CN108025546A - 经构造用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备、用于将材料沉积至在太阳能电池的制造中使用的基板上的系统及用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的方法 - Google Patents

Abstract

本公开内容提供经构造用于将丝网装置(110)相对于在太阳能电池的制造中使用的基板(10)对准的设备(100)。该设备包括底座装置(120)和一个或多个可旋转装置，一个或多个可旋转装置经构造以接触丝网装置(110)，其中一个或多个可旋转装置中的至少一个第一可旋转装置(130)经由一个或多个弹性元件(140)而连接至底座装置(110)。

Description

经构造用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的 基板对准的设备、用于将材料沉积至在太阳能电池的制造中 使用的基板上的系统及用于将丝网装置相对于在太阳能电池 的制造中使用的基板对准的方法

技术领域

本公开内容的实施方式涉及经构造用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备、用于将材料沉积至在太阳能电池的制造中使用的基板上的系统及用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的方法。本公开内容的实施方式尤其涉及经构造用于在太阳能电池的制造中使用的基板上进行丝网印刷的设备。

背景技术

太阳能电池是将太阳光直接转换成电力的光伏装置。在这个领域内，已知的是在基板(诸如结晶硅底座)上，使用印刷技术(诸如丝网印刷)制造太阳能电池，所述印刷技术在太阳能电池的结构的一个或多个表面提供导线图案(诸如选择性发射极)。

在太阳能电池的制造中，基板和印刷头可使用对准装置相对于彼此而置中或对准。作为一个例子，印刷头或印刷头的部件(诸如丝网装置)可相对于基板而移动。导线图案可接着被印刷成相对于基板而对准。对准装置可以使用对准装置和丝网装置之间的机械接触，以移动和对准丝网装置。随着时间的推移，对准装置会被磨损，且对准会变得不准确。对准装置应在很短的时间间隔中被维修，以提供准确的对准，而用于维护对准装置的成本很高。太阳能电池制造设备的停机时间会被增加，且基板产量会被降低。

有鉴于以上，克服了在本领域中的至少一些问题的经构造以用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的新设备、用于将材料沉积至在太阳能电池的制造中使用的基板上的新系统及用于将丝网装置对准的新方法是有益的。具体地，存在有提供用于在一段长的时间周期允许准确对准的设备、系统和方法的需求。更具体地，存在有允许减少在丝网装置的对准中所使用的机械部件的磨损的效果的设备、系统和方法的需求。

发明内容

有鉴于上，提供了经构造以用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备、用于将材料沉积至在太阳能电池的制造中使用的基板上的系统及用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的方法。本公开内容的进一步的方面、优点和特征从权利要求书、说明书和所附附图而显而易见。

根据本公开内容的一个方面，提供有经构造以用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备。所述设备包括底座装置和一个或多个可旋转装置，一个或多个可旋转装置经构造以接触丝网装置，其中一个或多个可旋转装置的至少一个第一可旋转装置经由一个或多个弹性元件而连接至底座装置。

根据本公开内容的另一个方面，提供有一种用于将材料沉积至在太阳能电池的制造中使用的基板上的系统。所述系统包括丝网装置和根据本文所述的实施方式的经构造以用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备。

根据本公开内容的又一个方面，提供有一种用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的方法。所述方法包括以下步骤：将对准设备的一个或多个可旋转装置接触丝网装置，其中一个或多个可旋转装置的至少一个第一可旋转装置经由一个或多个弹性元件而连接至对准设备的底座装置；及旋转一个或多个可旋转装置的至少一个可旋转装置，以相对于基板对准丝网装置。

实施方式还针对用于进行所公开的方法的设备并包括用于实施每一所述方法的方面的设备零件。这些方法的方面可由硬件部件、由适当的软件所编程的计算机、上述两者的任意组合，或以任何其它方式来实施。此外，根据本公开内容的实施方式还针对用于操作所述设备的方法。用于操作所述设备的方法包括用于进行设备的每一功能的方法的方面。

附图说明

使得本公开内容的上述特征可被详细理解的方式，可参照实施方式而获得本公开内容的简要概括于上的更详细的说明。所附附图涉及本公开内容的实施方式，且说明于下：

图1显示根据本文所述的实施方式的丝网装置的θ-对准的示意图；

图2显示根据本文所述的实施方式的经构造以用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备的示意图；

图3显示根据本文所述的进一步的实施方式的经构造以用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备的示意图；

