CN107923385B - 鼓风机 - Google Patents

鼓风机 Download PDF

Info

Publication number
CN107923385B
CN107923385B CN201680049391.3A CN201680049391A CN107923385B CN 107923385 B CN107923385 B CN 107923385B CN 201680049391 A CN201680049391 A CN 201680049391A CN 107923385 B CN107923385 B CN 107923385B
Authority
CN
China
Prior art keywords
hole
nozzle
outer case
central axis
pump chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201680049391.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107923385A (zh
Inventor
田中伸拓
近藤大辅
和田宽昭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of CN107923385A publication Critical patent/CN107923385A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107923385B publication Critical patent/CN107923385B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B45/00Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
    • F04B45/04Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B45/047Pumps having electric drive
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04Pumps having electric drive
    • F04B43/043Micropumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B45/00Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
    • F04B45/04Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

本发明提供一种鼓风机。压电鼓风机(100)具备阀部(12)、泵部(13)、控制部(14)以及外壳体(17)。阀部(12)具有多个排出孔(41)和多个膜孔(42)。泵部(13)具有多个连通孔(43)和吸引孔(93)、(96)。外壳体(17)与阀部(12)和泵部(13)空开间隔地包覆阀部(12)和泵部(13)。由此,外壳体(17)在与阀部(12)和泵部(13)之间构成通气路径(91、92)。流入孔(124)与通气路径(91)连通。排出孔(24)与通气路径(92)连通。而且,流入孔(124)和排出孔(24)中至少一者相对于泵室(45)的中心轴线(C)错开。多个排出孔(41)、多个膜孔(42)、多个连通孔(43)以及吸引孔(93、96)相对于泵室(45)的中心轴线(C)对称设置。

