TW201720662A - 經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備、用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的系統及用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的方法 - Google Patents

經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備、用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的系統及用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的方法 Download PDF

Info

Publication number
TW201720662A
TW201720662A TW105130412A TW105130412A TW201720662A TW 201720662 A TW201720662 A TW 201720662A TW 105130412 A TW105130412 A TW 105130412A TW 105130412 A TW105130412 A TW 105130412A TW 201720662 A TW201720662 A TW 201720662A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
rotatable
screen
substrate
devices
screen device
Prior art date
Application number
TW105130412A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI639518B (zh
Inventor
丹尼爾 吉絲隆
丹尼耶雷 安德瑞歐拉
Original Assignee
義大利商．應用材料意大利有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 義大利商．應用材料意大利有限公司 filed Critical 義大利商．應用材料意大利有限公司
Publication of TW201720662A publication Critical patent/TW201720662A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI639518B publication Critical patent/TWI639518B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00—Screen printers
    • B41F15/08—Machines
    • B41F15/0881—Machines for printing on polyhedral articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00—Screen printers
    • B41F15/14—Details
    • B41F15/34—Screens, Frames; Holders therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41P—INDEXING SCHEME RELATING TO PRINTING, LINING MACHINES, TYPEWRITERS, AND TO STAMPS
    • B41P2215/00—Screen printing machines
    • B41P2215/10—Screen printing machines characterised by their constructional features
    • B41P2215/11—Registering devices
    • B41P2215/112—Registering devices with means for displacing the frame
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • H05K3/1225—Screens or stencils; Holders therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • H05K3/1233—Methods or means for supplying the conductive material and for forcing it through the screen or stencil

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Screen Printers (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

本揭露書提供經配置用於將螢幕裝置(110)相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板(10)對準的設備(100)。該設備包括底座裝置(120)和一或多個可旋轉裝置，一或多個可旋轉裝置經配置以接觸螢幕裝置(110)，其中一或多個可旋轉裝置之至少一個第一可旋轉裝置(130)經由一或多個彈性元件(140)而連接至底座裝置(110)。

