CN107888161A - 晶圆、压电振动片以及压电振子 - Google Patents

晶圆、压电振动片以及压电振子 Download PDF

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Abstract

提供了一种能够稳定地折取压电振动片的晶圆。晶圆(60)具备压电振动片(3)、框架部(62)、以及将压电振动片(3)和框架部(62)连结的连结部(70)，连结部(70)具备在将连结部(70)作为起点从框架部(62)折取压电振动片(3)时，将从连结部(70)的厚度方向的一面侧受到的力引导到连结部(70)的宽度方向的至少一侧的引导部(72、73)。

Description

晶圆、压电振动片以及压电振子
技术领域
本发明涉及晶圆、压电振动片以及压电振子。
背景技术
近年来，伴随电子设备的小型化，对压电振子及压电振动片的小型化的要求日益高涨。例如，在专利文献1中，公开了利用由压电材料形成的晶圆，一次制造多个压电振动片的技术。晶圆具备多个压电振动片、框架部、以及将压电振动片和框架部连结的连结部。例如，压电振动片在将连结部作为起点从框架部折取之后，着陆到载置台，之后，被吸附支撑并被运送到下个工序。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2009-194630号公报。
发明内容
发明要解决的问题
但是，在使压电振动片小型化的情况下，在压电振动片的折取时，裂纹进入连结部的方式容易产生偏差。因此，压电振动片在载置台处的着陆姿势容易产生偏差。若压电振动片的着陆姿势不佳，则难以吸附支撑并运送压电振动片，存在成品率降低的可能性。因而，在以往的晶圆中，在稳定地折取压电振动片方面存在改善的余地。
本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供能够稳定地折取压电振动片的晶圆、压电振动片以及压电振子。
用于解决问题的方案
本发明的一个方式所涉及的晶圆具备压电振动片、框架部、以及将所述压电振动片和所述框架部连结的连结部，其特征在于，所述连结部具备在将所述连结部作为起点从所述框架部折取所述压电振动片时，将从所述连结部的厚度方向的一面侧受到的力引导到所述连结部的宽度方向的至少一侧的引导部。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被引导到连结部的宽度方向的至少一侧，故裂纹进入连结部的方式容易稳定。因而，能够稳定地折取压电振动片。
在上述晶圆中，所述引导部还可以具有以越在所述连结部的厚度方向的内侧则越位于所述连结部的宽度方向外侧的方式相对于所述连结部的厚度方向的一面倾斜的倾斜面。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被沿倾斜面引导，故裂纹进入连结部的方式更加容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述晶圆中，在所述连结部的横截面视图中，所述引导部构成在所述连结部的宽度方向的外侧具有顶角的三角形状也可。
另外，在使连结部的横截面形状单纯为矩形形状的情况下，在压电振动片的折取时，裂纹进入连结部的方式不确定，无法稳定地折取压电振动片的可能性高。相对于此，根据该构成，在连结部的横截面视图中，通过引导部构成在连结部的宽度方向的外侧具有顶角的三角形状，在压电振动片的折取时，裂纹被沿着三角形状的斜边引导，因而裂纹进入连结部的方式更加容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述晶圆中，所述顶角的角度还可以为30度以上且120度以下。
另外，在顶角的角度超过120度的情况下，连结部的宽度方向上的引导部的宽度变得过薄，连结部因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。另一方面，在顶角的角度小于30度的情况下，连结部的厚度方向上的引导部的厚度变得过薄，连结部因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。相对于此，根据该构成，通过顶角的角度在30度以上且120度以下，充分地确保连结部的强度，因而能够避免连结部在意外的情形下弯折。
在上述晶圆中，在所述连结部的横截面视图中，所述连结部还具备构成矩形形状的本体部，所述引导部配置在所述本体部的宽度方向的一侧面以及另一侧面中的至少一者也可。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部作为起点引导到连结部的宽度方向的至少一侧，故裂纹进入连结部的方式容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述晶圆中，在所述连结部的横截面视图中，所述本体部与所述引导部相比向所述连结部的厚度方向的外侧突出也可。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部的突出部分作为起点引导到连结部的宽度方向的至少一侧，故裂纹进入连结部的方式容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述晶圆中，所述引导部还可以具备配置在所述本体部的宽度方向的一侧面的第一引导部、以及配置在所述本体部的宽度方向的另一侧面的第二引导部。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部作为起点引导到连结部的宽度方向两侧，故裂纹进入连结部的方式容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述晶圆中，在所述连结部的横截面视图中，所述第一引导部和所述第二引导部将所述本体部的宽度方向的中心线作为对称轴构成线对称形状也可。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部作为起点平衡良好地引导到连结部的宽度方向两侧，故裂纹进入连结部的方式容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述晶圆中，在所述连结部的横截面视图中，所述第一引导部和所述第二引导部还可以构成互不相同的形状。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力变得容易被将本体部作为起点仅沿连结部的宽度方向的一个方向引导，故裂纹变得容易进入连结部的局部(即，连结部的脆性部分)。因而，能够容易折取压电振动片。因此，能够避免在压电振动片的折取时压电振动片损伤的情况。
在上述晶圆中，在所述连结部的横截面视图中，在设连结部的宽度为W1，所述本体部的宽度为W2时，还可以满足10μm＜W2×2＜W1＜100μm。
另外，在连结部的宽度W1为100μm以上的情况下，在压电振动片的折取时，裂纹容易从引导部进入，无法稳定地折取压电振动片的可能性高。另一方面，在本体部的宽度W2为10μm以下的情况下，本体部的宽度变得过薄，连结部因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。而且，在W2×2≥W1的情况下，连结部70的宽度变得过薄，连结部因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。相对于此，根据该构成，通过满足10μm＜W2×2＜W1＜100μm，在压电振动片的折取时，裂纹变得难以从引导部进入。即，在压电振动片的折取时，由于裂纹容易将本体部作为起点进入，故能够稳定地折取压电振动片。此外，由于充分地确保连结部的强度，故能够避免连结部在意外的情形下弯折。
在上述晶圆中，还可以具备与在被施加既定的驱动电压时使所述一对振动臂部振动的一对激振电极电连接的一对延伸电极，所述一对延伸电极中的一者配置在所述连结部的宽度方向的一侧面，所述一对延伸电极中的另一者配置在所述连结部的宽度方向的另一侧面。
根据该构成，与将一对延伸电极二者配置在连结部的厚度方向的一个面上的情况相比较，能够避免一对延伸电极接近，因而能够避免一对延伸电极短路。此外，由于能够进一步缩窄连结部的宽度，故能够容易折取压电振动片。因此，能够避免在压电振动片的折取时压电振动片损伤的情况。
本发明的一方式所涉及的压电振动片具备一对振动臂部、以及将所述一对振动臂部的基端彼此连接的基部，其特征在于，还具备使所述基部连结的连结部，所述连结部具备在将所述连结部作为起点折取所述压电振动片时，将从所述连结部的厚度方向的一面侧受到的力引导到所述连结部的宽度方向的至少一侧的引导部。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被引导到连结部的宽度方向的至少一侧，故裂纹进入连结部的方式容易稳定。因而，能够稳定地折取压电振动片。
在上述压电振动片中，所述引导部还可以具有以越在所述连结部的厚度方向的内侧则越位于所述连结部的宽度方向外侧的方式相对于所述连结部的厚度方向的一面倾斜的倾斜面。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被沿倾斜面引导，故裂纹进入连结部的方式更加容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述压电振动片中，在所述连结部的横截面视图中，所述引导部构成在所述连结部的宽度方向的外侧具有顶角的三角形状也可。
另外，在使连结部的横截面形状单纯为矩形形状的情况下，在压电振动片的折取时，裂纹进入连结部的方式不确定，无法稳定地折取压电振动片的可能性高。相对于此，根据该构成，在连结部的横截面视图中，通过引导部构成在连结部的宽度方向的外侧具有顶角的三角形状，在压电振动片的折取时，裂纹被沿着三角形状的斜边引导，因而裂纹进入连结部的方式更加容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述压电振动片中，所述顶角的角度还可以为30度以上且120度以下。
另外，在顶角的角度超过120度的情况下，连结部的宽度方向上的引导部的宽度变得过薄，连结部因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。另一方面，在顶角的角度小于30度的情况下，连结部的厚度方向上的引导部的厚度变得过薄，连结部因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。相对于此，根据该构成，通过顶角的角度在30度以上且120度以下，充分地确保连结部的强度，因而能够避免连结部在意外的情形下弯折。
在上述压电振动片中，在所述连结部的横截面视图中，所述连结部还具备构成矩形形状的本体部，所述引导部配置在所述本体部的宽度方向的一侧面以及另一侧面中的至少一者也可。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部作为起点引导到连结部的宽度方向的至少一侧，故裂纹进入连结部的方式容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述压电振动片中，在所述连结部的横截面视图中，所述本体部与所述引导部相比向所述连结部的厚度方向的外侧突出也可。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部的突出部分作为起点引导到连结部的宽度方向的至少一侧，故裂纹进入连结部的方式容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述压电振动片中，所述引导部还可以具备配置在所述本体部的宽度方向的一侧面的第一引导部、以及配置在所述本体部的宽度方向的另一侧面的第二引导部。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部作为起点引导到连结部的宽度方向两侧，故裂纹进入连结部的方式容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述压电振动片中，在所述连结部的横截面视图中，所述第一引导部和所述第二引导部将所述本体部的宽度方向的中心线作为对称轴构成线对称形状也可。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部作为起点平衡良好地引导到连结部的宽度方向两侧，故裂纹进入连结部的方式容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片。
在上述压电振动片中，在所述连结部的横截面视图中，所述第一引导部和所述第二引导部还可以构成互不相同的形状。
根据该构成，在压电振动片的折取时，由于从连结部的厚度方向的一面侧受到的力变得容易被将本体部作为起点仅沿连结部的宽度方向的一个方向引导，故裂纹变得容易进入连结部的局部(即，连结部的脆性部分)。因而，能够容易折取压电振动片。因此，能够避免在压电振动片的折取时压电振动片损伤的情况。
在上述压电振动片中，在所述连结部的横截面视图中，在设连结部的宽度为W1，所述本体部的宽度为W2时，还可以满足10μm＜W2×2＜W1＜100μm。