Description

鼓风机
技术领域
本发明涉及实施对气体的输送的鼓风机。
背景技术
以往,输送空气等气体的鼓风机被广泛使用。例如专利文献1公开了一种微型压电鼓风机。
图20是专利文献1的微型压电鼓风机A的剖视图。微型压电鼓风机A具备振动板921、压电元件920、泵壳体910以及外壳体950。振动板921和压电元件920构成促动器902。
压电元件920被施加交流电压而形成伸缩,使振动板921振动。泵壳体910通过与振动板921连接而构成泵室903。外壳体950与壳体910空开间隔地包覆泵壳体910。
泵壳体910具有使泵室903的内部和外部连通的通气孔911,该通气孔911相对于泵室903的中心轴线C对称。外壳体950在外壳体950与泵壳体910之间构成与通气孔911连通的通气路径906。外壳体950具有与通气路径906连通的流入孔951和排出孔953。
通气路径906相对于中心轴线C线对称。因此,从中心轴线C至通气路径906的左端(外壳体950的左侧的内壁面)这段距离等于从中心轴线C至通气路径906的右端(外壳体950的右侧的内壁面)这段距离。
在以上结构中,微型压电鼓风机A例如有时会以高于人耳能感受频率的频率驱动促动器902,以免用户听到令人不舒服的振动音。
专利文献1:日本特开2013-50108号公报
然而,在专利文献1的微型压电鼓风机A中,在促动器902以较高的频率做出了驱动时,从通气孔911向通气路径906输出较高频率的压力波。从通气孔911输出的压力波在通气路径906内传播,在外壳体950的内壁面形成反射。在频率较高的情况下,压力波的波长较短,在通气路径906内产生压力波的波腹。随着频率提高,在通气路径906内波腹的数量增加。而且,通气路径906相对于中心轴线C线对称。
因此,在通气路径906的左端形成了反射的压力波与在通气路径906的右端形成了反射的压力波在通气路径906内的多处相互加强。由此,在通气路径906内产生较大的压力振幅。即,在通气路径906内损失较多的能量。
因此,上述专利文献1的微型压电鼓风机A存在泵特性(例如排出压力、排出流量)降低的问题。
发明内容
因此,本发明的目的在于提供能够抑制泵特性降低的鼓风机。
本发明的鼓风机具备泵部和外壳体。泵部具备振动体、使振动体振动的驱动体以及通过与振动体连接而构成泵室的泵壳体。外壳体与泵部空开间隔地包覆泵部。
而且,泵部具有使泵室的内部和外部连通的通气孔,该通气孔相对于泵室的中心轴线对称。外壳体在与泵部之间构成与通气孔连通的通气路径,并且具有与通气路径连通的流入孔和排出孔。流入孔和排出孔中至少一者相对于泵室的中心轴线错开。
在该结构中,在驱动体以规定频率做出了驱动时,压力波从通气孔向通气路径输出。从通气孔输出的压力波沿通气路径传播,在通气路径的两端(外壳体的内壁面)形成反射。这里,在频率较高的情况下,压力波的波长较短,在通气路径内产生压力波的波腹。规定频率是在通气路径内产生压力波的波腹的频率(例如10kHz以上)。
但是,在该结构中,在通气路径的一端形成了反射的压力波多数从流入孔和排出孔中至少一者向外壳体的外部流出。因此,例如在通气路径的左端形成了反射的压力波与在通气路径的右端形成了反射的压力波在通气路径内不太会相互加强。由此,不会在通气路径内产生较大的压力振幅。即,不会在通气路径内损失较多的能量。
因此,该结构的鼓风机能够抑制泵特性(例如排出压力、排出流量)降低。
另外,在本发明的鼓风机中优选为,流入孔和排出孔这两者相对于泵室的中心轴线错开。
在该结构中,在通气路径的一端形成了反射的压力波多数从流入孔和排出孔向外壳体的外部流出。因此,例如,在通气路径的左端形成了反射的压力波与在通气路径的右端形成了反射的压力波在通气路径内不太会相互加强。由此,不会在通气路径内产生较大的压力振幅。即,不会在通气路径内损失较多的能量。
因此,该结构的鼓风机能够抑制泵特性(例如排出压力、排出流量)降低。
另外,本发明的鼓风机具备泵部和外壳体。泵部具有振动体、使振动体振动的驱动体以及通过与振动体连接而构成泵室的泵壳体。外壳体与泵部空开间隔地包覆泵部。
而且,泵部具有使泵室的内部和外部连通的通气孔。外壳体在与泵部之间构成与通气孔连通的通气路径,并且,具有与通气路径连通的流入孔和排出孔。从中心轴线至通气路径的第一端这段距离与从中心轴线至通气路径的第二端这段距离不同。
在该结构中,在通气路径的第一端形成了反射的压力波的相位与在通气路径的第二端形成了反射的压力波的相位错开。因此,在通气路径的第一端形成了反射的压力波与在通气路径的第二端形成了反射的压力波在通气路径内不太会相互加强。由此,在通气路径内不会产生较大的压力振幅。即,在通气路径内不会损失较多的能量。
因此,该结构的鼓风机能够抑制泵特性(例如排出压力、排出流量)降低。
另外,在本发明的鼓风机中优选为,泵室和阀室具有相同的中心轴线。并且,在本发明的鼓风机中优选为,泵室相对于中心轴线呈线对称。
在该结构中,在驱动体以较高的频率做出了驱动时,在泵室产生压力波。在泵室产生的压力波在泵室内传播,在泵室的两端(泵壳体的内侧表面)形成反射。在该结构中,例如在泵室的左端形成了反射的压力波的相位与在泵室的右端形成了反射的压力波的相位一致。因此,例如在泵室的左端形成了反射的压力波与在泵室的右端形成了反射的压力波相互加强。由此,从通气孔输出较大的压力波。
因此,该结构的鼓风机能够提高泵特性。
另外,在本发明的鼓风机中优选为,流入孔和排出孔中至少一者设置于外壳体的侧表面。
在该结构中,唯有在通气路径的端部中的流入孔和流出孔的某个部分形成了反射的压力波的相位反转,成为与在其它端部形成了反射的压力波相反的相位,故,在通气路径内,压力波相互抵消。由此,在通气路径内不会产生较大的压力振幅。即,在通气路径内,不会损失较多的能量。
因此,该结构的鼓风机能够抑制泵特性(例如排出压力、排出流量)降低。
在该结构中,在将管安装于流入孔和排出孔中至少一者的情况下,管安装于外壳体的侧表面。因此,该结构的鼓风机能够实现低矮化。
另外,在本发明的鼓风机中优选为,流入孔和排出孔这两者设置于外壳体的侧表面。
在该结构中,在将管安装于流入孔和排出孔的情况下,管安装于外壳体的侧表面。因此,该结构的鼓风机能够实现低矮化。
另外,在本发明的鼓风机中优选为,外壳体具有包围流入孔的四周的第一管嘴和包围排出孔的四周的第二管嘴,第一管嘴和第二管嘴中任一者设置于与泵室的中心轴线正交的直线轴线上。
在该结构中,在向第一管嘴和第二管嘴中设置于与泵室的中心轴线正交的直线轴线上的管嘴拆装管时,不会因拆装而产生力矩,故而外壳体不会旋转。因此,该结构的鼓风机能够容易地实施管的拆装。
另外,在本发明的鼓风机中优选为,外壳体具有包围流入孔的四周的第一管嘴和包围排出孔的四周的第二管嘴,第一管嘴和第二管嘴设置于相互对置的位置。
在该结构中,在将两根管相对于第一管嘴和第二管嘴同时拆装时,因拆装而产生的力相互抵消,外壳体不会错位。因此,该结构的鼓风机能够容易地实施管的拆装。
另外,在本发明的鼓风机中优选为,外壳体具有包围流入孔的四周的第一管嘴和包围排出孔的四周的第二管嘴,第一管嘴的中心轴线与第二管嘴的中心轴线所成的夹角为90度以下。
该构成的鼓风机设置于两个壁部相交的角落,在两根管安装于第一管嘴和第二管嘴时,外壳体由壁部支承。壁部例如是供该结构的鼓风机安装的电子设备的壳体的一部分。因此,该结构的鼓风机能够容易地实施管的安装。
本发明能够抑制泵特性降低。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式的压电鼓风机100的外观立体图。
图2是图1所示的压电鼓风机100的S-S线处的剖视图。
图3是图2所示的阀部12和泵部13的分解立体图。
图4是图2所示的外壳体17的分解立体图。
图5是以鼓风机主体的一阶振动模式的频率使图1所示的压电鼓风机100共振驱动时的压电鼓风机100的S-S线处的剖视图。
图6是以鼓风机主体的一阶振动模式的频率使图1所示的压电鼓风机100共振驱动时的压电鼓风机100的S-S线处的剖视图。
图7是本发明的第二实施方式的压电鼓风机200的剖视图。
图8是本发明的第三实施方式的压电鼓风机300的外观立体图。
图9是图8所示的压电鼓风机300的T-T线处的剖视图。
图10是本发明的第四实施方式的压电鼓风机400的俯视图。
图11是本发明的第五实施方式的压电鼓风机500的俯视图。
图12是本发明的第六实施方式的压电鼓风机600的俯视图。
图13是本发明的第七实施方式的压电鼓风机700的剖视图。
图14是图13所示的泵部213的分解立体图。
图15是图2所示的振动板36的变形例的振动板336的俯视图。
图16是图2所示的振动板36的变形例的振动板436的俯视图。
图17是图2所示的振动板36的变形例的振动板536的俯视图。
图18是图2所示的振动板36的变形例的振动板636的俯视图。
图19是本发明的第八实施方式的压电鼓风机800的剖视图。
图20是专利文献1的微型压电鼓风机的剖视图。
具体实施方式
《本发明的第一实施方式》
以下,对本发明的第一实施方式的压电鼓风机100进行说明。
图1是本发明的第一实施方式的压电鼓风机100的外观立体图。图2是图1所示的压电鼓风机100的S-S线处的剖视图。图3是图2所示的阀部12和泵部13的分解立体图。图4是图2所示的外壳体17的分解立体图。此外,在图4中,省略管嘴18、118的图示。
如图1、图2所示,压电鼓风机100具备阀部12、泵部13、控制部14以及外壳体17。压电鼓风机100实施对空气等气体的输送。
阀部12和泵部13在相互层叠起来的状态下粘合。如图2、图3所示,阀部12配置于压电鼓风机100的上表面侧。如图2、图3所示,泵部13配置于压电鼓风机100的底面侧。
如图2、图4所示,外壳体17具有顶板80、侧板81、底板82、管嘴18、排出孔24、管嘴118、流入孔124以及载置部181。外壳体17是圆筒形状。外壳体17例如由树脂构成。在管嘴18、118分别安装未图示的管。
顶板80是圆板形状。底板82是圆板形状。侧板81是圆环形状。侧板81具有从侧板81的内周面向泵室45的中心轴线C突出的载置部181。载置部181是圆环形状。在载置部181上载置阀部12和泵部13,阀部12的周缘粘合于载置部181。在管嘴18的内侧,设置有供气体流出的排出孔24。在管嘴118的内侧设置有供气体流入流入孔124。
外壳体17与阀部12和泵部13空开间隔地包覆阀部12和泵部13。由此,外壳体17与阀部12之间构成通气路径92,外壳体17与泵部13之间构成通气路径91。通气路径91相对于中心轴线C线对称。因此,从中心轴线C至通气路径91的左端91A(外壳体17的左侧的内壁面)这段距离等于从中心轴线C至通气路径91的右端91B(外壳体17的右侧的内壁面)这段距离。
另外,通气路径92相对于中心轴线C线对称。因此,从中心轴线C至通气路径92的左端92A(外壳体17的左侧的内壁面)这段距离等于从中心轴线C至通气路径92的右端92B(外壳体17的右侧的内壁面)这段距离。另外,流入孔124与通气路径91连通。排出孔24与通气路径92连通。而且,流入孔124和排出孔24这两者相对于泵室45的中心轴线C错开。
此外,阀部12和泵部13构成本发明的“泵部”的一例。上板23和侧壁板31构成本发明的“泵壳体”的一例。通气路径91、92分别相当于本发明的“通气路径”的一例。
泵部13是使用了振动板36(隔膜)的隔膜泵(Diaphragm Pump)的一种。如图2、图3所示,泵部13是在内部设置有泵室45的圆筒容器状。泵室45相对于中心轴线C线对称。泵室45是圆柱状。
泵部13具备上板23、侧壁板31、振动板36以及压电元件33。上板23、侧壁板31、振动板36以及压电元件33在层叠起来的状态下相互粘合。上板23、侧壁板31以及振动板36通过相互连接而构成泵室45。上板23、侧壁板31以及振动板36由金属构成。上板23、侧壁板31以及振动板36例如由不锈钢构成。
上板23是圆板状。在上板23的中央设置有以规定排列方式排列的多个连通孔43。在上板23的底面粘合侧壁板31的上表面。
侧壁板31是圆环状。在侧壁板31的中央以规定的开口直径设置有泵室45。侧壁板31和振动板36的外周直径相互一致。侧壁板31和振动板36的外周直径设定得比阀部12的外周直径小一定尺寸。在侧壁板31的底面粘合振动板36的上表面。振动板36是圆板状。振动板36在中心具有吸引孔96。
压电元件33是圆板状。压电元件33的直径小于振动板36的直径。压电元件33在中心具有吸引孔93。压电元件33的上表面粘合于振动板36的底面。压电元件33例如由锆钛酸铅系陶瓷构成。
在压电元件33的两主面形成有未图示的电极,压电元件33被从控制部14经由该电极施加驱动电压。压电元件33具有根据所施加的驱动电压沿面方向伸缩的压电性。
因此,当对压电元件33施加驱动电压时,压电元件33沿面方向伸缩。压电元件33的伸缩使得振动板36呈同心圆状地弯曲振动。这样,压电元件33和振动板36构成压电促动器37,一体地振动。
此外,振动板36相当于本发明的“振动体”的一例。压电元件33相当于本发明的“驱动体”的一例。
阀部12具有将气体的流动设定为单向的功能。阀部12是在内部设置有阀室40的圆筒容器状。阀部12是圆柱状。如图2、图3所示,阀部12具备盖板21、侧壁板22以及膜20。
盖板21和侧壁板22由金属构成。盖板21和侧壁板22例如由不锈钢(SUS)构成。膜20由树脂构成。膜20例如由半透明的聚酰亚胺构成。
盖板21配置于阀部12的上表面侧。侧壁板22配置于盖板21和上板23之间。上板23配置于阀部12的底面。盖板21、侧壁板22以及上板23在层叠起来的状态下相互粘合。膜20收纳于阀部12的内部空间即阀室40。
盖板21是圆板状。侧壁板22是圆环状。盖板21、侧壁板22以及上板23的外周直径相互一致。
阀室40以规定的开口直径设置于侧壁板22的中央。膜20是大致圆板状。膜20被设定为厚度小于侧壁板22的厚度。
例如在本实施方式中,侧壁板22的厚度(阀室40的高度)被设定为40μm以上50μm以下,膜20的厚度被设定为5μm以上10μm以下。另外,膜20被设定为极轻的质量,以便能够借助来自泵部13的排出风在阀室40的内部上下自由运动。
膜20的外周直径几乎与侧壁板22中的阀室40的开口直径一致。膜20的外周直径被设定得略小,以便空出若干缝隙。而且,在膜20的外周的局部设置有突起部25(参见图3)。
另外,在侧壁板22的内周的局部设置有缺口部26,该缺口部26供突起部25在空出微小的缝隙的状态下嵌入(参见图3)。因此,膜20在阀室40的内部被保持得不能旋转但能够上下自由运动。
在盖板21的中央设置有以规定排列方式排列的多个排出孔41。另外,在上板23的中央设置有以规定排列方式排列的多个连通孔43。另外,在膜20的中央设置有以规定排列方式排列的多个膜孔42。因此,阀室40经由排出孔41与通气路径92连通,并且经由连通孔43与泵室45连通。
这里,多个排出孔41和多个连通孔43设置为互不对置。并且,多个膜孔42和多个排出孔41设置为相互对置。多个膜孔42和多个连通孔43设置为互不对置。
另外,多个排出孔41、多个膜孔42、多个连通孔43以及吸引孔93、96相对于泵室45的中心轴线C对称设置。
此外,多个排出孔41、多个膜孔42、多个连通孔43以及吸引孔93、96分别相当于本发明的“通气孔”的一例。
接下来,如图2所示,控制部14例如由微型计算机构成。控制部14例如将压电元件33的驱动频率调整为泵室45的共振频率。泵室45的共振频率,是使在泵室45的中心部产生的压力振动与该压力振动传播到泵室45的外周部侧经反射并再次到达泵室45的中心部的压力振动形成共振的频率。
此外,在压电鼓风机100中,在压电促动器37以较高的频率做出了驱动时,在泵室45产生压力波。在泵室45产生的压力波在泵室45内传播,在泵室45的两侧表面(侧壁板31的内表面)形成反射。在压电鼓风机100中,在泵室45的左侧表面形成了反射的压力波的相位与在泵室45的右侧表面形成了反射的压力波的相位一致。
因此,在泵室45的左侧表面形成了反射的压力波与在泵室45的右侧表面形成了反射的压力波相互加强。由此,从排出孔41、吸引孔93、96输出较大的压力波。因此,压电鼓风机100能够提高泵特性。
接下来,对空气在泵部13驱动期间的流动进行说明。
图5、图6是以鼓风机主体的一阶振动模式的频率使图1所示的压电鼓风机100共振驱动时的压电鼓风机100的S-S线处的剖视图。图5是增大了泵室的体积时的图。图6是减少了泵室的体积时的图。这里,图5、图6中的箭头表示空气的流动。
在图2所示的状态下,当控制部14将交流的驱动电压施加于压电元件33的两个主面的电极时,压电元件33伸缩,使振动板36呈同心圆状地弯曲振动。进而,振动板36的振动传递到上板23,上板23与振动板36的弯曲振动相对应,也呈同心圆状地弯曲振动。由此,如图5、图6所示,压电促动器37弯曲变形,泵室45的体积周期性变化。
如图5所示,在振动板36向与泵室45相反侧形成了弯曲时,泵室45的压力减小,在阀室40中,膜20向上板23侧靠近,而与上板23接触。由此,连通孔43封闭,阻止空气从阀室40向连通孔43流动。而且,向泵室45经由吸引孔93、96吸入外部的空气。
另外,如图6所示,在振动板36向泵室45侧形成了弯曲时,泵室45的压力增加,从连通孔43向阀室40产生排出风。该排出风使得膜20被向盖板21侧按压而与盖板21接触。
由此,连通孔43打开,故而空气从连通孔43向阀室40流动。而且,阀室40的空气从阀部12的排出孔41向通气路径92排出。向通气路径92排出了的空气从排出孔24向外壳体17的外部排出。进而,泵室45的空气从吸引孔93、96向通气路径91排出。
此外,如前所述,上板23与振动板36的弯曲振动相对应,也弯曲振动。因此,在阀室40中,在膜20靠近底面侧时,膜20的移动距离和移动时间缩短。由此,膜20能够追随空气压的变动,阀部12的响应性高。
在以上结构中,在压电促动器37以规定频率做出了驱动时,压力波从排出孔41向通气路径92输出。从排出孔41输出了的压力波在通气路径92内传播,在外壳体17的内壁面反射。
同样地,在压电促动器37以规定频率做出了驱动时,压力波从吸引孔93、96向通气路径91输出。从吸引孔93、96输出了的压力波在通气路径91内传播,在外壳体17的内壁面反射。这里,规定频率是在通气路径91、92内由压力波的波腹产生的频率(例如10kHz以上)。在频率较高的情况下,压力波的波长较短,在通气路径91、92内产生压力波的波腹。
但是,在压电鼓风机100中,流入孔124和排出孔24这两者相对于泵室45的中心轴线C错开。因此,在通气路径92的右端92B形成了反射的压力波多数从排出孔24向外壳体17的外部流出。因此,在通气路径92的左端92A形成了反射的压力波和在通气路径92的右端92B形成了反射的压力波在通气路径92内不太会相互加强。由此,在通气路径92内不会产生较大的压力振幅。即,在通气路径92内不会损失较多的能量。
同样地,在压电鼓风机100中,在通气路径91的右端91B形成了反射的压力波多数从流入孔124向外壳体17的外部流出。因此,在通气路径91的左端91A形成了反射的压力波与在通气路径91的右端91B形成了反射的压力波在通气路径91内不太会相互加强。由此,在通气路径91内不会产生较大的压力振幅。即,在通气路径91内不会损失较多的能量。
因此,压电鼓风机100能够抑制泵特性(例如排出压力、排出流量)降低。
此外,在压电鼓风机100中,流入孔124和排出孔24这两者相对于泵室45的中心轴线C错开,但并不局限于此。例如,也可以是流入孔124和排出孔24中的任一者相对于泵室45的中心轴线C错开。
接下来,对本发明的第二实施方式的压电鼓风机200进行说明。
图7是本发明的第二实施方式的压电鼓风机200的剖视图。