Description

經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備、用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的系統及用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的方法
本揭露書的實施例關於經配置用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備、用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的系統及用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的方法。本揭露書的實施例尤其關於經配置用於被使用在太陽能電池的製造中之基板上的網版印刷之設備。
太陽能電池是將太陽光直接轉換成電功率的光伏裝置。在這個領域內，已知的是在基板(諸如結晶矽底座)上，使用印刷技術(諸如網版印刷) 製造太陽能電池，以提供導線圖案(諸如選擇性發射極)之太陽能電池的結構的一或多個表面。
在太陽能電池的製造中，基板和印刷頭可使用對準裝置相對於彼此而置中或對準。作為一個例子，印刷頭或印刷頭的部件(諸如螢幕裝置)可相對於基板而移動。導線圖案可接著被印刷成相對於基板而對準。對準裝置可以使用在對準裝置和螢幕裝置之間的機械接觸，以移動和對準螢幕裝置。隨著時間的推移，對準裝置可能磨耗，且對準可能變得不準確。對準裝置應在很短的時間間隔中被維修，以提供準確的對準，而用於維護對準裝置的成本很高。太陽能電池製造設備的停機時間可能被增加，且基板產量可能被降低。
有鑑於以上，克服了在本領域中的至少一些問題的經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的新設備、用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的新系統及用於將螢幕裝置對準的新方法是有益的。具體地，存在有提供允許用於在一段長的時間週期準確對準的設備、系統和方法之需求。更具體地，存在有允許減少在螢幕裝置的對準中所使用的機械部件之磨耗的效果的設備、系統和方法之需求。
有鑑於上，提供有經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備、用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的系統及用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的方法。本揭露書之進一步的態樣、優點和特徵是由申請專利範圍、說明書和附隨的圖式而顯而易見的。
根據本揭露書的一個態樣，提供有經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備。該設備包括底座裝置和一或多個可旋轉裝置，一或多個可旋轉裝置經配置以接觸螢幕裝置，其中一或多個可旋轉裝置之至少一個第一可旋轉裝置經由一或多個彈性元件而連接至底座裝置。
根據本揭露書的另一個態樣，提供有一種用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的系統。該系統包括螢幕裝置和根據於此所述的實施例之經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備。
根據本揭露書的又一個態樣，提供有一種用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的方法。該方法包括以下步驟：以對準設備之一或多個可旋轉裝置接觸螢幕裝置，其中一或多個可旋轉裝置之至少一個第一可旋轉裝置經由一或多個彈性元件而連接至對準設備之底座裝置；及旋轉一或多個可旋轉裝置之至少一個可旋轉裝置，以相對於基板而對準螢幕裝置。
實施例還關於用於實現所揭露的方法的設備且包括用於實施每一所述方法的態樣之設備零件。這些方法的態樣可由硬體部件、由適當的軟體所編程的計算機、由兩者的任意組合，或以任何其它方式來實施。更有甚者，根據本揭露書的實施例還關於用於操作所述設備的方法。用於操作所述設備的方法包括用於實現設備的每一功能之方法的態樣。
現將詳細地參照揭露書的各種實施例，其中一或多個例子係顯示在圖式中。在圖式的以下說明內，相同的元件符號代表相同的部件通常，僅說明與個別實施例有關的差異。每一例子是由解釋本揭露書的方式而提供，且不意味著作為本揭露書的限制。此外，顯示為或描述為一個實施例的一部分之特徵可使用在其它實施例上或與其它實施例結合使用，以產生又一個進一步的實施例。意欲令實施方式包括這樣的修改和變化。
經配置以用於螢幕裝置的對準之設備(在下文中也稱為「對準裝置」)可以使用在對準裝置和螢幕裝置之間的機械接觸，以對準螢幕裝置。具體而言，對準裝置掃描被用以相對於基板而移動螢幕裝置，以實施對準。隨著時間的推移，對準裝置可能磨耗，且對準可能變得不準確。對準設備應在很短的時間間隔中被維修，以提供準確的對準，而用於維護對準設備的成本很高。此外，太陽能電池製造設備的停機時間可能被增加，且太陽能電池製造設備的產量可能被降低。
本揭露書提供經配置以用於使用接觸螢幕裝置之一或多個可旋轉裝置螢幕裝置將螢幕裝置對準，以相對於基板而對準螢幕裝置的設備。一或多個可旋轉裝置可繞個別的旋轉軸線而旋轉，其中螢幕裝置係藉由旋轉一或多個可旋轉裝置而移動和對準。一或多個可旋轉裝置的至少一個第一可旋轉裝置係經由一或多個彈性元件而連接到底座裝置。一或多個彈性元件推動至少一個第一可旋轉裝置抵住螢幕裝置。舉例來說，即便在螢幕裝置或(多個)可旋轉裝置處存在著變形或不規則，這些變形或不規則可藉由一或多個彈性元件所提供的推力而補償。此外，一旦設備被組裝或設置，使用者不需改變或操作由設備所提供的磨損補償裝置。部件的磨損是藉由一或多個彈性元件所提供的推力而自動地補償。太陽能電池製造設備具有減少的停機時間，並提供增加的效率。