图4显示根据本文所述的实施方式的用于将材料沉积至在太阳能电池的制造中使用的基板上的系统的示意图；

图5显示根据本文所述的实施方式的经构造以用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备的局部的示意图；

图6显示根据本文所述的实施方式的经构造以用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备的示意图；

图7A显示图6中所示的设备的细节的示意图；

图7B显示根据本文所述的实施方式的设备的安装装置的示意图；及

图8显示根据本文所述的实施方式的用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的方法的流程图。

具体实施方式

现将详细地参照公开内容的各种实施方式，其中一个或多个例子显示在附图中。在附图的以下说明内，相同的附图标记通常代表相同的部件，仅说明相对于个别实施方式的差异。每一例子是以解释本公开内容的方式而提供的，且不意味着对本公开内容的限制。此外，显示或描述为一个实施方式的一部分的特征可使用在其它实施方式上或与其它实施方式结合使用，以产生又一个进一步的实施方式。说明书意欲包括这样的修改和变化。

经构造以用于丝网装置的对准的设备(在下文中也称为“对准装置”)可以使用对准装置和丝网装置之间的机械接触，以对准丝网装置。具体而言，对准装置可被用于相对于基板移动丝网装置，以便实施对准。随着时间的推移，对准装置会被磨损，且对准会变得不准确。对准设备应在很短的时间间隔中被维修，以提供准确的对准，而用于维护对准设备的成本很高。此外，太阳能电池制造设备的停机时间会被增加，且太阳能电池制造设备的产量会被降低。

本公开内容提供经构造以用于使用接触丝网装置的一个或多个可旋转装置来对准丝网装置的设备，以相对于基板对准丝网装置。一个或多个可旋转装置可绕各自的旋转轴线而旋转，其中丝网装置通过一个或多个可旋转装置的旋转而被移动和对准。一个或多个可旋转装置的至少一个第一可旋转装置经由一个或多个弹性元件而连接到底座装置。一个或多个弹性元件推动至少一个第一可旋转装置抵靠丝网装置。例如，即便在丝网装置或(多个)可旋转装置处存在变形或不规则，这种变形或不规则可通过由一个或多个弹性元件所提供的推力而补偿。此外，一旦设备被组装或设置，使用者不需改变或操作由设备所提供的磨损补偿装置。部件的磨损通过由一个或多个弹性元件所提供的推力而被自动地补偿。太阳能电池制造设备具有减少的停机时间，并提供增加的效率。

本公开内容的设备、系统和方法在一段长的时间周期允许准确对准。具体地，由机械部件(诸如丝网装置和/或可旋转装置)的磨损导致的对于对准准确度的影响可被最小化或甚至被避免。维修之间的间隔可延长，且可降低维护费用。太阳能电池制造设备的停机时间可被减少，且太阳能电池制造设备的产量和效率可被提高。一个或多个可旋转装置允许丝网或丝网装置的改良平面对准(或改良的平面度条件)。

图1显示根据本文所述的实施方式的丝网装置110的θ-对准的示意图。

用于将材料沉积至在太阳能电池的制造中的基板上的系统可包括印刷头(未显示)和丝网装置110，丝网装置110经构造用于在基板10上形成一个或多个导线图案。在一些实施方式中，丝网装置110可包括在印刷头中。一个或多个导线图案可以从由太阳能电池的指状物和汇流条(busbar)所组成的群组中选择。在印刷一个或多个导线图案之前和/或在用于在基板10上印刷两个导线图案的两个连续的印刷工艺之间，基板10可相对于丝网装置110对准。

可通过移动丝网装置110且任选地通过移动基板10来执行对准。在一些实施方式中，对准可包括丝网装置110沿着X轴1和/或Y轴2的平移移动的至少一个。对准还包括绕θ轴(以附图标记“4”所指示)的旋转对准。θ轴可界定移动平面，丝网装置110在所述移动平面中移动和对准。移动平面也可称为“对准平面”。移动平面可跨越X轴1和Y轴2。根据一些实施方式，移动平面实质地平行于材料待被沉积(例如，被印刷)于上的基板10的表面。当涉及移动平面或对准平面相对于基板10或基板的表面的相对取向时，实质地平行被理解成允许从精确的平行取向偏离(例如)10°或更小。