压电鼓风机200与第一实施方式的压电鼓风机100的不同点在于外壳体217的形状。外壳体217与压电鼓风机100的外壳体17的不同点在于,排出孔24的位置和流入孔124的位置以及具备突起部285、286。其它结构都相同,省略说明。
外壳体217与阀部12和泵部13空开间隔地包覆阀部12和泵部13。由此,外壳体217与阀部12之间构成通气路径292,与泵部13之间构成通气路径291。从中心轴线C至通气路径291的左端291A(外壳体217的左侧的内壁面)这段距离与从中心轴线C至通气路径291的右端291B(外壳体217的右侧的内壁面)这段距离不同。此外,左端291A相当于本发明的“第一端”的一例。右端291B相当于本发明的“第二端”的一例。
另外,从中心轴线C至通气路径292的左端292A(外壳体217的左侧的内壁面)这段距离与从中心轴线C至通气路径292的右端292B(外壳体217的右侧的内壁面)这段距离不同。另外,流入孔124与通气路径291连通。排出孔24与通气路径292连通。而且,流入孔124和排出孔24这两者设置于泵室45的中心轴线C上。此外,左端292A相当于本发明的“第一端”的一例。右端292B相当于本发明的“第二端”的一例。
在压电鼓风机200中,在通气路径292的左端292A形成了反射的压力波的相位与在通气路径292的右端292B形成了反射的压力波的相位错开。因此,在通气路径292的左端292A形成了反射的压力波与在通气路径292的右端292B形成了反射的压力波在通气路径292内不太会相互加强。由此,在通气路径292内不会产生较大的压力振幅。即,在通气路径292内不会损失较多的能量。
同样地,在压电鼓风机200中,在通气路径291的左端291A形成了反射的压力波的相位与在通气路径291的右端291B形成了反射的压力波的相位错开。因此,在通气路径291的左端291A形成了反射的压力波与在通气路径291的右端291B形成了反射的压力波在通气路径292内不太会相互加强。由此,在通气路径291内不会产生较大的压力振幅。即,在通气路径291内不会损失较多的能量。
因此,压电鼓风机200能够防止泵特性(例如排出压力、排出流量)降低。
此外,压电鼓风机200具备突起部285和突起部286这两者,但并不局限于此。例如,压电鼓风机200也可以只具备突起部285和突起部286中的任一者。
另外,在压电鼓风机200中,流入孔124和排出孔24设置于外壳体217的底面和上表面,但并不局限于此。也可以像后述的图8、图9所示的压电鼓风机300那样,流入孔124和排出孔24中至少一者设置于外壳体217的侧表面。
接下来,对本发明的第三实施方式的压电鼓风机300进行说明。
图8是本发明的第三实施方式的压电鼓风机300的外观立体图。图9是图8所示的压电鼓风机300的T-T线处的剖视图。
压电鼓风机300与第一实施方式的压电鼓风机100的不同点在于管嘴18、118这两者(即流入孔124和排出孔24这两者)设置于外壳体317的侧表面。其它结构都相同,省略说明。
在外壳体317,侧板381具有流入孔124和排出孔24这两者。顶板380和底板382不具有流入孔124和排出孔24这两者。因此,在压电鼓风机300,在将管向流入孔124和排出孔24安装时,将管安装于外壳体317的侧表面。因此,压电鼓风机300能够实现低矮化。
另外,管嘴118和管嘴18设置于与泵室45的中心轴线C正交的T-T直线轴线上。因此,在压电鼓风机300中,在将管相对于管嘴118或者管嘴18拆装时,不会因拆装而产生力矩,故而外壳体317不会旋转。因此,压电鼓风机300能够容易地实施管的拆装。
另外,在压电鼓风机300中,排出孔24和流入孔124这两者设置于外壳体317的侧表面。由于在通气路径92的左端92A有排出孔24,故而在通气路径92的左端92A、即排出孔24的外端形成了反射的压力波的相位反转。因此,在通气路径92的右端92B形成了反射的压力波与在左端92A形成了反射的压力波成为相反相位,相互抵消。由此,通气路径92内的压力振幅小于压电鼓风机100。即,通气路径92内的能量损耗小于压电鼓风机100。
同样地,在通气路径91的右端91B有流入孔124,故而在通气路径91的右端91B、即流入孔124的外端形成了反射的压力波的相位反转。因此,在通气路径91的左端91A形成了反射的压力波和在右端91B形成了反射的压力波成为相反相位,相互抵消,由此,通气路径91内的压力振幅小于压电鼓风机100。即,通气路径91内的能量损耗小于压电鼓风机100。
因此,压电鼓风机300能够与压电鼓风机100同等程度地或者比压电鼓风机100更能抑制泵特性(例如排出压力、排出流量)降低。
此外,在压电鼓风机300中,流入孔124和排出孔24这两者设置于外壳体317的侧表面,但并不局限于此。也可以是流入孔124和排出孔24中至少一者设置于外壳体317的侧表面。
接下来,对本发明的第四实施方式的压电鼓风机400进行说明。
图10是本发明的第四实施方式的压电鼓风机400的俯视图。
压电鼓风机400与第一实施方式的压电鼓风机100的不同点在于管嘴18、118的位置(即流入孔124和排出孔24的位置)和外壳体417的形状。外壳体417的形状是长方体。其它结构都相同,省略说明。
在压电鼓风机400中,管嘴118和管嘴18设置于相互对置的位置。因此,在压电鼓风机400中,在将两根管同时相对于管嘴118和管嘴18拆装时,因拆装而产生的力相互抵消,外壳体417不会错开。因此,压电鼓风机400能够进一步容易地实施管的拆装。
接下来,对本发明的第五实施方式的压电鼓风机500进行说明。
图11是本发明的第五实施方式的压电鼓风机500的俯视图。
压电鼓风机500与第一实施方式的压电鼓风机100的不同点在于管嘴18、118的位置(即流入孔124和排出孔24的位置)。两个壁部527例如是供压电鼓风机500安装的电子设备所具备的壳体的一部分。其它结构都相同,省略说明。
在压电鼓风机500中,管嘴118的中心轴线P1与管嘴18的中心轴线P2所成的夹角是90度。因此,在将压电鼓风机500设置于两个壁部527相交的角落,将管向管嘴118或者管嘴18安装时,外壳体517受两个壁部527支承。因此,压电鼓风机500能够进一步容易地实施管的安装。
接下来,对本发明的第六实施方式的压电鼓风机600进行说明。
图12是本发明的第六实施方式的压电鼓风机600的俯视图。
压电鼓风机600与第一实施方式的压电鼓风机100的不同点在于管嘴18、118的位置(即流入孔124和排出孔24的位置)。其它结构都相同,省略说明。