本揭露書的設備、系統和方法允許在一段長的時間週期的準確對準。具體地，藉由機械部件(諸如螢幕裝置及/或可旋轉裝置)之磨損對於對準準確度所導致的影響可被最小化或甚至被避免。維修之間的間隔可延長，且可降低維護費用。太陽能電池製造設備的停機時間可被減少，且太陽能電池製造設備的產量和效率可被提高。一或多個可旋轉裝置允許對螢幕或螢幕裝置的改良平面對準(或改良的平面度條件)。
第1圖顯示根據於此所述的實施例之螢幕裝置110的θ對準的概要圖。
用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中之系統可包括印刷頭（未顯示）和經配置用於在基板10上形成一或多個導線圖案的螢幕裝置110。在一些實施方式中，螢幕裝置110可包括在印刷頭中。一或多個導線圖案可以選自由太陽能電池的指狀物和匯流條所組成的群組。在印刷一或多個導線圖案之前及/或在用於在基板10上印刷兩個導線圖案的兩個連續的印刷製程之間，基板10可相對於螢幕裝置110而對準。
可藉由移動螢幕裝置110且任選地藉由移動基板10來執行對準。在一些實施方式中，對準可包括螢幕裝置110沿著X軸1及/或Y軸2的平移移動的至少一者。對準還包括繞θ軸（以元件符號「4」所指示）的旋轉對準。 θ軸可界定螢幕裝置110在其中移動和對準的移動​平面。移動平面也可稱為「對準平面」。移動平面可藉由X軸1和Y軸2而包括。根據一些實施例，移動平面實質地平行於材料待被沉積（例如，被印刷）於上之基板10的表面。特別是當關於移動平面或對準平面相對於基板10或基板的表面之相對取向時，實質地平行是被理解成允許從正確的平行取向偏離(例如)10°或更小。
在一些實施方式中，諸如X軸1、Y軸和θ軸的軸線可用於相對於基板10而對準螢幕裝置110，使得印刷圖案(如，一或多個導線圖案)實質地置中於基板10的表面上。
第2圖顯示根據於此所述的實施例之經配置用於將螢幕裝置110相對於在被使用於太陽能電池的製造中之基板10對準之設備100的概要圖。
設備100包括底座裝置120和經配置用於接觸螢幕裝置110的一或多個可旋轉裝置。一或多個可旋轉裝置的至少一個第一可旋轉裝置130經由一或多個彈性元件140而連接到底座裝置120。一或多個彈性元件140提供將至少一個第一可旋轉裝置130推抵在螢幕裝置110上的力（以元件符號「5」而表示）。由(例如)磨損所造成的變形及/或不規則性可被補償，且準確的對準可被確保甚至在一段長的時間週期內。
根據可與於此所述的其它實施例結合的一些實施例，一或多個可旋轉裝置經配置以藉由繞旋轉軸線而旋轉一或多個可旋轉裝置之至少一個可旋轉裝置而相對於基板10對準螢幕裝置110。作為例子，至少一個第一可旋轉裝置130可繞第一旋轉軸線132而可旋轉的。一或多個可旋轉裝置（諸如至少一個第一可旋轉裝置130）的旋轉被機械地傳送到螢幕裝置110，以(例如) 在參照第1圖而解釋的移動平面或對準平面中移動螢幕裝置110。具體地，可使用一或多個可旋轉裝置的旋轉而執行在移動平面或對準平面中的θ對準。
遍及本揭露書而使用的術語「底座裝置」應理解為一或多個彈性元件可連接到的元件，使得至少一個第一可旋轉裝置130相對於底座裝置而可移動的。根據一些實施方式，底座裝置120是靜止的或固定定位。至少一個第一可旋轉裝置130相對於底座裝置120而可移動的，使得一或多個彈性元件140可將至少一個第一可旋轉裝置130推抵在螢幕裝置110上。根據可與於此所述之其它實施例結合的一些實施例，至少一個第一可旋轉裝置130經由一或多個彈性元件140而連接到底座裝置120，以在垂直於至少一個第一可旋轉裝置130的第一旋轉軸線132之方向上係可移動的。作為例子，至少一個第一可旋轉裝置130可在實質地平行於移動平面的方向上移動。
在可與於此所述之其它實施方式結合的一些實施方式中，一或多個可旋轉裝置可為輥或輪。作為例子，一或多個可旋轉裝置可具有圓柱形，其中圓柱形的圓柱軸線可對應於相應的可旋轉裝置的旋轉軸線。在其它例子中，一或多個可旋轉裝置可為圓形的或球形的。
根據可與於此所述的其它實施例結合的一些實施例，設備包括經配置以旋轉一或多個可旋轉裝置的至少一個可旋轉裝置之一或多個致動器(諸如馬達)。作為例子，一或多個可旋轉裝置的每一可旋轉裝置可連接到相應的致動器或馬達，以旋轉可旋轉裝置，以移動和對準螢幕裝置110。在一些實施方式中，設備100可包括一或多個進一步的致動器，經配置用於(例如)沿著參照第1圖而描述的X軸及/或Y軸平移移動螢幕裝置110。
根據可與於此所述的其它實施例結合的一些實施例，一或多個可旋轉裝置經配置以在實質地平行於基板10的表面的二維平面中相對於基板而對準螢幕裝置110。作為例子，二維平面可為移動平面或對準平面或對應於移動平面或對準平面。基板10的表面可為材料待被沉積(例如，被印刷)於上的表面。具體地，基板10的表面可為形成(例如)太陽能電池的指狀物及/或匯流條的一或多個導線圖案待被沉積或被印刷於上的表面。
在一些實施方式中，一或多個可旋轉裝置可圍繞實質地垂直於移動平面及/或材料待被沉積於上之基板10的表面的相應旋轉軸線而可旋轉的。術語「實質地垂直」關於旋轉軸線和移動平面或基板10的表面之實質地垂直的取向，其中距正確的垂直取向之幾度的偏差(如，高達10°或甚至高達15°)仍然被認為是「實質地垂直」。
根據可與於此所述的其它實施例結合的一些實施例，一或多個可旋轉裝置可包括四或更少個可旋轉裝置，具體地三或更少個可旋轉裝置，且可更具體地為三個可旋轉裝置。在其它實施方式中，一或多個可旋轉裝置可為一個單一可旋轉裝置，如其係顯示在第2圖之例子中。具體地，螢幕裝置110可被可旋轉地安裝在設置在螢幕裝置110的第一側或第一邊緣部分的軸線115上。單一可旋轉裝置可在螢幕裝置110的第二側或第二邊緣部分處接觸螢幕裝置，以繞軸線115旋轉螢幕裝置110。第一側或第一邊緣部分和第二側或第二邊緣部分可為螢幕裝置110的相對側或側部分。
在一些實施方式中，一或多個可旋轉裝置經配置用於接觸螢幕裝置110的橫向側表面。橫向側表面也可被稱為「滑動表面」或「接觸表面」。螢幕裝置110的橫向側表面可實質地垂直於移動平面而延伸。根據一些實施例，螢幕裝置110可具有兩個延伸表面，其中兩個延伸表面中的一個表面經配置以面向基板10，且兩個延伸表面的另一個表面經配置以背離基板10，例如，朝向印刷頭或其刮板。螢幕裝置110的橫向側表面可連接兩個延伸表面。在一些實施例中，兩個延伸表面可實質地平行於移動平面及/或材料待被沉積於上之基板10的表面。
在一些實施方式中，設備100進一步包括安裝裝置150，安裝裝置150經配置以支撐繞第一旋轉軸線132而可旋轉的至少一個第一可旋轉裝置130。具體地，至少一個第一可旋轉裝置130可安裝到安裝裝置150。在一些實施方式中，安裝裝置150可為撓性接頭。安裝裝置150可經由一或多個彈性元件140而連接到底座裝置120。具體地，至少一個第一可旋轉裝置130可經由安裝裝置150而連接到底座裝置120。
根據一些實施例，安裝裝置150可僅經由一或多個彈性元件140而連接到底座裝置120。在另一個例子中，設備100可包括引導裝置（未顯示），引導裝置將安裝裝置150連接到底座裝置120。導向裝置可允許安裝裝置150(例如)在實質地垂直於第一旋轉軸線132的方向上之引導移動，以將至少一個第一可旋轉裝置130推抵在螢幕裝置110上。
根據可與於此所述的其它實施例結合的一些實施例，一或多個彈性元件140為彈簧。作為例子，一或多個彈性元件140選自以下所組成的群組：線圈彈簧、板簧、板片彈簧及其任何組合。在一些實施方式中，一或多個彈性元件140可設置為撓性散裝材料，諸如橡膠。然而，應理解本揭露書不限於此，且一或多個彈性元件可為經配置以提供力，以將至少一個第一可旋轉裝置130推抵在螢幕裝置110上的另一元件。
第3圖顯示根據於此所述的進一步的實施例之經配置用於將螢幕裝置110相對於被使用在太陽能電池之製造中的基板10而對準的設備300的概要圖。
根據可與於此所述的其它實施例結合的一些實施例，一或多個可旋轉裝置可包括四或更少個可旋轉裝置，具體地三或更少個的可旋轉裝置，且可更具體地為三個可旋轉裝置。作為例子，一或多個可旋轉裝置包括至少一個第一可旋轉裝置330和至少一個進一步的可旋轉裝置，諸如第二可旋轉裝置360和第三可旋轉裝置370。至少一個第一可旋轉裝置330和第二可旋轉裝置360和第三可旋轉裝置370提供與螢幕裝置110的三點接觸。具體地，三點接觸可提供螢幕裝置110在移動平面中的改良的對準，具體地由於促進了正確的螢幕平面性的尋找。
至少一個第一可旋轉裝置330藉由安裝裝置350支撐，以繞第一旋轉軸線332為可旋轉的。至少一個第一可旋轉裝置330使用藉由一或多個彈性元件(諸如第一彈性元件140和第二彈性元件142)所提供的力而推抵螢幕裝置110上。至少一個進一步的可旋轉裝置可被可旋轉地安裝在底座裝置320上。作為例子，第二可旋轉裝置360可繞第二旋轉轉軸線362為可旋轉的。第三可旋轉裝置370可繞第三旋轉軸線372為可旋轉的。具體地，至少一個進一步的可旋轉裝置藉由底座裝置320而可旋轉地支撐，但不能相對於底座裝置320而移位或平移。
在一些實施方式中，一或多個可旋轉裝置的旋轉軸線可實質地彼此平行。具體地，第一旋轉軸線332、第二旋轉軸線362和第三旋轉軸線372可實質地彼此平行。然而，本揭露書不限於此，且旋轉軸線可相對於彼此而傾斜。
根據可與於此所述的其它實施例結合的一些實施例，底座裝置320可為框架。框架可具有實質地彼此平行而延伸的第一部分322和第二部分324，其中螢幕裝置110可位於第一部分322和第二部分324之間。第一部分322和第二部分324可藉由第三部分326而連接。第一部分322、第二部分324和第三部分326可界定經配置用於容納螢幕裝置110的孔或接收空間。在一些實施方式中，框架可具有U形或矩形形狀，諸如閉合的矩形形狀。
根據一些實施例，至少一個第一可旋轉裝置330可使用一或多個彈性元件和任選地安裝裝置350而安裝到第三部分326。至少一個進一步的可旋轉裝置可被可旋轉地安裝在第一部分322及/或第二部分324上。作為例子，第二可旋轉裝置360可被可旋轉地安裝到第一部分322，且第三可旋轉裝置370可被安裝到第二部分324。
根據可與於此所述的其它實施例結合的一些實施例，一或多個彈性元件包括將安裝裝置350連接到底座裝置320的第一彈性元件140和第二彈性元件142。至少一個第一可旋轉裝置330可被支撐在安裝裝置350之在第一彈性元件140和第二彈性元件142之間的位置處。作為例子，安裝裝置350可為棒形的。第一彈性元件140可連接到安裝裝置350的第一端部分，且第二彈性元件142可連接到安裝裝置350的第二端部分。第一端部分和第二端部分可為安裝裝置350的相對端部分。至少一個第一可旋轉裝置330可設置在第一彈性元件140和第二彈性元件142之間(例如)在安裝裝置150的中間部分處。
根據一些實施例，安裝裝置350可包括具有開口的安裝框架。至少一個第一可旋轉裝置330可被可旋轉地安裝在開口中。作為例子，至少一個第一可旋轉裝置330的第一旋轉軸線332的第一端部分可被可旋轉地連接到安裝框架的第一框架部分。第一旋轉軸線332的第二端部分可被可旋轉地連接到安裝框架的第二框架部分。第一框架部分和第二框架部分可實質地彼此平行。至少一個第一可旋轉裝置330可定位在第一框架部分和第二框架部分之間。
第4圖顯示根據於此所述的實施例之用於將材料沉積在被使用於太陽能電池的製造中使用的基板10之系統400的概要圖。系統400包括螢幕裝置110和經配置用於對準根據於此所述的實施例之螢幕裝置110的設備。在一些實施方式中，系統400可為網版印刷系統。
基板10可定位在基板支撐件20(諸如印刷巢)上。基板支撐件20可經配置以在印刷製程(諸如網版印刷製程)期間支撐基板10。任選地，基板支撐件20可經配置用於在兩或更多個製程站（諸如印刷站和檢查站）之間輸送基板10。
在一些實施方式中，螢幕裝置110包括螢幕框架112和螢幕114。螢幕114界定對應於待被印刷在基板10上之結構（例如一或多個導線圖案，諸如指狀物及/或匯流條）的螢幕圖案或特徵。螢幕圖案或特徵可包括洞、槽、切口或其它孔之至少一者。
根據一些實施例，系統400包括經配置用於在基板10上進行網版印刷的至少一個印刷頭480。在一些實施方式中，螢幕裝置110可包括在至少一個印刷頭480中。在其它實施方式中，螢幕裝置110可提供作為分離的實體。至少一個印刷頭480可包括經配置用於接觸螢幕114的印刷裝置(諸如刮板482)。刮板482沿著印刷方向6移動，並將待被印刷的材料（稱為「印刷材料」）  通過螢幕114，且特別地通過界定一或多個導線圖案的螢幕圖案而推動到基板10上。
根據可與於此所述的其它實施方案結合的一些實施例，印刷材料可選自以下所組成的群組：銀、鋁、銅、錫、鎳、矽基糊料及其任何組合。
如第4圖中所示，一或多個可旋轉裝置的旋轉軸線(諸如至少一個第一可旋轉裝置的第一旋轉軸線132)可實質地垂直於印刷方向6。印刷方向6及/或旋轉軸線可實質地平行於垂直方向3。垂直方向3可平行於重力。
第5圖顯示根據於此所述的實施例之經配置用於使螢幕裝置相對於被使用於太陽能電池的製造中之基板而對準的設備的剖面的概要圖。
根據可於此所述的其它實施例結合的一些實施例，安裝裝置150可為彈性接頭。一或多個彈性元件140（諸如彈簧）可推動安裝裝置150，以補償藉由螢幕裝置110的橫向側表面所提供的滑動表面113之變形116。在一些實施方式中，變形116可由於連續及/或重複的θ移動和螢幕裝置110的對準而產生。
第6圖顯示根據於此所述的實施例之經配置用於將螢幕裝置610相對於被使用在太陽能電池的製造中之基板（未顯示）而對準的設備600的概要圖。第7A圖顯示第6圖中所示的設備600的細節的概要圖。第7B圖顯示設備600的安裝裝置的概要圖。
設備600包括螢幕裝置610和一或多個可旋轉裝置。一或多個可旋轉裝置包括藉由安裝裝置650而可旋轉地支撐的至少一個第一可旋轉裝置630。一或多個可旋轉裝置可包括至少一個進一步的可旋轉裝置，諸如可旋轉地安裝到底座裝置620之第二可旋轉裝置660和第三可旋轉裝置670。安裝裝置650使用一或多個彈性元件（諸如第一彈性元件640和第二彈性元件642）而安裝到底座裝置620。
根據可與於此所述的其它實施例結合的一些實施例，底座裝置620具有經配置以容納螢幕裝置610及/或基板10的開口625。在一些實施方式中，螢幕裝置610安裝在底座裝置620的頂部表面上。一或多個可旋轉裝置可從底座裝置620的頂部表面突出，以接觸螢幕裝置610的橫向側表面。
根據可與於此所述的其它實施例結合的一些實施例，安裝裝置650包括固定部分652和可移動部分654。具有固定部分652和可移動部分654的安裝裝置650可配置作為彈性接頭。固定部分652可連接到底座裝置620。具體地，固定部分652可相對於底座裝置620為靜止的。在一些實施例中，可移動部分654可相對於固定部分652及/或底座裝置620為可移動的。作為例子，可移動部分654可安裝到固定部分652，以相對於固定部分652為可移動的。
根據一些實施例，可移動部分654可包括第一端部分、第二端部分和設置在第一端部分和第二端部分之間的中間部分。第一端部分和第二端部分可連接到固定部分652。可移動部分654的至少中間部分可相對於固定部652為可移動的。在一些實施方式中，可移動部分654至少部分地設置在由固定部分652所提供的接收空間中。
在一些實施例中，固定部分652和可移動部分654藉由安裝裝置650的本體而提供。具體地，安裝裝置650的本體可具有經配置以將可移動部分654從固定部分652分離的一或多個切口或狹縫655。作為例子，安裝裝置650的本體可為單件式的材料，諸如金屬（如鋼或鋁）或聚合物材料(諸如塑膠)。一或多個切口或狹縫655可設置在本體中，使得可移動部分654相對於固定部分652為可移動的。
在一些實施方式中，至少一個第一可旋轉裝置630藉由可移動部分654（例如，中間部分）而被可旋轉地支撐或安裝到可移動部分654。作為例子，一或多個彈性元件(諸如第一彈性元件640和第二彈性元件642)可經配置以提供作用在可移動部分654上的力，以將至少一個第一可旋轉裝置630推抵螢幕裝置610上。作為例子，一或多個彈性元件的第一端或端部分可連接到底座裝置620及/或固定部分652。一或多個彈性元件的第二端或端部分可經配置以接觸可移動部分654，以在朝向螢幕裝置610的方向上推動可移動部分654。在一些實施方式中，一或多個彈性元件的第二端或端部分可連接到可移動部分654。
一旦設備被組裝或設置，使用者不需要改變或操作由設備所提供的磨損補償裝置。部件的磨損藉由一或多個彈性元件所提供的力而自動地補償。太陽能電池製造設備具有減少的停機時間且提供增加的效率。
第8圖顯示根據於此所述的實施例之用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中之基板而對準的方法800的流程圖。
方法800包括(在方塊810中)使螢幕裝置與對準設備的一或多個可旋轉裝置接觸，其中一或多個可旋轉裝置的至少一個第一可旋轉裝置經由一或多個彈性元件而連接到對準設備的底座裝置。在方塊820中，方法包括旋轉一或多個可旋轉裝置的至少一個可旋轉裝置，以相對於基板而對準螢幕裝置。
在一些實施方式中，方法800包括使用由一或多個彈性元件所提供的力將至少一個第一可旋轉裝置推抵在螢幕裝置上。作為例子，在至少一個可旋轉裝置的旋轉期間(例如在對準過程中)，至少一個第一可旋轉裝置被推抵在螢幕裝置上。
根據一些實施例，方法進一步包括用於在螢幕裝置相對於基板10對準之後在基板10上印刷一或多個第一導線圖案的第一印刷製程。在一些實施方式中，具有一或多個第一導線圖案印刷於上的基板10可被乾燥。作為例子，基板10可移動到乾燥站，用於乾燥一或多個第一導線圖案。在另一例子中，一或多個第一導線圖案可在印刷站中被乾燥而不移動基板10。
根據一些實施例，方法包括用於在基板10上印刷一或多個第二導線圖案的第二印刷製程，例如在一或多個第一導線圖案上或上方。在第二印刷製程中使用的螢幕裝置可使用於此所述之實施例而相對於基板10而對準。螢幕裝置可為在第一印刷製程中所使用的相同螢幕裝置，或可為(例如)在另一個印刷站中所提供的不同螢幕裝置。在一些實施方式中，具有一或多個第二導線圖案印刷於上的基板10可被乾燥。
根據一些實施例，在方法800中所使用的對準設備根據於此所述的實施例而配置。具體地，方法800可利用於此所述的設備、結構和系統。
根據於此所述的實施例，用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池製造中的基板而對準的方法可以使用計算機程式、軟體、計算機軟體產品和相關的控制器來進行，控制器可具有與用於處理大面積基板之設備的對應部件通訊的CPU、記憶體、使用者介面以及輸入及輸出裝置。
本揭露書的實施例允許在一段長的時間週期的準確對準。具體地，可最小化或甚至避免由機械部件（諸如螢幕裝置及/或可旋轉裝置）的磨損而導致之對準準確度的影響。在維修之間的間隔可延長，且可降低維護成本。可減少太陽能電池製造設備的停機時間，且可增加太陽能電池製造設備的產量和效率。一或多個可旋轉裝置允許螢幕或螢幕裝置的改良平面對準（或改良的平面條件）。此外，一旦設備被組裝或設置，使用者不需要改變或操作由設備所提供的磨損補償裝置。部件的磨損藉由一或多個彈性元件所提供的力而自動地補償。太陽能電池製造設備具有減少的停機時間且提供增加的效率。
雖然前述內容關於本揭露書的實施例，本揭露書的其它和進一步的實施例可經設計而不背離本揭露書的基本範圍，且本揭露書的範圍由以下的申請專利範圍而確定。
1‧‧‧X軸
2‧‧‧Y軸
3‧‧‧Z軸
4‧‧‧θ軸
5‧‧‧力
6‧‧‧印刷方向
10‧‧‧基板
20‧‧‧基板支撐件
100‧‧‧設備
110‧‧‧螢幕裝置
112‧‧‧螢幕框架
113‧‧‧滑動表面
114‧‧‧螢幕
115‧‧‧軸線
116‧‧‧變形
120‧‧‧底座裝置
130‧‧‧第一可旋轉裝置
132‧‧‧第一旋轉軸線
140‧‧‧彈性元件/第一彈性元件
142‧‧‧第二彈性元件
150‧‧‧安裝裝置
300‧‧‧設備
320‧‧‧底座裝置
322‧‧‧第一部分
324‧‧‧第二部分
326‧‧‧第三部分
330‧‧‧第一可旋轉裝置
332‧‧‧第一旋轉軸線
350‧‧‧安裝裝置
360‧‧‧第二可旋轉裝置
362‧‧‧第二旋轉軸線
370‧‧‧第三可旋轉裝置
372‧‧‧第三旋轉軸線
400‧‧‧系統
480‧‧‧印刷頭
482‧‧‧刮板
600‧‧‧設備
610‧‧‧螢幕裝置
620‧‧‧底座裝置
625‧‧‧開口
630‧‧‧第一可旋轉裝置
640‧‧‧第一彈性元件
642‧‧‧第二彈性元件
650‧‧‧安裝裝置
652‧‧‧固定部分
654‧‧‧可移動部分
655‧‧‧狹縫
660‧‧‧第二可旋轉裝置
670‧‧‧第三可旋轉裝置
800‧‧‧方法
810‧‧‧方塊
820‧‧‧方塊
使得本揭露書的以上所載之特徵可被詳細理解的方式，可參照實施例而獲得本揭露書(簡要地摘要於上)之較特定的說明。附隨的圖式關於本揭露書的實施例，且在下面說明： 第1圖顯示根據於此所述之實施例的螢幕裝置的θ對準的概要圖； 第2圖顯示根據於此所述之實施例的經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備的概要圖； 第3圖顯示根據於此所述之進一步的實施例的經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備的概要圖； 第4圖顯示根據於此所述之實施例的用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的系統的概要圖； 第5圖顯示根據於此所述之實施例的經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備之一區域的概要圖； 第6圖顯示根據於此所述之實施例的經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備的概要圖； 第7A圖顯示在第6圖中所示的設備之細節的概要圖； 第7B圖顯示根據於此所述之實施例的設備之安裝裝置的概要圖；及 第8圖顯示根據於此所述之實施例的用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的方法之流程圖。
國內寄存資訊 (請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無
國外寄存資訊 (請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無
(請換頁單獨記載) 無
1‧‧‧X軸
2‧‧‧Y軸
4‧‧‧θ軸
5‧‧‧力
10‧‧‧基板
100‧‧‧設備
110‧‧‧螢幕裝置
120‧‧‧底座裝置
130‧‧‧第一可旋轉裝置
132‧‧‧第一旋轉軸線
140‧‧‧彈性元件/第一彈性元件
150‧‧‧安裝裝置

