CN107895704A - 一种高效的缺陷抽检方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高效的缺陷抽检方法及系统，在尾数抽检的前提下，对经过检测站的产品批次按照生产设备进行单独计数，来控制每个生产设备的产品的被检测频率，并通过对生产设备和检测站的干预，通过减少或增加抽检批次，从而实现智能调节，保证生产线上所有生产设备都能被均匀的抽检，提高抽检效率。

Description

一种高效的缺陷抽检方法及系统

技术领域

本发明涉及集成电路制造的领域，尤其涉及一种高效的缺陷抽检方法。

背景技术

随着工业设备的智能化发展，集成电路产业取得了飞速发展。在大型集成电路晶圆生产过程中，生产工厂需要对生产的全流程进行监控，适时检测不同工艺过程中产生的缺陷问题，并及时反馈给生产管理人员，提高生产管理人员对产品的缺陷改善以及调整工艺的效率。

现有的对于大型集成电路晶圆的生产抽检方法通常是采用产品批次编号的尾数来进行抽检。采用简单的尾数抽检可以实现对纵向的工艺段覆盖，便于分析产品问题的原因。但是，检测站在对产品进行检测时，会存在被抽检批次集中出现的情况，而且由于一道工序中存在多个生产设备，也很难保证抽检覆盖所有生产设备。采用简单的尾数抽检，对同一工艺段不同生产设备横向覆盖的随机性较大，根据图1所示，设备A至设备I的被抽检率为对应的图形高度，采用简单的尾数抽检容易造成同一工艺段中，一部分生产设备被集中检测，另一部分生产设备则很少被检测到。

发明内容

针对现有技术中对于同一工艺段不同生产设备抽检覆盖不均匀的问题，现提供一种高效的缺陷抽检方法，应用于集成电路制造领域。

具体技术方案如下：

一种高效的缺陷抽检方法，所有产品按照进入生产线的顺序生成产品批次的批号，所述生产线上设置有多个检测站，所述检测站间隔地设置在所述生产线的多道工序之间，每道所述工序上设置有多个生产设备；

所述高效的缺陷抽检方法包括以下步骤：

步骤S1：根据产品批号的尾数确定抽检批次；

步骤S2：从上一被检测产品批次开始，所述检测站对经过所述检测站的所有产品批次按照所述生产设备单独进行计数，获得间隔批次数；

步骤S3：在所述检测站完成对上一次检测后，将所述间隔批次数与用户输入的第一预设值进行比较；

若所述间隔批次数小于所述第一预设值时，则进入步骤S4；

若所述间隔批次数不小于所述第一预设值时，则进入步骤S5；

步骤S4：对应的所述生产设备优先生产非抽检批次，返回步骤S3；

步骤S5：判断经过所述检测站的所有产品批次中是否存在所述抽检批次；

若存在所述抽检批次，则进入步骤S6；

若不存在所述抽检批次，则进入步骤S7；

步骤S6：所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述抽检批次进行检测；

所述检测站开始下一次检测后，返回步骤S2；

步骤S7：对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次，返回步骤S3。

优选的，所述步骤S7包括以下步骤：

步骤S71：判断对应的所述生产设备后续生产的所述产品批次中是否存在所述抽检批次；

若不存在所述抽检批次，进入步骤S72；

若存在所述抽检批次，进入步骤S73；

步骤S72：所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述产品批次进行检测；

所述检测站开始下一次检测后，返回步骤S2。

步骤S73：对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次，返回步骤S3。

优选的，在所述步骤S6中，还包括以下步骤：

步骤S61：在所述检测站在开始下一次检测前，获取将要被检测的所述产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第一比值，判断所述第一比值与用户输入的第二预设值进行比较；

若所述第一比值小于所述第二预设值，则进入步骤S62；

若所述第一比值不小于所述第二预设值，所述检测站放弃检测，进入步骤S7；

步骤S62：所述检测站开始下一次检测，返回步骤S2。

优选的，在所述步骤S72中，还包括以下步骤：

步骤S721：在所述检测站在开始下一次检测前，获取将要被检测的所述产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第二比值，判断所述第二比值与所述第二预设值进行比较；

若所述第二比值小于所述第二预设值，则进入步骤S722；

若所述第二比值不小于所述第二预设值，则进入步骤S723；

步骤S722：所述检测站开始下一次检测，返回步骤S2。

步骤S723：所述检测站放弃检测，返回步骤S71。

优选的，所述步骤S2还包括：

步骤S21：进行计数之前，判断经过所述检测站的所述产品批次是否为报废或返工批次；

若为报废或返工批次，则进入步骤S22；

若不是报废或返工批次，则进入步骤S23；

步骤S22：将所述产品批次不计为经过所述检测站的产品批次；

步骤S23：对所述间隔批次数进行更新计数。

优选的，一种用于高效的缺陷抽检方法的设备，应用于集成电路制造领域，包括：

批号生成器，设置在生产线的起始处，用于生成所有进入所述生成线的产品批次的批号；

多个检测站，间隔地设置在所述生产线上的多道工序之间，所述每道工序内设置有多个生产设备；

抽检批次生成器，连接所述批号生成器，用于根据产品批号的尾数确定抽检批次；

每个所述检测站内设置有一计数器，用于从上一被检测所述产品批次开始，所述检测站对经过所述检测站的所有产品批次按照所述生产设备单独进行计数，获得间隔批次数；

多个控制器，每个控制器对应连接一个所述检测站和所述检测站对应的上一道工序的每个所述生产设备，所述控制器包括：

第一比较单元，连接所述计数器，用于比较所述间隔批次数与所述第一预设值，所述第一预设值通过用户输入获得；

第一控制单元，连接所述第一比较单元，用于在所述间隔批次数小于所述第一预设值时，控制对应的所述生产设备优先生产非抽检批次；

第二比较单元，连接所述第一比较单元，用于在所述间隔批次数不小于所述第一预设值时，判断经过所述检测站的所有产品批次中是否存在所述抽检批次；

第二控制单元，连接所述第二比较单元，用于在经过所述检测站的所有产品批次中存在所述抽检批次时，控制所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述抽检批次进行检测。

第三控制单元，连接所述第二比较单元，用于控制对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次。

优选的，所述控制器还包括：

第三比较单元，连接所述第三控制单元，用于判断对应的所述生产设备后续生产的所述产品批次中是否存在所述抽检批次；

第四控制单元，连接所述第三比较单元，用于在所述生产设备后续生产的所述产品批次中不存在所述抽检批次时，控制所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述产品批次进行检测。

优选的，所述控制器还包括：

第四比较单元，连接所述第二控制单元，用于在所述检测站开始下一次检测前，获取将要被检测的所述产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第一比值，将所述第一比值与第二预设值进行比较，所述第二预设值通过用户输入获得；

第五控制单元，连接所述第四比较单元，用于在所述比值不小于所述第二预设值，控制所述检测站放弃检测，控制对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次。

优选的，所述第四比较单元还连接所述第四控制单元，用于在所述检测站开始下一次检测前，获取将要被检测的所述产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第二比值，将所述第二比值与所述第二预设值进行比较；

第五控制单元，还用于在所述比值不小于所述第二预设值时，控制所述检测站放弃检测，等待对应的所述生产设备完成当前所述产品批次的生产后，对当前所述产品批次进行检测。

优选的，所述控制器还包括一计数矫正单元，连接所述计数器；

所述计数矫正单元用于在所述间隔批次数更新前，判断经过所述检测站的产品批次为报废或返工批次时，控制所述报废或返工批次的产品批次不计为经过所述检测站的所述产品批次。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：

在尾数抽检的前提下，对经过检测站的产品批次按照生产设备进行单独计数，来控制每个生产设备的产品的被检测频率，并通过对生产设备和检测站的干预，通过减少或增加抽检批次，从而实现智能调节，保证生产线上所有生产设备都能被均匀的抽检，提高抽检效率。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1为普通尾数抽检方法对同一工序的抽检情况示意图；