在压电鼓风机600中,管嘴118的中心轴线P1与管嘴18的中心轴线P2所成的夹角是90度以下。因此,在将压电鼓风机600设置于两个壁部527相交的角落,将管向管嘴118或者管嘴18安装时,外壳体617受两个壁部527支承。因此,压电鼓风机600能够进一步容易地实施管的安装。
接下来,对本发明的第七实施方式的压电鼓风机700进行说明。
图13是本发明的第七实施方式的压电鼓风机700的剖视图。图14是图13所示的泵部213的分解立体图。
压电鼓风机700与第一实施方式的压电鼓风机100的不同点在于振动板236和压电元件233。其它结构都相同,省略说明。
振动板236具备框部234、多个连结部235以及振动部238。框部234是圆环状。振动部238是圆板状,以与框部234之间空开缝隙的状态配置。多个连结部235设置于框部234与振动部238之间,连结振动部238与框部234。
因此,振动部238经由连结部235被带空孔地支承,能够在厚度方向上上下自由运动。框部234与振动部238之间的缝隙部分设置为8个吸引孔296。8个吸引孔296相对于泵室45的中心轴线C对称设置。
压电元件233与压电元件33的不同点在于不具有吸引孔93。压电元件233是圆板状。压电元件233的上表面粘合于振动部238的下表面。
在以上结构中,当向压电元件233施加驱动电压时,压电元件233沿面方向伸缩,振动部238呈同心圆状地弯曲振动。压电元件233和振动部238构成压电促动器37,一体地振动。
另外,在压电鼓风机700中,也是流入孔124和排出孔24这两者相对于泵室45的中心轴线C错开。因此,压电鼓风机700也与压电鼓风机100相同,能够抑制泵特性(例如排出压力、排出流量)降低。
接下来,对本发明的第八实施方式的压电鼓风机800进行说明。
图19是本发明的第八实施方式的压电鼓风机800的剖视图。
压电鼓风机800是图7所示的第二实施方式的压电鼓风机200的变形例。压电鼓风机800与压电鼓风机200的不同点在于阀部12的配置和泵部13的配置以及载置部881的长度。其它结构都相同,省略说明。
如图19所示,在压电鼓风机800中,流入孔124和排出孔24这两者相对于泵室45的中心轴线C错开。因此,压电鼓风机800与压电鼓风机100相同,也能够抑制泵特性(例如排出压力、排出流量)降低。
《其它实施方式》
在上述实施方式中,使用空气作为气体,但并不局限于此。该气体也能够使用空气以外的其它气体。
另外,在上述实施方式中,设置压电元件33作为鼓风机的驱动源,但并不局限于此。鼓风机例如可以因电磁驱动而动作。
另外,在上述实施方式中,压电元件33由锆钛酸铅系陶瓷构成,但并不局限于此。例如,也可以由铌酸钾钠系和碱性铌酸系陶瓷(日文:アルカリニオブ酸系セラミックス)等非铅系压电体陶瓷这类压电材料等构成。
另外,在上述实施方式中,使用了单晶片(unimorph)型的压电振子,但并不局限于此。例如也可以使用在振动板36的两面设置有压电元件33的双晶片(bimorph)型的压电振子。
另外,在上述实施方式中,使用了圆板状的压电元件33、233,但并不局限于此。例如,压电元件也可以是椭圆形、多边形的环状。压电元件的形状还可以是多边板状、椭圆板状。
另外,在上述实施方式中,使用了圆板状的振动板36和圆板状的上板23,但并不局限于此。例如,这些形状也可以是矩形板状、多边板状、椭圆板状。
另外,如图3所示,在压电鼓风机100中,一个吸引孔96相对于泵室45的中心轴线C点对称地设置于振动板36;如图14所示,在压电鼓风机700中,8个吸引孔296相对于泵室45的中心轴线C呈八边形状点对称地设置于振动板236,但并不局限于此。在实施时,多个吸引孔也可以如下所示相对于泵室45的中心轴线C对称设置。
例如,如图15所示,多个吸引孔396可以相对于泵室45的中心轴线C四次对称地设置于振动板336。如图16所示,多个吸引孔496可以相对于泵室45的中心轴线C六次对称地设置于振动板436。如图17所示,多个吸引孔596可以相对于泵室45的中心轴线C三次对称地设置于振动板536。如图18所示,多个吸引孔696可以相对于泵室45的中心轴线C三次对称地设置于振动板636。此外,多个排出孔、多个膜孔以及多个连通孔也可以与多个吸引孔相同地,相对于泵室45的中心轴线C例如以图15~图18所示的点对称方式设置。
另外,在上述实施方式中,通气路径91、92的形状几乎为圆柱状,但并不局限于此。例如,通气路径的形状也可以是棱柱状。另外,还可以如图7所示的通气路径291、292那样,设置有突起部285、286等。
另外,在上述实施方式中,压电鼓风机100~700以一阶振动模式的频率共振驱动,但并不局限于此。在实施时压电鼓风机100~700例如也可以以三阶振动模式等具有多个振动的波腹的振动模式的频率共振驱动。
另外,在上述实施方式中,示出了上板23随着振动板36的弯曲振动而呈同心圆状地弯曲振动的例子,但并不局限于此。在实施时,例如也可以仅振动板36弯曲振动,上板23未必随着振动板36的弯曲振动而弯曲振动。
最后,应认为上述实施方式的说明在所有方面都是例示,并非限制性的内容。本发明的保护范围不由上述实施方式示出,而由权利要求书示出。并且,本发明的范围包括与权利要求书等同的范围。
附图标记说明
A...微型压电鼓风机;11...通气孔;12...阀部;13...泵部;14...控制部;17...外壳体;18...管嘴;20...膜;21...盖板;22...侧壁板;23...上板;24...排出孔;25...突起部;26...缺口部;31...侧壁板;33...压电元件;36...振动板;37...压电促动器;38...侧板;40...阀室;41...排出孔;42...膜孔;43...连通孔;45...泵室;80...顶板;81...侧板;82...底板;91、92...通气路径;93、96...吸引孔;100、200、300、400、500、600、700...压电鼓风机;118...管嘴;124...流入孔;181...载置部;213...泵部;217...外壳体;233...压电元件;234...框部;235...连结部;236...振动板;238...振动部;285...突起部;291、292...通气路径;296...吸引孔;317、417、517、617...外壳体;336、436、536、636...振动板;380...顶板;381...侧板;382...底板;396、496、596、696...吸引孔;527...壁部;902...促动器;903...泵室;906...通气路径;910...泵壳体;920...压电元件;921...振动板;950...外壳体;951...流入孔;953...排出孔。

