CN207916263U - 用于在基板上丝网印刷的设备的控制器、以及用于基板上的材料的丝网印刷的设备 - Google Patents

Abstract

提供了一种用于在基板上丝网印刷的设备的控制器和一种用于基板上的材料的丝网印刷的设备。控制器经构造以控制具有至少一个沉积器件的处理头组件从第一位置移动至第二位置，来执行行程，其中行程包括使用至少一个沉积器件对丝网器件上的材料进行材料处理的至少第一阶段、以及用于从丝网器件至基板的材料传送第二阶段。控制器进一步经构造以在第一阶段中在第一方向上移动至少一个沉积器件，并且在垂直于第一方向的第二方向上移动从包括以下的群组中选择的至少一个器件：至少一个沉积器件、材料处理器件、丝网器件和基板支撑件。至少一个沉积器件和至少一个器件在第一阶段的至少一部分期间同时移动。

Description

用于在基板上丝网印刷的设备的控制器、以及用于基板上的 材料的丝网印刷的设备

技术领域

本公开内容的实施方式涉及一种用于在基板上丝网印刷的设备的控制器、以及一种用于基板上的材料的丝网印刷的设备。本公开内容的实施方式特别涉及太阳能电池的制造。

背景技术

太阳能电池是将阳光直接转换为电力的光伏器件。在这个领域内，已知使用沉积技术(特别是印刷技术)在结晶硅基上生产太阳能电池，从而例如在太阳能电池的前表面上实现选择性发射极结构。处理周期可以包括至少一个印刷操作、以及另一可选材料处理操作，在所述印刷操作期间通过沉积器件在基板上沉积材料。设备的生产率和/或产量可由处理周期的周期时间限制。

鉴于以上，克服本领域的至少一些问题的用于在基板上丝网印刷的设备的新型控制器和用于基板上的材料的丝网印刷的设备是有益的。本公开内容特别旨在提供可减少处理周期的周期时间以提高生产率和/或产量的控制器和设备。

实用新型内容

鉴于以上，提供了一种用于在基板上丝网印刷的设备的控制器、以及一种用于基板上的材料的丝网印刷的设备。本公开内容的另外方面、优点和特征从权利要求书、说明书和随附附图中显而易见。

根据本公开内容的一个方面，提供了一种用于在基板上丝网印刷的设备的控制器。控制器经构造以控制具有至少一个沉积器件的处理头组件从第一位置移动至第二位置，来执行行程，其中行程包括使用至少一个沉积器件对丝网器件上的材料进行材料处理的至少第一阶段、以及用于将材料从丝网器件传送至基板的第二阶段。控制器进一步经构造以在第一阶段中在第一方向上移动至少一个沉积器件，并且在垂直于第一方向的第二方向上移动从包括以下的群组中选择的至少一个器件：至少一个沉积器件、材料处理器件、丝网器件和基板支撑件。至少一个沉积器件和至少一个器件在第一阶段的至少一部分期间同时移动。

在一些实施例中，所述第一方向是水平方向，并且所述第二方向是竖直方向。

在一些实施例中，在所述第一阶段期间，所述至少一个沉积器件在所述第一方向和所述第二方向上同时移动，并且其中在所述第二阶段期间，所述至少一个沉积器件仅在所述第一方向上移动。

在一些实施例中，在所述第一阶段期间，所述基板和所述丝网器件的至少一部分相对于彼此而移动。

在一些实施例中，所述丝网器件包括框架和附接至所述框架的丝网，并且其中所述框架在所述第二阶段中是固定的。

在一些实施例中，在所述第一阶段中，所述框架在所述第二方向上移动。

在一些实施例中，所述基板在所述第一阶段中是移动的，并且在所述第二阶段中是固定的。

在一些实施例中，所述基板和所述丝网器件在所述第一阶段期间是固定的。

在一些实施例中，在所述第一阶段和所述第二阶段期间，所述至少一个沉积器件接触所述丝网器件中的丝网。

在一些实施例中，在所述第一阶段期间，所述至少一个沉积器件和所述丝网器件中的至少一个不接触基板和基板支撑件中的至少一个。

在一些实施例中，所述第一阶段对应于所述丝网器件的丝网的不具有孔隙的部分，并且其中所述第二阶段对应于所述丝网的具有一个或多个孔隙的部分。

在一些实施例中，所述行程包括第三阶段，用于对所述丝网器件上的所述材料进行材料处理，并且其中所述第一阶段、所述第二阶段和所述第三阶段是按顺序执行的。

在一些实施例中，在所述第一阶段中执行的所述至少一个沉积器件和所述至少一个器件的一次或多次移动也在所述第三阶段中执行。

根据本公开内容的另一个方面，提供了一种用于基板上的材料的丝网印刷的设备。设备包括：处理头组件，所述处理头组件包括经构造以用于将材料从丝网器件传送至基板的至少一个沉积器件；以及根据本公开内容的控制器。

在一些实施例中，其中所述处理头组件是丝网印刷头。

附图说明

因此，为了能够详细理解本公开内容的上述特征所用方式，上文所简要概述的本公开内容的更具体的描述可以参考各个实施方式而获得。随附附图涉及本公开内容的实施方式，并且如下描述：

图1示出了根据本文所述的实施方式的用于在太阳能电池制造中使用的基板上的材料的丝网印刷的设备的示意图；

图2示出了根据本文所述的另外实施方式的用于在太阳能电池制造中使用的基板上的材料的丝网印刷的设备的示意图；

图3示出了根据本文所述的实施方式的用于基板上的材料的丝网印刷的序列；

图4示出了根据本文所述的实施方式的移动的图表；

图5示出了根据本文所述的另外实施方式的用于基板上的材料的丝网印刷的序列；以及

图6示出了根据本文所述的实施方式的太阳能电池生产设备的示意图。

具体实施方式

现将详细参考本公开内容的各种实施方式，这些实施方式中的一个或多个示例在附图中示出。在以下对附图的描述中，相同元件符号是指相同组件。一般来说，仅描述了相对于个别实施方式的差异。每个示例以解释本公开内容的方式而被提供，而非意欲作为本公开内容的限制。另外，示出或描述为一个实施方式的部分的特征可以用于其它实施方式或与其它实施方式结合以产生又一实施方式。本说明书意欲包括这样的修改和变化。

用于在基板上形成导线图案的处理周期可以包括使用沉积器件在基板上沉积材料的至少一个沉积工艺，和使用材料处理器件的可选的至少另一工艺。在可以开始沉积工艺和/或另一工艺之前，多个器件(诸如具有沉积器件的处理头组件、以及材料处理器件、丝网器件和基板)必须相对于彼此进行相对对准。移动是耗时的，并且增加印刷机的周期时间，使得设备的生产率和/或产量降低。

根据本公开内容，某些移动(诸如沉积器件、材料处理器件、丝网器件和基板支撑件的垂直移动)在用于移动沉积器件至起始位置进行印刷的至少第一阶段被隐去。处理周期的周期时间可以减少，并且设备的生产率和/或产量可以提高。

图1示出了根据本文所述的实施方式的用于在太阳能电池制造中使用的基板10上的材料的丝网印刷的设备100的示意图。

根据本公开内容的一个方面，设备100包括控制器。控制器经构造以控制具有至少一个沉积器件的处理头组件从第一位置移动至第二位置，来执行行程，其中行程包括使用至少一个沉积器件对丝网器件上的材料进行材料处理的至少第一阶段、以及用于将材料从丝网器件传送至基板的第二阶段。控制器进一步经构造以在第一阶段中在第一方向上移动至少一个沉积器件，并且在垂直于第一方向的第二方向上移动从包括以下的群组中选择的至少一个器件：至少一个沉积器件、材料处理器件、丝网器件和基板支撑件。至少一个沉积器件和至少一个器件在第一阶段的至少一部分期间同时移动。

设备100包括处理头组件110，诸如印刷套(printing nest)，所述处理头组件110具有至少一个沉积器件120、至少一个材料处理器件130、丝网器件150和基板支撑件20。基板10定位在基板支撑件20上，基板支撑件可以是可移动基板支撑件，诸如搬运梭(shuttle)。

丝网器件150可以布置在基板10和/或基板支撑件20与处理头组件110之间。丝网器件150可以包括框架152和附接至框架152的丝网154。丝网154可以包括以下中的至少一个：网、印刷掩膜、片、金属片、塑料片、板、金属板和塑料板。在一些实施方式中，丝网154限定了对应于要印刷在基板上的结构的图案，其中图案可以包括以下中的至少一个：洞、槽、切口或其它孔隙。图案可对应于要印刷在基板10上的导线图案，诸如太阳能电池的指状物(finger)和/或汇流排(bus)。例如，丝网154可以具有开口，从而限定了在开口内提供的导线图案和金属丝网(wire mesh)。