另外，在连结部的宽度W1为100μm以上的情况下，在压电振动片的折取时，裂纹容易从引导部进入，无法稳定地折取压电振动片的可能性高。另一方面，在本体部的宽度W2为10μm以下的情况下，本体部的宽度变得过薄，连结部因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。而且，在W2×2≥W1的情况下，连结部70的宽度变得过薄，连结部因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。相对于此，根据该构成，通过满足10μm＜W2×2＜W1＜100μm，在压电振动片的折取时，裂纹变得难以从引导部进入。即，在压电振动片的折取时，由于裂纹容易将本体部作为起点进入，故能够稳定地折取压电振动片。此外，由于充分地确保连结部的强度，故能够避免连结部在意外的情形下弯折。
在上述压电振动片中，还可以具备与在被施加既定的驱动电压时使所述一对振动臂部振动的一对激振电极电连接的一对延伸电极，所述一对延伸电极中的一者配置在所述连结部的宽度方向的一侧面，所述一对延伸电极中的另一者配置在所述连结部的宽度方向的另一侧面。
根据该构成，与将一对延伸电极二者配置在连结部的厚度方向的一个面的情况相比较，能够避免一对延伸电极接近，因而能够防止一对延伸电极短路。此外，由于能够进一步缩窄连结部的宽度，故能够容易折取压电振动片。因此，能够避免在压电振动片的折取时压电振动片损伤的情况。
本发明的一个方式所涉及的压电振子的特征在于，具备上述压电振动片、以及容纳所述压电振动片的封装。
根据该构成，在具备上述压电振动片的压电振子中，能够稳定地折取压电振动片。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够稳定地折取压电振动片的晶圆、压电振动片以及压电振子。
附图说明
图1是实施方式所涉及的压电振子的外观立体图。
图2是实施方式所涉及的压电振子的内部构成图。
图3是图2的Ⅲ-Ⅲ截面图。
图4是实施方式所涉及的压电振子的分解立体图。
图5是实施方式所涉及的压电振动片的平面图。
图6是实施方式所涉及的连结部的横截面图。
图7是实施方式所涉及的压电振动片的制造方法的流程图。
图8是示出实施方式所涉及的压电振动片的制造方法的工序图，是晶圆的部分平面图。
图9是接着图8的工序图，是晶圆的部分平面图。
图10是实施方式所涉及的晶圆的连结部的立体图。
图11是压电振动片的折取时的连结部的作用的说明图。
图12是实施方式的第一变形例所涉及的连结部的横截面图。
图13是实施方式的第二变形例所涉及的连结部的横截面图。
图14是实施方式的第三变形例所涉及的连结部的横截面图。
图15是实施方式的第四变形例所涉及的连结部的横截面图。
图16是实施方式的第五变形例所涉及的连结部的横截面图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明所涉及的实施方式。在以下的实施方式中，作为压电振子的一例，举陶瓷封装类型的表面安装型振子进行说明。此外，在以下的说明中使用的附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适当变更了各部件的比例尺。
在以下的说明中，设定XYZ坐标系，并参照该XYZ坐标系来说明各部件的位置关系。此时，将与压电振动片的主面垂直的方向(即，压电振动片的厚度方向)设为“Z轴方向”，将振动臂部的长度方向(即，压电振动片的长度方向)设为“Y轴方向”，将与Y轴方向以及Z轴方向正交的方向(即，压电振动片的宽度方向)设为“X轴方向”。
[压电振子]
如图1所示，压电振子1具备在内部具有气密密封的腔C(参照图2)的封装2、以及容纳在腔C内的压电振动片3(参照图2)。
如图2所示，压电振子1在平面视图中构成长方形状。在本实施方式中，压电振子1的长度方向、宽度方向以及厚度方向与压电振动片3的长度方向(Y轴方向)、宽度方向(X轴方向)以及厚度方向(Z轴方向)一致。
[封装]
如图3所示，封装2具备封装本体5、以及与封装本体5接合，且在与封装本体5之间形成腔C的封口板6。
封装本体5具备板状的第一基底基板10、与第一基底基板10接合的框状的第二基底基板11、与第二基底基板11接合的框状的第三基底基板12、以及与第三基底基板12接合的框状的密封圈13。
如图4所示，在第一基底基板10、第二基底基板11以及第三基底基板12的四角，形成有在平面视图中1/4圆弧状的切口部15。切口部15遍布第一基底基板10、第二基底基板11以及第三基底基板12的厚度方向整体形成。例如，在将晶圆状的陶瓷基板重叠三片并接合之后，矩阵状地形成贯穿各陶瓷基板的多个通孔，之后，在将各通孔作为基准的同时格子状地切断各陶瓷基板，从而制作第一基底基板10、第二基底基板11以及第三基底基板12。切口部15通过通孔一分为四而形成。
例如，作为陶瓷基板的形成材料，能够列举氧化铝制的HTCC(High TemperatureCo-Fired Ceramic，高温共烧陶瓷)、玻璃陶瓷制的LTCC(Low Temperature Co-FiredCeramic，低温共烧陶瓷)等。
如图3所示，第一基底基板10的外形与封装本体5的最外形状实质上相同。第一基底基板10的上表面10a(+Z轴方向侧的面)限定腔Ｃ的底部。
如图4所示，第二基底基板11的外形与第一基底基板10的外形实质上相同。第二基底基板11构成沿厚度方向开口的框状。第二基底基板11的内周面11a构成在平面视图中四角带有圆度的形状。第二基底基板11的内周面11a限定腔C(参照图3)的侧部的一部分(下部)。
如图3所示，第二基底基板11配置在第一基底基板10的上表面10a。第二基底基板11与第一基底基板10一体化。例如，第二基底基板11通过烧结等结合于第一基底基板10。
如图4所示，在第二基底基板11，设有向宽度方向的内侧突出的安装部14A、14B。安装部14A、14B位于第二基底基板11的长度方向的中央。
第三基底基板12的外形与第二基底基板11的外形实质上相同。第三基底基板12构成沿厚度方向开口的框状。第三基底基板12的内周面12a限定腔C(参照图3)的侧部的一部分(上下中央部)。
如图3所示，第三基底基板12配置在第二基底基板11的上表面。第三基底基板12与第二基底基板11一体化。例如，第三基底基板12通过烧结等结合于第二基底基板11。
如图4所示，密封圈13具有导电性。密封圈13的外形比第三基底基板12的外形小。密封圈13构成沿厚度方向开口的框状。密封圈13的内周面13a限定腔C(参照图3)的侧部的一部分(上部)。
如图3所示，密封圈13接合于第三基底基板12的上表面。例如，密封圈13通过基于银钎料等钎料或焊锡材料等的烧接来接合于第三基底基板12。此外，密封圈13还可以通过熔敷等而接合于在第三基底基板12的上表面形成的金属接合层。例如，金属接合层的形成方法能够列举电解镀、无电解镀、蒸镀以及溅射等。
例如，作为密封圈13的形成材料，能够列举镍基合金等。具体而言，密封圈13的形成材料从科瓦铁镍钴合金(Kovar)、埃林瓦合金(elinvar)、因瓦合金(invar)、42合金等中选择即可。特别地，密封圈13的形成材料优选地选择与第一基底基板10以及第二基底基板11的形成材料的热膨胀系数接近的材料。例如，在使第一基底基板10以及第二基底基板11的形成材料为热膨胀系数6.8×10-6/℃的氧化铝的情况下，密封圈13的形成材料优选采用热膨胀系数5.2×10-6/℃的科瓦铁镍钴合金、或热膨胀系数4.5～6.5×10-6/℃的42合金。
封口板6具有导电性。封口板6的外形与密封圈13的外形实质上相同。封口板6的下表面6a(-Z轴方向侧的面)限定腔Ｃ的上部。
封口板6接合于密封圈13的上端。例如，作为封口板6的接合方法，能够列举通过使滚子电极接触而进行的缝焊、激光焊接、超声波焊接等。此外，从更可靠地接合封口板6和密封圈13的观点来看，将相互亲合性好的镍以及金等的接合层分别形成于封口板6下表面6a的外周部(即，与密封圈13的接合面)、以及密封圈13的上端(即，与封口板6的接合面)。
腔C由第一基底基板10的上表面10a、第二基底基板11的内周面11a、第三基底基板12的内周面12a、密封圈13的内周面13a以及封口板6的下表面6a限定。也就是说，压电振子1的内部由第一基底基板10的上表面、第二基底基板11的内周面11a、第三基底基板12的内周面12a、密封圈13的内周面13a以及封口板6的下表面6a气密地密封。
如图4所示，在第二基底基板11的安装部14A、14B的上表面分别形成有一对电极极板20A、20B，这一对电极极板20A、20B为与压电振动片3的连接电极。另一方面，在第一基底基板10的下表面，形成有沿长度方向背离的一对外部电极21A、21B。例如，电极极板20A、20B以及外部电极21A、21B为通过蒸镀、溅射等形成的由单一金属构成的单层膜或者层叠了不同金属的层叠膜。电极极板20A、20B以及外部电极21A、21B经由未图示的布线相互分别导通。
[压电振动片]
如图5所示，压电振动片3具备压电板30、以及在压电板30形成的电极41～48。
压电板30由压电材料形成。在本实施方式中，压电板30由水晶形成。此外，压电板30还可以由钽酸锂以及铌酸锂等压电材料形成。
压电板30具备一对振动臂部31、32(第一振动臂部31及第二振动臂部32)、将一对振动臂部31、32的基端彼此连接的基部35、连结于基部35且配置在一对振动臂部31、32的宽度方向外侧的一对支撑臂部33、34(第一支撑臂部33以及第二支撑臂部34)、以及供基部35连结的连结部70。从Z轴方向看，压电板30将沿着Y轴方向的中心轴O作为对称轴，实质上构成线对称形状。
[振动臂部]
振动臂部31、32在Y轴方向上较长。振动臂部31、32从基部35朝+Y轴方向延伸。振动臂部31、32沿X轴方向并列且平行地配置。各振动臂部31、32将基部35作为固定端，且将顶端作为自由端来振动。振动臂部31、32具有位于基部35一侧的本体部31A、32A、以及位于振动臂部31、32顶端侧的锤部31B、32B。
在本体部31A、32A形成有槽部37。槽部37在本体部31A、32A的两个主面(厚度方向的两个面)向厚度方向内侧凹陷。槽部37遍布本体部31A、32A的长度方向延伸。
在本体部31A、32A，设有两个系统的激振电极(第一激振电极41以及第二激振电极42)。激振电极41、42在被施加既定的驱动电压时使振动臂部31、32沿宽度方向振动。激振电极41、42在相互电绝缘的状态下被进行图案形成。
具体而言，第一激振电极41形成于第一振动臂部31的槽部37和第二振动臂部32的宽度方向的两个侧面。另一方面，第二激振电极42形成于第一振动臂部31的宽度方向的两个侧面和第二振动臂部32的槽部37。
从Z轴方向看，锤部31B、32B形成在Y轴方向上较长的长方形形状。在X轴方向上，锤部31B、32B的宽度比本体部31A、32A的宽度大。由此，能够使振动臂部31、32的顶端的质量增加，并且使振动时的惯性力矩增大。因此，与没有锤部31B、32B的压电振动片相比较，能够缩短振动臂部31、32。
在锤部31B、32B形成有配重金属膜50。配重金属膜50与第一激振电极41或第二激振电极42一体地形成。配重金属膜50使振动臂部31、32的顶端的质量增加。配重金属膜50在缩短振动臂部31、32时抑制共振频率的上升。
[支撑臂部]
从Z轴方向看，支撑臂部33、34构成L字状。支撑臂部33、34配置在基部35以及振动臂部31、32(本体部31A、32A)的宽度方向的外侧。具体而言，支撑臂部33、34在从基部35的宽度方向的两个侧面朝宽度方向的外侧突出之后，沿长度方向与振动臂部31、32平行地延伸。
在支撑臂部33、34，作为在将压电振动片3安装于封装本体5时的装配部，分别设有装配电极43、44(第一装配电极43以及第二装配电极44)。第一装配电极43配置在第二支撑臂部34的靠近前端处。第二装配电极44配置在第一支撑臂部33的靠近前端处。
两个系统的激振电极41、42以及两个系统的装配电极43、44通过两个系统的引绕电极45、46(第一引绕电极45以及第二引绕电极46)分别导通。第一引绕电极45从第二支撑臂部34经由基部35被引绕到振动臂部31、32。第二引绕电极46从第一支撑臂部33经由基部35被引绕到振动臂部31、32。激振电极41、42、装配电极43、44以及引绕电极45、46以从Z轴方向看的平面形状一致的方式形成在压电板30的两个主面。
在基部35设有一对延伸电极47、48(第一延伸电极47以及第二延伸电极48)。延伸电极47、48分别电连接于激振电极41、42。第一延伸电极47和第二延伸电极48相互电绝缘。
[连结部]
连结部70是将压电振动片3(图8所示的压电板30)和后述框架部62(参照图8)连结的部分。图6是从-Y轴方向看连结部70的图。换言之，图6示出在将连结部70作为起点折取压电振动片3之后的连结部70的横截面。
如图6所示，从-Y轴方向看(在连结部70的横截面视图中)，连结部70具备构成矩形形状的本体部71、以及构成在连结部70的宽度方向的外侧具有顶角K的三角形状的引导部72、73(第一引导部72以及第二引导部73)。为了方便，在图6中，以两点划线示出了本体部71和引导部72、73的边界。
从-Y轴方向看，本体部71构成在Z轴方向上较长的长方形状。从-Y轴方向看，本体部71与引导部72、73相比向连结部70的厚度方向的外侧突出。