Claims (21)

1.一种鼓风机,其中,具备:
泵部,其具有振动体、使所述振动体振动的驱动体以及通过与所述振动体连接而构成泵室的泵壳体、吸引孔、吐出孔以及设于从所述吸引孔到吐出孔这段流路内的阀部,该阀部经由连通孔而与所述泵室连接,并具有不与所述连通孔对置而与所述吐出孔对置的膜孔的膜;和
外壳体,其与所述泵部空开间隔地包覆所述泵部,
所述泵部具有使所述泵室的内部和外部连通的通气孔,所述通气孔相对于所述泵室的中心轴线对称,
所述吸引孔和所述吐出孔相对于所述泵室的中心轴线对称地配置,
所述外壳体在与所述泵部之间构成与所述通气孔、吸引孔以及吐出孔连通的通气路径,并且具有与所述通气路径连通的流入孔和排出孔,
所述流入孔和所述排出孔都相对于所述泵室的中心轴线错开。
2.根据权利要求1所述的鼓风机,其中,
所述流入孔和所述排出孔这两者相对于所述泵室的所述中心轴线错开。
3.根据权利要求1所述的鼓风机,其中,
所述泵室相对于所述中心轴线呈线对称。
4.根据权利要求2所述的鼓风机,其中,
所述泵室相对于所述中心轴线呈线对称。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的鼓风机,其中,
所述流入孔和所述排出孔中至少一者设置于所述外壳体的侧表面。
6.根据权利要求5所述的鼓风机,其中,
所述流入孔和所述排出孔这两者设置于所述外壳体的侧表面。
7.根据权利要求5所述的鼓风机,其中,
所述外壳体具有包围所述流入孔的四周的第一管嘴和包围所述排出孔的四周的第二管嘴,
所述第一管嘴和所述第二管嘴中的任一者设置于与所述泵室的中心轴线正交的直线轴线上。
8.根据权利要求6所述的鼓风机,其中,
所述外壳体具有包围所述流入孔的四周的第一管嘴和包围所述排出孔的四周的第二管嘴,
所述第一管嘴和所述第二管嘴中的任一者设置于与所述泵室的中心轴线正交的直线轴线上。
9.根据权利要求6至8中任意一项所述的鼓风机,其中,
所述外壳体具有包围所述流入孔的四周的第一管嘴和包围所述排出孔的四周的第二管嘴,
所述第一管嘴和所述第二管嘴设置于相互对置的位置。
10.根据权利要求6至8中任意一项所述的鼓风机,其中,
所述外壳体具有包围所述流入孔的四周的第一管嘴和包围所述排出孔的四周的第二管嘴,
所述第一管嘴的中心轴线与所述第二管嘴的中心轴线所成的夹角为90度以下。
11.一种鼓风机,其中,具备:
泵部,其具有振动体、使所述振动体振动的驱动体以及通过与所述振动体连接而构成泵室的泵壳体、吸引孔、吐出孔以及设于从所述吸引孔到吐出孔这段流路内的阀部,该阀部经由连通孔而与所述泵室连接,并具有不与所述连通孔对置而与所述吐出孔对置的膜孔的膜;和
外壳体,其与所述泵部空开间隔地包覆所述泵部,
所述泵部具有使所述泵室的内部和外部连通的通气孔,所述通气孔相对于所述泵室的中心轴线对称,
所述吸引孔和所述吐出孔相对于所述泵室的中心轴线对称地配置,
所述外壳体在与所述泵部之间构成与所述通气孔、吸引孔以及吐出孔连通的通气路径,并且具有与所述通气路径连通的流入孔和排出孔,
从所述中心轴线至所述通气路径的第一端这段距离与从所述中心轴线至所述通气路径的第二端这段距离不同。
12.根据权利要求11所述的鼓风机,其中,
所述泵室相对于所述中心轴线呈线对称。
13.根据权利要求11所述的鼓风机,其中,
所述流入孔和所述排出孔中至少一者设置于所述外壳体的侧表面。
14.根据权利要求12所述的鼓风机,其中,
所述流入孔和所述排出孔中至少一者设置于所述外壳体的侧表面。
15.根据权利要求13所述的鼓风机,其中,
所述流入孔和所述排出孔这两者设置于所述外壳体的侧表面。
16.根据权利要求14所述的鼓风机,其中,
所述流入孔和所述排出孔这两者设置于所述外壳体的侧表面。
17.根据权利要求12至16中任一项所述的鼓风机,其中,
所述外壳体具有包围所述流入孔的四周的第一管嘴和包围所述排出孔的四周的第二管嘴,
所述第一管嘴和所述第二管嘴中的任一者设置于与所述泵室的中心轴线正交的直线轴线上。
18.根据权利要求13或14所述的鼓风机,其中,
所述外壳体具有包围所述流入孔的四周的第一管嘴和包围所述排出孔的四周的第二管嘴,
所述第一管嘴和所述第二管嘴设置于相互对置的位置。
19.根据权利要求17所述的鼓风机,其中,
所述外壳体具有包围所述流入孔的四周的第一管嘴和包围所述排出孔的四周的第二管嘴,
所述第一管嘴和所述第二管嘴设置于相互对置的位置。
20.根据权利要求13或14所述的鼓风机,其中,
所述外壳体具有包围所述流入孔的四周的第一管嘴和包围所述排出孔的四周的第二管嘴,
所述第一管嘴的中心轴线与所述第二管嘴的中心轴线所成的夹角为90度以下。
21.根据权利要求17所述的鼓风机,其中,
所述外壳体具有包围所述流入孔的四周的第一管嘴和包围所述排出孔的四周的第二管嘴,
所述第一管嘴的中心轴线与所述第二管嘴的中心轴线所成的夹角为90度以下。
CN201680049391.3A 2015-08-31 2016-08-24 鼓风机 Active CN107923385B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015170507 2015-08-31
JP2015-170507 2015-08-31
PCT/JP2016/074578 WO2017038565A1 (ja) 2015-08-31 2016-08-24 ブロア

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107923385A CN107923385A (zh) 2018-04-17
CN107923385B true CN107923385B (zh) 2020-01-17

Family

ID=58187291

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201680049391.3A Active CN107923385B (zh) 2015-08-31 2016-08-24 鼓风机

Country Status (5)

Country Link
US (2) US10947965B2 (zh)
JP (1) JP6528849B2 (zh)
CN (1) CN107923385B (zh)
GB (1) GB2557088B (zh)
WO (1) WO2017038565A1 (zh)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3534047B1 (en) * 2017-05-31 2023-07-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Valve and fluid control device
GB2579954B (en) * 2017-10-10 2022-08-10 Murata Manufacturing Co Pump and fluid control apparatus
JP6769568B2 (ja) 2017-12-26 2020-10-14 株式会社村田製作所 ポンプおよび流体制御装置
JP6892013B2 (ja) * 2018-05-29 2021-06-18 株式会社村田製作所 流体制御装置
JP6912004B2 (ja) 2018-05-31 2021-07-28 株式会社村田製作所 流体制御装置
US11464140B2 (en) 2019-12-06 2022-10-04 Frore Systems Inc. Centrally anchored MEMS-based active cooling systems
US12089374B2 (en) 2018-08-10 2024-09-10 Frore Systems Inc. MEMS-based active cooling systems
US11710678B2 (en) 2018-08-10 2023-07-25 Frore Systems Inc. Combined architecture for cooling devices
CN109838367A (zh) * 2019-04-04 2019-06-04 常州威图流体科技有限公司 一种高性能微型压电泵
EP4030055A4 (en) * 2019-09-11 2023-10-04 Kyocera Corporation PIEZOELECTRIC PUMP AND PUMP UNIT
KR102677216B1 (ko) * 2019-10-30 2024-06-24 프로리 시스템스 인코포레이티드 Mems 기반 기류 시스템
JP7524908B2 (ja) * 2019-11-08 2024-07-30 ソニーグループ株式会社 バルブモジュール、流体制御装置及び電子機器
US11796262B2 (en) 2019-12-06 2023-10-24 Frore Systems Inc. Top chamber cavities for center-pinned actuators
US11510341B2 (en) 2019-12-06 2022-11-22 Frore Systems Inc. Engineered actuators usable in MEMs active cooling devices
EP4078671A4 (en) 2019-12-17 2024-01-10 Frore Systems Inc. MEMS-BASED COOLING SYSTEMS FOR CLOSED AND OPEN DEVICES
US12033917B2 (en) 2019-12-17 2024-07-09 Frore Systems Inc. Airflow control in active cooling systems
US12052924B2 (en) 2019-12-20 2024-07-30 Frore Systems Inc. Method and system for fabricating a piezoelectric device
CN116261627B (zh) * 2020-09-30 2024-06-11 株式会社村田制作所 流体控制装置
JP7409519B2 (ja) * 2020-09-30 2024-01-09 株式会社村田製作所 流体制御装置
KR20230075503A (ko) 2020-10-02 2023-05-31 프로리 시스템스 인코포레이티드 능동 방열판
WO2022132976A1 (en) 2020-12-16 2022-06-23 Frore Systems Inc. Frequency lock in active mems cooling systems
CN116745524A (zh) * 2021-02-22 2023-09-12 株式会社村田制作所 泵装置
CN117694037A (zh) * 2021-07-09 2024-03-12 福珞尔系统公司 用于基于mems的冷却系统的压电体的驱动
TWI780832B (zh) * 2021-07-23 2022-10-11 研能科技股份有限公司 氣體傳輸裝置
TWI785908B (zh) * 2021-11-29 2022-12-01 研能科技股份有限公司 氣體傳輸裝置
TWI797853B (zh) * 2021-11-29 2023-04-01 研能科技股份有限公司 氣體傳輸裝置
USD991984S1 (en) * 2021-11-30 2023-07-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric pump
US20230413471A1 (en) * 2022-06-17 2023-12-21 Frore Systems Inc. Mems based cooling systems having an integrated spout

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000265964A (ja) 1999-03-17 2000-09-26 Kasei Optonix Co Ltd 小型ポンプ
KR100519970B1 (ko) * 2003-10-07 2005-10-13 삼성전자주식회사 밸브리스 마이크로 공기공급장치
JP2005229038A (ja) 2004-02-16 2005-08-25 Hitachi Ltd 液冷システム及びそれを備えた電子機器
JP2009250132A (ja) * 2008-04-07 2009-10-29 Sony Corp 冷却装置及び電子機器
CN103527452A (zh) 2008-06-03 2014-01-22 株式会社村田制作所 压电微型鼓风机
EP2484906B1 (en) * 2009-10-01 2019-08-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric micro-blower
JP5360229B2 (ja) * 2009-12-04 2013-12-04 株式会社村田製作所 圧電マイクロブロア
US8371829B2 (en) * 2010-02-03 2013-02-12 Kci Licensing, Inc. Fluid disc pump with square-wave driver
JP5494801B2 (ja) * 2010-05-21 2014-05-21 株式会社村田製作所 流体ポンプ
CN102444566B (zh) * 2010-10-12 2014-07-16 研能科技股份有限公司 流体输送装置
US20120185774A1 (en) * 2010-12-19 2012-07-19 Vringo Inc Symphonic Video Generation
JP2012237303A (ja) * 2011-04-27 2012-12-06 Kyocera Corp 送流装置およびそれを用いた冷却装置
JP5900155B2 (ja) * 2011-09-06 2016-04-06 株式会社村田製作所 流体制御装置
AU2013216984A1 (en) * 2012-02-10 2014-07-24 Kci Licensing, Inc. Systems and methods for electrochemical detection in a disc pump
JP5928160B2 (ja) * 2012-05-29 2016-06-01 オムロンヘルスケア株式会社 圧電ポンプおよびこれを備えた血圧情報測定装置
JP5692465B2 (ja) 2012-06-11 2015-04-01 株式会社村田製作所 ブロア
JP5692468B2 (ja) * 2012-08-10 2015-04-01 株式会社村田製作所 ブロア
US20140336599A1 (en) * 2013-05-13 2014-11-13 Thermedx, Llc Suction manifold assembly
TWI552838B (zh) * 2013-06-24 2016-10-11 研能科技股份有限公司 微型氣壓動力裝置
TWI553230B (zh) * 2014-09-15 2016-10-11 研能科技股份有限公司 微型氣壓動力裝置

Also Published As

Publication number Publication date
GB2557088A (en) 2018-06-13
JP6528849B2 (ja) 2019-06-12
GB201802056D0 (en) 2018-03-28
JPWO2017038565A1 (ja) 2018-04-05
US20210164464A1 (en) 2021-06-03
WO2017038565A1 (ja) 2017-03-09
US20180187672A1 (en) 2018-07-05
GB2557088B (en) 2021-05-19
US11661935B2 (en) 2023-05-30
CN107923385A (zh) 2018-04-17
US10947965B2 (en) 2021-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107923385B (zh) 鼓风机
US10233918B2 (en) Blower
JP6269907B1 (ja) バルブ、気体制御装置
JP5110159B2 (ja) 圧電マイクロブロア
US20200318630A1 (en) Pump
CN107076137B (zh) 阀与流体控制装置
US10738773B2 (en) Blower
WO2013187271A1 (ja) ブロア
WO2016013390A1 (ja) 流体制御装置
EP2508758A1 (en) Piezoelectric micro-blower
JP6575634B2 (ja) ブロア
JPWO2012140967A1 (ja) ポンプ装置
US10125760B2 (en) Pump
JP2016211442A (ja) ブロア
US10260495B2 (en) Blower with a vibrating body having a restraining plate located on a periphery of the body
WO2013187270A1 (ja) ブロア
JP2023126991A (ja) ポンプ及び流体制御装置
JP2012077677A (ja) 圧電マイクロブロア

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant