CN107804638B - 物品容纳设备 - Google Patents

Abstract

将物品容纳搁架（1）的侧周围覆盖的壁体具备：主壁部（22），以沿着上下方向（Y）的姿势设置在相对于设置地板（F1）向上方隔开了间隔的位置；以及副壁部（23b），设置在相对于设置地板（F1）向上方隔开了间隔的位置；在主壁部（22）的上端形成有流入口（24），被主壁部（22）包围的第1空间（S1）与副壁部（23b）的正下方的第2空间（S2）连通，在副壁部（23b）中的第2方向（X2）的端部的下方形成流出口，将副壁部中的第1方向（X1）的端部以在副壁部（23b）与主壁部（22）之间限制空气的流通的状态连接于主壁部（22）中的下端。

Description

物品容纳设备

技术领域

本发明涉及具备物品容纳搁架和壁体的物品容纳设备。

背景技术

在日本特开2009－184787号公报中记载有具备物品容纳搁架和壁体的物品容纳设备的一例，所述物品容纳搁架立设在以限制空气的流通的方式构成的设置地板上，所述壁体将前述物品容纳搁架的侧周围覆盖，以便限制空气的流通。在该物品容纳设备中，壁体（周壁（W））形成为上端及下端开口的四方筒状，壁体中的上端的开口形成有使空气从壁体的上方向被壁体包围的空间流入的流入口，壁体中的下端的开口被设置地板关闭。并且，在壁体的下端部处，形成有使空气从被壁体包围的空间向横侧方流出的流出口，在该流出口处设有送风装置（周壁用风扇过滤器单元35）。

在上述物品容纳设备中，由于在流出口设有送风装置，所以物品容纳设备的运行成本变高。所以，考虑不在流出口设置送风装置来抑制运行成本，但产生如下所述的问题。例如，在容纳在物品容纳搁架上的物品是收容半导体基板的容器的情况下，有充满在容器内的氮气等惰性气体从容器流出的情况。在这样从物品产生了气体的情况下，有该气体的浓度局部地变高的情况，换言之，有氧的浓度局部地变低的情况。在以往的物品容纳设备中，通过由送风装置将空气从流出口强制地送出而将空气搅拌，抑制了从流出口送出的空气中的氧的浓度局部地变低。但是，为了抑制运行成本而不在流出口处设置送风装置的情况下，从流出口流出的空气难以被搅拌，在氧浓度局部较低的状态下从壁体流出。

发明内容

因此，谋求能够在抑制运行成本的同时抑制从壁体流出的空气的氧浓度局部地变低的物品容纳设备。

鉴于上述问题，物品容纳设备具备物品容纳搁架和壁体，所述物品容纳搁架立设在设置地板上，所述设置地板构成为限制空气的流通，所述壁体将前述物品容纳搁架的侧周围覆盖，以便限制空气的流通；作为1个技术方案，前述壁体具备主壁部和副壁部，所述主壁部在相对于前述设置地板向上方隔开了间隔的位置以沿着上下方向的姿势设置，并限制空气的流通，所述副壁部在相对于前述设置地板向上方隔开了间隔的位置沿着前述设置地板设置，并限制空气的流通；在上下方向上观察时，在前述主壁部的厚度方向上，设前述物品容纳搁架相对于前述主壁部存在的方向为第1方向，设与前述第1方向相反的方向为第2方向；在前述主壁部的上端，形成有使空气从前述主壁部的上方向被前述主壁部包围的第1空间流入的流入口；被前述主壁部包围的前述第1空间与前述副壁部的正下方的第2空间连通；在前述副壁部中的前述第2方向的端部的下方，形成有使空气从前述第2空间向前述副壁部的前述第2方向流出的流出口；前述副壁部中的前述第1方向的端部以在前述副壁部与前述主壁部之间限制空气的流通的状态连接于前述主壁部的下端。

根据该结构，从形成在主壁部的上端的流入口流入到第1空间中的空气在流动到下方后，在比副壁部靠下方向第2方向流动，在副壁部的正下方的第2空间中流动后，从形成在副壁部的端部的下方的流出口向壁体的外部流出。即，不使壁体内的空气从主壁部直接向壁体的外部流出，而使其在通过设置副壁部形成的第2空间中流动后向壁体的外部流出，从而空气在第2空间中流动的期间中被搅拌。这样，能够不设置送风装置而利用副壁部的正下方的第2空间将空气搅拌，所以能够实现从流出口流出的空气的氧浓度的均匀化。因而，能够在抑制运行成本的同时，抑制从壁体流出的空气的氧浓度局部地变低。

物品容纳设备的进一步的特征和优点根据参照附图说明的关于实施方式的以下记载会变得明确。

附图说明

图1是物品容纳设备的主视图。

图2是表示物品容纳设备中的空气的流动的图。

具体实施方式

以下，基于附图说明有关本发明的物品容纳设备的实施方式。如图1所示，物品容纳设备具备容纳作为物品的容器W的物品容纳搁架1、输送容器W的堆垛起重机2和惰性气体供给装置3。此外，在物品容纳设备中具备壁体K和运入运出装置4，所述壁体K将设置有物品容纳搁架1及堆垛起重机2的内部空间S1的侧周围覆盖以便限制空气的流通，所述运入运出装置4以将壁体K贯通的状态设置，输送容器W。

在物品容纳搁架1中，具备多个将容器W容纳的容纳部1a。惰性气体供给装置3构成为，向容纳在容纳部1a中的容器W的内部供给作为气体的惰性气体（详细地讲是氮气）。容器W构成为，能够收容1片基板。在本实施方式中，设基板为EUV平板印刷用的中间掩模，设容器W为收容中间掩模的容器W。

运入运出装置4设置为，在位于壁体K的外侧的外部部位与位于壁体K的内侧的内部部位之间输送容器W。运入运出装置4设置在较高的位置和较低的位置，以便顶棚输送车（未图示）对设置在较高的位置处的运入运出装置4的外部部位进行容器W的装卸，作业者对设置在较低的位置处的运入运出装置4的外部部位进行容器W的装卸。另外，设置在较低的位置处的运入运出装置4没有图示。堆垛起重机2从运入运出装置4的内部部位向物品容纳搁架1的容纳部1a输送容器W，从物品容纳搁架1的容纳部1a向运入运出装置4的内部部位输送容器W。

物品容纳设备设置于使气体在腔室空间S中从顶棚侧朝向地板侧向下方流动的下降流式的无尘室内。无尘室的地板部F具备下地板部F1和比下地板部F1靠上方设置的上地板部F2。下地板部F1是不具有通气孔的不能通气的地板，上地板部F2是具有通气孔的能够在上下方向Y上通气的地板。在本实施方式中，下地板部F1由无孔状的混凝土构成，堆垛起重机2在下地板部F1上行驶。此外，在本实施方式中，上地板部F2由形成有多个沿上下方向Y贯通的通气孔的格栅构成，作业者在该上地板部F2上步行。

无尘室的顶棚部C由上顶棚部C1和比上顶棚部C1靠下方设置的下顶棚部C2构成。上顶棚部C1是不具有通气孔的不能通气的顶棚，下顶棚部C2是能够在上下方向Y上通气的顶棚。在本实施方式中，上顶棚部C1由无孔状的混凝土构成，下顶棚部C2由HEPA过滤器（高效过滤器）等过滤器构成。

另外，具备过滤器的下顶棚部C2相当于具备使清洁空气朝向下方流出的流出部的顶棚。下地板部F1相当于使空气不能在上下方向Y上通气地构成的设置地板，通过不能通气地构成，而成为限制空气的流通的结构。上地板部F2设置在比下顶棚部C2靠下方且设置在比下地板部F1靠上方，相当于能够使空气在上下方向Y上通气地构成的作业地板。

在下地板部F1与上地板部F2之间形成有地板空间FS，在上顶棚部C1与下顶棚部C2之间形成有顶棚空间CS。此外，在上地板部F2与下顶棚部C2之间形成有腔室空间S。并且，由图外的送风装置的工作将空气（清洁空气）向顶棚空间CS排放，从而使空气在腔室空间S中从顶棚部C朝向地板部F向下方流动。

〔容器〕

在容器W的底部，具备供气部（未图示）和排气部（未图示）。供气部是用来将从惰性气体供给装置3的连接部（未图示）排放的惰性气体向容器W的内部供气的部分。排气部是用来将容器W的内部的气体向容器W的外部排气的部分。容器W的供气部被弹簧等施力体施力为关闭状态，如果在容器W的供气部上连接着惰性气体供给装置3的连接部的状态下从该连接部喷出惰性气体，则由该喷出的惰性气体的压力对供气部进行打开操作，将惰性气体向容器W的内部供给。此外，容器W的排气部被弹簧等施力体施力为关闭状态，如果借助由惰性气体供给装置3进行的惰性气体的供给而容器W的内部的压力增高，则由该压力对排气部进行打开操作，将容器W的内部的气体从排气部排气。

以下，对物品容纳设备的各结构进行说明，在物品容纳搁架1的较长方向（堆垛起重机2行驶的行驶方向）上观察时，设物品容纳搁架1和堆垛起重机2排列的方向为前后方向X，设堆垛起重机2相对于物品容纳搁架1存在的方向为内方X1，设其相反方向为外方X2而进行说明。

〔物品容纳搁架〕

如图1所示，物品容纳搁架1以相互对置的状态设置有一对。在物品容纳搁架1上，以在上下方向Y及较长方向上排列的状态具备多个容纳部1a。在多个容纳部1a的每一个上，具备将容器W从下方支承的支承部9，容纳部1a将容器W以被支承部9从下方支承的状态容纳。支承部9对与容纳在容纳部1a中的容器W连接的连接部（未图示）进行支承。该连接部设于在支承部9上支承着容器W的状态下与该容器W的供气部连接的部位。

即，如果容器W被容纳在容纳部1a中并被支承部9支承，则惰性气体供给装置3被连接到容器W上。并且，在容器W被支承部9支承的状态下，从惰性气体供给装置3的连接部排放惰性气体，由此从容器W的供气部向容器W的内部供给惰性气体，并且容器W的内部的气体被从容器W的排气部排气。

物品容纳搁架1以将上地板部F2上下贯通的状态立设在下地板部F1上，以物品容纳搁架1的整体位于比下地板部F1靠上方、物品容纳搁架1的一部分位于比上地板部F2靠上方的状态设置。即，物品容纳搁架1遍及腔室空间S（内部空间S1）和地板空间FS而设置。此外，物品容纳搁架1的上端部连接在下顶棚部C2上。

设物品容纳搁架1中的多个容纳部1a中的位于最下方的容纳部1a为最下段的容纳部1a，在该最下段的容纳部1a上具备的支承部9设置成其上表面为与上地板部F2的上表面相同的高度。在最下段的容纳部1a以外的容纳部1a上具备的支承部9配设成位于比上地板部F2靠上方。另外，也可以将最下段的容纳部1a上具备的支承部9设置成其上表面为比上地板部F2的上表面低的高度，从而最下段的容纳部1a的一部分或全部位于比上地板部F2的上表面靠下方。

〔堆垛起重机〕

如图1所示，堆垛起重机2在一对物品容纳搁架1之间在行驶方向（以下称作较长方向）上移动自如地设置。堆垛起重机2具备在物品容纳搁架1的前方在较长方向上行驶的行驶台车11、立设在行驶台车11上的立柱12、沿着立柱12升降的升降体13和被升降体13支承的移载装置14。另外，堆垛起重机2相当于对物品容纳搁架1输送容器W（物品）的输送装置。

通过行驶台车11行驶，移载装置14沿着较长方向移动，通过升降体13升降，移载装置14沿着立柱12在上下方向Y上移动。此外，省略详细的说明，但在移载装置14中具备支承容器W的支承体和使该支承体沿着前后方向移动的连杆机构，移载装置14构成为，能够在自己与容纳部1a之间以及自己与运入运出装置4之间移载容器W。并且，堆垛起重机2借助行驶台车11的行驶、升降体13的升降及移载装置14的移载工作，从运入运出装置4向容纳部1a输送容器W，从容纳部1a向运入运出装置4输送容器W。

行驶台车11在行驶轨道15上沿着该行驶轨道15行驶。关于该行驶台车11，行驶台车11的至少一部分位于比最下段的容纳部1a所具备的支承部9靠下方。在本实施方式中，行驶台车11的整体位于比最下段的容纳部1a所具备的支承部9靠下方且比上地板部F2靠下方。

〔惰性气体供给装置〕

惰性气体供给装置3向容纳在容纳部1a中的容器W的内部供给惰性气体。惰性气体供给装置3具备在末端具备连接部的配管19、和对从连接部排放的惰性气体的流量进行调节的质量流控制器20。在配管19中，具备母配管19a和从该母配管19a分支的分支配管（未图示），在分支配管的末端具备连接部。母配管19a按照物品容纳搁架1中的每个列设置，在母配管19a上，连接着相对于在上下方向Y上排列为1列的多个容纳部1a分别具备的多个分支配管。从供给源（未图示）供给的惰性气体在配管19中流通并被向多个连接部分支供给。质量流控制器20是控制在母配管19a内流通的惰性气体的流量的部件，按照物品容纳搁架1的每个列设置。顺便说明，在本实施方式中，对于在上下方向Y上排列的31个容纳部1a设置了1个质量流控制器20，但也可以对于物品容纳搁架1的1列设置2根以上的母配管19a，对于在上下方向Y上排列的31个容纳部1a设置2个以上的质量流控制器20。

〔壁体〕

如图1及图2所示，具备地板上壁22和地板下壁23。地板上壁22位于比上地板部F2靠上方且比下顶棚部C2靠下方，在物品容纳搁架的侧周围以限制空气的流通的状态设置在腔室空间S中。地板下壁23位于比上地板部F2靠下方且比下地板部F1靠上方，设置在地板空间FS中。地板下壁23与地板上壁22相比在前后方向X上形成得宽度较宽，作为壁体K整体，形成为在较长方向上观察时呈上下反转的T字状。另外，在图1及图2中，前后方向X在上下方向Y上观察为地板上壁22的厚度方向。此外，内方X1为物品容纳搁架1相对于地板上壁22存在的方向即第1方向，外方X2为与第1方向相反的方向即第2方向。

地板上壁22形成为在上下方向Y上贯通的四方筒状。若加以说明，则具备将内部空间S1的较长方向的一方向堵塞的地板上壁部22a、将内部空间S1的较长方向的另一方向堵塞的地板上壁部22a、将内部空间S1的前后方向X的一方向堵塞的地板上壁部22a、和将内部空间S1的前后方向X的另一方向堵塞的地板上壁部22a。在图1及图2中，表示了将内部空间S1的前后方向X的一方向堵塞的地板上壁部22a、和将内部空间S1的前后方向X的另一方向堵塞的地板上壁部22a。另外，地板上壁22相当于以沿着上下方向Y的姿势设置在相对于下地板部F1在上方隔开了间隔的位置处的主壁部。

另外，关于内部空间S1的侧周围，对于由于存在无尘室的壁等而即使不设置地板上壁部22a也限制从内部空间S1向外部空间S2的空气的流通的部分，也可以不设置地板上壁部22a。此外，在地板上壁22上，根据需要而形成有用来设置运入运出装置的开口等，这样为了设置装置或为了使物品穿过等为了主目的为通气以外的目的而在地板上壁22上形成了开口的情况下，也成为限制空气的流通的结构。此外，地板上壁22除了可以是四方筒状以外也可以是圆筒状等其它形状。即，所谓构成为限制空气的流通，除了将空气不能通气地构成的情况以外，还包括下述结构，结构由于形成了不以使空气的流通为主目的的开口的情况、或因安设误差等而在物品容纳搁架1与地板上壁部22a之间产生了间隙的情况等，成为能够部分地通气的结构。

地板上壁22的上端接触在下顶棚部C2上，地板上壁22的下端接触在上地板部F2上。地板上壁22将下顶棚部C2与上地板部F2之间的腔室空间S分隔为内部空间S1和外部空间S2，所述内部空间S1是地板上壁22的内侧的空间，且是设置有物品容纳搁架1及堆垛起重机2的空间，所述外部空间S2是地板上壁22的外侧的空间。地板上壁22以连结在物品容纳搁架1的框体上的状态设置。另外，也可以将地板上壁22通过立设在上地板部F2上等，不与物品容纳搁架1连结而设置。此外，地板上壁22也可以以使其上端相对于下顶棚部C2向下方离开的状态设置，在最上段的支承部9上支承着容器W的情况下，地板上壁22只要其上端比该容器W的上端高即可。

地板下壁23形成为上表面的一部分开口的四方箱状。若加以说明，则地板下壁23除了形成为四方筒状的4面的地板下壁部23a以外，还具备形成上表面的一对隔断壁部23b和形成下表面的底壁部23c。在图1及图2中，表示了将前后方向X的一方向堵塞的地板下壁部23a、将前后方向X的另一方向堵塞的地板下壁部23a、形成上表面的一对隔断壁部23b和形成下表面的底壁部23c。地板下壁23中的形成上表面的一对隔断壁部23b构成为，沿着下地板部F1设置在相对于下地板部F1向上方隔开了间隔的位置并且不能将空气通气。另外，隔断壁部23b相当于限制空气的流通的副壁部。

隔断壁部23b形成为其内方X1的端部在前后方向X上位于地板下壁部23a的内表面与支承部9的外方侧端之间，外方X2的端部位于比地板下壁部23a的外表面靠外方X2。在地板下壁23的外方X2的端部，形成有朝向外方X2开口的流出口25，但该流出口25被能够将空气在前后方向上通气的地板下壁部23a关闭。即，在地板下壁23的外方X2的端部处，形成有供空气流出的流出口25，该流出口25被地板下壁部23a部分性地关闭。另外，地板下壁部23a相当于关闭板件。

形成在地板上壁22的下端上的开口和形成在地板下壁23的上表面上的开口经由上地板部F2连接，被地板上壁22包围的内部空间S1与隔断壁部23b的正下方的搅拌空间MS连通。此外，在地板上壁22的上端，形成有使空气从地板上壁22的上方向内部空间S1流入的流入口24。此外，在地板下壁23的外方X2的端部，形成有使空气从搅拌空间MS向地板下壁23的外方X2流出的流出口25。该流出口25形成在隔断壁部23b中的外方X2的端部的下方。

并且，隔断壁部23b中的内方X1的部分以在隔断壁部23b与地板上壁22之间限制空气的流通的状态连接在地板上壁22中的下端。若加以说明，则隔断壁部23b连结在上地板部F2的下表面上，地板上壁22的地板上壁部22a的下端连结在上地板部F2的上表面上。这样，以将上地板部F2夹在地板上壁22中的地板上壁部22a的下端与隔断壁部23b的上表面之间的状态设置地板上壁22及隔断壁部23b，由此成为在地板上壁22与隔断壁部23b之间限制空气的流通的状态。另外，隔断壁部23b中的内方X1的端部为从隔断壁部23b中的内方X1的端部起1/3的部分。

〔质量流控制器〕

质量流控制器20的整体位于比隔断壁部23b的内方X1的端部靠外方X2，并且质量流控制器20的整体位于比隔断壁部23b的外方X2的端部靠内方X1，质量流控制器20设置成其整体位于搅拌空间MS中。此外，质量流控制器20相对于支承部9设置在外方X2，使得其在上下方向Y上观察时与支承部9不重叠。

从下顶棚部C2流出到下方的空气在腔室空间S（内部空间S1及外部空间S2）中向下方流动。在外部空间S2中，在外部空间S2中流动到下方后，经由上地板部F2而向地板空间FS流动。在内部空间S1中，从下顶棚部C2流出到下方的空气从形成在壁体K的地板上壁22的上端处的流入口24向内部空间S1流入，在地板上壁22的内侧向下方流动，从内部空间S1向地板空间FS流动。然后，在地板空间FS中向外方X2流入而穿过搅拌空间MS后，经由地板下壁部23a从流出口25向壁体K的外部流出。这样，使空气在利用设置隔断壁部23b而形成的搅拌空间MS中流动后使其向壁体K的外部流出，由此空气在搅拌空间MS中流动的期间中被搅拌，所以能够抑制从壁体K流出的空气的氧浓度局部地变低。

〔其它实施方式〕

（1）在上述实施方式中，将地板下壁23形成为上表面的一部分开口的四方箱状，但也可以将地板下壁23仅用隔断壁部构成而形成为板状。

（2）在上述实施方式中，在地板下壁中具备地板下壁部，由地板下壁部将流出口部分地关闭，但也可以在地板下壁中不具备地板下壁部，不由地板下壁部将流出口关闭。

（3）在上述实施方式中，除了隔断壁部以外还具备作业地板，但也可以仅具备隔断壁部，作业者在隔断壁部上步行。

（4）在上述实施方式中，借助下降流使空气从流入口流入，但也可以在流入口设置风扇过滤器单元，使空气从流入口流入。

〔实施方式的概要〕

以下，对在上述中说明的物品容纳设备的概要简单地进行说明。

作为1个技术方案，物品容纳设备具备物品容纳搁架和壁体，所述物品容纳搁架立设在设置地板上，所述设置地板构成为限制空气的流通，所述壁体将前述物品容纳搁架的侧周围覆盖，以便限制空气的流通；前述壁体具备主壁部和副壁部，所述主壁部在相对于前述设置地板向上方隔开了间隔的位置以沿着上下方向的姿势设置，并限制空气的流通，所述副壁部在相对于前述设置地板向上方隔开了间隔的位置沿着前述设置地板设置，并限制空气的流通；在上下方向上观察时，在前述主壁部的厚度方向上，设前述物品容纳搁架相对于前述主壁部存在的方向为第1方向，设与前述第1方向相反的方向为第2方向；在前述主壁部的上端，形成有使空气从前述主壁部的上方向被前述主壁部包围的第1空间流入的流入口；被前述主壁部包围的前述第1空间与前述副壁部的正下方的第2空间连通；在前述副壁部中的前述第2方向的端部的下方，形成有使空气从前述第2空间向前述副壁部的前述第2方向流出的流出口；前述副壁部中的前述第1方向的端部以在前述副壁部与前述主壁部之间限制空气的流通的状态连接于前述主壁部的下端。

根据该结构，从形成在主壁部的上端的流入口流入到第1空间中的空气在流动到下方后，在比副壁部靠下方向第2方向流动，在副壁部的正下方的第2空间中流动后，从形成在副壁部的端部的下方的流出口向壁体的外部流出。即，不使壁体内的空气从主壁部直接向壁体的外部流出，而使其在通过设置副壁部形成的第2空间中流动后向壁体的外部流出，从而空气在第2空间中流动的期间中被搅拌。这样，能够不设置送风装置而利用副壁部的正下方的第2空间将空气搅拌，所以能够实现从流出口流出的空气的氧浓度的均匀化。因而，能够在抑制运行成本的同时，抑制从壁体流出的空气的氧浓度局部地变低。

这里，优选的是，前述物品容纳搁架具备多个将作为物品的容器容纳的容纳部；还具备向容纳在前述容纳部中的容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给装置；前述惰性气体供给装置具备对向前述容纳部供给的惰性气体的供给量的流量进行调节的调节装置；前述流量调节装置设置为，位于前述副壁部与前述设置地板之间，并且前述流量调节装置的至少一部分位于比前述主壁部靠前述第2方向的位置，并且前述流量调节装置的至少一部分位于比前述副壁部中的前述第2方向的端部靠前述第1方向的位置。

根据该结构，由惰性气体供给路将惰性气体向容纳在容纳部中的容器的内部供给，从而能够防止收容在容器中的收容物（例如半导体基板）的氧化。并且，这样地向容纳在容纳部中的容器供给惰性气体，由此随着该惰性气体向容器内的供给，存在于容器的内部中的气体从容器流出。并且，存在由于这样地流出的惰性气体集中而导致惰性气体的浓度局部地变高的情况，但通过在第2空间中将空气搅拌后使空气从流出部向壁体的外部流出，而能够抑制从壁体流出的空气局部地氧浓度变低。

此外，优选的是，多个前述容纳部分别具备将前述容器从下方支承的支承部；前述流量调节装置以在上下方向上观察时与前述支承部不重叠的方式相对于前述支承部设置于前述第2方向。

根据该结构，即使使支承部的高度变低，支承部也不与流量调节装置干涉，所以能够在将流量调节装置设置到副壁部与设置地板之间的同时，将支承部设置到位于副壁部与设置地板之间的高度。此外，在以在上下方向上观察时与支承部重叠的方式设置了流量调节装置的情况下，可以想到被流量调节装置加热后的空气上升而将容纳在容纳部中的容器加热的情况，但以在上下方向上观察时不与支承部重叠的方式设置流量调节装置，从而能够抑制这样的加热。

此外，优选的是，在前述壁体的内侧，设置有对于前述物品容纳搁架输送物品的输送装置。

根据该结构，借助输送装置的工作，壁体内的空气被从流出口挤出，从该流出口流出的空气有可能向上方流动，但通过具备副壁部并在该副壁部的第2方向的端部形成流出口，而能够防止空气在物品容纳搁架的附近流动。因此，即使对物品容纳搁架进行物品的放入取出作业的作业者存在于壁体的附近，由于空气在比该作业者存在的部位靠第2方向的部位向上方流动，所以也能够抑制由流出的空气带来的对作业者的影响。

此外，优选的是，前述壁体设置在具备流出部的顶棚的正下方，所述流出部使清洁空气朝向下方流出。

根据该结构，能够使从顶棚的流出部朝向下方流出的清洁空气从壁体的上端的流入口流入。因此，不需要在壁体的流入口设置用来使空气流入的送风装置，所以能够抑制物品容纳搁架的成本。

此外，优选的是，前述流出口被关闭板件部分地关闭。

根据该结构，流出口被关闭板件部分地关闭，由此第2空间作为腔室发挥功能，所以能够促进第2空间中的空气的搅拌。

此外，优选的是，在比前述副壁部靠上方的位置，还具备作业者能够步行且在上下方向上能够通气的作业地板；前述副壁部以与前述作业地板在上下方向上排列的状态设置；前述作业地板中的与前述副壁部在上下方向上排列的部分由前述副壁部限制了向上下方向的通气。

根据该结构，由于在比设置于相对于设置地板向上方隔开了间隔的位置处的副壁部更靠上方的位置设置作业地板，所以作业者能够对物品容纳搁架中的较高的部分进行作业。并且，由于第2空间可以利用作业地板的下方的空间形成，所以能够以不易妨碍周围的状态形成第2空间。进而，由于作业地板中的与副壁部在上下方向上排列的部分被副壁部限制通气，所以能够不变更作业地板而在作业地板的下方形成第2空间。

附图标记说明

1 物品容纳搁架

1a 容纳部

2 堆垛起重机（输送装置）

3 惰性气体供给装置

9 支承部

20 流量调节装置

22 地板上壁（主壁部）

23a 地板下壁部（关闭板件）

23b 隔断壁部（副壁部）

24 流入口

25 流出口

C2 下顶棚部（顶棚）

F1 下地板部（设置地板）

F2 上地板部（作业地板）

K 壁体

S1 内部空间（第1空间）

S2 搅拌空间（第2空间）

W 容器（物品）

X 前后方向（厚度方向）

X1 内方（第1方向）

X2 外方（第2方向）

Y 上下方向。

Claims (6)

1.一种物品容纳设备，该物品容纳设备具备物品容纳搁架和壁体，所述物品容纳搁架立设在设置地板上，所述设置地板构成为限制空气的流通，所述壁体将前述物品容纳搁架的侧周围覆盖，以便限制空气的流通；

所述物品容纳设备的特征在于，

前述壁体具备主壁部和副壁部，所述主壁部在相对于前述设置地板向上方隔开了间隔的位置以沿着上下方向的姿势设置，并限制空气的流通，所述副壁部在相对于前述设置地板向上方隔开了间隔的位置沿着前述设置地板设置，并限制空气的流通；

在上下方向上观察时，在前述主壁部的厚度方向上，设前述物品容纳搁架相对于前述主壁部存在的方向为第1方向，设与前述第1方向相反的方向为第2方向；

在前述主壁部的上端，形成有使空气从前述主壁部的上方向被前述主壁部包围的第1空间流入的流入口；

前述第1空间与前述副壁部的正下方的第2空间连通；

在前述副壁部中的前述第2方向的端部的下方，形成有使空气从前述第2空间向前述副壁部的前述第2方向流出的流出口；

前述副壁部中的前述第1方向的端部以在前述副壁部与前述主壁部之间限制空气的流通的状态连接于前述主壁部的下端，前述副壁部相对于前述主壁部向前述第2方向突出地配置，

前述流出口被关闭板件部分地关闭，前述第2空间作为腔室发挥功能。

2.如权利要求1所述的物品容纳设备，其特征在于，

前述物品容纳搁架具备多个将作为物品的容器容纳的容纳部；

还具备向容纳在前述容纳部中的容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给装置；

前述惰性气体供给装置具备对向前述容纳部供给的惰性气体的供给量的流量进行调节的调节装置；

前述流量调节装置设置为，位于前述副壁部与前述设置地板之间，并且前述流量调节装置的至少一部分位于比前述主壁部靠前述第2方向的位置，并且前述流量调节装置的至少一部分位于比前述副壁部中的前述第2方向的端部靠前述第1方向的位置。

3.如权利要求2所述的物品容纳设备，其特征在于，

多个前述容纳部分别具备将前述容器从下方支承的支承部；

前述流量调节装置以在上下方向上观察时与前述支承部不重叠的方式相对于前述支承部设置于前述第2方向。

4.如权利要求1～3中任一项所述的物品容纳设备，其特征在于，

在前述壁体的内侧，设置有对前述物品容纳搁架输送物品的输送装置。

5.如权利要求1～3中任一项所述的物品容纳设备，其特征在于，

前述壁体设置在具备流出部的顶棚的正下方，所述流出部使清洁空气朝向下方流出。

6.如权利要求1～3中任一项所述的物品容纳设备，其特征在于，

在比前述副壁部靠上方的位置，还具备作业者能够步行且在上下方向上能够通气的作业地板；

前述副壁部以与前述作业地板在上下方向上排列的状态设置；

前述作业地板中的与前述副壁部在上下方向上排列的部分由前述副壁部限制了向上下方向的通气。

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