CN107660196B - 非接触搬运装置 - Google Patents

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Abstract

一种非接触搬运装置(10)，包括：负压组件(100)，用于在所述非接触搬运装置内部产生负压气流；及超声波组件(200)，所述超声波组件(200)与所述负压组件(100)连接，所述超声波组件(200)包括：超声波换能器(210)，用于将高频的超声波电信号转换成高频的机械振动，所述超声波换能器(210)的一端与所述负压组件(100)连接；超声波变幅杆(230)，用于对所述高频的机械振动进行放大，所述超声波变幅杆(230)的一端与所述超声波换能器(210)远离所述负压组件(100)的一端连接；及超声波吸盘(250)，用于对所述高频的机械振动进行放大及转换，所述超声波吸盘(250)与所述超声波变幅杆(230)远离所述超声波换能器(210)的一端连接。

Description

非接触搬运装置
技术领域
本发明涉及运输设备技术领域，特别是涉及非接触搬运装置。
背景技术
目前常用的非接触运输方式主要有磁悬浮运输、气流正压运输、气流负压运输、超声波驻波悬浮运输和超声波近声场悬浮运输等。
磁悬浮运输要求物料有磁性作用，适用范围比较狭窄；气流正压运输和气流负压运输都需要大流量的气流，装置组成比较复杂，空间要求大，而且气流冲击力一般比较大，气流需要非常洁净而且气流压力需要严格控制，否则气流会损坏和污染物料表面；超声波驻波悬浮要求物料主体尺寸要远小于半波长，因此只能运输小尺寸物料，超声波近声场悬浮悬浮力比较大，且振幅传递性能比较好，对物料尺寸没有严格要求。
目前工业上主要运用的非接触搬运装置主要就是两种：1.以正压或者负压为气源的气流直吸式；2.产生漩涡流场的吸附式。这两种装置都需要精确的控制，漩涡流场式海需要复杂的加工，然而两种装置在使用过程中都很难保证物料不会碰撞到装置表面。物料被吸起时由于要克服物料下表面与其他物体的粘附力，所以需要比较大的吸力，这样物料会逐渐加速靠近吸起装置，然而当物料吸起到距离装置表面一定距离时需要减小气体吸力，这样才能使物料吸起速度逐渐减小，避免碰撞到装置表面。但是气体吸力一般只有在装置距离物料5mm左右时才能吸起物料，整个行程距离很短，且由于气体可压缩导致工作过程中气压变化不明显，气压难以被精确感应和及时调整，所以想达到非接触的效果，整个控制过程会非常困难。
发明内容
基于此，有必要针对目前非接触运输装置在吸取物料时容易触碰到物料表面的问题，提供一种非接触搬运装置。
一种非接触搬运装置，包括：
负压组件，用于在所述非接触搬运装置内部产生负压气流；及
超声波组件，所述超声波组件与所述负压组件连接，所述超声波组件包括：
超声波换能器，用于将高频的超声波电信号转换成高频的机械振动，所述超声波换能器的一端与所述负压组件连接；
超声波变幅杆，用于对所述高频的机械振动进行放大，所述超声波变幅杆的一端与所述超声波换能器远离所述负压组件的一端连接；及
超声波吸盘，用于对所述高频的机械振动进行放大及转换，所述超声波吸盘与所述超声波变幅杆远离所述超声波换能器的一端连接。
在其中一个实施方式中，所述超声波换能器、所述超声波变幅杆及所述超声波吸盘均为中空结构，且所述超声波换能器、所述超声波变幅杆及所述超声波吸盘相互连通。
在其中一个实施方式中，所述超声波换能器包括换能器主体、压电陶瓷叠堆及换能器连接部；所述换能器主体形成有容置腔，所述压电陶瓷叠堆容置于所述容置腔中；所述换能器连接部的一端与换能器主体远离所述负压组件的一端连接。
在其中一个实施方式中，所述换能器连接部自靠近所述换能器主体的一端向着远离所述换能器主体的一端横截面积逐渐减小。
在其中一个实施方式中，所述换能器连接部形成有贯穿所述换能器连接部的第一通孔，所述换能器连接部与所述换能器主体之间形成有气槽，所述第一通孔与所述容置腔通过所述气槽连通。
在其中一个实施方式中，所述超声波变幅杆形成有贯穿所述超声波变幅杆的第二通孔，所述第二通孔与所述换能器连接部的第一通孔相连通。
在其中一个实施方式中，所述超声波吸盘包括吸盘本体及吸盘连接部，所述吸盘连接部的一端与所述超声波变幅杆远离所述超声波换能器的一端连接，所述吸盘连接部的另一端与所述吸盘本体连接。
在其中一个实施方式中，所述吸盘连接部形成有贯穿所述吸盘连接部的第三通孔，所述第三通孔与所述超声波变幅杆的第二通孔连通。
在其中一个实施方式中，所述吸盘本体形成有贯穿所述吸盘本体的中央气孔，所述中央气孔与所述第三通孔连通。
在其中一个实施方式中，所述吸盘本体具有吸附面及非吸附面；所述中央气孔从所述吸附面引出；所述吸盘本体内部形成有第一通道，所述第一通道与所述中央气孔连通，并自所述非吸附面引出。
在其中一个实施方式中，所述第一通道与所述非吸附面的交界处设有缓冲件；所述第一通道与所述非吸附面的交界处开设有第一阻尼孔，所述第一阻尼孔用于收容所述缓冲件。
在其中一个实施方式中，所述吸盘本体还形成有第二通道，所述第二通道与所述第一通道连通，所述第二通道的一端从所述吸附面引出。
在其中一个实施方式中，所述吸盘本体还设有凸设于所述吸附面的阻挡部，所述吸附面与所述阻挡部围成收容腔，所述收容腔能够收容物料。
在其中一个实施方式中，所述收容腔自所述吸附面向着远离所述吸附面的方向逐渐收拢。
在其中一个实施方式中，所述阻挡部上开设有贯穿所述阻挡部的第二阻尼孔，所述第二阻尼孔中用于收容缓冲件。
在其中一个实施方式中，所述吸盘连接部包括相互连通的第一吸盘连接部及第二吸盘连接部；所述第一吸盘连接部的一端与所述超声波变幅杆远离所述超声波换能器的一端连接，所述第一吸盘连接部的另一端与所述第二吸盘连接部的一端连接，所述第二吸盘连接部的另一端与所述吸盘本体连接。
在其中一个实施方式中，所述第一吸盘连接部自靠近所述超声波变幅杆的一端向着远离所述超声波变幅杆的一端横斜面积逐渐减小；及/或，所述第二吸盘连接部自靠近所述第一吸盘连接部的一端向着远离所述第一吸盘连接部的一端横截面积逐渐增大。
在其中一个实施方式中，所述超声波变幅杆包括相互连通的第一变幅杆及第二变幅杆；所述第一变幅杆的一端与所述超声波换能器远离所述负压组件的一端连接，所述第一变幅杆的另一端与所述第二变幅杆的一端连接；所述第二变幅杆的另一端与所述超声波吸盘连接。
在其中一个实施方式中，所述第一变幅杆自靠近所述超声波换能器的一端向着远离所述超声波换能器的一端横截面积逐渐增大；及/或，所述第二变幅杆自靠近所述第一变幅杆的一端向着远离所述第一变幅杆的一端横截面积逐渐减小。
在其中一个实施方式中，所述第一变幅杆与所述第二变幅杆的连接处设有法兰，所述法兰用于将所述非接触搬运装置固定。
上述非接触搬运装置，负压组件通过产生负压气流从而对物料产生竖直向上的吸力，通过负压组件控制负压气流向上吸起物料并在物料下落的过程中减小物料下落速度；同时通过超声波组件中的超声波换能器产生高频机械振动，超声波变幅杆及超声波吸盘对高频机械振动进行放大和转换形成稳定连续的近声场悬浮力，在向上吸起物料或者物料下落的过程中，产生向下的悬浮力，防止物料接触到非接触搬运装置。上述非接触搬运装置通过负压组件和超声波组件协同作用，实现了对物料的上升和下落过程的多级缓冲，从而稳定地避免了物料与非接触搬运装置的接触与碰撞。
附图说明
图1为一实施方式的非接触搬运装置的结构示意图；
图2为图1所示的非接触搬运装置的剖视图；
图3为图1所示的非接触搬运装置的吸盘本体的结构示意图；
图4为图3所示的非接触搬运装置的吸盘本体沿Ⅳ-Ⅳ线的剖视图；
图5为图3所示的非接触搬运装置的吸盘本体沿Ⅴ-Ⅴ线的剖视图。
具体实施方式
下面将结合具体实施方式及附图对非接触搬运装置做进一步的详细说明。
请同时参阅图1和图2，一实施方式的非接触搬运装置10包括负压组件100及与负压组件100连接的超声波组件200。
在图示的实施方式中，负压组件100为风扇，风扇可以产生负压气流，从而对物料产生一定的吸力。当然，在其他实施方式中，负压组件100也可以是真空发生器。
在图示的实施方式中，超声波组件200包括超声波换能器210、超声波变幅杆230及超声波吸盘250。
在其中一个实施方式中，超声波换能器210、超声波变幅杆230及超声波吸盘250均为中空结构，且超声波换能器210、超声波变幅杆230及超声波吸盘250相互连通。采用中空的结构作为气流通道，一方面不会降低超声波组件的利用效率，另外一方面，可以采用冷气流形成内部负压，冷气流通过超声波组件时，能够起到降温散热的作用，提高超声波组件的稳定性和使用寿命。
超声波换能器210用于将高频的超声波电信号转换成高频的机械振动。在其中一个实施方式中，超声波换能器210包括换能器主体211、压电陶瓷叠堆213及换能器连接部215。在图示的实施方式中，换能器主体211为箱体结构，换能器主体211形成有容置腔212。负压组件100与换能器主体211的一端连接并与容置腔212连通，使得负电组件100可以将容置腔212中的气体抽出，从而在非接触搬运装置10内部形成负压。
在图示的实施方式中，压电陶瓷叠堆213容置于容置腔212中。超声波换能器210能够接收超声波发生器(图未示)发射的连续的高频电信号，根据逆压电效应，压电陶瓷叠堆213能够将连续的高频电信号转换成高频的变形，变现为高频的机械振动。
换能器连接部215的一端与换能器主体211远离压电组件100的一端连接。在图示的实施方式中，换能器连接部215形成有贯穿换能器连接部215的第一通孔214。换能器主体211与换能器连接部215的连接处形成有气槽216，通过气槽216可以将第一通孔214与容置腔212连通，且气槽216不影响超声波换能器210的预紧和振动传递。在其中一个实施方式中，换能器主体211与换能器连接部215为一体成型。
在图示的实施方式中，换能器连接部215自靠近换能器主体211的一端向着远离换能器主体211的一端横截面积逐渐减小。随着换能器连接部215的横截面积逐渐减小，从而使得能量集中进而使得机械振动的振幅增大。
超声波变幅杆230用于对高频的机械振动进行放大。超声波变幅杆230的一端与超声波换能器210远离负压组件100的一端连接。超声波变幅杆230形成有贯穿超声波变幅杆230的第二通孔234，第二通孔234与第一通孔214连通。
在图示的实施方式中，超声波变幅杆230包括相互连通的第一变幅杆231和第二变幅杆232。第一变幅杆231的一端与超声波换能器210远离负压组件100的一端连接；第一变幅杆231的另一端与第二变幅杆232的一端连接。在图示的实施方式中，第一变幅杆231自靠近超声波换能器210的一端向着远离超声波换能器210的一端横截面积逐渐增大。在其中一个实施方式中，第一变幅杆231自靠近超声波换能器210的一端向着远离超声波换能器210的一端横截面积增大的变化率一定。在图示的实施方式中，第二变幅杆232自靠近第一变幅杆231的一端向着远离第一变幅杆231的一端横截面积逐渐减小。在其中一个实施方式中，第二变幅杆232自靠近第一变幅杆231的一端向着远离第一变幅杆231的一端横截面积减小的变化率由大变小。上述结构的超声波变幅杆230可以实现机械振动振幅的放大。
第一变幅杆231与第二变幅杆232的连接处的横截面积最大，机械振动的振幅最小。在图示的实施方式中，第一变幅杆231与第二变幅杆232的连接处设有法兰233。法兰233用于将非接触搬运装置10固定。采用法兰固定可以避免在超声组件上面开孔而导致超声波频率改变。
超声波吸盘250包括吸盘连接部251及吸盘本体254。吸盘连接部251的一端与超声波变幅杆230远离超声波换能器210的一端连接，吸盘连接部251的另一端与吸盘本体254连接。在图示的实施方式中，吸盘连接部251形成有贯穿吸盘连接部251的第三通孔256，第三通孔256与第二通孔234连通。
在其中一个实施方式中，吸盘连接部251包括第一吸盘连接部252及第二吸盘连接部253。第一吸盘连接部252的一端与超声波变幅杆230远离超声波换能器210的一端连接，第一吸盘连接部252的另一端与第二吸盘连接部253的一端连接。在图示的实施方式中，第一吸盘连接部252自靠近超声波变幅杆230的一端向着远离超声波变幅杆230的一端横截面积逐渐减小。第一吸盘连接部252的横截面积逐渐减小可以实现机械振动振幅的放大。第二吸盘连接部253自靠近第一吸盘连接部252的一端向着远离第一吸盘连接部252的一端横截面积逐渐增大。第二吸盘连接部253的横截面积逐渐增大可以增大机械振动的传输面积。
请进一步参阅图3～5，吸盘本体254与吸盘连接部251远离超声波变幅杆230的一端连接，具体的，吸盘本体254与第二吸盘连接部253远离第一吸盘连接部252的一端连接。吸盘本体254形成有贯穿吸盘本体254的中央气孔2541。中央气孔2541与第三通孔256连通。
在其中一个实施方式中，吸盘本体254具有吸附面2543和非吸附面2542。在超声波组件200的作用下，吸盘本体254的吸附面2543产生一定形式的震动，从而对物料产生近声场悬浮力。
中央气孔2541贯穿自吸附面2543。在图示的实施方式中，吸盘本体254为立方体板状结构。吸盘本体254具有相对的两个表面和四个侧面。吸盘本体254的一个表面与第二吸盘连接部253连接。在图示的实施方式中，吸盘本体254远离第二吸盘连接部253的表面为吸附面，吸盘本体254靠近第二吸盘连接部253的表面及四个侧面为非吸附面。在图示的实施方式中，中央气孔2541贯穿吸盘本体254与吸附面2543相对的表面。
在其中一个实施方式中，吸盘本体254内部形成有第一通道2544。第一通道2544均与中央气孔2541连通。需要说明的是，第一通道2544均与中央气孔2541连通可以为直接连通，也可以为间接连通。在图示的实施方式中，吸盘本体254内部形成有3条沿第一方向延伸的第一通道2544，并形成有3条沿垂直于第一方向延伸的第一通道2544，从而使得第一通道2544相互交错贯通。当然，在其他实施方式中，第一通道2544的数量也可以是其他的任意数量，第一通道2544的排布方式也可以是其他的形式。在图示的实施方式中，第一通道2544分别从吸盘本体254的四个侧面引出。当然在其他实施方式中，第一通道2544也可以从吸盘本体254靠近第二吸盘连接件253的一面引出。
在图示的实施方式中，第一通道2544与非吸附面2542的交界处设有缓冲件(图未示)，缓冲件为不影响超声波组件频率的多孔材料，这些多孔材料具有较大的阻流系数，可以用来保持内部气压的相对稳定，缓解物料骤降骤升的冲击。在图示的实施方式中，第一通道2544与非吸附面2542的交界处开设有第一阻尼孔2545。第一阻尼孔2545用于收容缓冲件。
在图示的实施方式中，吸盘本体254还形成有第二通道2546。第二通道2546的一端与第一通道2544连通，第二通道2547的另一端从吸附面2543引出。优选的，第二通道2546的一端与第一通道2544的交叉处连通。
在图示的实施方式中，吸盘本体254还设有凸设于吸附面2543的阻挡部2547。阻挡部2547为环状凸起。吸附面2543与阻挡部2547围成收容腔(图未标)，收容腔能够收容物料。在其中一个实施方式中，收容腔自吸附面2543向着远离吸附面2543的方向逐渐收拢。
上述结构的非接触搬运装置10，超声波组件200在吸附面2543产生了一层气压梯度比较大的气膜，稳定吸起物料时，气流是均匀的从四周流向吸附面2543与物料之间形成的空隙，从而对物料表面形成不会损伤物料表面的从四周指向物料中心的切向力，物料位置在切向位置得到稳定；同时物料被包覆在吸附面2543与阻挡部2547围成的收容腔中，紧紧吸附在超声波组件200形成的气膜内，因此，在搬运的过程中可以翻转非接触搬运装置，物料也不会掉落。
在图示的实施方式中，在阻挡部2547上开设有贯穿阻挡部2547的第二阻尼孔2548。在其中一个实施方式中，第二阻尼孔2548中容置有缓冲件。缓冲件为不影响超声波组件频率的多孔材料，这些多孔材料具有较大的阻流系数，可以用来保持内部气压的相对稳定，缓解物料骤降骤升的冲击。
上述非接触搬运装置，负压组件通过产生负压气流从而对物料产生竖直向上的吸力，通过负压组件控制负压气流向上吸起物料并在物料下落的过程中减小物料下落速度；同时通过超声波组件中的超声波换能器产生高频机械振动，超声波变幅杆及超声波吸盘对高频机械振动进行放大和转换形成稳定连续的近声场悬浮力，在向上吸起物料或者物料下落的过程中，产生向下的悬浮力，防止物料接触到非接触搬运装置。上述非接触搬运装置通过负压组件和超声波组件协同作用，实现了对物料的上升和下落过程的多级缓冲，从而稳定地避免了物料与非接触搬运装置的接触与碰撞。
同时，上述非接触搬运装置结构组成简单，没有多余附件，气孔等尺寸修改后可以对超声组件非重要部位直接调试修改，频率修正简单。
下面以物料上升和下落的过程来进一步说明上述非接触搬运装置的运行过程。
上述非接触搬运装置10在一个工作行程中先是吸起物料，物料高度稳定后，被搬运到指定位置，然后放下物料。在整个工作行程中，超声波组件200一直处于工作状态，发射稳定连续的超声波，并在吸附面2543形成近声场悬浮力，防止物料与非接触搬运装置的表面接触，直到物料下落到一定的高度，超声波组件才停止工作。
将整个工作行程按物料先升后降的顺序分为A阶段、B阶段、C阶段和D阶段。
在A阶段，超声波组件200开始工作，并在超声波吸盘250的吸附面2543形成近声场悬浮力。同时，负压组件100开始工作，风力逐渐增加，气流开始由物料与阻挡部2547之间的间隙流入，并主要通过中央气孔2541流向负压组件100并被排出。当中央气孔2541的气压达到一定的调试压力后，部分气流开始从第二通道2546吸入，并通过第一通道2544汇聚到中央气孔2541，物料克服下表面的粘附力后加速上升到靠近稳定位置的高度。在这个阶段物料与阻挡部2547之间的间隙较小，为0.5mm～1mm，这样风量得到充分的利用，向上的风力较大能够吸起物料。
在B阶段，物料接近稳定位置后，风量逐渐减小，从而降低物料的上升加速度。且近声场悬浮力的大小与物料到吸附面的间距的平方有一定的反比例关系，表示为：F＝k*x-2，其中F为近声场悬浮力，x为物料到吸附面的间距，k为常数。因此，当物料越靠近吸附面2543，作用于物料上的向下的近声场悬浮力越大，从而使得物料与吸附面2543的间距增大。负压组件100风量减小，物料与吸附面2543之间的气流通道增大导致吸力减小，而近声场悬浮力增加，使得物料的加速度减小至0，从而使得物料稳定，达到不接触装置表面的稳定位置。在这个过程中，多余的气压会通过第一阻尼孔2545和第二阻尼孔2548泄掉，由于第一阻尼孔2545和第二阻尼孔2548中填充有多孔材料，多孔材料具有较大的阻流系数，从而使得装置内部气压保持相对稳定。
在C阶段，物料开始下落，风量继续减小，通过第一阻尼孔2545和第二阻尼孔2548的气流量逐渐减小为0，超声波组件200仍然在工作，物料受到向下的合力因此加速下落，直至下落至距离吸附面2543的间距为1.2mm～1.8mm处，近声场悬浮力变得很小，此时可以暂停超声波组件200的工作，使其充分散热。
在D阶段，物料加速下落，风量继续减小，通过第二通道2546的气流量逐渐减小至0，气流主要从中央气孔2541通过。在这个阶段，物料受到向下的合力向下运动，但由于吸附面2543与阻挡部2547围成的收容腔自吸附面2543向着远离吸附面2543的方向逐渐收拢，因此在物料下落的过程中，物料与阻挡部的间隙减小，使得有效风力相对增大，物料下落的加速度减小，从而使物料缓慢下落直到着陆。在其他实施方式中，也可以通过调节负压组件100的风量降低物料下落的加速度，从而避免了物料受到冲击受损。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (12)

1.一种非接触搬运装置，其特征在于，包括：
负压组件，用于在所述非接触搬运装置内部产生负压气流；及
超声波组件，所述超声波组件与所述负压组件连接，所述超声波组件包括：
超声波换能器，用于将高频的超声波电信号转换成高频的机械振动，所述超声波换能器的一端与所述负压组件连接，所述超声波换能器包括换能器主体、压电陶瓷叠堆及换能器连接部，所述换能器主体形成有容置腔，所述压电陶瓷叠堆容置于所述容置腔中，所述换能器连接部的一端与换能器主体远离所述负压组件的一端连接，所述换能器连接部形成有贯穿所述换能器连接部的第一通孔，所述换能器连接部与所述换能器主体之间形成有气槽，所述第一通孔与所述容置腔通过所述气槽连通；
超声波变幅杆，用于对所述高频的机械振动进行放大，所述超声波变幅杆的一端与所述超声波换能器远离所述负压组件的一端连接，所述超声波变幅杆形成有贯穿所述超声波变幅杆的第二通孔，所述第二通孔与所述换能器连接部的第一通孔相连通；及
超声波吸盘，用于对所述高频的机械振动进行放大及转换，所述超声波吸盘包括吸盘本体及吸盘连接部，所述吸盘连接部的一端与所述超声波变幅杆远离所述超声波换能器的一端连接，所述吸盘连接部的另一端与所述吸盘本体连接，所述吸盘连接部形成有贯穿所述吸盘连接部的第三通孔，所述第三通孔与所述超声波变幅杆的第二通孔连通，所述吸盘本体形成有贯穿所述吸盘本体的中央气孔，所述中央气孔与所述第三通孔连通，所述吸盘本体具有吸附面及非吸附面；所述中央气孔从所述吸附面引出；所述吸盘本体内部形成有第一通道，所述第一通道与所述中央气孔连通，并自所述非吸附面引出。
2.根据权利要求1所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述换能器连接部自靠近所述换能器主体的一端向着远离所述换能器主体的一端横截面积逐渐减小。
3.根据权利要求1所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述第一通道与所述非吸附面的交界处设有缓冲件一；所述第一通道与所述非吸附面的交界处开设有第一阻尼孔，所述第一阻尼孔用于收容所述缓冲件一。
4.根据权利要求1所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述吸盘本体还形成有第二通道，所述第二通道与所述第一通道连通，所述第二通道的一端从所述吸附面引出。
5.根据权利要求1所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述吸盘本体还设有凸设于所述吸附面的阻挡部，所述吸附面与所述阻挡部围成收容腔，所述收容腔能够收容物料。
6.根据权利要求5所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述收容腔自所述吸附面向着远离所述吸附面的方向逐渐收拢。
7.根据权利要求5所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述阻挡部上开设有贯穿所述阻挡部的第二阻尼孔，所述第二阻尼孔中用于收容缓冲件二。
8.根据权利要求1所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述吸盘连接部包括相互连通的第一吸盘连接部及第二吸盘连接部；所述第一吸盘连接部的一端与所述超声波变幅杆远离所述超声波换能器的一端连接，所述第一吸盘连接部的另一端与所述第二吸盘连接部的一端连接，所述第二吸盘连接部的另一端与所述吸盘本体连接。
9.根据权利要求8所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述第一吸盘连接部自靠近所述超声波变幅杆的一端向着远离所述超声波变幅杆的一端横斜面积逐渐减小；及/或，所述第二吸盘连接部自靠近所述第一吸盘连接部的一端向着远离所述第一吸盘连接部的一端横截面积逐渐增大。
10.根据权利要求1所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述超声波变幅杆包括相互连通的第一变幅杆及第二变幅杆；所述第一变幅杆的一端与所述超声波换能器远离所述负压组件的一端连接，所述第一变幅杆的另一端与所述第二变幅杆的一端连接；所述第二变幅杆的另一端与所述超声波吸盘连接。
11.根据权利要求10所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述第一变幅杆自靠近所述超声波换能器的一端向着远离所述超声波换能器的一端横截面积逐渐增大；及/或，所述第二变幅杆自靠近所述第一变幅杆的一端向着远离所述第一变幅杆的一端横截面积逐渐减小。
12.根据权利要求10所述的非接触搬运装置，其特征在于，所述第一变幅杆与所述第二变幅杆的连接处设有法兰，所述法兰用于将所述非接触搬运装置固定。
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