TW201604026A - 用於在基板上列印材料之設備 - Google Patents

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Abstract

在此揭示了一種用於在基板上列印之設備。該設備包含材料回收裝置及第一線性馬達,該第一線性馬達經配置以用於調整該材料回收裝置相對於基板支座的距離。進一步而言,用於在基板上列印材料的方法被提供,該方法包含以下步驟:利用第一線性馬達而將材料回收裝置相對於基板支座定位。

Description

用於在基板上列印材料之設備
本揭示的實施例有關於用於在基板上列印材料的設備,具體而言有關於太陽能電池生產、太陽能電池生產設備,及用於在基板上列印材料的方法。本揭示的實施例具體而言有關於用於網印(screen printing)的設備、太陽能電池生產設備及用於在基板上網印以用來形成光電單元(photovoltaic(PV)cells)的方法。
太陽能電池為將太陽光直接轉換成電能的光電(photovoltaic)裝置。在此領域中,藉由列印技術(特別是網印技術)的手段而在結晶矽基座上產生太陽能電池係已知的,在該等太陽能電池的前表面上達成選擇性射極(emitters)的結構。每個列印循環包含至少一個列印運作及回收運作,在該列印運作期間,該網印材料藉由列印裝置沉積且列印在該基板上,在該回收運作期間,沒有被列印的多餘列印材料利用回收裝置收回。一般而言,為了回收,該回收裝置靠近該基板表面定位。該回收運作特別影響列印結構的品質,例如精 細直線。因此,提供改良回收運作的列印裝置係持續有需求的。
鑑於上述,本揭示的目標係提供能夠克服本領域至 少某些問題之用於在基板上列印的設備,具體而言用於在基板上網印以用來形成光電(PV)單元的設備。
鑑於上述,在此提供了用於在基板上列印材料的設備、太陽能電池生產設備,及用於在基板上列印材料的方法。本揭示的進一步態樣、優點及特徵係顯見於附屬請求項、描述,及附圖。
依據一個實施例,提供了用於在基板上列印材料的設備。該設備包含材料回收裝置及第一線性馬達,該第一線性馬達經配置以用於調整該材料回收裝置相對於基板支座或該基板之表面的距離。
依據另一個實施例,提供了太陽能生產設備。該太陽能生產設備包含一或更多個列印站,該等列印站的至少一個具有用於在基板上列印材料的設備。該設備包含材料回收裝置及第一線性馬達,該第一線性馬達經配置以用於調整該材料回收裝置相對於基板支座或該基板之表面的距離。
依據一個實施例,提供了用於在基板上列印材料的方法。該方法包含以下步驟:利用第一線性馬達將材料回收裝置相對於基板支座或該基板的表面定位。
依據某些實施例,用於在基板上列印材料的設備經配置以行使依據在此描述之實施例的方法。
20‧‧‧材料回收裝置
21‧‧‧主要元件
22‧‧‧側翼元件
23‧‧‧第一調整裝置
24‧‧‧邊緣部分
25‧‧‧第二絞鏈
26‧‧‧部分
30‧‧‧第一列印裝置
31‧‧‧列印元件
32‧‧‧框架元件
33‧‧‧第二調整裝置
34‧‧‧持定組件
35‧‧‧第一絞鏈
36‧‧‧部分
40‧‧‧基板支座
41‧‧‧網版
42‧‧‧移動方向
43‧‧‧列印材料
50‧‧‧線性雙馬達
51‧‧‧第一線性馬達
52‧‧‧第二線性馬達
70‧‧‧方法
71‧‧‧方塊
72‧‧‧方塊
為了使本揭示的上述特徵能夠被詳細地理解,在以上簡要概述的本揭示之更具體的描述可參考實施例。附圖係相關於本揭示的實施例且在以下描述:圖1依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印材料的設備之平面圖;圖2依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印材料的設備之透視圖;圖3依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印材料的設備之透視圖;圖4依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印材料的設備之第一列印裝置的透視圖;圖5依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印材料的設備之回收裝置的透視圖;圖6依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印材料的設備之剖面圖;及圖7依據在此描述的實施例顯示在基板上列印材料之方法的流程圖。
現在將詳細參考本揭示的各種實施例,該等實施例的一或更多個範例繪示於圖式中。在繪圖之以下描述中,相同的參考符號代表相同的元件。一般而言,只有關於個別實施例的差異被描述。每個範例以解釋本揭示的方式提供,且並非意於作為本揭示的限制。進一步而言,繪示或描述為一 個實施例的一部分之特徵可被使用在其他實施例上或連同其他實施例使用,以產生又進一步的實施例。本描述包含這樣的修改或變化係所意圖的。
本實施例提供用於在基板上列印材料的設備。該設 備包含材料回收裝置(或在此僅稱為「回收裝置」)及第一線性馬達,該第一線性馬達經配置以用於調整該材料回收裝置相對於基板支座(例如該基板支座的表面)或該基板之表面的距離。依據某些實施例,該基板支座經配置以支撐該基板,且具體而言以上提及的該基板支座的表面可經配置以支撐該基板。作為範例,該回收裝置可定位於該基板表面附近,且該回收裝置與該基板表面之間的距離可適度地調整以允許列印精細直線且將回收運作最佳化。
圖1依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印 材料的設備之平面圖。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備包含材料回收裝置20及第一線性馬達,該材料回收裝置用於回收多餘的列印材料43,該第一線性馬達經配置以調整材料回收裝置20相對於基板支座40或該基板之表面(未顯示)的距離。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該基板定位於基板支座40上。某些實施例中,基板支座40可包含基板可擺放於其上以列印(特別是網印或模板列印(stencil printing))的巢套(nest)或其他支座。如圖1所指示,為了列印及/或回收,該設備可沿著移動方向42相對於基板支 座40或基板移動。
當沿著移動方向42移動時,回收裝置20收集或回 收多餘的列印材料43。某些實施例中回收裝置20亦稱為「淹沒式條桿(flood bar)」或「葉片(blade)」。某些實作中,材料回收裝置20可包含主要元件21及側翼元件22。具體而言,回收裝置20可包含兩個側翼元件22,該等側翼元件舉例而言可提供於主要元件21的側向端點部分。
某些實施例中,主要元件21可具有延伸部,例如幾 乎垂直於移動方向42的縱向延伸部。某些實作中,主要元件21可具有條桿形狀或為條桿。作為範例,側翼元件22可提供於條桿形狀之主要元件21的端點部分。從而,主要元件21及側翼元件22可形成U形,舉例而言如圖1所顯示。側翼元件22防止多餘的列印材料43從回收裝置20側向洩漏。換言之,側翼元件22提供了所收集之多餘列印材料43的側向侷限。
該設備包含第一線性馬達,該第一線性馬達經配置 以調整材料回收裝置20相對於例如該基板表面或該基板支座之表面的距離。利用線性馬達允許精確且快速的距離之調整。從而,例如精細直線的列印品質可被改善,該精細直線例如光電單元的指部(fingers)及/或母線(busbars)。
在此描述的實施例提供回收裝置20,例如淹沒式條 桿或葉片,該回收裝置由線性馬達所控制,因此提供了快速且精確的回應。使用線性馬達可造成改善的處理重複性,此舉順次造成增加的產出率。進一步的有利效應係有關於減少 的回收/列印運作之中斷、相較於使用氣動馬達的習知系統之較簡單的設定(此舉亦可導致產出率的增加)、增強的工具對工具匹配、漿料(paste)消耗的減少,及可能的回收裝置之即時壓力及/或位置控制。後者允許了例如母線厚度的控制及/或剝落問題的控制。
某些實作中,該設備用於網印。這樣的案例中,網 版裝置(screen device)可提供於該設備與基板支座40或基板之間。回收裝置20可接觸該網版裝置或該網版裝置的網版41,同時對基板支座40或下方的基板保持距離,亦即,回收裝置20可在網版41上施加壓力,但並非在基板支座40或基板上施加壓力。依據在此描述之實施例之具有該第一線性馬達的該設備致使高準確度的壓力控制。此舉允許精細直線的列印且強化網版對工具(例如回收裝置)的匹配。因此,具有依據在此描述之實施例的該設備之改善印刷頭可被提供,該印刷頭允許高精確度的力量控制。本實施例不受限於網印。具體而言,在此描述的該等設備及方法亦可用於模板列印。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該第一線性馬達為步進馬達(stepper motor),且特別是線性步進馬達。某些實作中,該第一線性馬達為電動馬達,該電動馬達之定子(stator)及轉子(rotor)係「展開的(unrolled)」,使得該電動馬達產生線性力量。該第一線性馬達可為勞侖茲類型(Lorentz-type)的馬達,其中該力量係線性地與電流及磁場成比例,其中後者係由永久磁鐵所產生。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,回收裝置20相對於基板支座40、基板或網版41的傾斜或角度係定義為基板、基板支座40或網版41之表面,及回收裝置20之延伸部(例如主要元件21,特別是條桿狀的主要元件21的縱向延伸部)之間的傾斜或角度。某些實施例中,回收裝置20的該延伸部可幾乎垂直或平行於移動方向42。作為範例,當回收裝置20的該延伸部幾乎平行於該基板、基板支座40或網版41之該表面時,該傾斜或角度大約為零度。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備包含第一調整裝置(例如顯示於圖2中),該第一調整裝置經配置以調整材料回收裝置20,特別是主要元件21,相對於基板支座40、基板或網版41之該表面的傾斜或角度。 某些實作中,在回收運作之前或期間,若該傾斜或角度偏離零度,則該傾斜或角度可利用該第一調整裝置調整至大約零度,以為了將該回收運作最佳化,且特別是提供對於基板支座40、網版41或基板表面的均勻回收。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備進一步包含第一列印裝置30。作為範例,第一列印裝置30可包含配置用於列印的刮漿板(squeegee)。某些實作中,第一列印裝置30可包含配置用於列印的列印元件31及框架元件32。第一列印裝置30或例印元件31可稱作為「刮漿板」。某些實施例中,列印元件31沿著移動方向42相對於基板支座40、網版41或基板表面傾斜(參見例如圖3及圖4)。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,第一列印裝置30相對於基板支座40、基板或網版41的傾斜或角度係定義為基板、基板支座40或網版41之表面,及第一列印裝置30之延伸部(例如列印元件31的縱向延伸部)之間的傾斜或角度。某些實施例中,第一列印裝置30的該延伸部可幾乎垂直或平行於移動方向42。作為範例,當第一列印裝置30(特別是列印元件31)的該延伸部幾乎平行於該基板、基板支座40或網版41之該表面時,該傾斜或角度大約為零度。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備包含第二調整裝置(例如顯示於圖2中),該第二調整裝置經配置以用於調整該第一列印裝置(特別是列印元件31)相對於該基板、基板支座40或網版41之該表面的該傾斜或角度。某些實作中,在列印運作之前或期間,若該傾斜或角度偏離零度,則該傾斜或角度可利用該第二調整裝置調整至大約零度,以為了將該列印運作最佳化,且特別是提供該基板表面上的均勻列印。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備包含第二線性馬達,該第二線性馬達經配置以用於調整第一列印裝置30相對於基板支座40(該基板支座的表面)或基板表面的距離。某些實施例中,該第二線性馬達連接至第一列印裝置30且經配置以用於調整第一列印裝置30相對於基板支座40或基板的位置及/或用於調整第一列印裝置30作用於基板支座40或基板上的力量。某些實作中,該第二線性馬達為電動馬達,該電動馬達的定子及轉子係「展開的 (unrolled)」,使得該電動馬達產生線性力量。該第二線性馬達可為勞侖茲類型(Lorentz-type)的馬達,其中該力量係線性地與電流及磁場成比例,其中後者可由永久磁鐵所產生。
利用線性馬達允許精確且快速地調整第一列印裝置 30及基板支座40或基板表面之間的距離及/或第一列印裝置30作用在基板支座40及/或基板上的壓力。從而,例如精細直線的列印品質可被改善,該精細直線例如光電單元的指部(fingers)及/或母線(busbars)。依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施例,該第二線性馬達為步進馬達,且特別是線性步進馬達。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該第一線性馬達及該第二線性馬達係配置為線性雙馬達。作為範例,該線性雙馬達包含用於回收裝置20的第一線性馬達及用於第一列印裝置30的第二線性馬達。
依據某些實施例,該線性雙馬達的該第一線性馬達 及該第二線性馬達具有或共享至少一個共同元件。此舉允許減少該設備的整體重量,及例如可能包含該設備的印刷頭的整體重量。某些實作中,該第一線性馬達及該第二線性馬達可皆為線性力量由電流及磁場產生的馬達(例如勞侖茲類型的馬達)。作為範例,該第一線性馬達及該第二線性馬達可具有至少一個產生或貢獻磁場的共同永久磁鐵。從而,該設備的重量可被減少。
某些實作中,用於該回收裝置的該第一線性馬達具 有比用於第一列印裝置30的該第二線性馬達更少的功率。具 體而言,該第二線性馬達可經配置以用於對該基板施加或發揮至多大約100N的力量。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備包含第二列印裝置,該第二列印裝置連接至該第一線性馬達。作為範例,回收裝置20可定位於第一列印裝置30及該第二列印裝置之間。此舉允許雙列印,亦即在兩個方向中列印。參考圖1,該第二列印裝置可相對於或平行於第一列印裝置30而定位,其中回收裝置20設置或夾在該第一列印裝置及該第二列印裝置之間。因此,列印可在移動方向42中利用第一列印裝置30行使,且在相反於移動方向42的方向中利用該第二列印裝置行使。對於兩者列印運作,相同的回收裝置20可被用來回收多餘的列印材料43。
作為範例,該第二列印裝置可包含刮漿板或為刮漿 板,該刮漿板經配置以用於列印,類似於以上描述的第一列印裝置30。某些實作中,該第二列印裝置可包含經配置以用於列印的列印元件及框架元件。某些實施例中,該列印元件相對於該基板支座(例如該基板支座的表面)、網版或基板表面沿著該移動方向傾斜。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該第二列印裝置相對於基板支座40、基板或網版41的傾斜或角度係定義為基板、基板支座40或網版41之表面,及該第二列印裝置之延伸部(例如該列印元件的縱向延伸部)之間的傾斜或角度。某些實施例中,該第二列印裝置的該延伸部可幾乎垂直或平行於移動方向42。作為範例,當該第二列 印裝置(特別是該列印元件或刮漿板)的該延伸部幾乎平行於該基板、基板支座40或網版41之該表面時,該傾斜或角度大約為零度。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備包含第三調整裝置(未顯示),該第三調整裝置經配置以用於調整該第二列印裝置(特別是該列印元件)相對於該基板、基板支座40或網版41之該表面的該傾斜或角度。某些實作中,在列印運作之前或期間,若該傾斜或角度偏離零度,則該傾斜或角度可利用該第三調整裝置調整至大約零度,以為了將該列印運作最佳化,且特別是提供該基板表面上的均勻列印。
某些實作中,該第三調整裝置對應至該第一調整裝 置或為該第一調整裝置,其中回收裝置20與該第二列印裝置的傾斜可同時調整及/或調整相同的量。
某些實作中,該第一線性馬達進一步經配置以用於 調整該第二列印裝置相對於基板支座40或基板的位置,及/或用於調整該第二列印裝置作用於基板支座40及/或基板上的力量。此舉允許精確且快速地調整該第二列印裝置及基板支座40或基板表面之間的距離,及/或該第二列印裝置作用在基板支座40及/或基板上的壓力。從而,例如精細直線的列印品質可被改善,該精細直線例如光電單元的指部及/或母線。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備進一步包含電流偵測裝置,該電流偵測裝置經配置以用於偵測流過該第一線性馬達的電流,及/或經配置以用 於偵測流過該第二線性馬達的電流。某些實作中,該第一列印裝置及/或第二列印裝置作用於網版41、基板支座40或基板上的力量可基於偵測流過分別的線性馬達之電流而判定。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備經配置以藉由控制回收裝置20相對於該基板、基板支座40或網版41的距離(折斷)而調整回收裝置20作用於網版41上的壓力。作為範例,回收裝置20可在幾乎垂直於該基板、基板支座40或網版41的表面之方向中移動。
某些實施例中,回收裝置20作用於基板支座40、 基板及/或網版41上的力量可基於偵測流過該第一線性馬達的電流而判定。此舉可藉由電流偵測裝置(未顯示)而完成,該電流偵測裝置可耦合至該第一線性馬達或該第一線性馬達的控制器。為了處理資訊,處理裝置(未顯示)可被提供,該處理裝置可耦合至該電流偵測裝置。作為範例,該判定的力量可被用於反饋控制,例如以控制或調整基於該判定力量的回收參數。此舉可允許該回收參數的即時調整,造成改善的回收處理。該回收參數可包含至少以下一者:該基板與該回收裝置之間的距離、回收裝置20作用於網版41上的力量,及回收裝置20相對於基板、基板支座40或網版41(例如沿著移動方向42)的移動速度。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備為用於在基板上網印材料的設備。某些實作中,網版裝置提供於該設備及基板支座40或基板之間以允許該網印。該網版裝置可包含網版框架及由該網版框架持定的網版 41。依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施例,該網版裝置包含網版41,但不包含該網版框架。某些實施例中,該基板及/或基板支座40及網版41可相對於彼此移動。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,網版41可包含以下至少一者:網格(net)、列印遮罩、薄板、金屬薄板、塑膠薄板、板材、金屬板材,及塑膠板材。 某些實作中,網版41定義了圖案或特徵,該圖案或特徵對應至將被列印至該基板上之結構,其中該圖案或特徵可包含以下至少一者:孔洞、凹槽、切口或其他縫隙。某些實施例中,第一列印裝置30接觸網版41,其中第一列印裝置30及/或該第二列印裝置透過網版41促使材料列印至基板支座40上。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備包含於印刷頭(特別是網版印刷頭)中,或該設備為印刷頭,特別是網版印刷頭。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,一或更多個列印參數被調整,例如列印之前、期間及/或之後。該一或更多個列印參數可包含以下至少一者:該第一列印裝置及/或該第二列印裝置相對於基板支座40、基板或網版41的傾斜或角度、該設備相對於基板支座40、基板或網版41的移動速度、該第一列印裝置及/或該第二列印裝置相對於基板支座40、基板或網版41的距離,及該第一列印裝置及/或該第二列印裝置作用於基板支座40、基板或網版41上的壓力或力量。藉由在列印期間控制或調整該等參數的至少一者,不同的列印狀況(舉例而言不同的網版區域中)可被考慮或 考量,且因此,該等列印結構的均勻性可被改善。為了調整該第一列印裝置及/或該第二列印裝置相對於基板支座40、基板或網版41的距離,該等線性馬達可被使用。
依據在此描述的實施例之該基板可包含以下至少一 者:導電材料(特別是具有矽或鋁的導電材料)、板材、晶圓、箔(foil)、半導體晶圓、太陽能電池晶圓、矽太陽能電池晶圓、綠帶電路板(green-tape circuit board),該綠帶電路板可特別用來形成光電單元。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,提供了太陽能電池生產設備,包含一或更多個列印站,該等列印站的其中一者具有用於上述網印的設備。
圖2依據在此揭示之實施例繪示用於在基板上列印 材料的設備之透視圖。依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施例,該設備包含回收裝置20、第一列印裝置30及線性雙馬達50。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備包含第一調整裝置23,該第一調整裝置經配置以調整材料回收裝置20,特別是主要元件21,相對於基板支座40、基板或網版41之該表面的傾斜或角度。某些實作中,在回收運作之前或期間,若該傾斜或角度偏離零度,則該傾斜或角度可利用第一調整裝置23調整至大約零度,以為了將該回收運作最佳化,且特別是提供對於該網版、基板支座或基板表面的均勻回收。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備包含第二調整裝置33,該第二調整裝置經配置以用於調整第一列印裝置30(特別是列印元件31)相對於基板支座40、基板或網版41之該表面的該傾斜或角度。某些實作中,在列印運作之前或期間,若該傾斜或角度偏離零度,則該傾斜或角度可利用第二調整裝置33調整至大約零度,以為了將該列印運作最佳化,且特別是提供該基板表面上的均勻列印。
依據在此描述的實施例之設備,且特別是該線性雙 馬達,允許精確的馬達力量控制(例如±3N),此舉順次允許精細的列印壓力管制。進一步而言,馬達質量之減少可被達成(例如總共650g)。該線性雙馬達亦允許高度動態回應以跟隨列印需求。該設備的配置提供簡單的設定及維護。具體而言,一個調整裝置被提供以分別用於該列印裝置及該回收裝置的傾斜調整,該列印裝置及該回收裝置可被漿料保護。該回收裝置及/或該列印裝置的安裝位置可精確地重複,且該列印裝置(例如該刮漿板)及該回收裝置(例如該淹沒式條桿或葉片)可輕易地交換。換言之,具有線性馬達的該自動淹沒式條桿允許較佳的控制、自控設定及漿料回收。進一步而言,該設備較輕且安裝該刮漿板係簡單的,該刮漿板亦可包含側向側翼以容納漿料。
圖3依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印 材料的設備之透視圖。
在圖3顯示的範例中,回收裝置20包含主要元件 21及側翼元件22。具體而言,回收裝置20可包含兩個側翼 元件22,該等側翼元件舉例而言可提供於主要元件21的側向端點部分,如圖3中所顯示。某些實施例中,主要元件21可具有條桿形狀或為條桿,且可具有幾乎垂直於移動方向42的延伸部。某些實施例中,側翼元件22提供於條桿形狀之主要元件21的端點部分。從而,主要元件21及側翼元件22可形成U形,如圖3所顯示。側翼元件22防止多餘的列印材料43從回收裝置20側向洩漏。換言之,側翼元件22提供了所收集之多餘列印材料43的側向侷限。
如圖3中所顯示,依據某些實作,回收裝置20可包 含邊緣部分24。如以上所述,該設備包含該第一線性馬達,該第一線性馬達經配置以用於調整材料回收裝置20相對於該基板支座、基板表面或網版的距離,且特別是邊緣部分24相對於該基板支座、基板表面或網版的距離。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,該設備進一步包含第一列印裝置30。作為範例,第一列印裝置30可包含配置用於列印的刮漿板或為刮漿板。某些實作中,第一列印裝置30可包含配置用於列印的列印元件31及框架元件32。某些實施例中,列印元件31沿著移動方向42相對於該網版、基板支座或基板表面傾斜。
圖4依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印 材料的設備之第一列印裝置30的透視圖。
如圖4所顯示,第一列印裝置30可包含經配置用於 列印的列印元件31及持定列印元件31的框架元件32。列印元件31可為傾斜的。第一列印裝置30或刮漿板係輕的、精 確的,且易於更換的。第二調整裝置33被提供以用於調整第一列印裝置30的角度或傾斜,特別是相對於該基板支座、基板或網版的角度或傾斜。具體而言,第二調整裝置33提供了簡易且孩童安全的傾斜設定。
依據某些實施例,第一列印裝置30安裝至持定組件 34。作為範例,第一列印裝置30可藉由第一絞鏈35附接至持定組件34。某些實作中,第一絞鏈35可定義第一列印裝置30相對於持定組件34的旋轉軸。藉由將第一列印裝置30繞著該旋轉軸旋轉,例如藉由第二調整裝置33的手段,以上解釋的第一列印裝置30相對於該基板支座、基板或網版的傾斜或角度可被調整。某些實施例中,持定組件34可提供無摩擦且可重複的重量補償。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,持定組件34包含部分36,該部分36可包含輕重量的材料以減少持定組件34的質量。部分36可提供具有熱補償(thermal compensation)的低摩擦導件。具體而言,部分36可提供無摩擦且可重複的重量補償,且亦可提供音圈(voice coil)控制以為了平穩的運作及強制的冷卻(無空氣分散)。
圖5依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印 材料的設備之回收裝置20的透視圖。
圖5中所顯示的回收裝置20包含主要元件21及側 翼元件22,該主要元件可為條桿狀的。回收裝置20係輕的、精確的,且易於更換的。第一調整裝置23被提供以用於調整回收裝置20的角度或傾斜,特別是相對於該基板支座、基板 或網版的角度或傾斜。具體而言,第一調整裝置23提供了簡易且孩童安全的傾斜設定。
依據某些實施例,回收裝置20安裝至持定組件34。 作為範例,回收裝置20可藉由第二絞鏈25附接至持定組件34。某些實作中,第二絞鏈25可定義回收裝置20相對於持定組件34的旋轉軸。藉由將回收裝置20繞著該旋轉軸旋轉,例如藉由第一調整裝置23的手段,以上解釋的回收裝置20相對於該基板支座、基板或網版的傾斜或角度可被調整。回收裝置20係由線性馬達控制,該線性馬達允許高度效能及重複性。
依據可與其他在此描述之實施例結合的某些實施 例,持定組件34包含部分26,該部分26可包含輕重量的材料以減少持定組件34的質量。部分26可提供音圈(voice coil)控制以為了平穩的運作。
圖6依據在此揭示的實施例繪示用於在基板上列印 材料的設備之透視側視圖。
如圖6中所顯示,依據在此描述的實施例之該設備 可包含線性雙馬達50,該線性雙馬達具有第一線性馬達51及第二線性馬達52。
依據某些實施例,該線性雙馬達的第一線性馬達51 及第二線性馬達52具有至少一個共同元件。此舉允許減少該設備的整體重量,且因此減少例如可能包含該設備的印刷頭的整體重量。某些實作中,第一線性馬達51及第二線性馬達52可皆為線性力量由電流及磁場產生的馬達(例如勞侖茲類 型的馬達)。作為範例,第一線性馬達51及第二線性馬達52可具有至少一個產生或貢獻磁場的共同永久磁鐵。從而,該設備的重量可被減少。
圖7依據在此描述的實施例顯示在基板上列印材料 之方法70的流程圖。方法70可利用上述的該設備。依據某些實施例,該方法包含利用該第一線性馬達將該材料回收裝置相對於基板支座(例如經配置以支撐該基板的該基板支座的表面),或該基板的表面定位(方塊71)。某些實作中,該方法可進一步包含將第一列印裝置及該材料回收裝置相對於用於列印的該基板支座、該基板表面或網版而移動(方塊72)。
依據在此描述的實施例之該設備包含該材料回收裝 置及該第一線性馬達,該第一線性馬達經配置以用於調整該材料回收裝置相對於該基板支座或基板表面的距離。因此,該回收裝置可定位於該基板支座或該基板表面附近,且該回收裝置與該基板支座或該基板表面之間的距離可適度地調整以允許列印精細直線且將回收運作最佳化。具體而言,該線性馬達提供了快速且精確的回應。使用線性馬達可造成改善的處理重複性,此舉順次造成增加的產出率。進一步的有利效應係有關於減少的回收/列印運作之中斷、相較於使用氣動馬達的習知系統之較簡單的設定(此舉亦可導致產出率的增加)、增強的工具對工具匹配、漿料(paste)消耗的減少,及可能的該回收裝置之即時壓力及/或位置控制。後者允許了例如母線厚度的控制及/或剝落問題的控制。
雖然前述係針對本揭示的實施例,但本揭示的其他 及進一步的實施例可在不背離本揭示之基本範疇的情況下被設計,且本揭示的範疇係由以下的請求項所判定。
20‧‧‧材料回收裝置
21‧‧‧主要元件
22‧‧‧側翼元件
30‧‧‧第一列印裝置
31‧‧‧列印元件
32‧‧‧框架元件
40‧‧‧基板支座
41‧‧‧網版
42‧‧‧移動方向
43‧‧‧列印材料

Claims (20)

  1. 一種用於在一基板上列印一材料的設備,該設備包括一材料回收裝置(20)及一第一線性馬達(51),該第一線性馬達(51)經配置以調整該材料回收裝置(20)相對於一基板支座(40)的一距離。
  2. 如請求項1所述之設備,進一步包含一第一列印裝置(30),該第一列印裝置(30)經配置以用於在該基板上列印該材料。
  3. 如請求項2所述之設備,其中該第一列印裝置(30)為一刮漿板(squeegee),該刮漿板經配置以用於在該基板上列印該材料。
  4. 如請求項2所述之設備,該設備進一步包含連接至該第一列印裝置(30)的一第二線性馬達(52),其中該第二線性馬達(52)經配置以用於調整以下至少一者:該第一列印裝置(30)相對於該基板支座(40)的一位置以及該第一列印裝置(30)作用於該基板支座(40)上的一力量。
  5. 如請求項4所述之設備,其中該第一線性馬達(51)及該第二線性馬達(52)係配置為一線性雙馬達(50)。
  6. 如請求項1所述之設備,該設備進一步包含一第一調整 裝置(23),該第一調整裝置(23)經配置以用於調整該材料回收裝置(20)相對於該基板支座(40)的一傾斜。
  7. 如請求項2所述之設備,該設備進一步包含一第二調整裝置(33),該第二調整裝置(33)經配置以用於調整該第一列印裝置(30)相對於該基板支座(40)的一傾斜。
  8. 如請求項1所述之設備,其中該第一線性馬達(51)為一步進馬達。
  9. 如請求項4所述之設備,其中該第二線性馬達(52)為一步進馬達。
  10. 如請求項1所述之設備,該設備進一步包含一第二列印裝置,該第二列印裝置連接至該第一線性馬達(51)。
  11. 如請求項10所述之設備,其中該第一線性馬達(51)經配置以用於調整以下至少一者:該第二列印裝置相對於該基板支座(40)的一位置以及該第二列印裝置作用於該基板支座(40)上的一力量。
  12. 如請求項1所述之設備,該設備進一步包含一電流偵測裝置,該電流偵測裝置經配置以用於偵測流過該第一線性馬達(51)的一電流。
  13. 如請求項4所述之設備,該設備進一步包含一電流偵測裝置,該電流偵測裝置經配置以用於偵測流過該第二線性馬達(52)的一電流。
  14. 如請求項13所述之設備,該設備進一步包含一處理裝置,該處理裝置經配置以基於流過該第二線性馬達(52)之所偵測到的該電流而判定該第一列印裝置(30)作用於該基板支座(40)上的一力量。
  15. 如請求項12所述之設備,該設備進一步包含一處理裝置,該處理裝置經配置以基於流過該第一線性馬達(51)之所偵測到的該電流而判定該第二列印裝置作用於該基板支座(40)上的一力量。
  16. 一種用於在一基板上列印一材料的設備,該設備包括一材料回收裝置(20)及一第一線性馬達(51),該第一線性馬達(51)經配置以調整該材料回收裝置(20)相對於一基板支座(40)的一距離,其中該第一線性馬達(51)經配置以用於調整以下至少一者:一第二列印裝置相對於該基板支座(40)的一位置以及該第二列印裝置作用於該基板支座(40)上的一力量,該設備進一步包含一第一列印裝置(30),該第一列印裝置(30)經配置以用於在該基板上列印該材料,其中該第一列印裝置(30)為一刮漿板(squeegee), 該設備進一步包含連接至該第一列印裝置(30)的一第二線性馬達(52),且該第二線性馬達(52)經配置以用於調整以下至少一者:該第一列印裝置(30)相對於該基板支座(40)的一位置以及該第一列印裝置(30)作用於該基板支座(40)上的一力量,其中該第一線性馬達(51)及該第二線性馬達(52)係配置為一線性雙馬達(50),該設備進一步包含一第一調整裝置(23),該第一調整裝置(23)經配置以用於調整該材料回收裝置(20)相對於該基板支座(40)的一傾斜,及該設備進一步包含一電流偵測裝置,該電流偵測裝置經配置以用於偵測以下至少一者:流過該第一線性馬達(51)的一電流及流過該第二線性馬達(52)的一電流。
  17. 如請求項1至16其中一者所述之設備,其中該設備為一網版(41)印刷頭。
  18. 一種太陽能電池生產設備,該太陽能電池生產設備包括:一或更多個列印站,該等列印站的至少一者具有依據請求項1至16其中一者的一設備。
  19. 一種用於在一基板上列印一材料的方法(70),該方法包括以下步驟:利用一第一線性馬達(51)將一材料回收裝置(20)相對於一基板支座(40)定位。
  20. 如請求項19所述之方法(70),該方法進一步包含以下步驟:將該第一列印裝置(30)及該材料回收裝置(20)相對於該基板支座(40)移動以用於列印及回收多餘材料。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106335272B (zh) * 2016-11-01 2018-01-12 西安电子科技大学 一种太阳能电池丝网印刷网版装置及其安装方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61270159A (ja) * 1985-05-24 1986-11-29 Tokai Shoji Kk スクリ−ン印刷機におけるスキ−ジスイング装置
JPH10109401A (ja) * 1996-10-07 1998-04-28 Sakurai Graphic Syst:Kk スクリーン式印刷装置
JP2000263752A (ja) * 1999-01-11 2000-09-26 Micro Tekku Kk スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法
JP2005324515A (ja) * 2004-05-17 2005-11-24 Murata Mfg Co Ltd スクリーン印刷機及び該印刷機を用いたスクリーン印刷方法
US7337717B2 (en) * 2006-05-26 2008-03-04 Atma Champ Enterprise Corporation Ink residue lifting and transfer mechanism for screen printing machine
US20080163770A1 (en) * 2006-12-28 2008-07-10 Bien Trong Bui Image printing apparatus for small areas
US20120216691A1 (en) * 2009-09-03 2012-08-30 Applied Materials, Inc. Blade for silk-screen printing on a print support
TW201129479A (en) * 2009-09-03 2011-09-01 Applied Materials Inc Blade device for silk-screen printing on a substrate or a print support and relative printing method
CN101823360B (zh) * 2010-02-26 2012-07-25 中国电子科技集团公司第四十五研究所 电池片印刷机印刷压力控制装置
JP6114922B2 (ja) * 2013-12-27 2017-04-19 パナソニックIpマネジメント株式会社 スクリーン印刷機

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