Claims (20)

  1. 一種經配置以用於將一螢幕裝置相對於被使用在一太陽能電池的製造中的一基板而對準的設備，該設備包含： 一底座裝置；及一或多個可旋轉裝置，經配置以接觸該螢幕裝置，其中該一或多個可旋轉裝置之至少一個第一可旋轉裝置經由一或多個彈性元件而連接至該底座裝置。
  2. 如請求項1所述之設備，其中該一或多個可旋轉裝置為三個或更少個旋轉裝置。
  3. 如請求項1所述之設備，其中該一或多個可旋轉裝置經配置以藉由該一或多個可旋轉裝置的至少一個可旋轉裝置繞一旋轉軸線的旋轉而相對於該基板而對準該螢幕裝置。
  4. 如請求項1所述之設備，其中該一或多個可旋轉裝置經配置以在平行於該基板的一表面之一二維平面中相對於該基板而對準該螢幕裝置。
  5. 如請求項1所述之設備，其中該一或多個可旋轉裝置包括可旋轉地安裝到該底座裝置的至 少一個第二可旋轉裝置。
  6. 如請求項1所述之設備，進一步包括一安裝裝置，經配置以支撐該至少一個第一可旋轉裝置繞該第一旋轉軸線而旋轉，其中該安裝裝置係經由該一或多個彈性元件而連接到該底座裝置。
  7. 如請求項6所述之設備，其中該一或多個彈性元件包括將該安裝裝置連接到該底座裝置的一第一彈性元件和一第二彈性元件，且其中該至少一個第一可旋轉裝置被支撐在該安裝裝置在該第一彈性元件和該第二彈性元件之間之一位置處。
  8. 如請求項6所述之設備，其中該安裝裝置包括一固定部分和一可移動部分，其中該至少一個第一可旋轉裝置係藉由該可移動部分而可旋轉地支撐。
  9. 如請求項1所述之設備，其中該至少一個第一可旋轉裝置係經由該一或多個彈性元件而連接到該底座裝置，以在垂直於該至少一個第一可旋轉裝置的該第一旋轉軸線的方向上為可移動的。
  10. 如請求項1所述之設備，其中該一或多個彈性元件是彈簧。
  11. 如請求項1所述之設備，其中該底座裝置包括具有一開口的一框架，該開口經配置以容納該螢幕裝置和該基板的至少一者。
  12. 如請求項1到11任一項所述之設備，進  一步包括一或多個致動器，經配置以旋轉該一或多個可旋轉裝置的至少一個可旋轉裝置。
  13. 如請求項12所述之設備，其中該設備經配置以藉由旋轉該至少一個可旋轉裝置而移動和對準該螢幕裝置。
  14. 一種用於將一材料沉積在被使用在一太陽能電池的製造中的一基板上的系統，該系統包含： 一螢幕裝置；及請求項1到11任一項所述的設備。
  15. 如請求項14所述之系統，進一步包括至少一個印刷裝置，經配置以在該基板上進行網版印刷。
  16. 一種用於將一螢幕裝置相對於被使用在一太陽能電池的製造中的一基板而對準的方法，該方法包含以下步驟： 以一對準設備之一或多個可旋轉裝置接觸該螢幕裝置，其中該一或多個可旋轉裝置之至少一個第一可旋轉裝置經由一或多個彈性元件而連接至該對準設備之一底座裝置；及旋轉該一或多個可旋轉裝置之至少一個可旋轉裝置，以相對於該基板而對準該螢幕裝置。
  17. 如請求項16所述之方法，其中該至少一個可旋轉裝置係藉由該對準設備的一或多個致動器而旋轉。
  18. 如請求項16所述之方法，其中該螢幕裝置藉由旋轉該至少一個可旋轉裝置而移動和對準。
  19. 如請求項17所述之方法，其中該螢幕裝置藉由旋轉該至少一個可旋轉裝置而移動和對準。
  20. 如請求項16所述之方法，其中該對準設備係根據請求項1而配置。
TW105130412A 2015-09-25 2016-09-21 經配置以用於將網版裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備、用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的系統及用於將網版裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的方法 TWI639518B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
??PCT/EP2015/072150 2015-09-25
PCT/EP2015/072150 WO2017050391A1 (en) 2015-09-25 2015-09-25 Apparatus configured for alignment of a screen device with respect to a substrate used in the manufacture of a solar cell, system for deposition of a material on a substrate used in the manufacture of a solar cell, and method for aligning a screen device with respect to a substrate used in the manufacture of a solar cell

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201720662A true TW201720662A (zh) 2017-06-16
TWI639518B TWI639518B (zh) 2018-11-01

Family

ID=54324938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105130412A TWI639518B (zh) 2015-09-25 2016-09-21 經配置以用於將網版裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備、用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的系統及用於將網版裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的方法

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP3352988A1 (zh)
CN (1) CN108025546A (zh)
TW (1) TWI639518B (zh)
WO (1) WO2017050391A1 (zh)

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1963939C2 (de) * 1969-12-20 1982-02-04 Siebdruckgeräte von Holzschuher KG, 5600 Wuppertal Justiereinrichtung für Siebdruckmaschinen
AU7892494A (en) * 1994-05-03 1995-11-09 Konstantine George Savva Image printer
JP2000177100A (ja) * 1998-12-17 2000-06-27 Fuji Mach Mfg Co Ltd スクリーン装置
CN2487549Y (zh) * 2001-06-04 2002-04-24 周明树 网版印刷机
CN101791898B (zh) * 2010-03-05 2012-06-27 中国电子科技集团公司第四十五研究所 太阳能电池片印刷网框对位调整装置
JP5700951B2 (ja) * 2010-04-27 2015-04-15 富士機械製造株式会社 スクリーン印刷機
CN201849048U (zh) * 2010-10-12 2011-06-01 东莞市科隆威自动化设备有限公司 光伏太阳能印刷机
CN202608219U (zh) * 2012-05-09 2012-12-19 武汉市微格能科技有限公司 一种光伏太阳能丝网印刷设备
EP2881256A1 (en) * 2013-12-03 2015-06-10 Applied Materials Italia S.R.L. Apparatus and method for screen printing on a substrate

Also Published As

Publication number Publication date
TWI639518B (zh) 2018-11-01
WO2017050391A1 (en) 2017-03-30
CN108025546A (zh) 2018-05-11
EP3352988A1 (en) 2018-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5599411B2 (ja) 自動スクリーン印刷プロセス
WO2010061394A1 (en) Method and system for applying materials on a substrate
WO2011000442A1 (en) Substrate processing system
CN202400371U (zh) 可调节托盘
CN106104818B (zh) 用于处理基板的太阳能电池生产装置，及用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法
TW201720662A (zh) 經配置以用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的設備、用於將材料沉積在被使用在太陽能電池的製造中的基板上的系統及用於將螢幕裝置相對於被使用在太陽能電池的製造中的基板而對準的方法
TWI639209B (zh) 用於在用於產生太陽能電池之基板上進行列印的裝置及用於傳輸用於產生太陽能電池之基板的方法
CN114701244A (zh) 用于丝网印刷基板的设备和方法、和太阳能电池生产设备
US20210328091A1 (en) Apparatus for separating a solar cell into two or more solar cell pieces, system for the manufacture of at least one shingled solar cell arrangement, and method for separating a solar cell into two or more solar cell pieces
US20120216694A1 (en) Method For Centering A Print Track
CN208336250U (zh) 用于制造太阳能电池的设备、和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置
CN102194731A (zh) 一种位置校准系统及等离子体处理装置
EP3335249A1 (en) Apparatus for processing of a substrate used in the manufacture of a solar cell, and method for processing of a substrate used in the manufacture of a solar cell
CN109196664B (zh) 用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备及方法
CN207381421U (zh) 用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、以及太阳能电池生产设备
EP3732734B1 (en) Method for screen printing of a material on a substrate, controller for an apparatus for screen printing on a substrate, and apparatus for screen printing of a material on a substrate
TW201840014A (zh) 用於將材料網印於用於太陽能電池製造中的基板上的設備、太陽能電池生產設備、以及將材料網印於用於太陽能電池製造中的基板上的方法
WO2016180446A1 (en) Method for screen printing on a substrate for the production of a solar cell, screen used in screen printing on a substrate for the production of a solar cell, and apparatus for screen printing on a substrate for the production of a solar cell
CN218753347U (zh) 一种机柜输送装置
TW201907579A (zh) 用於將材料網印於用於太陽能電池製造中的基板上的設備、太陽能電池生產設備以及用於將材料網印於用於太陽能電池製造中的基板上的方法
TW201604026A (zh) 用於在基板上列印材料之設備
WO2022174904A1 (en) Transportation system for transporting two or more substrates, printing apparatus for printing on two or more substrates, and methods for performing same
KR20210029651A (ko) 릴 타입의 롤링 마스크 모듈을 이용한 증착 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees