，可能导致芯片内部工作区域失效，无法正常工作，降低了器件使用的可靠性。

发明内容

本发明提供一种数字微镜器件组件，以提高数字微镜器件组件组件的散热性能和使用的可靠性。

本发明提供一种数字微镜器件组件，包括：

数字微镜器件电路板，数字微镜器件电路板上设有数字微镜器件芯片，第一散热部件，数字微镜器件芯片夹设在数字微镜器件电路板和第一散热部件之间，第一散热部件包括主体部和散热部，散热部为多个，主体部和散热部连接，主体部位于多个散热部之间，主体部覆盖数字微镜器件芯片表面的一部分，第一散热部件与组件固定端连接；第二散热部件，数字微镜器件电路板夹设于第一散热部件和第二散热部件之间，第二散热部件的导热块与数字微镜器件芯片相接触；

进一步地，散热部为两个，且位于主体部相对的两端；

或者，散热部多于两个，且围绕主体部设置；

进一步地，数字微镜器件芯片表面设有工作区和非工作区，非工作区位于工作区外围；

第一散热部件的主体部包括开孔部和遮挡部，开孔部暴露工作区，开孔部用于使照明光束通过并照射在工作区上，遮挡部覆盖至少部分非工作区，以遮挡照射在工作区外围的照明光束；

进一步地，还包括隔热件，隔热件在第一散热部件与组件固定端相连接的状态下夹设在第一散热部件和组件固定端之间；

进一步地，多个散热部之间形成有容纳部，数字微镜器件电路板容纳于容纳部内；

进一步地，组件固定端上设有开口部，开口部用于使照明光束通过并照射在数字微镜器件芯片上；

进一步地，组件固定端上设有支撑柱，主体部上还设有第一穿孔，支撑柱穿设在第一穿孔内并与数字微镜器件电路板相接触，以使数字微镜器件电路板与第一散热部件之间具有设定间距；

进一步地，还包括连接板，连接板上设有第二穿孔，

以及，数字微镜器件电路板上设有第三穿孔，

连接螺栓穿设在第二穿孔、第三穿孔和螺栓孔内，以使连接板、数字微镜器件电路板和组件固定端连接定位，数字微镜器件电路板夹设在连接板和组件固定端之间；

进一步地，第二散热部件与连接板相连接，连接板上开设有第四穿孔，第二散热部件的导热块通过第四穿孔与数字微镜器件芯片相接触；

进一步地，第二散热部件包括散热器，散热器或多个散热部为散热鳍片；

进一步地，主体部和散热部一体成型，或者主体部为金属材质。

基于上述，本发明技术方案提供的数字微镜器件组件，包括数字微镜器件电路板，电路板上设置有数字微镜器件芯片，并且包括第一散热部件，和第二散热部件。第一散热部件的主体部覆盖芯片表面的一部分，可以将照射到芯片表面的照明光束产生的热量进行传导散出，第二散热部件通过导热块与数字微镜器件芯片的另一表面相接触，将芯片上积累的热量导出散热，从而能够快速有效的对数字微镜器件芯片进行散热，提高了数字微镜器件组件的散热性能，保障芯片使用的可靠性。

以及，进一步地，组件固定端上设有开口部，开口部用于使照明光束通过并照射在数字微镜器件芯片上，在使用过程中，照明光束通过一系列光学镜片后由组件固定端的开口部射出，照射在第一散热部件和数字微镜器件芯片上，由于第一散热部件能够使照明光束通过并照射在工作区上，因此在使用过程中，照明光束能够通过第一散热部件并照射在数字微镜器件芯片的工作区上，同时第一散热部件还能限制照明光束在工作区外围的照射范围，因此能够避免或减少照明光束照射在数字微镜器件芯片的非工作区上，从而避免了数字微镜器件芯片非工作区的温度过高，防止数字微镜器件芯片非工作区出现分层、脱落现象，降低了数字微镜器件芯片的故障几率，提高了数字微镜器件组件使用的可靠性。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种数字微镜器件组件的结构分解图；

图2为本发明实施例提供的一种数字微镜器件组件的组装结构示意图；

图3为本发明实施例提供一种第一散热部件的结构示意图；

图4为本发明实施例提供一种数字微镜器件芯片的结构示意图。

附图标记：

101：数字微镜器件电路板；102：数字微镜器件芯片；103：工作区；104：非工作区；

105：组件固定端；106：开口部；107：第一散热部件；108：主体部；109：开孔部；

110：遮挡部；111：隔热件；112：散热部；113：容纳部；114：支撑柱；115：第一穿孔；

116：螺栓孔；117：第三穿孔；118：连接螺栓；119：连接板；120：第二穿孔；

121：第二散热部件；122：第四穿孔；123：紧固螺栓；124：黑色金属区；125：窗口区；

126：环氧胶封装区。

具体实施方式

实施例一、

请参考图1，本发明实施例提供一种数字微镜器件组件，包括：数字微镜器件电路板101，数字微镜器件电路板101上设有数字微镜器件芯片102，第一散热部件107，与数字微镜器件电路板101相连接，数字微镜器件芯片102夹设在数字微镜器件电路板101和第一散热部件107之间。

参见图3，第一散热部件107包括主体部108和散热部112，散热部112可以为多个，比如可以是两个，或四个。散热部数目的设置可以根据散热需求或者组件周围空间体积进行确定。其中，主体部108和散热部112连接，两部分可以一体成型，也可以通过铆接，螺钉连接等方式连接。主体部108位于多个散热部112之间。主体部108覆盖数字微镜器件芯片102表面的一部分，具体地，是芯片接受照明光束照射的一面的一部分区域。第一散热部件107与组件固定端105连接，具体地，第一散热部件107固定与组件固定端105上。组件固定端105可以是投影设备的主壳体或者光机的主壳体。

该数字微镜器件组件还包括第二散热部件121，其中，数字微镜器件电路板101夹设于第一散热部件107和第二散热部件121之间，即第一散热部件107和第二散热部件121分别位于电路板或者说芯片的两侧。第二散热部件121具有凸起的导热块（图中未标记），与数字微镜芯片102的背面相接触。

从而，第一散热部件107的主体部108覆盖芯片表面的一部分，可以将照射到芯片表面的照明光束产生的热量进行传导散出，第二散热部件121通过导热块与数字微镜器件芯片102的另一表面相接触，将芯片上积累的热量导出散热，从而能够快速有效的对数字微镜器件芯片102进行散热，提高了数字微镜器件组件的散热性能，保障芯片使用的可靠性。

实施例二、

在实施例一基础之上，进一步地，第一散热部件107的散热部112如图3所示，可以为两个，并位于主体部108的两端，或者，散热部112也可以为三个或四个，围绕主体部108设置，从而主体部108将热量导出至散热部112达到散热目的。散热部112的具体设置个数与散热需求和空间体积限制有关。

主体部108为金属材质，从而具有较好的导热性能，或者，主体部108和散热部112一体成型。

以及，参见图4，数字微镜器件芯片102上设有工作区103和非工作区104，非工作区104位于工作区103外围；第一散热部件107用于使照明光束通过并照射在工作区103上，同时限制照明光束在工作区103外围的照射范围。

本实施例中的数字微镜器件组件，可设置在光机组件中并与光机组件中的组件固定端105相连接，组件固定端105上设有开口部106，开口部106用于使照明光束通过并照射在数字微镜器件芯片102上，在使用过程中，光机组件中的照明光束通过一系列光学镜片后由组件固定端105的开口部106射出，照射在第一散热部件107和数字微镜器件芯片102上，由于第一散热部件107能够使照明光束通过并照射在工作区103上，因此在使用过程中，照明光束能够通过第一散热部件107并照射在数字微镜器件芯片102的工作区103上，同时第一散热部件107还能限制照明光束在工作区103外围的照射范围，因此能够避免或减少照明光束照射在数字微镜器件芯片102的非工作区104上，从而避免了数字微镜器件芯片102非工作区104的温度过高，防止数字微镜器件芯片102非工作区104的环氧胶出现分层、脱落现象，使水分子不能进入到数字微镜器件芯片102内部，降低了数字微镜器件芯片102的故障几率，提高了光机组件使用的可靠性。

本实施例中，优选的，第一散热部件107的主体部108包括开孔部109和遮挡部110，开孔部109暴露工作区103，开孔部109用于使照明光束通过并照射在工作区103上，遮挡部110覆盖至少部分非工作区104，以遮挡照射在工作区103外围的照明光束。

本实施例中的数字微镜器件组件，可设置在光机组件中并与光机组件中的组件固定端105相连接，组件固定端105上设有开口部106，开口部106用于使照明光束通过并照射在数字微镜器件芯片102上，在使用过程中，光机组件中的照明光束通过一系列光学镜片后由组件固定端105的开口部106射出，照射在第一散热部件107和数字微镜器件芯片102上，由于第一散热部件107的开孔部109能够暴露数字微镜器件芯片102的工作区103，因此照明光束能够通过开孔部109并照射在数字微镜器件芯片102的工作区103上，由于第一散热部件107的遮挡部110覆盖至少部分数字微镜器件芯片102的非工作区104，因此能够遮挡照射在工作区103外围的照明光束，使照明光束不能照射在数字微镜器件芯片102的非工作区104上，从而避免了数字微镜器件芯片102非工作区104的温度过高，防止数字微镜器件芯片102非工作区104的环氧胶出现分层、脱落现象，使水分子不能进入到数字微镜器件芯片102内部，降低了数字微镜器件芯片102的故障几率，提高了光机组件使用的可靠性。

其中，开孔部109的位置可与数字微镜器件芯片102的工作区103相对应，开孔部109的形状和尺寸可与数字微镜器件芯片102的工作区103的形状和尺寸相同，以保证照明光束能够通过开孔部109并照射在数字微镜器件芯片102的完整的工作区103上，从而防止暗带的产生，另外遮挡部110可覆盖全部数字微镜器件芯片102的非工作区104，从而能够遮挡照射在工作区103外围的全部照明光束，使照明光束不能照射在数字微镜器件芯片102的非工作区104上。

数字微镜器件芯片102作为主要关键部件对温度有较高的要求，同时数字微镜器件芯片102窗口不同区域对温度的要求各不相同。其中，参见图4，数字微镜器件芯片102的非工作区104包括黑色金属区124和窗口区125，工作区103位于数字微镜器件芯片102的中部，黑色金属区124位于工作区104的外围，窗口区125位于黑色金属区124的外围，数字微镜器件芯片102的环氧胶封装区126位于窗口区125的外围。其中工作区104与黑色金属区124具有良好的导热散热通路，因此在基于散热设计的基础上此两部分区域可以接受照明光束的照射，窗口区125导热散热通路不好，不能良好的散热，因此对照明光束长期直接照射较为敏感，若照明光束长期照射温度过高，会出现环氧胶封装区126脱落引起数字微镜器件芯片102工作区失效。因黑色金属区124较小，一般照明设计无法良好的保证没有光线照射到窗口区125，本实施例中的数字微镜器件组件，通过设置第一散热部件能够有效防止照明光束照射在窗口区125上。

需要说明的是，第一散热部件107的开孔部109和遮挡部110的尺寸可以根据实际需求调整，比如当需要光斑为过盈时，则可以适当增大开孔部的尺寸，这样开孔部的尺寸稍大于芯片工作区103的尺寸。以及在具体应用中，开孔部109的形状可以与芯片工作区103的形状相似，从而对于照射至芯片工作区103上的非规则光斑，比如梯形光斑，或者不规则四边形的光斑可以进行形状的限定，仅使得对应工作区形状的光斑的光束照射至芯片表面。

或者，遮挡部110可以遮挡住非工作区104的全部范围，也可以是部分范围，比如仅遮挡芯片非工作区104中对温度较为敏感的区域，比如环氧胶区域。

本实施例中，优选的，数字微镜器件组件还包括隔热件111，隔热件111在第一散热部件107与组件固定端105相连接的状态下夹设在第一散热部件107和组件固定端105之间。

由此，在使用过程中，光机组件中的照明光束通过一系列光学镜片后由组件固定端105的开口部106射出，照射在第一散热部件107和数字微镜器件芯片102上，由于第一散热部件107的开孔部109能够暴露数字微镜器件芯片102的工作区103，因此照明光束能够通过开孔部109并照射在数字微镜器件芯片102的工作区103上，由于第一散热部件107的遮挡部110覆盖数字微镜器件芯片102的非工作区104，因此能够遮挡照射在工作区103外围的照明光束，使照明光束不能照射在数字微镜器件芯片102的非工作区104上，从而避免了数字微镜器件芯片102非工作区104的温度升高，然而照明光束在照射数字微镜器件芯片102工作区103的同时也会照射在遮挡部110上，因此会引起第一散热部件107温度的升高，由于第一散热部件107和组件固定端105之间夹设有隔热件111，因此能够阻断第一散热部件107和组件固定端105之间的热传导，第一散热部件107的热量不会传递给组件固定端105，从而避免了组件固定端105温度的升高而可能造成的不良影响。这是因为组件固定端通常为金属材质，具有较好的导热性能，热量很容易传导至其他部位，一方面热量变得分散而无法集中快速散出，另一方面传导至其他壳体部位的热量可能影响到其他结构部分，比如镜头可能受到壳体温度升高带来的影响。

以及在使用过程中，由于第一散热部件107的遮挡部110覆盖数字微镜器件芯片102的非工作区104，因此能够遮挡照射在工作区103外围的照明光束，使照明光束不能照射在数字微镜器件芯片102的非工作区104上，从而使得照明光束照射在遮挡部110上，因此会引起第一散热部件107温度的升高，由于散热部112与主体部108相连接，因此，遮挡部110上的热量能够传递到散热部112上进行发散，从而提高了第一散热部件107的散热性能，使得数字微镜器件芯片102正面部分的产生的多余的热量可以通过第一散热部件107导出散发。

本实施例中，优选的，散热部112为散热鳍片。由此，散热鳍片与主体部108相连接，因此，遮挡部110上的热量能够传递到散热鳍片上进行发散，由于散热鳍片散热性能较好，从而利于提高热量发散的速度，进一步提高了第一散热部件107的散热性能。

其中，散热鳍片可以使全铝材料，也可以使用含50%的铝和50%的铜的材料。

本实施例中，优选的，散热部112为两个，主体部108夹设在两个散热部112之间。两个散热部112与主体部108相连接，且主体部108夹设在两个散热部112之间，因此，遮挡部110上的热量能够由遮挡部110的两侧分别传递到两个散热部112上进行发散，从而利于提高热量发散的速度，进一步提高了第一散热部件107的散热性能，快速的导出了芯片正面的多余的热量。

本实施例中，优选的，两个散热部112之间形成有容纳部113，数字微镜器件电路板101容纳于容纳部113内。由此，利于降低数字微镜器件组件的厚度，使数字微镜器件组件更为紧凑。

本实施例中，优选的，第一散热部件107与组件固定端105通过紧固螺栓123连接定位，利于提高第一散热部件107与组件固定端105连接的可靠性。

本实施例中，优选的，数字微镜器件组件还包括第二散热部件121，第二散热部件121包括散热器，具体地为可以为散热鳍片，或者液冷散热头，第二散热部件121还具有凸出的导热块，数字微镜器件电路板101具有中空部，导热块穿过中空部与固定与电路板上的数字微镜器件芯片102的背面相接触，具体地，通过导热膏相接触，以快速的将芯片上工作过程当中产生的热量导出，从而利于数字微镜器件芯片102的散热。

在本实施例中，数字微镜器件电路板101通过插针式或者点触式方式与DMD芯片进行连接固定，而电路板在安装固定过程中容易受力变形，可能造成与芯片的接触表面变形，导致与芯片的不良接触，因此，本实施例中还包括连接板，该连接板具有一定的刚性，不容易受力变形，设置于数字微镜器件电路板101背面（非安装DMD芯片的一面），对电路板起到一定的保护、防止其发生形变的作用。

其中，第二散热部件121与连接板119相连接，连接板119上开设有第四穿孔122，第二散热部件121的导热块通过第四穿孔122与数字微镜器件芯片102的背面相接触。

本实施例中，优选的，组件固定端105上设有支撑柱114，主体部108上还设有第一穿孔115，支撑柱114穿设在第一穿孔115内并与数字微镜器件电路板101相接触，以使数字微镜器件电路板101与第一散热部件107之间具有设定间距。

由此，在使用过程中，光机组件中的照明光束通过一系列光学镜片后由组件固定端105的开口部106射出，照射在第一散热部件107和数字微镜器件芯片102上，由于第一散热部件107的开孔部109能够暴露数字微镜器件芯片102的工作区103，因此照明光束能够通过开孔部109并照射在数字微镜器件芯片102的工作区103上，由于第一散热部件107的遮挡部110覆盖数字微镜器件芯片102的非工作区104，因此能够遮挡照射在工作区103外围的照明光束，使照明光束不能照射在数字微镜器件芯片102的非工作区104上，从而避免了数字微镜器件芯片102非工作区104的温度升高，然而照明光束在照射数字微镜器件芯片102工作区103的同时也会照射在遮挡部110上，因此会引起第一散热部件107温度的升高，由于支撑柱114支撑在组件固定端105和数字微镜器件电路板101之间并使数字微镜器件电路板101与第一散热部件107之间具有设定间距，因此第一散热部件107的热量不会传递给数字微镜器件电路板101和数字微镜器件芯片102，从而避免了数字微镜器件电路板101和数字微镜器件芯片102温度的升高，防止数字微镜器件电路板101和数字微镜器件芯片102由于温度过高而出现故障，进一步提高了芯片使用的可靠性。

本实施例中，优选的，支撑柱114上设有螺栓孔116，数字微镜器件电路板101上设有第三穿孔117，数字微镜器件电路板101通过连接螺栓118穿设第三穿孔117和螺栓孔116与组件固定端105连接定位。

由此，使数字微镜器件电路板101与组件固定端105连接方便可靠。

本实施例中，连接板119上设有第二穿孔120，连接螺栓118穿设在第二穿孔120、第三穿孔117和螺栓孔116内，以使连接板119、数字微镜器件电路板101和组件固定端105连接定位，数字微镜器件电路板101夹设在连接板119和组件固定端105之间。

由此，连接螺栓118在旋紧的状态下所施加的压持力会直接作用在连接板119上，而不会直接作用在数字微镜器件电路板101上，从而对数字微镜器件电路板101起到保护作用，同时利于提高数字微镜器件电路板101和组件固定端105连接的可靠性。

参见图2，示出了本实施例数字微镜器件组件的组装结构示意图。

综上，本发明一个或多个实施例提供的数字微镜器件组件，一方面能够通过第一散热部件和第二散热部件对数字微镜器件芯片进行散热，能够起到快速及时散热的目的，其中，第一散热部件和第二散热部件分别设置于数字微镜器件芯片的两侧，另一方面，由于数字微镜器件芯片表面划分为工作区和非工作区，第一散热部件的主体部具有开孔部，能够暴露数字微镜器件芯片的工作区，保证照明光束能够通过开孔部照射其工作区上，而第一散热部件的遮挡部覆盖数字微镜器件芯片的非工作区，因此能够遮挡照射在工作区外围的照明光束，使照明光束不能照射在数字微镜器件芯片的非工作区上，从而避免了数字微镜器件芯片非工作区的温度升高，降低芯片非工作区因高温导致的分子泄露而导致芯片工作故障的情形发生，并且，第一散热部件的主体部将热量导至散热部，并通过散热部散出，使得热量不发生积累，有利于保障芯片稳定的温度工作环境，提高了芯片和组件使用的可靠性。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (12)

1.一种数字微镜器件组件，其特征在于，包括：

数字微镜器件电路板，所述数字微镜器件电路板上设有数字微镜器件芯片，

第一散热部件，所述数字微镜器件芯片夹设在所述数字微镜器件电路板和第一散热部件之间，

所述第一散热部件包括主体部和散热部，所述散热部为多个，所述主体部和散热部连接，所述主体部位于所述多个散热部之间，所述主体部覆盖所述数字微镜器件芯片表面的一部分，所述第一散热部件与组件固定端连接；

第二散热部件，所述数字微镜器件电路板夹设于所述第一散热部件和所述第二散热部件之间，所述第二散热部件的导热块与所述数字微镜器件芯片相接触。

2.根据权利要求1所述的数字微镜器件组件，其特征在于，

所述散热部为两个，且位于所述主体部相对的两端；

或者，所述散热部多于两个，且围绕所述主体部设置。

3.根据权利要求1或2所述的数字微镜器件组件，所述数字微镜器件芯片表面设有工作区和非工作区，所述非工作区位于所述工作区外围；

所述第一散热部件的主体部包括开孔部和遮挡部，所述开孔部暴露所述工作区，所述开孔部用于使所述照明光束通过并照射在所述工作区上，所述遮挡部覆盖至少部分所述非工作区，以遮挡照射在所述工作区外围的照明光束。

4.根据权利要求1或2所述的数字微镜器件组件，其特征在于，还包括隔热件，所述隔热件在所述第一散热部件与组件固定端相连接的状态下夹设在所述第一散热部件和组件固定端之间。

5.根据权利要求1所述的数字微镜器件组件，其特征在于，所述多个散热部之间形成有容纳部，所述数字微镜器件电路板容纳于所述容纳部内。

6.根据权利要求1所述的数字微镜器件组件，其特征在于，所述组件固定端上设有开口部，所述开口部用于使照明光束通过并照射在所述数字微镜器件芯片上。

7.根据权利要求1所述的数字微镜器件组件，其特征在于，所述组件固定端上设有支撑柱，所述主体部上还设有第一穿孔，所述支撑柱穿设在所述第一穿孔内并与所述数字微镜器件电路板相接触，以使所述数字微镜器件电路板与所述第一散热部件之间具有设定间距。

8.根据权利要求1或7所述的数字微镜器件组件，其特征在于，还包括连接板，所述连接板上设有第二穿孔，

以及，所述数字微镜器件电路板上设有第三穿孔，

连接螺栓穿设在所述第二穿孔、第三穿孔和螺栓孔内，以使所述连接板、数字微镜器件电路板和组件固定端连接定位，所述数字微镜器件电路板夹设在所述连接板和组件固定端之间。

9.根据权利要求8所述的数字微镜器件组件，其特征在于，所述第二散热部件与所述连接板相连接，所述连接板上开设有第四穿孔，所述第二散热部件的导热块通过所述第四穿孔与所述数字微镜器件芯片相接触。

10.根据权利要求1所述的数字微镜器件组件，其特征在于，所述第二散热部件包括散热器，

所述散热器或所述多个散热部为散热鳍片。

11.根据权利要求1或10所述的数字微镜器件组件，其特征在于，所述主体部和所述散热部一体成型，或者所述主体部为金属材质。

12.根据权利要求3所述的数字微镜器件组件，其特征在于，所述开孔部的形状与所述工作区的形状相似。