在一些实施方式中，诸如X轴1、Y轴和θ轴的轴线可用于相对于基板10来对准丝网装置110，使得印刷图案(如，一个或多个导线图案)实质地置中于基板10的表面上。

图2显示根据本文所述的实施方式的经构造用于将丝网装置110相对于在太阳能电池的制造中使用的基板10的设备100的示意图。

设备100包括底座装置120和经构造用于接触丝网装置110的一个或多个可旋转装置。一个或多个可旋转装置的至少一个第一可旋转装置130经由一个或多个弹性元件140而连接到底座装置120。一个或多个弹性元件140提供将至少一个第一可旋转装置130推抵至丝网装置110的力(以附图标记“5”表示)。例如，由磨损所造成的变形和/或不规则性可被补偿，且甚至在一段长的时间周期内确保准确的对准。

根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，一个或多个可旋转装置经构造以通过围绕旋转轴线的一个或多个可旋转装置中的至少一个可旋转装置的旋转而相对于基板10对准丝网装置110。作为例子，至少一个第一可旋转装置130可以围绕第一旋转轴线132是可旋转的。一个或多个可旋转装置(诸如至少一个第一可旋转装置130)的旋转被机械地传递到丝网装置110，以(例如)在参照图1而解释的移动平面或对准平面中移动丝网装置110。具体地，可使用一个或多个可旋转装置的旋转而执行在移动平面或对准平面中的θ对准。

本公开内容通篇使用的术语“底座装置”应理解为一个或多个弹性元件可连接到的元件，使得至少一个第一可旋转装置130相对于底座装置是可移动的。根据一些实施方式，底座装置120是静止的或被固定定位。至少一个第一可旋转装置130相对于底座装置120是可移动的，使得一个或多个弹性元件140可将至少一个第一可旋转装置130推抵至丝网装置110。根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，至少一个第一可旋转装置130经由一个或多个弹性元件140而连接到底座装置120，以在垂直于至少一个第一可旋转装置130的第一旋转轴线132的方向上是可移动的。作为例子，至少一个第一可旋转装置130在实质平行于移动平面的方向上是可移动的。

在可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式中，一个或多个可旋转装置可为辊或轮。作为例子，一个或多个可旋转装置可具有圆柱形，其中圆柱形的圆柱轴线可对应于相应的可旋转装置的旋转轴线。在其它例子中，一个或多个可旋转装置可为圆球形或球形的。

根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，设备包括一个或多个致动器(诸如电机)，这些致动器经构造以旋转一个或多个可旋转装置的至少一个可旋转装置。作为例子，一个或多个可旋转装置的每个可旋转装置可连接到相应的致动器或电机，以旋转可旋转装置，从而移动和对准丝网装置110。在一些实施方式中，设备100可包括一个或多个进一步的致动器，经构造用于(例如)沿着参照图1而描述的X轴和/或Y轴的丝网装置110的平移移动。

根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，一个或多个可旋转装置经构造以在实质平行于基板10的表面的二维平面中相对于基板对准丝网装置110。作为例子，二维平面可以是移动平面或对准平面，或对应于移动平面或对准平面。基板10的表面可为材料待被沉积(例如，被印刷)于上的表面。具体地，基板10的表面可为形成(例如)太阳能电池的指状物和/或汇流条的一个或多个导线图案待被沉积或被印刷于上的表面。

在一些实施方式中，一个或多个可旋转装置可以围绕实质垂直于移动平面和/或材料待被沉积于上的基板10的表面的相应旋转轴线是可旋转的。术语“实质地垂直”涉及(例如)旋转轴线和移动平面或基板10的表面的实质垂直的取向，其中与精确的垂直取向的几度的偏差(如，高达10°或甚至高达15°)仍然被认为是“实质地垂直”。

根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，一个或多个可旋转装置可包括四个或更少个可旋转装置，具体地是三个或更少个可旋转装置，且可更具体地是三个可旋转装置。在其它实施方式中，一个或多个可旋转装置可为一个单一可旋转装置，如在图2的例子中所示出的那样。具体地，丝网装置110可被可旋转地安装在轴线115上，轴线115设置在丝网装置110的第一侧或第一边缘部分。单一可旋转装置可在丝网装置110的第二侧或第二边缘部分处接触丝网装置，以围绕轴线115旋转丝网装置110。第一侧或第一边缘部分和第二侧或第二边缘部分可为丝网装置110的相对侧或相对侧部分。