至少一个沉积器件120可以经构造以用于将材料从丝网154传送至基板10。至少一个材料处理器件130可以经构造为用于对丝网154上的材料进行材料处理。材料处理(也可以被称为“覆墨(flood)”或“覆墨阶段(flood phase)”)可以在丝网154上提供将被传送的基本上均匀的材料层，例如，基本上均匀的材料层将被传送至已处理基板之后的后续基板。在一些实施方式中，沉积(或材料传送)工艺和覆墨可以按顺序执行，即，在两个单独的行程中按顺序执行。在另外实施方式中，沉积(或材料传送)工艺和覆墨可以同时执行，即，在一个单一行程中执行。

根据一些实施方式，可以在至少一个沉积器件120与至少一个材料处理器件130之间提供一定的距离或间距。特定地，可以在相邻或邻近的沉积器件与材料处理器件之间提供一定的距离或间距。例如，在第一方向1上在沉积器件与相邻材料处理器件之间的距离或间距可以是50mm或更小，特别是40mm或更小，并且可以更特别是约30mm。所述距离或间距可以提供用于材料累积(“浆料辊”)的空间。

在一些实施方式中，至少一个沉积器件120是经构造以用于将材料从丝网154传送至基板10的至少一个印刷器件。至少一个印刷器件可以包括刮板或是刮板。刮板可以经构造以接触丝网154，用于进行印刷。在一些实施方式中，刮板尖端接触丝网154并且促使材料通过丝网154印刷至基板10上。刮板可以是菱形刮板或倾斜刮板。材料可以是适于在基板的表面12上形成导线图案(诸如指状物和/或汇流排)的材料。例如，材料可以是浆料，诸如银浆料。

至少一个材料处理器件130可以经构造以用于处理丝网154上的材料。根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，至少一个材料处理器件130经构造以用于在丝网154上提供材料的基本上均匀的膜。在一些实现方式中，材料处理可以实现材料至基板10上的最佳传送。可选或替代地，至少一个材料处理器件130经构造以用于回收基板10和/或丝网154上的多余材料。在一些实现方式中，至少一个材料处理器件130可以是覆墨刀(flood bar)。材料处理可被称为“覆墨(flooding)”。

处理头组件110经构造以执行形成，例如在第一位置A与第二位置B之间行程。在第一位置A与第二位置B之间的距离可等于或大于基板10延度或导线图案延度，使得在一个行程期间导线图案或导线图案的层可以沉积在基板10上。在一些实现方式中，至少一个丝网印刷头在第一位置A与第二位置B之间的移动(诸如第一行程和/或第二行程)可对应于400mm或更小、特别是300mm或更小、并且更特别是200mm或更小的行程距离。例如，行程距离可以在150mm至300mm之间的范围内，并且可以特别是约220mm。在一些实施方式中，沉积(或材料传送)工艺和覆墨可以按顺序执行，即，在两个单独行程中按顺序执行。在另外实施方式中，沉积(或材料传送)工艺和覆墨可以同时进行，即，在一个单一行程中执行。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，设备100包括驱动器件(未示出)，驱动器件经构造以用于使处理头组件110至少在第一方向1上从第一位置A移动至第二位置B，来执行行程。第一方向1可以是水平方向。处理头组件110可以经构造以在从第一位置A至第二位置B的移动的至少一部分期间执行丝网154上的材料的沉积/传送和/或覆墨/分布。

行程包括第一阶段I、第二阶段Ⅱ和可选地第三阶段Ⅲ。可以进行具有第一阶段I、第二阶段Ⅱ和可选第三阶段Ⅲ的行程用于进行印刷，即，用以将材料从丝网154传送至基板10的行程。然而，本公开内容不限于此，并且可以进行具有第一阶段I、第二阶段Ⅱ和可选第三阶段Ⅲ的行程用于进行覆墨，即，用于在丝网154上分布材料的行程。在另外实施方式中，可以进行具有第一阶段I、第二阶段Ⅱ、和可选第三阶段Ⅲ的行程用于组合的印刷和覆墨工艺。在沉积工艺期间的组合的覆墨移动可以减少处理时间，诸如临界路径时间。例如，临界路径时间可减少约三分之一。

第一阶段I、第二阶段Ⅱ和可选第三阶段Ⅲ可以按顺序执行。根据一些实施方式，第三阶段Ⅲ经构造以与第一阶段I是基本上相同的。第二阶段Ⅱ可以是用于实际将材料从丝网154传送至基板10的阶段。第一阶段I可以是将处理头组件110、至少一个沉积器件120、至少一个材料处理器件130、丝网器件150、基板10和基板支撑件20中的至少一个带入起始位置，用于实际将材料传送至基板10的阶段。第三阶段Ⅲ可以是紧接在实际将材料传送至基板10之后的阶段。第一阶段I(和可选地第三阶段Ⅲ)可以是用于通过至少一个沉积器件120对丝网154上的材料进行材料处理的阶段。例如，至少一个沉积器件可以“轧制(roll)”材料(例如，在第一阶段I中)，以在第二阶段Ⅱ中在开始向基板10的实际传送时提供在材料与至少一个沉积器件之间的最佳相互作用。第一阶段和可选地第三阶段Ⅲ可被称为“材料轧制阶段”。在具有转台的一些架构中，第一阶段和可选地第三阶段Ⅲ可被称为“刮板进入/离开”。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，第一阶段I(和可选地第三阶段Ⅲ)对应于丝网器件150的丝网154的不具有孔隙的部分。第二阶段Ⅱ可对应于丝网154的具有一个或多个孔隙的部分。

在一些实现方式中，在整个第一阶段I、第二阶段Ⅱ和可选地第三阶段Ⅲ期间，处理头组件110在第一方向1上移动。例如，在整个第二阶段Ⅱ期间，处理头组件110仅在第一方向1上移动。设备100中的至少一个器件在第二方向2(第二方向2可以是竖直方向)上的移动可以至少在第一阶段I和可选地第三阶段Ⅲ期间执行。特定地，在处理头组件110(诸如处理头组件110的刮板)在水平方向上的移动期间，可以隐去至少一个器件的竖直移动。在第一阶段I和可选地第三阶段Ⅲ的至少一部分期间，至少一个沉积器件120和至少一个器件可以在第一方向1和/或第二方向2上同时移动。至少一个器件可以从包括以下的群组中选择：至少一个沉积器件120、至少一个材料处理器件130、丝网器件150(例如，框架152)和基板支撑件20。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，在第一阶段I和第二阶段Ⅱ期间，并特别是在整个第一阶段I和第二阶段Ⅱ期间，至少一个沉积器件接触丝网器件150中的丝网154。可选地，在第三阶段Ⅲ期间，并特别是在整个第三阶段Ⅲ期间，至少一个沉积器件接触丝网器件150中的丝网154。在第一阶段I和可选地第三阶段Ⅲ期间的材料处理可以提供对材料(诸如浆料)的最佳轧制，例如，在传送或印刷开始之前。可以改进在基板10上沉积的直线图案的质量。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，在第一阶段I期间，至少一个沉积器件120在第一方向1和第二方向2上同时移动。在第二阶段Ⅱ期间，至少一个沉积器件120可以仅在第一方向上移动。例如，在第二阶段Ⅱ期间，可保持至少一个沉积器件120的竖直位置恒定。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，在第一阶段期间，基板和丝网器件150的至少一部分相对于彼此而移动。例如，在第一阶段I中，框架152可以在第二方向2上移动。在第二阶段Ⅱ中，框架可以是固定的。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，基板10在第一阶段I和/或第三阶段Ⅲ中是移动的，并且在第二阶段Ⅱ中是固定的。在其它实施方式中，在第一阶段I期间，基板10是固定的。例如，在第一阶段I期间，基板10和丝网器件150(特别是框架152)可以是固定的。在一些实现方式中，在第一阶段I期间，至少一个沉积器件120和/或丝网器件150不接触基板10和/或基板支撑件20。

在一些实施方式中，设备100经构造以用于单次印刷、双次印刷或多次印刷。例如，导线图案(诸如太阳能电池的指状物和/或汇流排)可以包括两个或更多个材料层。第一材料层可以印刷在基板10上并且第二材料层可至少部分地印刷在第一材料层的顶部上，从而形成导线图案。在一些实现方式中，在包括从第一位置A至第二位置B的移动或是第一行程的第一沉积工艺期间，处理头组件110可以印刷第一材料层。在一些实施方式中，在包括从第二位置B至第一位置A的移动或是第二行程的第二沉积工艺期间,处理头组件110可以印刷第二材料层。然而，本公开内容不限于此，并且沉积工艺可以利用在相同方向(例如，第一方向1)上移动的处理头组件110而被执行。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，第一方向1是水平方向，并且第二方向2是竖直方向。术语“水平方向”被理解为与“竖直方向”相区分。即，“水平方向”涉及基本上水平的移动，例如处理头组件110的基本上水平的移动，其中与精确水平方向有数度偏差(例如多达1°或甚至多达5°)仍然被认为是“基本上水平的方向”。竖直方向可以基本上平行于重力。

图2示出了根据本文所述的另外实施方式的用于在太阳能电池制造中使用的基板上的材料的丝网印刷的设备100的示意图。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，在第一阶段、第二阶段和第三阶段中的至少一个期间，在处理头组件110的移动期间，可调节或控制至少一个材料处理器件130与丝网154和/或基板支撑件20之间的距离(例如，在竖直方向上)。例如，所述距离可通过调节至少一个材料处理器件130的竖直位置来调节。

根据一些实施方式，可以遵循丝网轮廓(screen profile)调节至少一个材料处理器件130与丝网154和/或基板支撑件20之间的距离。特定地，可以遵循所述丝网轮廓控制或调节至少一个材料处理器件130的竖直位置。例如，在第一阶段、第二阶段和第三阶段期间，在处理头组件110的移动期间，可调节或控制至少一个材料处理器件130与丝网154和/或基板支撑件20之间的距离，使得所述距离是基本上恒定的。

图3示出了根据本文所述的实施方式的用于在基板上的材料的丝网印刷的示例性序列。特定地，针对第一阶段I、第二阶段Ⅱ和第三阶段Ⅲ示出至少一个沉积器件(刮板)的移动。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，在第一阶段I期间，至少一个沉积器件在第一方向1和第二方向2中同时移动。在一些实施方式中，在第二阶段Ⅱ期间，至少一个沉积器件仅在第一方向1上移动。第一方向可以是水平方向，并且第二方向2(或z方向)可以是竖直方向。

在图3中，(a)指示丝网器件在第二方向2中的停放位置。(b)指示丝网器件的突变(snap off)位置。(c)指示材料沉积器件的印刷位置。仅针对停放位置示出了丝网器件。

在第一阶段I、第二阶段Ⅱ和第三阶段Ⅲ期间，刮板与丝网接触。在第一阶段I和第三阶段Ⅲ中，在刮板的水平移动中隐去丝网器件和刮板的竖直移动。可以使用全自动内插法，其中所有移动(诸如z向上/向下、刮板向上/向下和刮板进入/离开)重叠。可使丝网的更小偏转。另外，可以实现刮板与覆墨刀的最佳定位和对浆料的最佳轧制。

图4示出了根据本文所述的实施方式的移动(i)至(iv)的图表。图5示出了基于图4的图表的用于在基板上的材料的丝网印刷的序列。P1至P12指示器件的移动的开始、结束或改变的点。

在图4中，(a)指示丝网停放位置，(b)指示丝网突变位置，(c)指示材料沉积器件印刷位置，(d)指示材料沉积器件轧制位置，(e)指示材料沉积器件停放位置，(f)指示材料处理器件覆墨位置，以及(g)指示材料处理器件停放位置。对应位置已经在图5中指示。-x＝P1可指示印刷行程的起始。+y＝P4可指示印刷行程的结束。在一些实施方式中，某些位置可以重合，诸如P1＝P11和/或P12＝P4。

图4示出了至少一个材料处理器件(诸如覆墨刀)在第一方向(竖直方向)上的移动(i)。可由线性电机驱动的覆墨的向上/向下轴线可以参考丝网器件的框架而控制覆墨刀片的竖直位置。最低位置可被称为“覆墨位置”。向上移动在印刷开始(第一阶段起始)点起始。覆墨可以例如沿着覆墨行程的约75％、或特别是约90％、或更特别是约100％保持在0mm与2mm之间、或特别是在0mm与1mm之间、或更特别是在0mm与0.5mm之间的范围内。

另外，示出了至少一个沉积器件(诸如刮板)在第一方向上的移动(ii)。可由线性电机驱动的刮板向上/向下轴线可以参考丝网器件的框架而控制刮板的竖直位置。最低位置可被称为“印刷位置”，印刷位置可以是用于与电池接触而进行印刷的位置。根据一些实施方式，向上移动可以在单个步骤中执行。然而，本公开内容不限于此，并且沉积器件可在两个或更多个(诸如三个)的不同位置上方移动。

图4另外示出了丝网器件(诸如框架)在第一方向上的移动(iii)。可由滚珠螺杆(ball screw)和无刷电机驱动的印刷机z轴可参考印刷套来控制框架的竖直位置。特定地，印刷机z轴可以改变套与丝网框架之间的竖直距离。最低位置可被称为“突变位置”，突变位置可以是用于进行印刷的位置。

本公开内容的移动模式可与各种架构(诸如转台架构和线性搬运梭架构)相结合地使用。根据架构，在套与丝网之间的竖直距离可通过套的移动来改变。

另外，示出了至少一个沉积器件(诸如刮板)在第二方向(第二方向可以是水平方向)上的移动(iv)。可由线性电机驱动的刮板进入/离开轴线可以参考电池的中心C(参见图5；可与丝网中心和/或太阳能电池的中心一致)而控制刮板的水平位置。例如，根据安装在印刷机头上的沉积和处理器件的设计，220mm行程可从-110mm至+110mm进行以在电池上沉积浆料，或者从-120mm至+100mm进行。

可选地，移动可以包括转台的旋转。特定地，具有晶片的套可以从装载位置移动至印刷位置。如在以上移动(i)至(iv)中示出，在刮板行程(即，第一阶段和第三阶段)期间隐去全部竖直移动(z轴、刮板向上/向下、覆墨向上/向下)。

现在转到图5，示出了印刷移动。竖直虚线指示基板/电池中心。在全部行程中，刮板在丝网上。刮板和丝网在相同时刻下降和上升，从而保持接触(内插)。在覆墨期间，刮板上升，并且在覆墨结束时，刮板返回至丝网上。分别在行程起始和结束时(即，在第一阶段和第二阶段中)，通过刮板来平滑地移动浆料的轧辊。印刷条件在沿着晶片区域的位置处是最佳的。

本公开内容的移动模式可以在各种架构(诸如转台架构和线性搬运梭架构)中实现。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，本公开内容的实施方式可以分别使用一个或多个沉积器件和一个或多个材料处理器件同时进行材料在基板上的沉积和材料处理。例如，沉积和材料处理可以在相同行程或丝网印刷头的移动期间完成。处理周期的周期时间可以减少，并且设备的生产率和/或产量可以提高。特定地，材料层可以提供在丝网上。可以使用沉积器件(沉积装置可以是刮板)将材料从丝网传送至基板。材料处理器件可在沉积器件之后并且在丝网上提供另一个材料层以用于在例如后续基板上的沉积。

根据可与本文所述的其它实施方式相结合的一些实施方式，本公开内容可以使用运输器件(诸如转台)，用于从线性运输通道至印刷位置的电池输入的运输。印刷方向可平行于电池的线性运输通道的运输方向。特定地，沉积器件可以基本上平行于基板的线性运输方向移动，而非垂直于线性运输方向移动。产量可以增加。这种构造可特定地增加异质结电池的产量，例如通过另外实施先前提及的“并发印刷工艺”，其中同时进行材料在基板上的沉积和材料处理。

图6示出了根据本文所述的实施方式的太阳能电池生产设备600的示意图。

太阳能电池生产设备600包括一个或多个沉积站620和根据本文所述的实施方式的用于在太阳能电池制造中使用的基板上的材料的丝网印刷的设备625。设备625可以提供在一个或多个沉积站620中的至少一个沉积站中。

太阳能电池生产设备600可以包括在一个或多个沉积站620的上游和/或下游的一个或多个其它站。例如，太阳能电池生产设备600可以包括第一检查站610，用于检查要输入至一个或多个沉积站620的基板。太阳能电池生产设备可以包括干燥站630，用于干燥在一个或多个沉积站620中的沉积在基板上的材料。在一些实施方式中，太阳能电池生产设备600可以包括第二检查站640，用于检查在一个或多个沉积站620中的沉积在基板上的导线图案。

太阳能电池生产设备600、且特别是具有根据本公开内容的设备的一个或多个沉积站620，可以是用于生产太阳能电池的较大型的生产系统(诸如在线生产系统)的部分。

根据本公开内容，某些移动(诸如沉积器件、材料处理器件、丝网器件和基板支撑件的垂直移动)在用于将沉积器件移动至起始位置以进行印刷的第一阶段中被隐去。处理周期的周期时间可以减少，并且设备的生产率和/或产量可以提高。

本公开内容提供了以下方面和优点：·在印刷机z轴的移动期间，通过在丝网上移动并与丝网接触来执行刮板对浆料轧制的最佳作用。·印刷机z轴向上/向下、刮板行程、刮板向上/向下、覆墨刀向上/向下同时操作。·刮板在丝网上并与丝网接触的位置中开始印刷行程。·在全部印刷行程中，刮板保持在丝网上并与丝网接触。·使用自动内插使刮板和丝网同时下降和上升，从而保持彼此接触。·刮板在覆墨阶段开始时上升并且在覆墨阶段结束时回到与丝网接触的状态。·移动相对于晶片是近似对称的(印刷行程的开始/结束)。

虽然上述内容针对本公开内容的实施方式，但是在不脱离本公开内容的基本范围的情况下，可设计出本公开内容的其它和进一步的实施方式，并且本公开内容的保护范围是由随附权利要求书确定。

Claims (15)

1.一种用于在基板上丝网印刷的设备的控制器，其特征在于，所述控制器经构造以：

控制具有至少一个沉积器件的处理头组件从第一位置移动至第二位置，来执行行程，其中所述行程包括至少第一阶段和第二阶段，所述第一阶段使用所述至少一个沉积器件对丝网器件上的材料进行材料处理，所述第二阶段用于将材料从所述丝网器件传送至所述基板；

在所述第一阶段中，在第一方向上移动所述至少一个沉积器件；以及

在所述第一阶段中，在垂直于所述第一方向的第二方向上移动从由以下组成的群组中选择的至少一个器件：所述至少一个沉积器件、材料处理器件、所述丝网器件和基板支撑件；

其中在所述第一阶段的至少一部分期间，所述至少一个沉积器件和所述至少一个器件同时移动。

2.如权利要求1所述的控制器，其中所述第一方向是水平方向，并且所述第二方向是竖直方向。

3.如权利要求1所述的控制器，其中在所述第一阶段期间，所述至少一个沉积器件在所述第一方向和所述第二方向上同时移动，并且其中在所述第二阶段期间，所述至少一个沉积器件仅在所述第一方向上移动。

4.如权利要求1所述的控制器，其中在所述第一阶段期间，所述基板和所述丝网器件的至少一部分相对于彼此而移动。

5.如权利要求1所述的控制器，其中所述丝网器件包括框架和附接至所述框架的丝网，并且其中所述框架在所述第二阶段中是固定的。

6.如权利要求5所述的控制器，其中在所述第一阶段中，所述框架在所述第二方向上移动。

7.如权利要求1所述的控制器，其中所述基板在所述第一阶段中是移动的，并且在所述第二阶段中是固定的。

8.如权利要求1所述的控制器，其中所述基板和所述丝网器件在所述第一阶段期间是固定的。

9.如权利要求1所述的控制器，其中在所述第一阶段和所述第二阶段期间，所述至少一个沉积器件接触所述丝网器件中的丝网。

10.如权利要求1所述的控制器，其中在所述第一阶段期间，所述至少一个沉积器件和所述丝网器件中的至少一个不接触基板和基板支撑件中的至少一个。

11.如权利要求1所述的控制器，其中所述第一阶段对应于所述丝网器件的丝网的不具有孔隙的部分，并且其中所述第二阶段对应于所述丝网的具有一个或多个孔隙的部分。

12.如权利要求1所述的控制器，其中所述行程包括第三阶段，用于对所述丝网器件上的所述材料进行材料处理，并且其中所述第一阶段、所述第二阶段和所述第三阶段是按顺序执行的。

13.如权利要求12所述的控制器，其中在所述第一阶段中执行的所述至少一个沉积器件和所述至少一个器件的一次或多次移动也在所述第三阶段中执行。

14.一种用于基板上的材料的丝网印刷的设备，其特征在于，所述设备包括：

处理头组件，包括经构造而用于将所述材料从丝网器件传送至所述基板的至少一个沉积器件；以及

如权利要求1至13中任一项所述的控制器。

15.如权利要求14所述的设备，其中所述处理头组件是丝网印刷头。