CN109196664A - 用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法 - Google Patents
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Abstract
提供了用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造的基板(10)上的设备(100)。所述设备(100)包括工艺头部组件(110)，所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动，并且所述工艺头部组件包括：一个或更多个沉积装置(120)，所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网(154)传送到所述基板(10)；和两个或更多个材料处理装置(130)，所述两个或更多个材料处理装置用于处理所述丝网(154)上的所述材料。
Description
技术领域
本发明的实施方式涉及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法。
背景技术
太阳能电池是将阳光直接转换成电力的光伏器件。在这个领域内，已知使用沉积技术，具体地是印刷技术在晶体硅基底上生产太阳能电池，从而在太阳能电池的前表面上实现选择性发射器结构。处理周期可包括至少一个印刷操作和任选的另一材料处理操作，在所述印刷操作过程中，通过沉积装置将材料沉积在基板上。设备的生产率和/或生产量可能受处理周期的周期时间的限制。
鉴于以上内容，克服了本领域中的至少一些问题的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的新设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法是有益的。本发明的目标尤其在于提供能够减少处理周期的周期时间以增加生产率和生产量中的至少一个的设备和方法。
发明内容
鉴于以上内容，提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法。本发明的另外的方面、益处以及特征从权利要求书、说明书以及附图中显而易见。
根据本发明的一个方面，提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。所述设备包括工艺头部组件，所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动。所述工艺头部组件包括：一个或更多个沉积装置，所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将材料从丝网传送到基板；和两个或更多个材料处理装置，所述两个或更多个材料处理装置用于处理丝网上的材料。
根据本发明的另一方面，提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。所述设备包括工艺头部组件，所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动。所述工艺头部组件包括：一个或更多个沉积装置，所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将材料从丝网传送到基板；和一个或更多个材料处理装置，所述一个或更多个材料处理装置用于处理丝网上的材料。
根据本发明的又一方面，提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。所述设备包括工艺头部组件，所述工艺头部组件能够至少在印刷方向上移动。所述工艺头部组件包括一个或更多个材料处理装置，其中所述一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置具有刀刃(blade)，所述刀刃被配置为用于处理材料，并且其中所述刀刃在基本上垂直于所述印刷方向的方向上不是直的。
根据本发明的另一方面，提供一种太阳能电池生产设备。所述太阳能电池生产设备包括一个或更多个沉积站，以及根据本文所述实施方式用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。
根据本发明的另一方面，提供一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法。所述方法包括：沿着基板支撑件在第一方向上将具有一个或更多个沉积装置和两个或更多个材料处理装置的工艺头部组件至少从第一位置移动到第二位置，以便使用所述一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置将所述材料从丝网传送到所述基板并且使用所述两个或更多个材料处理装置中的第一材料处理装置执行对所述丝网上的所述材料的处理。
各实施方式亦涉及用于执行所披露的方法的设备，并且包括用于执行每个所述方法方面的设备部件。这些方法方面可藉由硬件部件、由适当软件编程的计算机、两者的任何结合或任何其他方式执行。再者，根据本公开内容的实施方式亦涉及用于操作所述设备的方法。用于操作所述设备的方法包括用于执行设备的各个功能的方法方面。
附图说明
因此，为了能够详细理解本发明的上述特征，上文所简要概述的本发明的更具体的描述可以参照实施方式进行。附图涉及本发明的各个实施方式，并且描述如下：
图1示出了根据本文所述实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备的示意图；
图2A和图2B示出了根据本文所述实施方式的用于进行印刷和材料处理的工艺头部组件的示意图，所述工艺头部组件分别在第一方向上和在第二方向上移动。
图3示出了根据本文所述的另外实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备的示意图；
图4A至图4C示出了根据本文所述的另外实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备的工艺头部组件的示意图；
图5示出了根据本文所述实施方式的沉积装置和材料处理装置的布置的示意图；
图6示出了根据本文所述实施方式的在印刷工艺过程中的沉积装置和材料处理装置的布置的示意图；
图7示出了根据本文所述的另外实施方式的在印刷工艺过程中的沉积装置和材料处理装置的布置的示意图；
图8A和图8B示出了根据本文所述实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备的工艺头部组件的示意图；
图9示出了根据本文所述实施方式的材料处理装置的示意图，所述材料处理装置具有刀刃；
图10示出了根据本文所述实施方式的太阳能电池生产设备的示意图；和
图11示出了根据本文所述的另外实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法的流程图。
具体实施方式
现将详细参照本发明的各种实施方式，所述实施方式的一个或更多个示例在附图中示出。在以下对附图的描述内，相同的附图标记是指相同的部件。一般来说，仅描述了各个实施方式之间的差异处。每个示例以解释发明内容的方式提供，而不意在作为本发明的限制。另外，例示或描述为一个实施方式的部分的特征可以用于其它实施方式或与其它实施方式结合来产生另一实施方式。预期的是，说明书包括此类修改和变化。
用于在基板上形成导电线路图案的处理周期可包括使用沉积装置来将材料沉积在基板上的至少一个沉积工艺和使用材料处理装置的至少另一工艺。沉积装置和材料处理装置被安装到工艺头部，使得当工艺头部在某个方向上移动时，就会执行在基板上的材料沉积和材料处理。
根据本发明的用于将材料丝网印刷于基板上的设备使用可移动的工艺头部组件进行丝网印刷。作为一个示例，可以在丝网上提供一层材料。可以使用可为刮板的沉积装置将材料从丝网传送到基板。材料处理装置可以跟随沉积装置，并且在丝网上提供另一层的材料以供沉积在例如后续基板上。本发明的工艺头部组件具有两个或更多个材料处理装置，使得材料处理可以在两个方向上执行，即双向执行。因为至少材料处理可以在两个方向上而非仅仅在一个方向上执行，所以可以增加设备的生产率和/或生产量。
图1示出了根据本文所述实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板10上的设备100的示意图。材料可以是适于在基板10的表面12上形成导电线路图案(诸如指状物和/或汇流条(busbar))的材料。作为一个示例，材料可为膏剂，诸如银膏。
设备100包括工艺头部组件110，所述工艺头部组件能够在第一方向1上移动，第一方向可为印刷方向。工艺头部组件110包括：一个或更多个沉积装置120，所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将材料从丝网154传送到基板10；和一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置，诸如第一材料处理装置130和第二材料处理装置132，用于处理丝网154上的材料。在一些实现方式中，一个或更多个沉积装置120可为一个或更多个印刷装置，诸如刮板。材料处理也可称为“覆墨阶段(flood phase)”，其可在丝网154上提供基本上均匀的材料层，所述基本上均匀的材料层被传送到例如跟随于经处理的基板的后续基板。
在一些实现方式中，设备100进一步包括驱动装置，所述驱动装置被配置为用于沿着基板支撑件20在第一方向1上移动工艺头部组件110或工艺头部组件110的部分(诸如所述工艺头部组件的工艺头部)，用于将材料从丝网154传送到基板10和/或例如在沉积工艺过程中处理丝网154上的材料。可以在一个行程或周期过程中执行沉积(诸如印刷)和材料处理。换句话说，可以同时执行沉积和材料处理。在沉积工艺期间的组合覆墨移动可以减少工艺时间，诸如关键路径时间。作为一个示例，关键路径时间可减少约三分之一。
在图1的示例中，工艺头部组件110包括工艺头部140、例如一个单一的工艺头部，其中一个或更多个沉积装置120中的至少一个沉积装置和一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置中的至少一个材料处理装置附接到工艺头部140。然而，本发明不限于此，并且工艺头部组件可包括两个或更多个工艺头部，所述两个或更多个工艺头部具有附接到其上的相应沉积装置和/或材料处理装置。
在一些实现方式中，在使用一个或更多个沉积装置执行的沉积工艺的持续时间的至少一部分期间同时执行沉积和材料处理。作为一个示例，可在沉积工艺的持续时间的50％或更多，具体地70％或更多，以及更具体地90％或更多期间执行材料处理。根据一些实施方式，沉积和材料处理在沉积工艺的基本整个持续时间期间(诸如沉积工艺的持续时间的100％)同时执行。沉积工艺可对应于由工艺头部执行的一个行程或移动，例如在第一位置A与第二位置B之间。第一位置A与第二位置B之间的距离可等于或大于基板10或导电线路图形的延伸度(extension)，使得导电线路图案或其一层可以在一个行程过程中沉积在基板10上。
设备100可包括丝网装置150，所述丝网装置150设置在基板支撑件20与工艺头部组件110之间。丝网装置150可包括框架152和丝网154，丝网154附接到框架152。根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，一个或更多个沉积装置120可为一个或更多个印刷装置。一个或更多个印刷装置可各自包括刮板。刮板可配置为接触丝网154以便进行印刷。在一些实施方式中，所述刮板的尖端接触丝网154并且推动材料穿过丝网154印刷到基板10上。刮板可为金刚石刮板或成角度的刮板。
丝网154可包括网、印刷掩模、片材、金属片材、塑料片材、板材、金属板材和塑料板材中的至少一个。在一些实施方式中，丝网154限定对应于要印刷在基板上的结构的图案，其中图案可包括孔洞、狭槽、切口或其它孔隙中的至少一个。图案可对应于要印刷在基板10上的导电线路图案，诸如太阳能电池的指状物和/或汇流条。作为一个示例，丝网154可具有限定导电线路图案的开口和设置在开口内的金属丝网(wire mesh)。通过使用一个或更多个第一材料处理装置130，可将要沉积在基板10上的材料作为基本上均匀的层提供在丝网154上。由于存在金属丝网，材料不会流过开口。在沉积工艺过程中，沉积装置，例如刮板会对材料施加力或压力，并且推动材料穿过开口，使得材料被传送到基板10(即，沉积在基板10上)。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置(诸如第一材料处理装置130和第二材料处理装置132)被配置为用于在丝网154上提供基本上均匀的材料膜。在一些实现方式中，材料处理可使材料以最佳的方式传送到基板10上。任选地或替代地，材料处理装置被配置为用于回收基板10和/或丝网154上的多余材料。在一些实现方式中，一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置可为覆墨刀(flood bar)。材料处理可以称为“覆墨(flooding)”。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，驱动装置被配置为用于在第一方向1上将工艺头部组件110至少从第一位置A移动到第二位置B，以便至少在从第一位置A移动到第二位置B的过程中执行材料在丝网154上的沉积/传送和处理(例如，分布)。从第一位置A到第二位置B或反之亦然的移动可分别对应于由工艺头部组件110或其工艺头部执行的一个行程(诸如第一行程和第二行程)。第一方向1可为垂直于垂直方向4的水平方向3。
第一位置A和第二位置B可被限定为工艺头部组件110(例如，工艺头部140)相对于基板10、基板支撑件20和/或丝网154中的至少一个的相应位置。工艺头部组件110的位置可以继而限定一个或更多个沉积装置120和材料处理装置相对于基板10、基板支撑件20和/或丝网154中的至少一个的相应位置。
作为一个示例，当工艺头部组件110或工艺头部140处于第一位置A并且沿着第一方向1(“移动方向”)移动时，第一材料处理装置130可以在位置(a)处并且一个或更多个沉积装置120中的一个沉积装置可以在位置(b)处。同样，当工艺头部组件110或工艺头部140处于第二位置B并且沿着第二方向2(“移动方向”)移动时，第一材料处理装置130可以在位置(c)处并且沉积装置可以在位置(d)处。当工艺头部组件110从第一位置A到达第二位置B时，材料处理装置从位置(a)移动到位置(c)，并且沉积装置从位置(b)移动到位置(d)。在一些实现方式中，如果沉积在两个方向上同等地操作，那么沉积装置不会改变位置。作为一个示例，在非对称的沉积装置(诸如成角度的刮板)的情况下，一个沉积装置升高，另一沉积装置下降。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，驱动装置被配置为用于在与第一方向1相反的第二方向上移动工艺头部组件110，以便在第二方向上移动期间执行沉积和/或材料处理。工艺头部组件110在第二方向上的移动可对应于工艺头部组件110从第二位置B到第一位置A的移动。第二方向可为水平方向3和/或印刷方向。
在一些实现方式中，工艺头部组件110在第一位置A和第二位置B之间的移动，诸如第一行程和/或第二行程，可对应于400mm或更小，具体地300mm或更小以及更具体地200mm或更小的行程距离。作为一个示例，行程距离可以在150mm至300mm之间的范围内，并且可以具体地为约220mm。行程距离可等于或大于基板10或导电线路图案的延伸度。第一位置A和第二位置B可相对于第一位置A与第二位置B之间的中心点(并且具体地是作为当工艺头部组件110处于第一位置A时沉积装置的位置(b)与工艺头部组件110处于第二位置B时沉积装置的位置(d)之间的中心点)进行限定。作为一个示例，当第一位置A和第二位置B之间的行程距离为220mm时，当工艺头部组件110处于第一位置A时，沉积装置的位置(b)可以为-110mm，并且当工艺头部组件110处于第二位置B时，沉积装置的位置(d)可以为+110mm。在一些实施方式中，提供一个或更多个参考位置。所述一个或更多个参考位置例如可为基板中心(零点位置)、在行程开始时的沉积装置的位置(例如，-110mm)，以及在行程完成时的沉积装置的最终位置(例如，+110mm)。膏卷可以从-110mm位置到+110mm位置来回移动。由于处理装置可以设有与沉积装置的偏移(例如，30mm)，因此工艺头部组件110可以执行额外运作以使膏卷返回准确位置。
根据一些实施方式，在一个或更多个沉积装置与一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置之间可以设有距离或间距。具体地讲，在相邻或邻近的沉积装置与材料处理装置之间可以设有距离或间距。作为一个示例，在第一方向1上，在沉积装置与相邻的材料处理装置之间的距离或间距可以在10mm至50mm的范围内，并且可以具体地为约30mm。距离或间距可为材料积聚(“膏卷”)提供空间。
在一些实施方式中，设备100可被配置为至少进行双重印刷。作为一个示例，导电线路图案(诸如太阳能电池的指状物和/或汇流条)可包括两个或更多个材料层。第一材料层可以印刷在基板10上，并且第二材料层可至少部分地印刷在第一材料层的顶部上，以便形成导电线路图案。在一些实现方式中，设备100可以在第一沉积工艺过程中印刷第一材料层，第一沉积工艺包括从第一位置A到第二位置B的移动或第一行程。在一些实施方式中，设备100可以在第二沉积工艺过程中印刷第二材料层，第二沉积工艺包括从第二位置B到第一位置A的移动或第二行程。然而，本发明并不限于此，并且可以利用沿相同方向(例如，第一方向1或第二方向)移动的工艺头部组件110执行沉积工艺。在一些实施方式中，基板被交替地印刷，例如，一个基板使用第一方向1，另一基板使用第二方向2等等(例如，对于每个处理或印刷站)。
在一些实现方式中，第一方向1和第二方向2可为实质上水平的方向。术语“水平方向”被理解为区别于“垂直方向”。也就是说，“水平方向”涉及例如工艺头部组件110的实质上水平的移动，其中与准确水平方向的几度偏差(例如，达到5°或甚至达到10°)仍然被认为是“实质上水平的方向”。垂直方向4可以实质上平行于重力。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，设备100，并且具体地是工艺头部组件110，还包括致动器组件，所述致动器组件被配置为用于移动一个或更多个沉积装置120和/或一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置。作为一个示例，所述致动器组件包括一个或更多个第一致动器，所述一个或更多个第一致动器被配置为调整一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置(诸如第一材料处理装置130和/或第二材料处理装置132)与丝网154和/或基板支撑件20之间的距离和至少一个材料处理装置相对于丝网154和/或基板支撑件20的角度中的至少一个。另外地或替代地，所述致动器组件包括一个或更多个第二致动器，所述一个或更多个第二致动器被配置为调整一个或更多个沉积装置120中的至少一个沉积装置与丝网154和/或基板支撑件20之间的距离和至少一个沉积装置相对于丝网154和/或基板支撑件20的角度中的至少一个。
在一些实现方式中，在工艺头部组件110例如在第一位置A与第二位置B之间移动的过程中，可调整或控制一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置与丝网154和/或基板支撑件20之间的距离(例如，在垂直方向上)。作为一个示例，可以通过调整至少一个材料处理装置的垂直位置而调整距离。实时调整垂直位置可以确保至少一个材料处理装置不会干扰丝网154，特别是在丝网154因丝网154与一个或更多个沉积装置120接触而变形时如此。根据一些实施方式，可以将一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置与丝网154和/或基板支撑件20之间的距离调整为遵循丝网轮廓(screen profile)。具体地，可将至少一个材料处理装置的垂直位置控制或调整为遵循所述丝网轮廓。作为一个示例，在工艺头部组件110的移动过程中，可调整或控制至少一个材料处理装置与丝网154和/或基板支撑件20之间的距离，以便使其将是基本上恒定的。
图2A和图2B示出了根据本文所述实施方式的用于进行沉积(诸如印刷)和材料处理的工艺头部组件110的示意图，所述工艺头部组件110在第一方向1上和在第二方向2上移动。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，两个或更多个材料处理装置至少包括第一材料处理装置130和第二材料处理装置132。当工艺头部组件110(例如工艺头部140)处于第一位置A时，第一材料处理装置130处于位置(a)，沉积装置处于位置(b)，并且第二材料处理装置132处于位置(a')。当工艺头部组件110处于第二位置B时，第一材料处理装置130处于位置(c)，沉积装置处于位置(d)，并且第二材料处理装置132处于位置(c')。
在一些实现方式中，一个或更多个沉积装置120中的至少一个沉积装置定位在第一材料处理装置130与第二材料处理装置132之间。虽然图2A和图2B示例性地示出第一材料处理装置130与第二材料处理装置132之间的一个沉积装置，但是本发明不限于此。具体地，在第一材料处理装置130与第二材料处理装置132之间可以设有多于一个沉积装置，诸如两个沉积装置。
在另外实施方式中，一个或更多个沉积装置120至少包括第一沉积装置和第二沉积装置。一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置可以定位在第一沉积装置与第二沉积装置之间。作为一个示例，两个材料处理装置可以定位在第一沉积装置与第二沉积装置之间。
根据可以与本文所述其它实施方式组合的一些实施方式，当工艺头部组件110在第一方向1上移动时，第一材料处理装置130被定位在一个或更多个沉积装置120后方。当工艺头部组件110在第二方向2上移动时，第二材料处理装置132可以定位在一个或更多个沉积装置120后方。换句话说，相应材料处理装置在移动方向(诸如第一方向或第二方向)上跟随一个或更多个沉积装置120。
如图2A所示，在工艺头部组件110在第一方向1上移动过程中，工艺头部组件110使用第一材料处理装置130进行材料处理。另外，如图2B所示，在工艺头部组件110在第二方向2上移动过程中，工艺头部组件110使用第二材料处理装置132进行材料处理。在工艺头部组件移动过程中用于材料处理的材料处理装置110可以被定位成足够靠近丝网154，以便允许材料处理，诸如在丝网154上提供基本上均匀的材料层。作为一个示例，用于材料处理的材料处理装置与丝网154之间的距离(例如，以下段落中描述的第一距离d1或第二距离d2)可以根据沉积在丝网154上的材料的层厚度、材料(例如，膏剂)的流变性以及材料的组成中的至少一个进行选择。
根据一些实施方式，在工艺头部组件110在第一方向1上移动过程中，丝网154与第一材料处理装置130之间的第一距离d1小于丝网154与第二材料处理装置132之间的第二距离d2。在工艺头部组件110在第二方向2上移动过程中，丝网154与第二材料处理装置132之间的第二距离d2可以小于丝网154与第一材料处理装置130之间的第一距离d1。第一距离d1和第二距离d2可以限定在垂直方向上。
在一些实现方式中，第一距离d1和第二距离d2中的较大距离(即，图2A中的第二距离d2和图2B中的第一距离d1)可以在0mm与25mm之间的范围内，具体地是在1mm与15mm之间的范围内，并且更具体地可以为约10mm。第一距离d1和第二距离d2中的较小距离(即，图2A中的第一距离d1和图2B中的第二距离d2)可以在0.01mm与2mm之间的范围内，具体地是在0.05mm与1.5mm之间的范围内，并且更具体地可为在0.1mm与1mm之间的范围内。
在一些实现方式中，在第一位置A和第二位置B之间移动期间，可调整或控制第一距离d1和/或第二距离d2。实时调整第一距离d1和/或第二距离d2可以确保至少一个材料处理装置不会干扰丝网154。根据一些实施方式，可以将第一距离d1和/或第二距离d2调整为遵循丝网轮廓。根据一些实施方式，仅调整正使用的材料处理装置的距离。可以使未使用的材料处理装置的距离保持恒定。作为一个示例，可以对使用中的材料处理装置的距离进行调整，以便将所述材料处理装置与丝网154之间的距离(诸如第一距离d1或第二距离d2)保持为基本上恒定的。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，设备100，并且具体地是工艺头部组件110(例如，工艺头部140)，还包括致动器组件，所述致动器组件被配置为用于移动一个或更多个沉积装置120和/或两个或更多个材料处理装置。作为一个示例，所述致动器组件包括一个或更多个第一致动器，所述一个或更多个第一致动器被配置为调整一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置与丝网154和/或基板支撑件20之间的距离(例如，第一距离d1和/或第二距离d2)和至少一个材料处理装置相对于丝网154和/或基板支撑件20的角度中的至少一个。作为一个示例，所述一个或更多个第一致动器可包括第一致动器单元和第二致动器单元，第一致动器单元被配置为调整第一材料处理装置130与丝网154和/或基板支撑件20之间的第一距离d1，第二致动器单元被配置为调整第二材料处理装置132与丝网154和/或基板支撑件20之间的第二距离d2。
致动器组件中的致动器，诸如一个或更多个第一致动器和/或一个或更多个第二致动器，可从由以下项组成的组选择：步进电机(stepper motor)、线性电机、气动电机以及它们的任何组合。
图3示出了根据本文所述的另外实施方式的用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的设备的示意图。
根据可以与本文所述其它实施方式组合的一些实施方式，一个或更多个沉积装置120被配置为用于在沉积工艺过程中接触丝网154。用于在沉积工艺过程中进行材料处理的一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置可被配置为在所述沉积工艺过程中不与丝网154接触。具体地，两个或更多个材料处理装置可以与丝网154间隔开例如关于图2A和图2B说明的第一距离和/或第二距离。
在一些实现方式中，一个或更多个沉积装置120与基板支撑件20之间的距离可以小于两个或更多个材料处理装置与基板支撑件20之间的距离。在图3的示例中，一个或更多个沉积装置120与基板支撑件20之间的距离可以基本上对应于丝网154和基板10的组合厚度。沉积装置可以在丝网上施加力。丝网发生变形，并且由沉积装置施加的小于丝网阻力的力被传递到基板。
在图3中，示出一个或更多个沉积装置120与基板10之间的距离与第一材料处理装置130与基板10之间的距离之间的差值d。可以通过移动第一材料处理装置130调整差值d，如用箭头5指示。差值d可相对于基板10或替代地可相对于基板支撑件20(诸如基板支撑件的被配置成用于在沉积工艺过程中支撑基板的支撑表面)和/或水平平面限定。水平平面可由支撑表面限定。在一些实现方式中，差值d可对应于一个或更多个沉积装置120的尖端与第一材料处理装置130的尖端之间的高度差值(例如，在垂直方向上)。差值d可以在5mm与25mm之间的范围内，具体地在10mm与20mm之间的范围内，并且更具体地可为约15mm。这同样适用于一个或更多个沉积装置120与基板10之间的距离与第二材料处理装置(未示出)与基板10之间的距离之间的差值，并且因此重复如此。
图4A至图4C示出了根据本文所述的另外实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备的工艺头部组件的示意图。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，一个或更多个沉积装置被布置在两个或更多个材料处理装置之间。作为一个示例，如图4A的示例所示，一个或更多个沉积装置包括布置在第一材料处理装置130和第二材料处理装置132之间的第一沉积装置120和第二沉积装置122。在一些实现方式中，当工艺头部组件在第一方向上移动时，第一材料处理装置130和第一沉积装置120可以分别用于材料处理和沉积。同样，当工艺头部组件在第二方向上移动时，第二材料处理装置132和第二沉积装置122可以分别用于材料处理和沉积。
参考图4B中示出的另一示例，一个或更多个沉积装置是两个或更多个沉积装置，并且一个或更多个材料处理装置被布置在两个或更多个沉积装置之间。作为一个示例，两个或更多个沉积装置包括第一沉积装置120和第二沉积装置122。第一材料处理装置130和第二材料处理装置132可以布置在第一沉积装置120与第二沉积装置122之间。在一些实现方式中，当工艺头部组件在第一方向上移动时，第一沉积装置120以及第一材料处理装置130和/或第二材料处理装置132可以分别用于沉积和材料处理。同样，当工艺头部组件在第二方向上移动时，第二沉积装置122以及第一材料处理装置130和/或第二材料处理装置132可以分别用于沉积和材料处理。
如图4C所示，根据本发明的另一方面，提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备。所述设备包括工艺头部组件，所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动。工艺头部组件包括：一个或更多个沉积装置，所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将材料从丝网传送到基板；和一个或更多个材料处理装置，所述一个或更多个材料处理装置用于处理丝网上的材料。
作为一个示例，一个或更多个沉积装置是两个或更多个沉积装置，并且一个或更多个材料处理装置被布置在两个或更多个沉积装置之间。作为一个示例，两个或更多个沉积装置包括第一沉积装置120和第二沉积装置122。一个或更多个材料处理装置，诸如第一材料处理装置130，可以布置在第一沉积装置120与第二沉积装置122之间。
在一些实现方式中，当工艺头部组件在第一方向和第二方向上移动时，一个或更多个材料处理装置可被配置为用于处理丝网上的材料。换句话说，一个或更多个材料处理装置可被配置为用于在两个方向上进行材料处理。作为一个示例，一个或更多个材料处理装置可以是相对于第一方向和第二方向基本上对称的，以便允许在两个方向上进行处理。可以实现对工艺头部组件的紧凑设计。
图5示出了根据本文所述的另外实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备的工艺头部组件520的示意图。
工艺头部组件520包括第一工艺头部522和第二工艺头部524。一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置和一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置附接到第一工艺头部522。一个或更多个沉积装置中的至少另一沉积装置和一个或更多个材料处理装置中的至少另一材料处理装置附接到第二工艺头部524。在当前示例中，沉积装置和材料处理装置两者都附接到相应的工艺头部。
虽然在每个工艺头部处示出一个沉积装置和一个材料处理装置，但是应当理解，本发明不限于此，并且两个或更多个沉积装置和/或两个或更多个材料处理装置可附接到第一工艺头部522。同样，可以将两个或更多个沉积装置和/或两个或更多个材料处理装置可附接到第二工艺头部524。
根据可以与本文所述的实施方式组合的其它实施方式，设备，并且具体地是工艺头部组件，包括两个或更多个工艺头部。所述两个或更多个工艺头部可以彼此独立可控和/或移动。作为一个示例，工艺头部组件包括第一工艺头部和第二工艺头部。第一驱动装置可以被配置为用于例如在第一方向和/或第二方向上移动第一工艺头部，并且第二驱动装置可以被提供来例如在第一方向和/或第二方向上移动第二工艺头部。一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置可附接到第一工艺头部，并且一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置可附接到第二工艺头部。
作为一个示例，工艺头部组件包括第一工艺头部和第二工艺头部。一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置可附接到第一工艺头部。一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置可附接到第二工艺头部。在当前示例中，沉积装置或材料处理装置中任一者可附接到相应的工艺头部。换句话说，每个工艺头部具有附接到其上的沉积装置或材料处理装置中的任一者。
图6示出了根据本文所述的另外实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备600的示意图。
根据可以与本文所述的实施方式组合的其它实施方式，设备，并且具体地是工艺头部组件，包括两个或更多个工艺头部(也被称为“分组”或“工艺分组”)。所述两个或更多个工艺头部可以彼此独立可控和/或移动。作为一个示例，工艺头部组件包括第一工艺头部610和第二工艺头部620。一个或更多个沉积装置中的第一沉积装置612附接到第一工艺头部610，并且一个或更多个沉积装置中的第二沉积装置622附接到第二工艺头部620。同样，一个或更多个材料处理装置中的第一材料处理装置614附接到第一工艺头部610，并且一个或更多个材料处理装置中的第二材料处理装置624附接到第二工艺头部620。
一个或更多个沉积装置可为成角度的沉积装置，诸如成角度的刮板或精密刮板。每个成角度的沉积装置可被配置为用于仅仅在一个方向上进行印刷(这不同于先前所描述的金刚石刮板，金刚石刮板是实质上对称的，并且被配置为用于沿向前和向后两个方向印刷)。为了能够在两个方向上执行印刷，工艺头部组件包括在材料处理装置(例如，第一材料处理装置614和第二材料处理装置624)之间的两个角度沉积装置(例如，第一沉积装置612和第二沉积装置622)。
在沿第一方向1执行的沉积工艺过程中，可以提升具有第二沉积装置622和第二材料处理装置624的第二工艺头部620。换句话说，在沿第一方向1执行的沉积工艺过程中，并不使用第二工艺头部620。第一工艺头部610下降，使得第一沉积装置612接触丝网154，以将材料30传送到基板(未示出)上。在第一材料处理装置614与丝网154之间设有一定距离，使得跟随于第一沉积装置612的第一材料处理装置614在丝网154上提供基本上均匀的材料30的膜或层。
在沿与第一方向1相反的第二方向执行的后续沉积工艺过程中，第一工艺头部610升高，并且第二工艺头部620下降。第二沉积装置622接触丝网154以将丝网上的材料(即，先前由第一材料处理装置614提供的膜或层)传送到基板上，所述基板可与先前基板为同一基板(例如，如果执行双重印刷的话)或另一/后续基板。
虽然在每个工艺头部处示出一个沉积装置和一个材料处理装置，但是应当理解，本发明不限于此，并且两个或更多个沉积装置和/或两个或更多个材料处理装置可附接到第一工艺头部610。同样，可以将两个或更多个沉积装置和/或两个或更多个材料处理装置附接到第二工艺头部620。
根据一些实施方式，两个或更多个工艺头部(例如第一工艺头部610和第二工艺头部620)可以在垂直方向上移动或升降。另外地或替代地，两个或更多个工艺头部可以被配置为移动一个或更多个沉积装置和/或一个或更多个材料处理装置，如前所述。
图7示出了根据本文所述的另外实施方式的在印刷工艺过程中的沉积装置和材料处理装置的布置的示意图。沉积装置可为成角度的刮板。
图7示出了具有一个或更多个材料处理装置(诸如第一材料处理装置712)和一个或更多个沉积装置(诸如第一沉积装置720)的示例性工艺头部组件。一个或更多个沉积装置，具体地是一个或更多个沉积装置的尖端722，可以相对于基板支撑件和/或丝网(未示出)成角度。可以相对于基板支撑件的表面和/或基板的表面12来限定角度α。作为一个示例，角度α可以限定在尖端722的对称线与基板支撑件的表面和/或基板的表面12之间。在一些实现方式中，角度α可以在0°与90°之间的范围内，具体地是在10°与80°之间的范围内，具体地是在50°与80°之间的范围内，并且更具体地在60°与70°之间的范围内。作为一个示例，角度可以是60°或70°。
在一些实现方式中，沉积装置(诸如第一沉积装置720)包括尖端722和连接元件724，所述连接元件724将尖端722连接到工艺头部组件710(例如，工艺头部组件710的主体714)。连接元件724可以是弯曲的，使得尖端722相对于例如基板的表面12成角度。弯曲的连接元件还允许使沉积装置例如在第一方向/第二方向上的延伸度最小化，使得可以实现对工艺头部组件710的紧凑设计。具体地讲，根据一些实施方式，可最小化尖端722的宽度w，从而允许对工艺头部组件的紧凑设计。作为一个示例，第一材料处理装置712与第一沉积装置720之间的距离或间距(例如，在水平方向上)可为40mm或更小，并且具体地是30mm或更小。尖端722在第一方向/第二方向(例如，水平方向)上的延伸度可为30mm或更小，并且具体地是20mm或更小，诸如16mm。
图8A和图8B示出了根据本文所述的实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备的工艺头部组件800的示意图。
工艺头部组件800包括工艺头部810。工艺头部810可连接到头部支撑件812。在一些实现方式中，工艺头部810可以旋转地连接到头部支撑件812。具体地讲，头部支撑件812可以提供旋转轴801，工艺头部810可以围绕旋转轴801旋转，例如以便调整工艺头部810相对于基板和/或基板支撑件的角度。旋转轴801可为基本上水平的旋转轴。在一些实施方式中，旋转轴801可以基本上垂直于第一方向和第二方向。
在一些实现方式中，设备包括一个或更多个旋转致动器，所述一个或更多个旋转致动器被配置为围绕旋转轴801旋转工艺头部组件800，具体地工艺头部810。一个或更多个旋转致动器可被配置为调整工艺头部组件800和/或工艺头部810相对于丝网154和/或基板和/或基板支撑件的角度。丝网和/或基板和/或基板支撑件与工艺头部810之间的角度α’可以相对于垂直平面来限定。当在第一方向上移动时，工艺头部810可以具有角度+α’，此角度可对应于工艺头部810在顺时针方向上的倾斜。
当在第二方向上移动时，工艺头部810可以具有角度–α’，此角度可对应于工艺头部810在逆时针方向上的倾斜。角度+α’和–α’可以相对于垂直平面或垂直方向成70°或更小，具体地是60°或更小，更具体地40°或更小，并且甚至更具体地20°或更小。作为一个示例，角度+α’和–α’可以在20°和70°之间的范围内，并且更具体地在40°与70°之间的范围内。图8A示出了约0°的角度α’，并且图8B示例性地示出+α’的角度。
工艺头部组件800包括一个或更多个沉积装置(诸如第一沉积装置820和第二沉积装置822)和一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置(诸如第一材料处理装置830和第二材料处理装置832)。一个或更多个沉积装置和一个或更多个材料处理装置可以根据本文所述的实施方式配置。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，设备，具体地是工艺头部组件800，包括致动器组件，所述致动器组件被配置为用于移动一个或更多个沉积装置和/或一个或更多个材料处理装置(诸如第一材料处理装置830和第二材料处理装置832)。一个或更多个沉积装置可为刮板，诸如矩形刮板。刮刀可以具有尖端，诸如矩形状的尖端。根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，一个或更多个沉积装置可为基本上对称的。例如，一个或更多个沉积装置可以具有基本上对称的尖端，使得相同的(例如，单个)沉积装置可以用于沿第一方向和第二方向进行印刷。
在一些实施方式中，致动器组件包括一个或更多个第一致动器，所述一个或更多个第一致动器被配置成调整两个或更多个材料处理装置与丝网154和/或基板支撑件之间的距离，并任选地调整一个或更多个处理装置相对于丝网和/或基板支撑件的角度。例如，一个或更多个第一致动器可包括第一致动器单元，所述第一致动器单元被配置成调整第一材料处理装置830与丝网之间的距离(例如第一距离)和第一材料处理装置830相对于丝网154和/或基板支撑件的角度(诸如第一角度)中的至少一个。一个或更多个第一致动器可包括第二致动器单元，所述第二致动器单元被配置成调整第二材料处理装置832与丝网154之间的距离(诸如第二距离)和第二材料处理装置832相对于丝网154和/或基板支撑件的角度(诸如第三角度)中的至少一个。在一些实现方式中，一个或更多个第一致动器可仅线性移动处理装置。可以提供另一致动器，所述另一致动器被配置为改变整个工艺头部组件(例如围绕旋转轴)的角度。
在一些实现方式中，一个或更多个第一致动器被配置为调整两个或更多个材料处理装置与丝网之间的距离。作为一个示例，一个或更多个第一致动器可使一个或更多个材料处理装置(诸如第一材料处理装置830和第二材料处理装置832)相对于彼此基本上平行地移动。一个或更多个第一致动器可为线性致动器，诸如线性电机。
另外地或替代地，致动器组件包括一个或更多个第二致动器，所述一个或更多个第二致动器被配置成调整一个或更多个沉积装置与丝网154和/或基板和/或基板支撑件之间的距离，并任选地调整一个或更多个沉积装置相对于丝网和/或基板支撑件的角度(诸如第二角度)。例如，一个或更多个第二致动器可被配置为将一个或更多个沉积装置(诸如第一沉积装置820和/或第二沉积装置822)朝丝网154移动以与丝网154进行接触。一个或更多个第二致动器可进一步被配置为调整一个或更多个沉积装置施加在丝网上的压力。一个或更多个第二致动器可被配置为在基本上平行于由一个或更多个第一致动器提供的移动方向的方向上移动一个或更多个沉积装置。可通过插置一个或更多个第一致动器和一个或更多个第二致动器来控制处理装置的尖端与丝网154之间的距离(例如，图2B中的“d1”)。
一个或更多个材料处理装置和一个或更多个沉积装置相对于丝网154和/或基板和/或基板支撑件之间的距离可以在垂直或水平平面中限定。同样，可以相对于垂直平面或水平平面来限定相应的材料处理装置和沉积装置相对于丝网和/或基板支撑件的角度。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，设备被配置为例如在沉积工艺之前、期间和/或之后调整一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置的一个或更多个处理参数。一个或更多个处理参数选自由以下项组成的组：至少一个材料处理装置与丝网和/或基板支撑件之间的距离(诸如第一距离和/或第二距离)、和至少一个材料处理装置相对于丝网和/或基板支撑件的角度。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，设备被配置为例如在沉积工艺之前、期间和/或之后调整一个或更多个沉积装置的一个或更多个沉积参数。一个或更多个沉积参数可以选自由以下项组成的组：一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置与丝网和/或基板支撑件之间的距离、一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置相对于丝网和/或基板支撑件的的角度、工艺头部组件(例如，工艺头部)相对于丝网和/或基板支撑件的移动速度，以及一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置例如作用于沉积工艺中使用的丝网上的压力。
在一些实现方式中，在沉积工艺过程中，尤其在材料处理过程中，调整一个或更多个处理参数中的至少一个处理参数。另外地或替代地，在沉积工艺过程中，调整一个或更多个沉积参数中的至少一个沉积参数。对处理参数和/或沉积参数的实时调整可以提高导电线路图案的质量。根据一些实施方式，可基于或根据一个或更多个沉积参数调整一个或更多个处理参数中的至少一个处理参数。
图9示出了根据本文所述实施方式的材料处理装置900的示意图，所述材料处理装置900具有刀刃。
在一些实现方式中，材料处理装置900的几何形状可适应于丝网轮廓。作为一个示例，材料处理装置900在垂直于印刷方向(第一方向和/或第二方向)的方向上的几何形状可适应于变形的丝网轮廓。几何形状可针对最佳值(例如，2mm或3mm)来设计，并且适合其它值。
根据可以与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，两个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置具有刀刃或者是刀刃，所述刀刃被配置为用于处理丝网154上的材料。刀刃可以在不同于第一方向的方向上(例如，在基本上垂直于印刷方向的方向上)是不直的。作为一个示例，刀刃可以具有接触部分，所述接触部分被配置为接触丝网154以将材料传送到基板上。接触部分可以在不同于第一方向的方向上是不直的或非线形的。方向可以基本上垂直于第一方向(诸如水平方向)。
在一些实现方式中，刀刃900具有在第一边缘部分910、第二边缘部分912以及在第一边缘部分910与第二边缘部分912之间的中间部分920。第一边缘部分910和第二边缘部分912可相对于中间部分920倾斜。作为一个示例，中间部分920可以基本上线性地和/或基本上平行于基板的表面和/或基板支撑件的表面延伸。第一边缘部分910和第二边缘部分912可从中间部分920向上倾斜。例如，第一边缘部分910和第二边缘部分912可以在远离基板和/或基板支撑件的基本上垂直的方向上倾斜。
根据一些实施方式，第一边缘部分910和第二边缘部分912相对于基板的表面和/或基板支撑件的表面(例如，水平平面)的倾斜角度等于或大于丝网154相对于基板的表面和/或基板支撑件的表面(例如，水平平面)的倾斜角度(离网角度(snap-off angle))。如果边缘部分的倾斜角度大于丝网154的倾斜角度，那么边缘部分不会接触丝网154的边缘部分并且可以避免对丝网154的损坏。
在一些实现方式中，丝网154的离网距离被限定为未变形的(平坦)丝网和与材料处理装置900接触的变形丝网的最低点之间的差值。根据一些实施方式中，边缘部分的倾斜角度可针对预定的离网值(诸如2mm或3mm)来选择。具体地讲，可以对边缘部分的倾斜角度进行选择，使得对于预定范围的离网值(诸如10mm或更小，具体地是5mm，并且具体地是3mm或更少，并且更具体地2mm或更少)，边缘部分不会接触丝网154。
图10示出了根据本文所述的实施方式的太阳能电池生产设备1000的示意图。
太阳能电池生产设备1000包括一个或更多个沉积站1200，以及根据本文所述实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备1250。可将设备1250设置在一个或更多个沉积站1200中的至少一个沉积站中。
太阳能电池生产设备1000可包括在一个或更多个沉积站1200上游和/或下游的一个或更多个其它站。作为一个示例，太阳能电池生产设备1000可包括第一检查站(firstinspection station)1100，第一检查站1100用于检查要输入到一个或更多个沉积站1200中的基板。太阳能电池生产设备1000可包括干燥站1300，干燥站1300用于干燥在一个或更多个沉积站1200中沉积于基板上的材料。在一些实施方式中，太阳能电池生产设备1000可包括第二检查站1400，第二检查站1400用于检查在一个或更多个沉积站1200中沉积于基板上的导电线路图案。
太阳能电池生产设备1000，具体地是具有根据本发明的设备的一个或更多个沉积站1200，可以是用于生产太阳能电池的较大生产系统(诸如串联(in-line)生产系统)的部分。
图11示出了根据本文所述实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法2000的流程图。方法2000可利用根据本文所述的实施方式的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备来实现。
方法2000包括，在方块2100中，沿着基板支撑件在第一方向上将具有一个或更多个沉积装置和一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置的工艺头部组件至少从第一位置移动到第二位置，以便使用一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置将材料从丝网传送到基板并且使用一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置中的第一材料处理装置执行对丝网上的材料的处理。
至少在工艺头部组件从第一位置移动到第二位置的过程中，可以执行材料的传送和处理。在一些实现方式中，方法2000包括，在方块2200中，在与第一方向相反的第二方向上移动工艺头部组件，以便使用一个或更多个(或者两个或更多个)材料处理装置中的第二材料处理装置执行对丝网上的材料的传送(诸如印刷)和处理。
材料的传送和处理可在沉积工艺的持续时间的至少一部分期间，并且具体地是在沉积工艺的基本整个持续时间期间同时执行。两个或更多个材料处理装置可以例如在丝网上提供基本上均匀的材料膜或层。任选地，一个或更多个材料处理装置可从丝网回收过量的材料。
根据本文所述的实施方式，用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法可利用与用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的设备的相应部件通信的计算机程序、软件、计算机软件产品和可具有CPU、存储器、用户界面、以及输入和输出装置的相关控制器进行。
根据本发明的用于将材料丝网印刷于基板上的设备使用可移动的工艺头部组件进行丝网印刷。例如，可以在丝网上提供一层材料。可以使用可为刮板的沉积装置将材料从丝网传送到基板。材料处理装置可以跟随沉积装置，并且在丝网上提供另一层的材料，以便在例如后续基板上进行沉积。本发明的工艺头部组件可以具有两个或更多个材料处理装置，使得材料处理可以在两个方向上执行，即双向执行。因为至少材料处理可以在两个方向上而非仅仅在一个方向上执行，所以可以增加设备的生产率和/或生产量。
尽管上述内容针对本发明的实施方式，但是也可在不脱离本发明的基本范围的情况下设计出本发明的其他和进一步的实施方式，并且本发明的范围由随附的权利要求书确定。
Claims (15)
1.一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备，所述设备包括：
工艺头部组件，所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动，所述工艺头部组件包括：
一个或更多个沉积装置，所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网传送到所述基板；和
两个或更多个材料处理装置，所述两个或更多个材料处理装置被配置为用于处理所述丝网上的所述材料。
2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述一个或更多个沉积装置被布置在所述两个或更多个材料处理装置之间。
3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述一个或更多个沉积装置是两个或更多个沉积装置，并且其中所述两个或更多个材料处理装置被布置在所述两个或更多个沉积装置之间。
4.如权利要求1至3中任一项所述的设备，其特征在于，所述两个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置具有刀刃，所述刀刃被配置为用于处理所述丝网上的所述材料，并且其中所述刀刃在不同于所述第一方向的方向上不是直的。
5.如权利要求4所述的设备，其特征在于，所述方向垂直于所述第一方向。
6.如权利要求4或5所述的设备，其特征在于，所述刀刃具有第一边缘部分、第二边缘部分以及在所述第一边缘部分和所述第二边缘部分之间的中间部分，并且其中所述第一边缘部分和所述第二边缘部分相对于所述中间部分倾斜。
7.如权利要求1至6中任一项所述的设备，进一步包括驱动装置，所述驱动装置被配置为用于沿着基板支撑件在所述第一方向上和在与所述第一方向相反的第二方向上移动所述工艺头部组件。
8.如权利要求1至7中任一项所述的设备，其特征在于，所述设备被配置为用于在所述第一方向上移动所述工艺头部组件的过程中使用所述两个或更多个材料处理装置中的第一材料处理装置处理所述丝网上的所述材料，并且其中所述设备被配置为用于在所述第二方向上移动所述工艺头部组件的过程中使用所述两个或更多个材料处理装置中的第二材料处理装置处理所述丝网上的所述材料。
9.如权利要求1至8中任一项所述的设备，进一步包括一个或更多个第一致动器，所述一个或更多个第一致动器被配置为调整所述两个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置与所述丝网之间的距离，具体地其中所述一个或更多个第一致动器包括第一致动器单元和第二致动器单元，所述第一致动器单元被配置为调整所述第一材料处理装置与所述丝网之间的第一距离，所述第二致动器单元被配置为调整所述第二材料处理装置与所述丝网之间的第二距离。
10.如权利要求1至9中任一项所述的设备，其特征在于，所述丝网设置在所述基板支撑件与所述工艺头部组件之间，其中所述一个或更多个沉积装置包括刮板，并且其中所述刮板被配置为与所述丝网接触以进行印刷。
11.如权利要求1至10中任一项所述的设备，
其中所述工艺头部组件包括第一工艺头部和第二工艺头部，其中所述两个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置附接到所述第一工艺头部，并且所述两个或更多个材料处理装置中的至少另一材料处理装置附接到所述第二工艺头部，或者
其中所述工艺头部组件包括工艺头部，其中所述两个或更多个材料处理装置附接到所述工艺头部。
12.一种太阳能电池生产设备，所述太阳能电池生产设备包括：
一个或更多个沉积站，
根据权利要求1至11中的任一项所述的设备，所述设备在所述一个或更多个沉积站中的至少一个沉积站中。
13.一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法，所述方法包括：
沿着基板支撑件在第一方向上将具有一个或更多个沉积装置和两个或更多个材料处理装置的工艺头部组件至少从第一位置移动到第二位置，以便使用所述一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置将所述材料从丝网传送到所述基板并且使用所述两个或更多个材料处理装置中的第一材料处理装置执行对所述丝网上的所述材料的处理。
14.如权利要求13所述的方法，进一步包括：
在与所述第一方向相反的第二方向上移动所述工艺头部组件，以便使用所述两个或更多个材料处理装置中的第二材料处理装置执行对所述丝网上的所述材料的传送和处理。
15.如权利要求13或14所述的方法，其中所述材料的传送和处理在沉积工艺的持续时间的至少一部分期间，并且具体地是在沉积工艺的基本整个持续时间期间同时执行。
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