CN107759715A - 琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂及其制备方法、负性光刻胶组合物 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂及其制备方法、以及使用该琥珀酰亚胺改性的树脂的负性光刻胶组合物；其包括琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂、在射线照射下可产生强酸的产酸剂、在酸以及辅助加热作用下迅速与成膜树脂交联的交联剂、用于减弱产酸剂产酸作用的光吸收剂和/或用于减弱产酸剂产酸作用的产碱剂或有机强碱。所述负性光刻胶组合物的感光范围在350nm～420nm，可用混合线、i‑line光源曝光；得益于琥珀酰亚胺改性后的树脂的优良耐热性，所述负性光刻胶组合物在耐热和分辨率上均具有较好的表现，可用于高分辨率i线负性光刻胶组合物。

Description

琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂及其制备方法、负性光刻 胶组合物

技术领域

本申请涉及微电子器件、光电器件的制造领域，具体涉及一种琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂及其制备方法、以及具有琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的负性光刻胶组合物。

背景技术

光刻胶组合物大量用于集成电路(IC)、平板显示器(FPD)等精细图形制作工艺中，如用于制造LED芯片金属导电电极。通常，使用微影法实现规模化生产，该方法包括在基底涂布对含活性射线比较敏感的光致抗蚀剂，以在基片上形成薄膜有选择性地保护抗蚀剂下面的基片，烘干抗蚀剂以蒸发溶剂，形成干膜，经过含活性射线有紫外(UV/Deep-UV)、X-ray和电子束等辐射光源曝光后，再使用显影液来显影，完成显影工序的基板再以腐蚀液蚀刻，并移除剩余的光抗蚀剂层，从而获得良好的图像。

化学增幅型光刻胶是一类采用光致产酸剂经辐射光源曝光后产酸、具有化学放大效果、酸催化的链式促发式反应体系；包含负性胶和正性胶，两者成像机理不同，产酸剂作为催化剂或光引发剂在光照下产生大量强酸氢离子，树脂在强酸氢离子的催化下脱去保护基团变得碱可溶(正性)或者树脂在强酸氢离子催化下与交联剂反应变得碱不可溶(负性)或者树脂在强酸氢离子催化下自交联变得碱不可溶(负性)。

具体地以负性化学增幅性光刻胶为例，负性化学增幅性光刻胶通常由一种碱可溶树脂、酸产生剂(PAG)、酸致交联剂(Crosslinker)，添加剂所组成，PAG在曝光区域产生酸经PEB处理分散开来，酸解离的不稳定PAG强酸H⁺离子作为催化剂，使得交联单体与树脂发生交联反应，即使受光照部分固化，因此化学增幅型负胶的交联单体可以扩展到树脂的侧链，使原来碱可溶的树脂呈网状结构，变得碱不可溶。

负性化学增幅性光刻胶属于酸致交联型光刻胶，除被用作永久间隔材料，通常较难去胶，但得益于其优秀的耐热性能、耐蚀刻性能，在LED用胶Lift off、绝缘层、隔离柱用胶、IC电镀工艺、高分辨率CMOS中仍得到大量应用。随着大规模集成电路工业的发展，对负性光刻胶的需求更加多样化和专门化，因此负性化学增幅性光刻胶分辨率要求也越来越高，LED领域金属层的尺寸缩小0.5μm，亮度可提高1％，LED对亮度的要求越来越高，金属层的尺寸也变越做越小，光刻胶分辨率也会相应提高。

有鉴于此，有必要提供一种琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂及其制备方法、具有琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的负性光刻胶组合物，以解决上述技术问题。

发明内容

为了解决上述问题之一，本申请提出了琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂及其制备方法、具有琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的负性光刻胶组合物。

为了实现上述发明目的，本发明提供一种琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的制备方法,包括如下步骤：S1自丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物中选取至少二种单体混合形成混合物；S2将所述混合物、琥珀酰亚胺及油溶性引发剂加入反应器中，在100℃下搅拌反应1小时后；S3然后加入含活性环氧基团的物质，继续反应3小时。

作为本发明的进一步改进，S1具体为：将丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物选取二种按照3:2的比例混合形成混合物或选取三种按照3:1:1的比例混合形成混合物；S2具体为将40～60重量份的上述混合物、1～8重量份的琥珀酰亚胺、0.5重量份的油溶性引发剂加入反应容器中，在100℃下搅拌反应1小时，所述油溶性引发剂为偶氮二异丁腈、偶氮二异庚腈、偶氮二异丁酸二甲酯中的一种或多种；S3具体为加入环氧氯丙烷，继续反应3小时。

为了实现上述发明目的，本发明提供一种琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂，所述琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂由丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物中的至少二种单体与琥珀酰亚胺或含琥珀酰亚胺基团的化合物共聚交联合成。

为了实现上述发明目的，本发明提供一种负性光刻胶组合物，包括100份琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂、1份～5份产酸剂和/或0.05份～2份的有机强碱或产碱剂、3份～10份交联剂、1份～10份吸光剂、能够溶解其他组分的量的溶剂。

作为本发明的进一步改进，所述琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂由丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物中的至少二种与琥珀酰亚胺或含琥珀酰亚胺基团的化合物共聚交联合成。

作为本发明的进一步改进，所述产酸剂为α-(2-樟脑基亚氨基噻吩-3-烯基)-邻甲基苯乙腈。

作为本发明的进一步改进，以琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂为100份计，产酸剂份数为2份。

作为本发明的进一步改进，所述产碱剂或有机强碱为N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶。

作为本发明的进一步改进，以琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂为100份计，有机强碱或产碱剂的份数为0.5份。

作为本发明的进一步改进，所述光吸收剂包括3-(4-氯苯基)-1-(4-氨基磺酰苯基)-2-吡唑啉、2-(2ˊ-羟基-5ˊ-甲基苯基)苯并三氮唑、1,7-双(4-羟基-3-甲氧基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮、1,7-双(4-羟基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮、1,7-双(4-乙酰基-3-甲氧基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮中的一种或多种。

本发明的有益效果：本发明具有马来酰亚胺改性成膜树脂的负性光刻胶组合物，所述负性光刻胶组合物的感光范围在350nm～420nm，可用混合线、i-line光源曝光；得益于马来酰亚胺改性成膜树脂的优良耐热性，所述负性光刻胶组合物在耐热和分辨率上均具有较好的表现，可用于高分辨率i线负性光刻胶组合物。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请具有代表性的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本发明的琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的制备方法,包括如下步骤：S1自丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物中选取至少二种混合形成混合物；S2将所述混合物、琥珀酰亚胺或含琥珀酰亚胺基团的化合物、油溶性引发剂加入反应器中，在100℃下搅拌反应1小时后；S3然后加入含活性环氧基团的物质，继续反应3小时。

该方法中，通过加入琥珀酰亚胺或含琥珀酰亚胺基团的化合物对环氧丙烯酸树脂进行改性，琥珀酰亚胺或含琥珀酰亚胺基团的化合物的双键可与环氧丙烯酸树脂进行共聚交联，例如琥珀酰亚胺与丙烯酸树脂主体链的烯丙基等活性基团进行共聚交联，形成共聚合成且包括琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的光刻胶的成膜树脂，增加了成膜树脂的耐热以及对细线条的解析力。

其中，选用的单体包括如丙烯酸、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸月桂酯的一种或多种；例如S1为：将丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯按照3:2:1的比例或3:1:1的比例混合形成。

所述油溶性引发剂为偶氮二异丁腈、偶氮二异庚腈、偶氮二异丁酸二甲酯中的一种或多种。S2具体为将40～60重量份的上述混合物、1～8重量份的琥珀酰亚胺、0.5重量份的油溶性引发剂加入反应容器中，在100℃下搅拌反应1小时。

含活性环氧基团的物质主要为环氧氯丙烷，配合不同的丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物合成的树脂多为线型环氧丙烯酸树脂，多官能环氧丙烯酸树脂固化后具有高的热变形温度和刚性，可用作光刻胶组合物的成膜树脂。S3具体为加入环氧氯丙烷，继续反应3小时。

以下提供一合成琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的合成实施例1：

丙烯酸、丙烯酸丁酯按照3:2的比例混合形成混合物，将60重量份的该混合物、6重量份琥珀酰亚胺、0.5重量份偶氮二异丁腈加入反应容器中，在100℃下搅拌反应1小时后，加入环氧氯丙烷，继续反应3小时，得到琥珀酰亚胺改性环氧丙烯酸树脂Mw为10000-15000左右。

以下提供另一合成琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的合成实施例2：

丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯以3:1:1的比例混合成混合物，将60重量份的该混合物、6重量份琥珀酰亚胺、0.5重量份偶氮二异丁腈加入反应容器中，在100℃下搅拌反应1小时后，加入环氧氯丙烷，继续反应3小时，得到琥珀酰亚胺琥珀酰亚胺改性环氧丙烯酸树脂Mw为5000-8000左右。

本发明还提供一种由上述方法制备的琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂。所述琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂由丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物中的至少二种与琥珀酰亚胺或含琥珀酰亚胺基团的化合物共聚交联合成，具有高的热变形温度和刚性，可用作光刻胶组合物的成膜树脂。

另外，本发明还提供一种负性光刻胶组合物，包括100份琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂、1份～5份产酸剂、3份～10份交联剂、1份～10份吸光剂、能够溶解其他组分的量的溶剂；份数均为重量份数。所述负性光刻胶组合物的感光范围在350nm～420nm，可用混合线、i-line光源曝光；得益于琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的优良耐热性，所述负性光刻胶组合物在耐热和分辨率上均具有较好的表现，可用于高分辨率i线负性光刻胶组合物。

所述产酸剂为在射线照射下可产生如硫酸、磺酸、氟磺酸等强酸的化合物；本发明中，所述产酸剂为可选的例子包含：酰亚胺磺酸酯类产酸剂、苯乙腈磺酸酯类产酸剂，如包括N-(苯甲基磺酰基氧)-1,6-萘二甲酰亚胺、N-(三氟甲基磺酰基氧)-1,6-萘二甲酰亚胺、α-(2-丙磺酰氧基亚氨基噻吩-3-烯基)-邻甲基苯乙腈、α-(2-对甲苯磺酰氧基亚氨基噻吩-3-烯基)-邻甲基苯乙腈、α-(2-樟脑基亚氨基噻吩-3-烯基)-邻甲基苯乙腈中的一种或多种。

其中优选的产酸剂为α-(2-樟脑基亚氨基噻吩-3-烯基)-邻甲基苯乙腈，优选的份数为：以琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂为100份计，所述产酸剂的份数为2份。

所述光吸收剂用于减弱产酸剂产酸作用。所述光吸收剂包括3-(4-氯苯基)-1-(4-氨基磺酰苯基)-2-吡唑啉、2-(2ˊ-羟基-5ˊ-甲基苯基)苯并三氮唑、1,7-双(4-羟基-3-甲氧基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮、1,7-双(4-羟基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮、1,7-双(4-乙酰基-3-甲氧基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮中的一种或多种。

所述交联剂为在酸以及辅助加热作用下迅速与成膜树脂交联的交联剂。所述交联剂的种类包括三聚氰胺类交联剂、脲醛类交联剂中的一种或多种。三聚氰胺类交联剂可列举的有烷氧基化三聚氰胺树脂，包括甲氧基化三聚氰胺树脂、乙氧基化三聚氰胺树脂、丙氧基化三聚氰胺树脂、丁氧基化三聚氰胺树脂。脲醛类交联剂可列举的包括但不限于：甲氧基化脲醛树脂、乙氧基化脲醛树脂、丙氧基化脲醛树脂、丁氧基化脲醛树脂中。本发明所设计的琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂优选的酸致交联剂为甲氧基化甲基三聚氰胺树脂，具体的商品名有CYMEL303、CYMEL350、CYMEL3745、CYMEL1130、CYMEL MM-100以及日本三和化学的MW-30M、MX-750、MX-706、MX-035等。

所述负性光刻胶组合物还包括用于减弱产酸剂产酸作用的有机强碱或产碱剂，所述有机强碱包括如乙醇胺、乙二胺、2，6-二甲基苯胺、三辛基胺等的一种或多种。所述产碱剂如(N-{[(4,5-二甲氧基-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶)、N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶、1,2-二异丙基-3-[双(二甲基氨基)亚甲基]胍2-(3-苯甲酰基苯基)丙酸酯等的一种或多种。优选地，所述产碱剂为N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶。

所述有机强碱或产碱剂的份数为：以琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂为100份计，有机强碱或产碱剂的份数为0.05份～2份；优选地，以琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂为100份计，有机强碱或产碱剂的份数为0.5份。

为了进一步改善性能，光刻胶组合物还可以包含一些助剂，例如表面含活性剂、流平剂以及增塑剂等。表面含活性剂的例子包括非离子表面含活性剂，由Sumitomo 3M制造的FC-4430等含氟表面含活性剂，由Shin-Etsu Chemical制造的KP-321、KP-340、KP-341等有机硅表面含活性剂。增塑剂种类包括邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二丁酯等。

以下将具体提供一种形成光刻胶组合物1的实施例：

将100重量份由合成实施例1所得到的琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂，2重量份α-(2-樟脑基亚氨基噻吩-3-烯基)-邻甲基苯乙腈、0.5重量份N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶、3-(4-氯苯基)-1-(4-氨基磺酰苯基)-2-吡唑啉光吸收剂，10重量份MX-706，溶解到丙二醇单甲醚醋酸酯溶液中，搅拌6-10小时至充分溶解，加入表面含活性剂KP-341，通过0.2μm滤芯过滤得到光刻胶组合物1。

以下将具体提供一种光刻胶组合物2的实施例：

将100重量份合成实施例2所得到的琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂、2重量份的α-(2-樟脑基亚氨基噻吩-3-烯基)-邻甲基苯乙腈、0.5重量份N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶、2.5重量份3-(4-氯苯基)-1-(4-氨基磺酰苯基)-2-吡唑啉光吸收剂、10重量份MX-706，溶解到丙二醇单甲醚醋酸酯溶液中，搅拌6-10小时至充分溶解，加入表面含活性剂KP-341，通过0.2μm滤芯过滤得到光刻胶组合物2。

以下将具体提供一种光刻胶组合物3的实施例：

将100重量份合成实施例1所得到的琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂、2重量份N-(苯甲基磺酰基氧)-1,6-萘二甲酰亚胺、0.2重量份三辛基胺、3重量份3-(4-氯苯基)-1-(4-氨基磺酰苯基)-2-吡唑啉光吸收剂、10重量份MX-750，溶解到丙二醇单甲醚醋酸酯溶液中，搅拌6-10小时至充分溶解，加入表面含活性剂KP-341，通过0.2μm滤芯过滤得到光刻胶组合物3。

以下将具体提供一种光刻胶组合物4的实施例：

将100重量份合成实施例2所得到的琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂，2重量份的份N-(苯甲基磺酰基氧)-1,6-萘二甲酰亚胺、0.2重量份三辛基胺、3重量份3-(4-氯苯基)-1-(4-氨基磺酰苯基)-2-吡唑啉光吸收剂、10重量份MX-750，溶解到丙二醇单甲醚醋酸酯溶液中，搅拌6-10小时至充分溶解，加入表面含活性剂KP-341，通过0.2μm滤芯过滤得到光刻胶组合物4。

以下将具体提供一种对比光刻胶组合物1的实施例：

将100重量份由丙烯酸、丙烯酸丁酯以比例为3:2合成的分子量在Mw为10000-15000的未改性的丙烯酸树脂、2重量份α-(2-樟脑基亚氨基噻吩-3-烯基)-邻甲基苯乙腈、0.5重量份N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶、2.5重量份3-(4-氯苯基)-1-(4-氨基磺酰苯基)-2-吡唑啉光吸收剂、10重量份MX-706，溶解到丙二醇单甲醚醋酸酯溶液中，搅拌6-10小时至充分溶解，加入表面含活性剂KP-341，通过0.2μm滤芯过滤得到对比光刻胶组合物1。其中，未改性的丙烯酸树脂的制备方法与合成实施例1相比，区别仅在于未加入琥珀酰亚胺，其他均相同，于此不再赘述。

以下将具体提供一种对比光刻胶组合物2的实施例：

将100重量份由丙烯酸、丙烯酸丁酯以比例为3:2合成的分子量在Mw为10000-15000的未改性的丙烯酸树脂、2重量份N-(苯甲基磺酰基氧)-1,6-萘二甲酰亚胺、0.5重量份N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶、2.5重量3-(4-氯苯基)-1-(4-氨基磺酰苯基)-2-吡唑啉吸收剂、10重量份MX-750，溶解到丙二醇单甲醚醋酸酯溶液中，搅拌6-10小时至充分溶解，加入表面含活性剂KP-341，通过0.2μm滤芯过滤得到对比光刻胶组合物2。其中，未改性的丙烯酸树脂的制备方法与合成实施例1相比，区别仅在于未加入琥珀酰亚胺，其他均相同，于此不再赘述。

以下将具体提供一种对比光刻胶组合物3的实施例：

将100重量份由丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯以比例为3:1:1合成的分子量在Mw为Mw为5000-8000的未改性的丙烯酸树脂、2重量份α-(2-樟脑基亚氨基噻吩-3-烯基)-邻甲基苯乙腈、0.2重量份三辛基胺、2.5重量份3-(4-氯苯基)-1-(4-氨基磺酰苯基)-2-吡唑啉光吸收剂、10重量份MX-706，溶解到丙二醇单甲醚醋酸酯溶液中，搅拌6-10小时至充分溶解，加入表面含活性剂KP-341，通过0.2μm滤芯过滤得到对比光刻胶组合物3。其中，未改性的丙烯酸树脂的制备方法与合成实施例2相比，区别仅在于未加入琥珀酰亚胺，其他均相同，于此不再赘述。

将光刻胶组合物1、光刻胶组合2、光刻胶组合3、光刻胶组合4、对比光刻胶组合物1、对比光刻胶组合物2、对比光刻胶组合物3分别涂布到4英寸溅射有2000A的ITO的蓝宝石片上，在100℃加热板上进行前烘110s，得到膜厚为1.60μm的光刻胶膜，将光刻胶经由Nikon全自动曝光机NSR-I-Line Stepper i12通过掩模曝光后，置于于加热板进行曝光后烘烤，热板温度为100-150℃，烘烤110s。将后烘烤后的基片至于2.38％的四甲基氢氧化铵水溶液中显影70s，通过显影后得到图形，然后将显影后蓝宝石片置于于加热板进行不同温度的烘烤，后烘时间为60s，并使用SEM对其截面进行观察，以评估光刻胶的耐热及极限分辨率，结果如表1所示。

表1

其中，L/s指的是line/space。以光刻胶组合物1中的“极限分辨率:L/s＝2/1,0.90μm”为例，本领域技术人员可以理解的是：line/space＝2/1,极限分辨率为0.90μm。

根据表1实验结果可以看出，得益于磺酸酯类光产酸剂的低挥发性及其具有的较小酸扩散长度，所有光刻胶组合物的分辨率均不错，但光刻胶组合物1、光刻胶组合物2、光刻胶组合物3、光刻胶组合物4的耐热性能要明显高于对比光刻胶组合物1、对比光刻胶组合物2、对比光刻胶组合物3。

同时将光刻胶组成物1和对比光刻胶组合物1进行对比、或者将光刻胶组成物2和对比光刻胶组合物2进行对可以看出：由琥珀酰亚胺含活性基团改性后的光刻胶成膜树脂的耐热性能大大增加，具有由琥珀酰亚胺含活性基团改性后的成膜树脂配合而成的光刻胶组合物形成的图案在耐热和分辨率上均具有较好的表现。

综上所述，本发明设计了一种高分辨率的化学增幅型负性光刻胶组合物，通过该光刻胶组合物形成的图案具有良好的高分辨率性能，不仅可以在常规光刻工艺中形成具有高分辨率的良好的图形，即使用于高温作业条件下，其胶面轮廓亦不形变，具有广泛的使用前景。

应当理解，虽然本说明书按照实施例加以描述，但并非每个实施例仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施例。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施例的具体说明，并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施例或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的制备方法,其特征在于：包括如下步骤：S1自丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物中选取至少二种混合形成混合物；S2将所述混合物、琥珀酰亚胺及油溶性引发剂加入反应器中，在100℃下搅拌反应1小时后；S3然后加入含活性环氧基团的物质，继续反应3小时。

2.根据权利要求1所述的琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂的制备方法,其特征在于：S1具体为：将丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物选取二种按照3:2的比例形成混合物或选取三种按照3:1：1的比例混合形成混合物；S2具体为将40～60重量份的上述混合物、1～8重量份的琥珀酰亚胺、0.5重量份的油溶性引发剂加入反应容器中，在100℃下搅拌反应1小时，所述油溶性引发剂为偶氮二异丁腈、偶氮二异庚腈、偶氮二异丁酸二甲酯中的一种或多种；S3具体为加入环氧氯丙烷，继续反应3小时。

3.一种琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂，其特征在于：所述琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂由丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物中的至少二种单体与琥珀酰亚胺或含琥珀酰亚胺基团的化合物共聚交联合成。

4.一种负性光刻胶组合物，其特征在于：包括100份琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂、1份～5份产酸剂、3份～10份交联剂、1份～10份吸光剂和/或0.05份～2份的有机强碱或产碱剂、能够溶解其他组分的量的溶剂。

5.根据权利要求4所述的负性光刻胶组合物，其特征在于：所述琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂由丙烯酸、丙烯酸衍生物、丙烯酸树脂、丙烯酸树脂的衍生物中的至少二种单体与琥珀酰亚胺或含琥珀酰亚胺基团的化合物共聚交联合成。

6.根据权利要求4所述的负性光刻胶组合物，其特征在于：所述产酸剂为α-(2-樟脑基亚氨基噻吩-3-烯基)-邻甲基苯乙腈。

7.根据权利要求4所述的负性光刻胶组合物，其特征在于：以琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂为100份计，产酸剂份数为2份。

8.根据权利要求4所述的负性光刻胶组合物，其特征在于：所述产碱剂或有机强碱为N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶。

9.根据权利要求4所述的负性光刻胶组合物，其特征在于：以琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂为100份计，有机强碱或产碱剂的份数为0.5份。

10.根据权利要求9所述的负性光刻胶组合物，其特征在于：所述光吸收剂包括3-(4-氯苯基)-1-(4-氨基磺酰苯基)-2-吡唑啉、2-(2ˊ-羟基-5ˊ-甲基苯基)苯并三氮唑、1,7-双(4-羟基-3-甲氧基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮、1,7-双(4-羟基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮、1,7-双(4-乙酰基-3-甲氧基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮中的一种或多种。