图2为本发明一种高效的缺陷抽检方法实施例一的流程图；

图3为本发明一种高效的缺陷抽检方法优选的实施例的流程图；

图4为本发明一种高效的缺陷抽检方法实施例二的流程图；

图5为本发明一种高效的缺陷抽检方法实施例三的流程图；

图6为本发明一种高效的缺陷抽检方法实施例四的流程图；

图7为本发明一种用于高效的缺陷抽检方法的设备的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。

实施例一，根据图2所示，一种高效的缺陷抽检方法，所有产品按照进入生产线的顺序生成产品批次的批号，生产线上设置有多个检测站，检测站间隔地设置在生产线的多道工序之间，每道工序上设置有多个生产设备；

高效的缺陷抽检方法包括以下步骤：

步骤S1：根据产品批号的尾数确定抽检批次；

步骤S2：从上一被检测产品批次开始，检测站对经过检测站的所有产品批次按照生产设备单独进行计数，获得间隔批次数；

步骤S3：在检测站完成对上一次检测后，将间隔批次数与用户输入的第一预设值进行比较；

若间隔批次数小于第一预设值时，则进入步骤S4；

若间隔批次数不小于第一预设值时，则进入步骤S5；

步骤S4：对应的生产设备优先生产非抽检批次，返回步骤S3；

步骤S5：判断经过检测站的所有产品批次中是否存在抽检批次；

若存在抽检批次，则进入步骤S6；

若不存在抽检批次，则进入步骤S7；

步骤S6：检测站开始对经过检测站的所有产品批次中最后完成生产的抽检批次进行检测；

检测站开始下一次检测后，返回步骤S2；

步骤S7：对应的生产设备优先生产抽检批次，返回步骤S3。

具体地，本实施例中，首先根据产品批号的尾数进行对抽检批次的预先设定，在实际生产中，由于生产设备的延误、检测过程的等待、人工操作的时间等影响下，产品批次的顺序会被打散。有一些批次会比之前的批次更早的进入后续的生产工序。

根据生产设备对经过检测站的产品批次进行计数后与用户输入的第一预设值比较，判断从上一次检测到当前经过检测站的产品批次是否到达需要被抽检的情况。与检测站连接的上一道工序中产品被生产完成后即被视为从对应的检测站的经过。

在间隔批次数小于第一预设值说明此时检测站需要减少检测频率，控制上一工序中的对应生产设备优先生产非抽检批次，使得抽检批次较晚的到达检测站，达到减小检测频率的效果。

在间隔批次大于第一预设值说明此时检测站需要加大检测频率，检测站从已经过的产品批次中最后被生产的抽检批次进行检测。

由于各产品批次生产顺序已被打乱，从上一次检测批次到当前产品批次中可能不存在抽检批次，需要从未生产完成的批次中选取抽检批次，控制对应的生产设备对于选取的抽检批次进行优先生产，检测站等待生产设备完成生产后进行检测。

采用上述步骤可以实现在尾数抽检的基础上，对每个生产设备生产的产品批次的抽检频率进行控制。

本发明一种优选的实施中，根据图3所示，步骤S7包括以下步骤：

步骤S71：判断对应的生产设备后续生产的产品批次中是否存在抽检批次；

若不存在抽检批次，进入步骤S72；

若存在抽检批次，进入步骤S73；

步骤S72：检测站开始对经过检测站的所有产品批次中最后完成生产的产品批次进行检测；

检测站开始下一次检测后，返回步骤S2。

步骤S73：对应的生产设备优先生产抽检批次，返回步骤S3。

具体地，本实施例中，在控制生产设备优先生产抽检批次的过程中，会存在生产设备后续生产的产品批次中不存在抽检批次。对于上述情况，可以采用控制检测站对最后经过检测站的产品进行检测。解决了在抽检批次都被提前生产完后，后续不存在抽检批次而无法继续检测的问题，使得对每个生产设备都能保持被均匀被抽检。

实施例二，根据图4所示，在步骤S6中，还包括以下步骤：

步骤S61：在检测站在开始下一次检测前，获取将要被检测的产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第一比值，判断第一比值与用户输入的第二预设值进行比较；

若第一比值小于第二预设值，则进入步骤S62；

若第一比值不小于第二预设值，检测站放弃检测，进入步骤S7；

步骤S62，检测站开始下一次检测，返回步骤S2。

具体地，在本实施例中，由于在工序和工序之间会存在管控时间，产品在完成上一工序后必须要在预定的管控时间内进入下一道工序。因此，在检测前需要先对被检测批次产品是否满足管控时间进行确认，由于每道工序的实时情况不同需要的管控时间不相同，需要用户根据实际生产输入第二预设值来判断，第一比值越大检测时间越充裕。第一比值不小于第二预设值时，检测站没有充足时间进行检测，放弃检测，控制生产设备优先生产抽检批次，等待下一抽检批次被生产后再检测。

实施例三，根据图5所示，在步骤S72中，还包括以下步骤：

步骤S721：在检测站在开始下一次检测前，获取将要被检测的产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第二比值，判断第二比值与第二预设值进行比较；

若第二比值小于第二预设值，则进入步骤S722；

若第二比值不小于第二预设值，则进入步骤S723；

步骤S722，检测站开始下一次检测，返回步骤S2。

步骤S723，检测站放弃检测，返回步骤S71。

具体地，在本实施例中，生产设备后续没有抽检批次的情况下，也存在管控时间的问题，第二比值不小于第二预设值时，放弃检测等待下一产品批次被生产完成后再检测。

实施例四，根据图6所示，步骤S2还包括：

步骤S21：进行计数之前，判断经过检测站的产品批次是否为报废或返工批次；

若为报废或返工批次，则进入步骤S22；

若不是报废或返工批次，则进入步骤S23；

步骤S22：将产品批次不计为经过检测站的产品批次；

步骤S23：对间隔批次数进行更新计数。

具体地，在本实施例中，对于报废或返工批次需要剔出经过检测站的产品批次的记录，提高抽检的效率。

实施例五，根据图7所示，一种用于高效的缺陷抽检方法的设备，应用于集成电路制造领域，包括：

批号生成器，设置在生产线的起始处，用于生成所有进入生成线的产品批次的批号；

多个检测站2，间隔地设置在生产线上的多道工序之间，每道工序内设置有多个生产设备；

抽检批次生成器(未在图中示出)，连接批号生成器，用于根据产品批号的尾数确定抽检批次；

每个检测站2内设置有一计数器3，用于从上一被检测产品批次开始，检测站2对经过检测站2的所有产品批次按照生产设备单独进行计数，获得间隔批次数；

多个控制器1，每个控制器1对应连接一个检测站2和检测站2对应的上一道工序的每个生产设备，控制器1包括：

第一比较单元4，连接计数器3，用于比较间隔批次数与第一预设值，第一预设值通过用户输入获得；

第一控制单元5，连接第一比较单元4，用于在间隔批次数小于第一预设值时，控制对应的生产设备优先生产非抽检批次；

第二比较单元6，连接第一比较单元4，用于在间隔批次数不小于第一预设值时，判断经过检测站2的所有产品批次中是否存在抽检批次；

第二控制单元7，连接第二比较单元6，用于在经过检测站2的所有产品批次中存在抽检批次时，控制检测站2开始对经过检测站2的所有产品批次中最后完成生产的抽检批次进行检测。

第三控制单元8，连接第二比较单元6，用于控制对应的生产设备优先生产抽检批次。

具体地，本实施例中，采用控制器1对检测站2和检测站2上一工序的各个生产设备进行控制，并采用多个判断单元和控制单元实现控制每个生产设备的产品的被检测频率，并通过对生产设备和检测站2的干预，通过减少或增加抽检批次。

实施例六，根据图7所示，控制器1还包括：

第三比较单元9，连接第三控制单元8，用于判断对应的生产设备后续生产的产品批次中是否存在抽检批次；

第四控制单元10，连接第三比较单元9，用于在生产设备后续生产的产品批次中不存在抽检批次时，控制检测站2开始对经过检测站2的所有产品批次中最后完成生产的产品批次进行检测。

实施例七，根据图7所示，控制器1还包括：

第四比较单元11，连接第二控制单元7，用于在检测站2开始下一次检测前，获取将要被检测的产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第一比值，将第一比值与第二预设值进行比较，第二预设值通过用户输入获得；

第五控制单元12，连接第四比较单元11，用于在比值不小于第二预设值，控制检测站2放弃检测，控制对应的生产设备优先生产抽检批次。

实施例八，根据图7所示，第四比较单元11还连接第四控制单元10，用于在检测站2开始下一次检测前，获取将要被检测的产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第二比值，将第二比值与第二预设值进行比较；

第五控制单元12，还用于在比值不小于第二预设值时，控制检测站2放弃检测，等待对应的生产设备完成当前产品批次的生产后，对当前产品批次进行检测。

实施例九，根据图7所示，控制器1还包括一计数矫正单元13，连接计数器3；

计数矫正单元13用于在间隔批次数更新前，判断经过检测站2的产品批次为报废或返工批次时，控制报废或返工批次的产品批次不计为经过检测站2的产品批次。

以上仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种高效的缺陷抽检方法，应用于集成电路制造领域，其特征在于，所有产品按照进入生产线的顺序生成产品批次的批号，所述生产线上设置有多个检测站，所述检测站间隔地设置在所述生产线的多道工序之间，每道所述工序上设置有多个生产设备；

所述高效的缺陷抽检方法包括以下步骤：

步骤S1：根据产品批号的尾数确定抽检批次；

步骤S2：从上一被检测产品批次开始，所述检测站对经过所述检测站的所有产品批次按照所述生产设备单独进行计数，获得间隔批次数；

步骤S3：在所述检测站完成对上一次检测后，将所述间隔批次数与用户输入的第一预设值进行比较；

若所述间隔批次数小于所述第一预设值时，则进入步骤S4；

若所述间隔批次数不小于所述第一预设值时，则进入步骤S5；

步骤S4：对应的所述生产设备优先生产非抽检批次，返回步骤S3；

步骤S5：判断经过所述检测站的所有产品批次中是否存在所述抽检批次；

若存在所述抽检批次，则进入步骤S6；

若不存在所述抽检批次，则进入步骤S7；

步骤S6：所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述抽检批次进行检测；

所述检测站开始下一次检测后，返回步骤S2；

步骤S7：对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次，返回步骤S3。

2.根据权利要求1所述的高效的缺陷抽检方法，其特征在于，所述步骤S7包括以下步骤：

步骤S71：判断对应的所述生产设备后续生产的所述产品批次中是否存在所述抽检批次；

若不存在所述抽检批次，进入步骤S72；

若存在所述抽检批次，进入步骤S73；

步骤S72：所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述产品批次进行检测；

所述检测站开始下一次检测后，返回步骤S2。

步骤S73：对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次，返回步骤S3。

3.根据权利要求2所述的高效的缺陷抽检方法，其特征在于，在所述步骤S6中，还包括以下步骤：

步骤S61：在所述检测站在开始下一次检测前，获取将要被检测的所述产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第一比值，判断所述第一比值与用户输入的第二预设值进行比较；

若所述第一比值小于所述第二预设值，则进入步骤S62；

若所述第一比值不小于所述第二预设值，所述检测站放弃检测，进入步骤S7；

步骤S62：所述检测站开始下一次检测，返回步骤S2。

4.根据权利要求3所述的高效的缺陷抽检方法，其特征在于，在所述步骤S72中，还包括以下步骤：

步骤S721：在所述检测站在开始下一次检测前，获取将要被检测的所述产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第二比值，判断所述第二比值与所述第二预设值进行比较；

若所述第二比值小于所述第二预设值，则进入步骤S722；

若所述第二比值不小于所述第二预设值，则进入步骤S723；

步骤S722：所述检测站开始下一次检测，返回步骤S2。

步骤S723：所述检测站放弃检测，返回步骤S71。

5.根据权利要求1所述的高效的缺陷抽检方法，其特征在于，所述步骤S2还包括：

步骤S21：进行计数之前，判断经过所述检测站的所述产品批次是否为报废或返工批次；

若为报废或返工批次，则进入步骤S22；

若不是报废或返工批次，则进入步骤S23；

步骤S22：将所述产品批次不计为经过所述检测站的产品批次；

步骤S23：对所述间隔批次数进行更新计数。

6.一种用于高效的缺陷抽检方法的设备，应用于集成电路制造领域，其特征在于，包括：

批号生成器，设置在生产线的起始处，用于生成所有进入所述生成线的产品批次的批号；

多个检测站，间隔地设置在所述生产线上的多道工序之间，所述每道工序内设置有多个生产设备；

抽检批次生成器，连接所述批号生成器，用于根据产品批号的尾数确定抽检批次；

每个所述检测站内设置有一计数器，用于从上一被检测所述产品批次开始，所述检测站对经过所述检测站的所有产品批次按照所述生产设备单独进行计数，获得间隔批次数；

多个控制器，每个控制器对应连接一个所述检测站和所述检测站对应的上一道工序的每个所述生产设备，所述控制器包括：

第一比较单元，连接所述计数器，用于比较所述间隔批次数与所述第一预设值，所述第一预设值通过用户输入获得；

第一控制单元，连接所述第一比较单元，用于在所述间隔批次数小于所述第一预设值时，控制对应的所述生产设备优先生产非抽检批次；

第二比较单元，连接所述第一比较单元，用于在所述间隔批次数不小于所述第一预设值时，判断经过所述检测站的所有产品批次中是否存在所述抽检批次；

第二控制单元，连接所述第二比较单元，用于在经过所述检测站的所有产品批次中存在所述抽检批次时，控制所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述抽检批次进行检测。

第三控制单元，连接所述第二比较单元，用于控制对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次。

7.根据权利要求6所述的用于高效的缺陷抽检方法的设备，其特征在于，所述控制器还包括：

第三比较单元，连接所述第三控制单元，用于判断对应的所述生产设备后续生产的所述产品批次中是否存在所述抽检批次；

第四控制单元，连接所述第三比较单元，用于在所述生产设备后续生产的所述产品批次中不存在所述抽检批次时，控制所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述产品批次进行检测。

8.根据权利要求7所述的用于高效的缺陷抽检方法的设备，其特征在于，所述控制器还包括：

第四比较单元，连接所述第二控制单元，用于在所述检测站开始下一次检测前，获取将要被检测的所述产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第一比值，将所述第一比值与第二预设值进行比较，所述第二预设值通过用户输入获得；

第五控制单元，连接所述第四比较单元，用于在所述比值不小于所述第二预设值，控制所述检测站放弃检测，控制对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次。

9.根据权利要求8所述的用于高效的缺陷抽检方法的设备，其特征在于，

所述第四比较单元还连接所述第四控制单元，用于在所述检测站开始下一次检测前，获取将要被检测的所述产品批次从上一工序完成到当前时间与对应的从上一工序到下一工序的管控时间的比值，为第二比值，将所述第二比值与所述第二预设值进行比较；

第五控制单元，还用于在所述比值不小于所述第二预设值时，控制所述检测站放弃检测，等待对应的所述生产设备完成当前所述产品批次的生产后，对当前所述产品批次进行检测。

10.根据权利要求8所述的用于高效的缺陷抽检方法的设备，其特征在于，所述控制器还包括一计数矫正单元，连接所述计数器；

所述计数矫正单元用于在所述间隔批次数更新前，判断经过所述检测站的产品批次为报废或返工批次时，控制所述报废或返工批次的产品批次不计为经过所述检测站的所述产品批次。