引导部72、73具有以越在连结部70的厚度方向的内侧则越位于连结部70的宽度方向外侧的方式相对于连结部70的厚度方向的一个面倾斜的倾斜面72a、73a。从-Y轴方向看，引导部72、73构成作为斜边具有实质上相同长度的倾斜面72a、73a的等边三角形形状。此外，所述等边三角形形状是一例，形成顶角K的两个斜边也可以是不同的长度。
从充分地确保连结部70的强度的观点看，顶角K的角度优选为30度以上且120度以下。而且，从更可靠地确保连结部70的强度的观点看，顶角K的角度更优选为80度以上且100度以下。例如，本实施方式的顶角K的角度为100度左右。
引导部72、73配置在本体部71的宽度方向的两个侧面。具体而言，第一引导部72配置在本体部71的宽度方向的一个侧面(-X方向轴侧的面)。另一方面，第二引导部73配置在本体部71的宽度方向的另一侧面(+X轴方向侧的面)。从-Y轴方向看，第一引导部72和第二引导部73配置在本体部71的长度方向的中央。从-Y轴方向看，第一引导部72和第二引导部73将本体部71的宽度方向的中心线L1作为对称轴构成线对称形状。从-Y轴方向看，第一引导部72和第二引导部73将本体部71的厚度方向的中心线L2作为对称轴构成线对称形状。
从-Y轴方向看，将连结部70的宽度设为W1，将本体部71的宽度设为W2。在此，连结部70的宽度W1意味着连结部70的X轴方向的最大长度(即，第一引导部72的顶点与第二引导部73的顶点之间的距离)。本体部71的宽度W2意味着本体部71的-X轴方向侧的面和+X轴方向侧的面之间的长度。
连结部70的宽度W1和本体部71的宽度W2满足：
10μｍ＜Ｗ2×2＜Ｗ1＜100μｍ。
一对延伸电极47、48(第一延伸电极47以及第二延伸电极48)被从基部35(参照图5)的主面引绕到连结部70的宽度方向的两个侧面。从-Y轴方向看，延伸电极47、48沿着本体部71和引导部72、73屈曲。第一延伸电极47配置在连结部70的宽度方向的一个侧面(-X轴方向侧的面)。另一方面，第二延伸电极48配置在连结部70的宽度方向的另一侧面(+X轴方向侧的面)。第一延伸电极47和第二延伸电极48相互电绝缘。
[压电振动片的连接状态]
如图2所示，压电振动片3容纳在气密密封的封装2的腔C内。支撑臂部33、34分别通过导电性粘接剂电气地以及机械地接合于设于安装部14A、14B的两个电极极板20A、20B。振动臂部31、32经由基部35受到支撑。第一装配电极43(参照图5)电连接于电极极板20B。第二装配电极44(参照图5)电连接于电极极板20A。
此外，作为将支撑臂部33、34和电极极板20A、20B接合的导电性接合材料，还可以使用金属凸块。金属凸块在接合初期的阶段具有流动性，并且，在接合后期的阶段具有固化并显现接合强度的性质。上述导电性粘接剂也具有与金属凸块共同的性质。
如图5所示，若对外部电极21A、21B(参照图3)施加既定的电压，则电流流入激振电极41、42，在激振电极41、42之间产生电场。例如，振动臂部31、32通过由在激振电极41、42之间产生的电场引起的反压电效应沿相互接近或背离的方向(X轴方向)在既定的共振频率下振动。例如，振动臂部31、32的振动能够用于时刻源、控制信号的定时源、或基准信号源等。
[压电振动片的制造方法]
接着，说明本实施方式的压电振动片3的制造方法。
如图7所示，本实施方式的压电振动片3的制造方法具有外形形成工序S10、电极形成工序S20、配置金属膜形成工序S30、频率调整工序S40、以及单片化工序S50。
[外形形成工序]
首先，进行外形形成工序S10。如图8所示，在外形形成工序S10中，在晶圆60，形成多个(在图8中仅图示一个)压电板30、框架部62、以及连结压电板30和框架部62的连结部70。
具体而言，通过光刻技术在晶圆60的厚度方向的两个面形成与压电板30、框架部62以及连结部70的外形形状对应的形状的掩模(以下，称为“外形掩模”)。接着，对晶圆60进行湿式蚀刻。由此，选择性地去除未被外形掩模掩蔽的区域，以形成压电板30、框架部62以及连结部70的外形形状。此时，压电板30沿X轴方向并列地配置有多个(在图8中仅图示一个)，并且，多个压电板30为分别经由连结部70连结于框架部62的状态。另外，在晶圆60的外表面之中，通过湿式蚀刻形成的端面(侧面)为水晶的自然结晶面。
接着，对振动臂部31、32进行蚀刻加工。由此，在振动臂部31、32的两个主面形成槽部37。
在此，连结部70将框架部62以及基部35的-Y轴方向侧的端缘连结。连结部70配置在基部35的-Y轴方向侧的端缘的宽度方向中央。框架部62和连结部70的连接部61沿Y轴方向从框架部62朝基部35突出。连接部61的X轴方向上的宽度从框架部62朝基部35逐渐变窄。连结部70的宽度在框架部62和基部35的-Y轴方向侧的端缘之间的部分处变得最窄。例如，连结部70的宽度为30μm以上且50μm以下。
[电极形成工序]
接着，进行电极形成工序S20。如图9所示，在电极形成工序S20中，在晶圆60图案形成电极膜，在压电板30形成激振电极41、42(参照图5)、装配电极43、44(参照图5)以及引绕电极45、46(参照图5)，并且形成从压电板30通过连结部70、连接部61延伸到框架部62的延伸电极47、48。此外，在图9～图11中，为了方便，省略了激振电极41、42、装配电极43、44、引绕电极45、46以及配重金属膜50的图示。
具体而言，在晶圆60的主面以及侧面，通过溅射法、蒸镀法等形成电极膜。例如，电极膜为用金等金属的单层膜，或者将铬等金属作为底层层且将金等金属作为上层层的层叠膜等形成。
接着，通过光刻技术，在电极膜的表面形成与电极41～48的外形形状对应的形状的由抗蚀剂材料形成的掩模(以下，称为“电极掩模”。)。
接着，对电极膜进行蚀刻加工，以选择性地去除未被电极掩模掩蔽的区域的电极膜。由此，在压电板30形成激振电极41、42(参照图5)、装配电极43、44(参照图5)以及引绕电极45、46(参照图5)。此外，在从压电板30通过连结部70、连接部61到框架部62的区域，形成延伸电极47、48。
第一延伸电极47沿Y轴方向延伸。第一延伸电极47与中心轴O(参照图5)相比配置在-X轴方向侧。在连结部70中，第一延伸电极47配置在本体部71的-X轴方向侧的侧面以及第一引导部72的倾斜面72a(参照图10)。第一延伸电极47的-Y轴方向侧的端部与在框架部62的主面设置的矩形形状的第一极板部47a连接。第一延伸电极47的+Y轴方向侧的端部与在基部35的主面设置的第一引绕电极45连接。
第二延伸电极48在从第一延伸电极47沿+X轴方向背离的位置处沿Y轴方向延伸。第二延伸电极48与中心轴O(参照图5)相比配置在+X轴方向侧。在连结部70中，第二延伸电极48配置在本体部71的+X轴方向侧的侧面以及第二引导部73的倾斜面73a(参照图6)。第二延伸电极48的-Y轴方向侧的端部与在框架部62的主面与第一极板部47a相比设于+X轴方向的矩形形状的第二极板部48a连接。第二延伸电极48的+Y轴方向侧的端部与在基部35的主面设置的第二引绕电极46连接。
极板部47a、48a与压电板30对应地设置，且沿X轴方向交替地排列并配置有多个(在图9中仅图示一对)。此外，极板部47a、48a的位置不特别受到限定，可以配置在在X轴方向上与压电板30重叠的位置，还可以配置在在X轴方向上与相邻的两个压电板30彼此之间对应的位置。
[配重金属膜形成工序]
接着，进行配重金属膜形成工序S30。如图5所示，在配重金属膜形成工序S30中，在振动臂部31、32的锤部31B、32B，形成频率调整用的配重金属膜50。例如，配重金属膜50通过蒸镀等而形成。此外，配重金属膜50还可以在电极形成工序S20中与电极41～48同时形成。
[频率调整工序]
接着，进行频率调整工序S40。在频率调整工序S40中，通过在延伸电极47、48之间施加既定的驱动电压，使振动臂部31、32振动来调整压电振动片3(压电板30)的频率。
具体而言，如图9所示，将用于施加电压的测定器的探头等推抵于极板部47a、48a。在该状态下，通过延伸电极47、48在激振电极41、42(参照图5)之间施加既定的驱动电压，以使振动臂部31、32振动。根据此时测定的频率和预先规定的压电振动片3的目标频率之差，部分地去除振动臂部31、32上的配重金属膜50(参照图5)。由此，振动臂部31、32的质量变化，因而振动臂部31、32的振动频率(压电振动片3的频率)变化。因此，能够接近压电振动片3的频率的目标频率。
[单片化工序]
接着，进行单片化工序S50。在单片化工序S50中，切断连结部70，使压电板30单片化。
具体而言，将连结部70作为起点，从框架部62折取压电振动片3。如上所述，连结部70的宽度在框架部62和基部35的-Y轴方向侧的端缘之间的部分处变得最窄，因而若相对于框架部62弯折压电板30，则在连结部70处切断。
通过以上，能够从一片晶圆60一次多个地制造多个压电振动片3。此外，压电振动片3在将连结部70作为起点从框架部62折取之后，着陆到未图示的载置台，之后，被吸附支撑并被运送到下个工序。
[压电振动片的折取时的连结部的作用]
如图10所示，在压电振动片3的折取时，连结部70从连结部70的厚度方向的一面侧受力。具体而言，在压电振动片3的折取时，本体部71从箭头F1的方向(即，从+Z轴方向朝-Z轴方向)受力。
图11是图9的XI-XI截面图(即，连结部70的横截面图)。在图11中，为了方便，省略延伸电极47、48的图示。
如图11所示，在压电振动片3的折取时，引导部72、73将从连结部70的厚度方向的一面侧受到的力(从箭头F1的方向受到的力)引导到连结部70的宽度方向的至少一侧。第一引导部72将从箭头F1的方向受到的力引导到沿着倾斜面72a的箭头F2的方向。第二引导部73将从箭头F1的方向受到的力引导到沿着倾斜面73a的箭头F3的方向。
如以上说明的，在本实施方式所涉及的晶圆60、压电振动片3以及压电振子1中，连结部70具备在将连结部70作为起点从框架部62折取压电振动片3时，将从连结部70的厚度方向的一面侧受到的力引导到连结部70的宽度方向的至少一侧的引导部72、73。
另外，在以往的晶圆中，在使压电振动片小型化的情况下，在压电振动片的折取时，裂纹进入连结部的方式容易产生偏差。因此，压电振动片在载置台处的着陆姿势容易产生偏差。若压电振动片的着陆姿势不佳，则难以吸附支撑并运送压电振动片，存在成品率降低的可能性。因而，在稳定地折取压电振动片方面存在改善的余地。
相对于此，根据本实施方式，在压电振动片3的折取时，由于从连结部70的厚度方向的一面侧受到的力被引导到连结部70的宽度方向的至少一侧，故裂纹进入连结部70的方式容易稳定。因而，能够稳定地折取压电振动片3。此外，在压电振动片3的折取时，通过裂纹进入连结部70的方式稳定，载置台上的压电振动片3的着陆姿势容易稳定。因而，容易吸附支撑并运送压电振动片，能够抑制成品率降低的情况。
另外，在本实施方式中，引导部72、73具有以越在连结部70的厚度方向的内侧则越位于连结部70的宽度方向外侧的方式相对于连结部70的厚度方向的一个面倾斜的倾斜面72a、73a。
根据本实施方式，在压电振动片3的折取时，由于从连结部70的厚度方向的一面侧受到的力被沿倾斜面72a、73a引导，故裂纹进入连结部70的方式更加容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片3。
另外，若在外形形成工序中对水晶进行湿式蚀刻加工，则存在在连结部70的宽度方向的侧面，作为蚀刻残留，形成由压电材料的自然结晶面形成的异形部的情况。例如，异形部形成在连结部70的宽度方向的两侧面。异形部的表面为相对于晶圆60的主面倾斜的面。即，异形部的表面为相对于连结部70的厚度方向的一面倾斜的面。因而，根据本实施方式，能够使异形部的表面为引导部72、73的倾斜面72a、73a，因而是优选的。
另外，在本实施方式中，在连结部70的横截面视图中，引导部72、73构成在连结部70的宽度方向的外侧具有顶角K的三角形状。
另外，在使连结部70的横截面形状单纯为矩形形状的情况下，在压电振动片3的折取时，裂纹进入连结部70的方式不确定，无法稳定地折取压电振动片3的可能性高。相对于此，根据本实施方式，在连结部70的横截面视图中，通过引导部72、73构成在连结部70的宽度方向的外侧具有顶角K的三角形状，在压电振动片3的折取时，裂纹被沿着三角形状的斜边引导，因而裂纹进入连结部70的方式更加容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片3。
另外，在本实施方式中，顶角K的角度为30度以上且120度以下。
另外，在顶角K的角度超过120度的情况下，连结部70的宽度方向上的引导部72、73的宽度变得过薄，连结部70因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。另一方面，在顶角K的角度小于30度的情况下，连结部70的厚度方向上的引导部72、73的厚度变得过薄，连结部70因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。相对于此，根据本实施方式，通过顶角K的角度在30度以上且120度以下，充分地确保连结部70的强度，因而能够避免连结部70在意外的情形下弯折。
另外，在本实施方式中，在连结部70的横截面视图中，连结部70还具备构成矩形形状的本体部71，引导部72、73配置在本体部71的宽度方向的两侧面。即，引导部72、73具备配置在本体部71的宽度方向的一侧面的第一引导部72、以及配置在本体部71的宽度方向的另一侧面的第二引导部73。
根据本实施方式，在压电振动片3的折取时，由于从连结部70的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部71作为起点引导到连结部70的宽度方向的两侧，故裂纹进入连结部70的方式更加容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片3。
另外，在本实施方式中，在连结部70的横截面视图中，本体部71与引导部72、73相比向连结部70的厚度方向的外侧突出。
根据本实施方式，在压电振动片3的折取时，由于从连结部70的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部71的突出部分作为起点引导到连结部70的宽度方向的至少一侧，故裂纹进入连结部70的方式更加容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片3。
另外，在本实施方式中，在连结部70的横截面视图中，第一引导部72和第二引导部73将本体部71的宽度方向的中心线L1作为对称轴构成线对称形状。
根据本实施方式，在压电振动片3的折取时，由于从连结部70的厚度方向的一面侧受到的力被将本体部71作为起点在平衡良好的情况下引导到连结部70的宽度方向两侧，故裂纹进入连结部70的方式更加容易稳定。因而，能够更加稳定地折取压电振动片3。
另外，在本实施方式中，在连结部70的横截面视图中，在设连结部70的宽度为W1，本体部71的宽度为W2时，满足10μm＜W2×2＜W1＜100μm。
另外，在连结部70的宽度W1为100μm以上的情况下，在压电振动片3的折取时，裂纹容易从引导部72、73进入，无法稳定地折取压电振动片3的可能性高。另一方面，在本体部71的宽度W2为10μm以下的情况下，本体部71的宽度变得过薄，连结部70因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。而且，在W2×2≥W1的情况下，连结部70的宽度变得过薄，连结部70因强度不足而在意外的情形下弯折的可能性高。相对于此，根据本实施方式，通过满足10μm＜W2×2＜W1＜100μm，在压电振动片3的折取时，裂纹变得难以从引导部72、73进入。即，在压电振动片3的折取时，由于裂纹容易将本体部71作为起点进入，故能够稳定地折取压电振动片3。此外，由于充分地确保连结部70的强度，故能够避免连结部70在意外的情形下弯折。
另外，在本实施方式中，还具备与在被施加既定的驱动电压时使一对振动臂部31、32振动的一对激振电极41、42电连接的一对延伸电极47、48，第一延伸电极47(一对延伸电极47、48中的一者)配置在连结部70的宽度方向的一个侧面，第二延伸电极48(一对延伸电极47、48中的另一者)配置在连结部70的宽度方向的另一侧面。
根据该构成，与将一对延伸电极47、48二者配置在连结部70的厚度方向的一个面的情况相比较，能够避免一对延伸电极47、48接近，因而能够避免一对延伸电极47、48短路。此外，由于能够进一步缩窄连结部70的宽度，故能够容易折取压电振动片3。因此，能够避免在压电振动片3的折取时压电振动片3损伤的情况。
另外，在本实施方式中，举在连结部70的横截面视图中，第一引导部72和第二引导部73将本体部71的宽度方向的中心线L1作为对称轴构成线对称形状的例子进行了说明，但不限于此。例如，还可以如图12所示，在连结部170的横截面视图中，第一引导部172和第二引导部173还可以构成互不相同的形状。在图12所示的变形例中，在连结部170的横截面视图中，第一引导部172的外形比第二引导部173的外形大。另一方面，在图13所示的变形例中，在连结部270的横截面视图中，第一引导部272的外形比第二引导部273的外形小。
根据这些变形例，在压电振动片3的折取时，由于从连结部170的厚度方向的一面侧受到的力变得容易被将本体部171作为起点仅沿连结部170的宽度方向的一个方向引导，故裂纹变得容易进入连结部170的局部(即，连结部170的脆性部分)。因而，能够容易折取压电振动片3。因此，能够避免在压电振动片3的折取时压电振动片3损伤的情况。
另外，若在外形形成工序中对水晶进行湿式蚀刻加工，则存在在连结部170的宽度方向的侧面，作为蚀刻残留，形成由压电材料的自然结晶面形成的异形部的情况。例如，异形部形成在连结部170的宽度方向的两侧面。异形部的表面为相对于晶圆60的主面倾斜的面。异形部在-X轴方向侧和+X轴方向侧不对称地形成。因而，根据本变形例，能够利用异形部的在X轴方向上的不对称性来形成引导部172、173，故是优选的。
另外，在本实施方式中，举在连结部70的横截面视图中，本体部71与引导部72、73相比向连结部70的厚度方向的外侧突出的例子进行了说明，但不限于此。例如，还可以如图14所示，在连结部370的横截面视图中，本体部371的厚度方向的一面的端缘与引导部372、373的倾斜面372a、373a的端缘相接。在图14所示的变形例中，在连结部370的横截面视图中，第一引导部372的外形和第二引导部373的外形构成实质上相同的形状。
另外，还可以如图15所示，在连结部470的横截面视图中，本体部471的厚度方向的一面的端缘仅仅与第一引导部472的倾斜面472a的端缘相接。即，本体部471的厚度方向的一面的端缘还可以与第二引导部473的倾斜面473a的端缘背离。在图15所示的变形例中，在连结部470的横截面视图中，第一引导部472和第二引导部473构成互不相同的形状。在图15所示的变形例中，在连结部470的横截面视图中，第一引导部472的外形比第二引导部473的外形大。另一方面，在图16所示的变形例中，在连结部570的横截面视图中，第一引导部572的外形比第二引导部573的外形小。
另外，虽然在本实施方式中，举在连结部70的横截面视图中，连结部70还具备构成矩形形状的本体部71，引导部72、73配置在本体部71的宽度方向的两侧面的例子进行了说明，但不限于此。例如，引导部还可以仅配置在本体部71的宽度方向的一侧面。即，引导部配置在本体部71的宽度方向的一侧面以及另一侧面中的至少一者即可。
此外，本发明不限定于参照附图说明的上述实施方式，在其技术范围内能够考虑各种变形例。
例如，在上述实施方式中，压电振动片3是支撑臂部33、34配置在振动臂部31、32外侧的所谓侧臂型的振动片。但不限定于此，压电振动片也可以是例如一个支撑臂部配置在一对振动臂部之间的所谓中央臂型的振动片，还可以是不具备支撑臂部的振动片。另外，在振动臂部还可以不形成槽部。
另外，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够适当地将上述实施方式中的构成要素替换为公知的构成要素。
符号说明
1 压电振子
2 封装
3 压电振动片
31 第一振动臂部(振动臂部)
32 第二振动臂部(振动臂部)
35 基部
41 第一激振电极(激振电极)
42 第二激振电极(激振电极)
47 第一延伸电极(延伸电极)
48 第二延伸电极(延伸电极)
60 晶圆
62 框架部
70 连结部
71 本体部
72 第一引导部(引导部)
73 第二引导部(引导部)
72a、73a 倾斜面
K 顶角
L1 本体部的宽度方向的中心线。

Claims (23)

1.一种晶圆，具备压电振动片、框架部、以及将所述压电振动片和所述框架部连结的连结部，其特征在于，
所述连结部具备在将所述连结部作为起点从所述框架部折取所述压电振动片时，将从所述连结部的厚度方向的一面侧受到的力引导到所述连结部的宽度方向的至少一侧的引导部。
2.根据权利要求1所述的晶圆，其特征在于，所述引导部具有以越在所述连结部的厚度方向的内侧则越位于所述连结部的宽度方向外侧的方式相对于所述连结部的厚度方向的一面倾斜的倾斜面。
3.根据权利要求1或2所述的晶圆，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，所述引导部构成在所述连结部的宽度方向的外侧具有顶角的三角形状。
4.根据权利要求3所述的晶圆，其特征在于，所述顶角的角度为30度以上且120度以下。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的晶圆，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，所述连结部还具备构成矩形形状的本体部，
所述引导部配置在所述本体部的宽度方向的一侧面以及另一侧面中的至少一者。
6.根据权利要求5所述的晶圆，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，所述本体部与所述引导部相比向所述连结部的厚度方向的外侧突出。
7. 根据权利要求5或6所述的晶圆，其特征在于，
所述引导部具备
配置在所述本体部的宽度方向的一侧面的第一引导部、以及
配置在所述本体部的宽度方向的另一侧面的第二引导部。
8.根据权利要求7所述的晶圆，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，所述第一引导部和所述第二引导部将所述本体部的宽度方向的中心线作为对称轴构成线对称形状。
9. 根据权利要求7所述的晶圆，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，所述第一引导部和所述第二引导部构成互不相同的形状。
10.根据权利要求5至9中的任一项所述的晶圆，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，在设所述连结部的宽度为W1，所述本体部的宽度为W2时，满足
10μm＜W2×2＜W1＜100μm。
11.根据权利要求1至10中的任一项所述的晶圆，其特征在于，
还具备与在被施加既定的驱动电压时使所述压电振动片的一对振动臂部振动的一对激振电极电连接的一对延伸电极，
所述一对延伸电极中的一者配置在所述连结部的宽度方向的一侧面，
所述一对延伸电极中的另一者配置在所述连结部的宽度方向的另一侧面。
12.一种压电振动片，具备一对振动臂部、以及将所述一对振动臂部的基端彼此连接的基部，其特征在于，
还具备使所述基部连结的连结部，
所述连结部具备在将所述连结部作为起点折取所述压电振动片时，将从所述连结部的厚度方向的一面侧受到的力引导到所述连结部的宽度方向的至少一侧的引导部。
13.根据权利要求12所述的压电振动片，其特征在于，所述引导部具有以越在所述连结部的厚度方向的内侧则越位于所述连结部的宽度方向外侧的方式相对于所述连结部的厚度方向的一面倾斜的倾斜面。
14.根据权利要求12或13所述的压电振动片，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，所述引导部构成在所述连结部的宽度方向的外侧具有顶角的三角形状。
15.根据权利要求14所述的压电振动片，其特征在于，所述顶角的角度为30度以上且120度以下。
16.根据权利要求12至15中的任一项所述的压电振动片，其特征在于，
在所述连结部的横截面视图中，所述连结部还具备构成矩形形状的本体部，
所述引导部配置在所述本体部的宽度方向的一侧面以及另一侧面中的至少一者。
17.根据权利要求16所述的压电振动片，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，所述本体部与所述引导部相比向所述连结部的厚度方向的外侧突出。
18. 根据权利要求16或17所述的压电振动片，其特征在于，
所述引导部具备
配置在所述本体部的宽度方向的一侧面的第一引导部、以及
配置在所述本体部的宽度方向的另一侧面的第二引导部。
19.根据权利要求18所述的压电振动片，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，所述第一引导部和所述第二引导部将所述本体部的宽度方向的中心线作为对称轴构成线对称形状。
20. 根据权利要求18所述的压电振动片，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，所述第一引导部和所述第二引导部构成互不相同的形状。
21.根据权利要求16至20中的任一项所述的压电振动片，其特征在于，在所述连结部的横截面视图中，在设所述连结部的宽度为W1，所述本体部的宽度为W2时，满足
10μm＜W2×2＜W1＜100μm。
22.根据权利要求12至21中的任一项所述的压电振动片，其特征在于，
还具备与在被施加既定的驱动电压时使所述一对振动臂部振动的一对激振电极电连接的一对延伸电极，
所述一对延伸电极中的一者配置在所述连结部的宽度方向的一侧面，
所述一对延伸电极中的另一者配置在所述连结部的宽度方向的另一侧面。
23. 一种压电振子，其特征在于，具备
权利要求12至22中的任一项所述的压电振动片、以及
容纳所述压电振动片的封装。
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