在一些实施方式中，一个或多个可旋转装置经构造用于接触丝网装置110的横向侧表面。横向侧表面也可被称为“滑动表面”或“接触表面”。丝网装置110的横向侧表面可实质地垂直于移动平面而延伸。根据一些实施方式，丝网装置110可具有两个延伸表面，其中两个延伸表面中的一个表面经构造以面向基板10，且两个延伸表面的另一个表面经构造以背离基板10，例如，朝向印刷头或其刮板(squeegee)。丝网装置110的横向侧表面可连接这两个延伸表面。在一些实施方式中，这两个延伸表面可实质平行于移动平面和/或材料待被沉积于上的基板10的表面。

在一些实施方式中，设备100进一步包括安装装置150，安装装置150经构造以支撑围绕第一旋转轴线132是可旋转的至少一个第一可旋转装置130。具体地，至少一个第一可旋转装置130可安装到安装装置150。在一些实施方式中，安装装置150可为柔性接头。安装装置150可经由一个或多个弹性元件140而连接到底座装置120。具体地，至少一个第一可旋转装置130可经由安装装置150而连接到底座装置120。

根据一些实施方式，安装装置150可仅经由一个或多个弹性元件140而连接到底座装置120。在另一个例子中，设备100可包括引导装置(未显示)，所述引导装置将安装装置150连接到底座装置120。引导装置可允许安装装置150(例如)在实质垂直于第一旋转轴线132的方向上的引导移动，以将至少一个第一可旋转装置130推抵至丝网装置110。

根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，一个或多个弹性元件140为弹簧。作为例子，一个或多个弹性元件140从由以下项所组成的群组中选择：线圈弹簧、板簧(plate spring)、片弹簧(leaf spring)及其任何组合。在一些实施方式中，一个或多个弹性元件140可设置为柔性体材料(flexible bulk material)，诸如橡胶。然而，应理解本公开内容不限于此，且一个或多个弹性元件可为经构造以提供力，而将至少一个第一可旋转装置130推抵至丝网装置110的另一元件。

图3显示根据本文所述的进一步的实施方式的经构造用于将丝网装置110相对于在太阳能电池的制造中使用的基板10对准的设备300的示意图。

根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，一个或多个可旋转装置可包括四个或更少个可旋转装置，具体地是三个或更少个的可旋转装置，且可更具体地是三个可旋转装置。作为例子，一个或多个可旋转装置包括至少一个第一可旋转装置330和至少一个进一步的可旋转装置，诸如第二可旋转装置360和第三可旋转装置370。至少一个第一可旋转装置330和第二可旋转装置360和第三可旋转装置370提供与丝网装置110的三点接触。具体地，三点接触可提供丝网装置110在移动平面中的改良的对准，特别是因为促进了正确的丝网平面度的发现。

至少一个第一可旋转装置330通过安装装置350支撑，从而围绕第一旋转轴线332是可旋转的。至少一个第一可旋转装置330使用由一个或多个弹性元件(诸如第一弹性元件140和第二弹性元件142)所提供的力而被推抵至丝网装置110。至少一个进一步的可旋转装置可被可旋转地安装在底座装置320上。作为例子，第二可旋转装置360可围绕第二旋转转轴线362是可旋转的。第三可旋转装置370可围绕第三旋转轴线372是可旋转的。具体地，至少一个进一步的可旋转装置由底座装置320而可旋转地支撑，但不能相对于底座装置320被移位或平移。

在一些实施方式中，一个或多个可旋转装置的旋转轴线可实质彼此平行。具体地，第一旋转轴线332、第二旋转轴线362和第三旋转轴线372可实质彼此平行。然而，本公开内容不限于此，且旋转轴线可相对于彼此倾斜。

根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，底座装置320可为框架。框架可具有实质彼此平行而延伸的第一部分322和第二部分324，其中丝网装置110可位于第一部分322和第二部分324之间。第一部分322和第二部分324可由第三部分326而连接。第一部分322、第二部分324和第三部分326可界定经构造用于容纳丝网装置110的孔或接收空间。在一些实施方式中，框架可具有U形或矩形形状，诸如闭合的矩形形状。

根据一些实施方式，至少一个第一可旋转装置330可使用一个或多个弹性元件和可选地安装装置350而被安装到第三部分326。至少一个进一步的可旋转装置可被可旋转地安装在第一部分322和/或第二部分324上。作为例子，第二可旋转装置360可被可旋转地安装到第一部分322上，且第三可旋转装置370可被安装到第二部分324上。

根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，一个或多个弹性元件包括将安装装置350连接到底座装置320的第一弹性元件140和第二弹性元件142。至少一个第一可旋转装置330可被支撑在安装装置350的在第一弹性元件140和第二弹性元件142之间的位置处。作为例子，安装装置350可为棒形的。第一弹性元件140可连接到安装装置350的第一端部，且第二弹性元件142可连接到安装装置350的第二端部。第一端部和第二端部可为安装装置350的相对端部。至少一个第一可旋转装置330可设置在第一弹性元件140和第二弹性元件142之间，例如在安装装置150的中间部分处。

根据一些实施方式，安装装置350可包括具有开口的安装框架。至少一个第一可旋转装置330可被可旋转地安装在开口中。作为例子，至少一个第一可旋转装置330的第一旋转轴线332的第一端部分可被可旋转地连接到安装框架的第一框架部分。第一旋转轴线332的第二端部分可被可旋转地连接到安装框架的第二框架部分。第一框架部分和第二框架部分可实质彼此平行。至少一个第一可旋转装置330可定位在第一框架部分和第二框架部分之间。

图4显示根据本文所述的实施方式的用于将材料沉积至太阳能电池的制造中使用的基板10的系统400的示意图。系统400包括丝网装置110和根据本文所述的实施方式的经构造用于对准丝网装置110的设备。在一些实施方式中，系统400可为丝网印刷系统。

基板10可定位在基板支撑件20(诸如印刷巢(printing nest))上。基板支撑件20可经构造以在印刷工艺(诸如丝网印刷工艺)期间支撑基板10。可选地，基板支撑件20可经构造用于在两或更多个工艺站(诸如印刷站和检查站)之间运送基板10。

在一些实施方式中，丝网装置110包括丝网框架112和丝网114。丝网114界定对应于待被印刷在基板10上的结构(例如一个或多个导线图案，诸如指状物和/或汇流条)的丝网图案或特征。丝网图案或特征可包括洞、槽、切口或其它孔中的至少一个。

根据一些实施方式，系统400包括经构造用于在基板10上进行丝网印刷的至少一个印刷头480。在一些实施方式中，丝网装置110可包括在至少一个印刷头480中。在其它实施方式中，丝网装置110可设置为分离的实体。至少一个印刷头480可包括经构造用于接触丝网114的印刷装置(诸如刮板482)。刮板482沿着印刷方向6移动，并将待被印刷的材料(称为“印刷材料”)通过丝网114，且特别地通过界定一个或多个导线图案的丝网图案而推动到基板10上。

根据可与本文所述的其它实施方案结合的一些实施方式，印刷材料可从由以下材料所组成的群组中选择：银、铝、铜、锡、镍、硅基糊料及其任何组合。

如图4中所示，一个或多个可旋转装置的旋转轴线(诸如至少一个第一可旋转装置的第一旋转轴线132)可实质垂直于印刷方向6。印刷方向6和/或旋转轴线可实质平行于垂直方向3。垂直方向3可平行于重力。

图5显示根据本文所述的实施方式的经构造用于使丝网装置相对于太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备的局部的示意图。

根据可本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，安装装置150可为弹性接头。一个或多个弹性元件140(诸如弹簧)可推动安装装置150，以便补偿由丝网装置110的横向侧表面所提供的滑动表面113的变形116。在一些实施方式中，变形116可由于连续和/或重复的θ移动和丝网装置110的对准而产生。

图6显示根据本文所述的实施方式的经构造用于将丝网装置610相对于在太阳能电池的制造中使用的基板(未显示)对准的设备600的示意图。图7A显示图6所示的设备600的细节的示意图。图7B显示设备600的安装装置的示意图。

设备600包括丝网装置610和一个或多个可旋转装置。一个或多个可旋转装置包括由安装装置650可旋转地支撑的至少一个第一可旋转装置630。一个或多个可旋转装置可包括至少一个进一步的可旋转装置，诸如可旋转地安装到底座装置620的第二可旋转装置660和第三可旋转装置670。安装装置650使用一个或多个弹性元件(诸如第一弹性元件640和第二弹性元件642)而安装到底座装置620。

根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，底座装置620具有经构造以容纳丝网装置610和/或基板10的开口625。在一些实施方式中，丝网装置610安装在底座装置620的顶表面上。一个或多个可旋转装置可从底座装置620的顶表面突出，以接触丝网装置610的横向侧表面。

根据可与本文所述的其它实施方式结合的一些实施方式，安装装置650包括固定部分652和可移动部分654。具有固定部分652和可移动部分654的安装装置650可经构造为弹性接头。固定部分652可连接到底座装置620。具体地，固定部分652可相对于底座装置620是静止的。在一些实施方式中，可移动部分654可相对于固定部分652和/或底座装置620是可移动的。作为例子，可移动部分654可安装到固定部分652，以相对于固定部分652是可移动的。

根据一些实施方式，可移动部分654可包括第一端部、第二端部和设置在第一端部和第二端部分间的中间部。第一端部和第二端部可连接到固定部分652。可移动部分654的至少中间部可相对于固定部分652是可移动的。在一些实施方式中，可移动部分654至少部分地设置在由固定部分652所提供的接收空间中。

在一些实施方式中，固定部分652和可移动部分654由安装装置650的本体提供。具体地，安装装置650的本体可具有经构造以将可移动部分654从固定部分652分离的一个或多个切口或狭缝655。作为例子，安装装置650的本体可为单件式的材料，诸如金属(例如钢或铝)或聚合物材料(诸如塑胶)。一个或多个切口或狭缝655可设置在本体中，使得可移动部分654相对于固定部分652是可移动的。

在一些实施方式中，至少一个第一可旋转装置630由可移动部分654(例如，中间部分)而被可旋转地支撑或被可旋转地安装到可移动部分654。作为例子，一个或多个弹性元件(诸如第一弹性元件640和第二弹性元件642)可经构造以提供作用在可移动部分654上的力，以将至少一个第一可旋转装置630推抵至丝网装置610。作为例子，一个或多个弹性元件的第一端或端部可连接到底座装置620和/或固定部分652。一个或多个弹性元件的第二端或端部可经构造以接触可移动部分654，以在朝向丝网装置610的方向上推动可移动部分654。在一些实施方式中，一个或多个弹性元件的第二端或端部可连接到可移动部分654。

一旦设备被组装或设置，使用者不需要改变或操作由设备所提供的磨损补偿装置。部件的磨损通过一个或多个弹性元件所提供的力而被自动地补偿。太阳能电池制造设备具有减少的停机时间并提供增加的效率。

图8显示根据本文所述的实施方式的用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的方法800的流程图。

方法800包括在方块810中，使丝网装置与对准设备的一个或多个可旋转装置接触，其中一个或多个可旋转装置的至少一个第一可旋转装置经由一个或多个弹性元件而连接到对准设备的底座装置。在方块820中，方法包括旋转一个或多个可旋转装置中的至少一个可旋转装置，以相对于基板对准丝网装置。

在一些实施方式中，方法800包括使用由一个或多个弹性元件所提供的力将至少一个第一可旋转装置推抵至丝网装置。作为例子，在至少一个可旋转装置的旋转期间(例如在对准处理中)，至少一个第一可旋转装置被推抵至丝网装置。

根据一些实施方式，方法进一步包括用于在丝网装置相对于基板10对准之后在基板10上印刷一个或多个第一导线图案的第一印刷工艺。在一些实施方式中，具有一个或多个第一导线图案印刷于上的基板10可被干燥。作为例子，基板10可移动到干燥站，用于干燥一个或多个第一导线图案。在另一例子中，一个或多个第一导线图案可在印刷站中被干燥而不移动基板10。

根据一些实施方式，方法包括用于在基板10上(例如在一个或多个第一导线图案上或上方)印刷一个或多个第二导线图案的第二印刷工艺。在第二印刷工艺中使用的丝网装置可使用本文所述的实施方式而相对于基板10对准。丝网装置可为在第一印刷工艺中所使用的相同丝网装置，或可为(例如在另一个印刷站中所提供的)不同的丝网装置。在一些实施方式中，具有一个或多个第二导线图案印刷于上的基板10可被干燥。

根据一些实施方式，在方法800中所使用的对准设备根据本文所述的实施方式而构造。具体地，方法800可利用本文所述的设备、结构和系统。

根据本文所述的实施方式，用于将丝网装置相对于在太阳能电池制造中使用的基板对准的方法可以使用计算机程序、软件、计算机软件产品和相关的控制器来进行，控制器可具有与用于处理大面积基板的设备的对应部件通信的CPU、存储装置、使用者界面以及输入和输出装置。

本公开内容的实施方式在一段长的时间周期允许准确对准。具体地，可最小化或甚至避免由机械部件(诸如丝网装置和/或可旋转装置)的磨损而导致的对准准确度的影响。在维修之间的间隔可被延长，且可降低维护成本。可减少太阳能电池制造设备的停机时间，且可增加太阳能电池制造设备的产量和效率。一个或多个可旋转装置允许丝网或丝网装置的改良的平面对准(或改良的平面条件)。此外，一旦设备被组装或设置，使用者不需要改变或操作由设备所提供的磨损补偿装置。部件的磨损由一个或多个弹性元件所提供的力而被自动地补偿。太阳能电池制造设备具有减少的停机时间且提供增加的效率。

虽然前述内容针对本公开内容的实施方式，可在不背离本公开内容的保护范围的情况下，可设计本公开内容的其它和进一步的实施方式，且本公开内容的保护范围由随附的权利要求书确定。

Claims (15)

1.一种经构造以用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备，所述设备包含：

底座装置；及

一个或多个可旋转装置，经构造以接触所述丝网装置，其中所述一个或多个可旋转装置中的至少一个第一可旋转装置经由一个或多个弹性元件而连接至所述底座装置。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述一个或多个可旋转装置为三个或更少个可旋转装置。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述一个或多个可旋转装置经构造以通过所述一个或多个可旋转装置中的至少一个可旋转装置围绕旋转轴线的旋转而相对于所述基板对准所述丝网装置。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的设备，其中所述一个或多个可旋转装置经构造以在平行于所述基板的表面的二维平面中相对于所述基板对准所述丝网装置。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的设备，其中所述一个或多个可旋转装置包括可旋转地安装到所述底座装置的至少一个第二可旋转装置。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的设备，进一步包括安装装置，经构造以支撑所述至少一个第一可旋转装置，所述至少一个第一可旋转装置围绕第一旋转轴线是可旋转的，其中所述安装装置经由所述一个或多个弹性元件而连接到所述底座装置。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述一个或多个弹性元件包括将所述安装装置连接到所述底座装置的第一弹性元件和第二弹性元件，且其中所述至少一个第一可旋转装置被支撑在所述安装装置在所述第一弹性元件和所述第二弹性元件之间的位置处。

8.根据权利要求6或7所述的设备，其中所述安装装置包括固定部分和可移动部分，其中所述至少一个第一可旋转装置通过所述可移动部分而被可旋转地支撑。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的设备，其中所述至少一个第一可旋转装置经由所述一个或多个弹性元件而连接到所述底座装置，以在垂直于所述至少一个第一可旋转装置的所述第一旋转轴线的方向上是可移动的。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的设备，其中所述一个或多个弹性元件是弹簧。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的设备，其中所述底座装置包括具有开口的框架，所述开口经构造以容纳所述丝网装置和所述基板中的至少一个。

12.一种用于将材料沉积至在太阳能电池的制造中使用的基板上的系统，所述系统包含：

丝网装置；及

根据权利要求1-11中任一项所述的设备。

13.根据权利要求12所述的系统，进一步包括至少一个印刷装置，经构造以在所述基板上进行丝网印刷。

14.一种用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的方法，所述方法包含以下步骤：

以对准设备的一个或多个可旋转装置接触所述丝网装置，其中所述一个或多个可旋转装置中的至少一个第一可旋转装置经由一个或多个弹性元件而连接至所述对准设备的底座装置；及

旋转所述一个或多个可旋转装置中的至少一个可旋转装置，以相对于所述基板对准所述丝网装置。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述对准设备根据权利要求1-11中任一项而构造。