CN102332419A - 一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于半导体及平板显示制造业中的非接触式搬运技术领域，实现了一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法。发明内容主要涉及在非接触式吸盘放下至吸取工件的过程中稳定吸盘与工件之间气体间隙的方法和相应装置。本发明通过在非接触式吸盘的真空发生腔的外围开设喷吹孔，并对吸盘采用柔性支撑，利用吸盘放下过程中喷吹气流和柔性机构的调节能力使吸盘和工件之间保持设定的工作间隙，并使搬运过程中的间隙稳定性有所提高。本发明结构简单，制造成本低，且经过验证切实有效，是一种稳定非接触吸盘工作间隙的实用方法。

Description

一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法

技术领域

本发明属于半导体及平板显示制造业中的非接触式搬运技术领域，涉及一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法和相应装置。

背景技术

在半导体及平板显示制造业中，对晶片或玻璃基板的表面质量要求很高，为了避免对工件表面产生污染、损伤等不良影响，非接触式搬运技术得到了越来越广泛的应用。

非接触吸盘是一种常用的吸浮式非接触搬运设备，现存问题是吸取工件前的初始间隙没有标准或难以控制，初始间隙不合理会使吸取过程工件振幅过大，振动衰减较慢，极易导致吸盘与工件碰撞接触；随着所生产的工件尺寸越来越大，厚度越来越小，在吸取和搬运过程中工件易产生变形，刚性连接的吸盘无法进行相应的调节，也容易造成接触。针对这些情况，本发明提出的一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法和相应的装置，结构简单，制造成本低，且经过验证切实有效，是一种稳定非接触吸盘工作间隙的实用方法。

发明内容

本发明的目的是：提供一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法。

本发明的技术方案是：

在非接触吸盘工作面的外围，位置均匀地开设竖直向下的喷吹孔，以喷吹力均匀为原则，开孔直径宜小，开孔数量宜多。上述喷吹孔的气源独立于吸盘真空发生装置的气源，有独立的进气压力或流量调节装置。本发明的非接触吸盘与其支承件之间具有柔性连接机构（例如弹簧），该柔性连接机构使吸盘具有竖直方向移动的自由度，及相对水平面在小角度以任意方向翻转的自由度。应用本发明技术方法的非接触式吸盘应包括：支承件1、柔性机构2、真空发生器气源3、喷吹孔气源4、非接触吸盘体5、喷吹孔6、真空发生腔7。

喷吹孔通以压缩空气产生喷吹力，当吸盘与被吸取工件靠近，喷吹孔出口与工件的距离小于设定距离时，喷吹力变大，吸盘被推开，当吸盘与被吸取工件远离，喷吹孔出口与工件的距离大于设定距离时，喷吹力变小，吸盘在重力作用下靠近工件，最终吸盘与工件的距离稳定在设定距离。

本发明的优点是：

1，无需高精度的位置控制，便可以保证吸盘下落过程中不会与工件发生碰撞，并且可以调节吸盘的位置使之与工件间的初始间隙最优，以保证吸取过程工件不会与吸盘发生碰撞。

2，在搬运的过程中，由于柔性机构的调节作用，吸盘对工件的震动和变形也具有一定的适应能力。

3，对真空发生装置的种类没有限制，可以是伯努利式也可以是涡旋式。

附图说明

图1是本发明在非接触吸盘上的应用示意图。

其中：1、支承件，2、柔性机构，3、真空发生器气源，4、喷吹孔气源，5、非接触吸盘体，6、喷吹孔，7、真空发生腔。

具体实施方式

下面对本发明作进一步的说明。

1.应用本发明的非接触式吸盘，其动作顺序为：先打开喷吹孔气源，将吸盘放下，利用喷吹气流和吸盘柔性连接的调节作用使吸盘和工件间的间隙稳定，待间隙稳定后再打开真空发生腔的气源，吸取工件，支承件带动吸盘抬起，搬运工件。

2.吸盘真空发生腔和喷吹孔的进气压力或流量的设定应满足：在柔性机构的同时作用下，喷吹孔的喷吹力足够抬起吸盘，保证吸盘下落过程中不会碰撞工件；真空发生腔的吸取力能够与工件重量和喷吹力平衡。

Claims (3)

1.一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法，其特征在于：在非接触式吸盘的真空发生腔的外围开设均匀分布的喷吹孔，喷吹孔通以压缩空气产生喷吹力，当吸盘与被吸取工件靠近，喷吹孔出口与工件的距离小于设定距离时，喷吹力变大，吸盘被推开，当吸盘与被吸取工件远离，喷吹孔出口与工件的距离大于设定距离时，喷吹力变小，吸盘在重力作用下靠近工件，最终吸盘与工件的距离稳定在设定距离。

2.根据权利1所述一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法，其特征在于：喷吹孔与吸盘独立，可分别调节进气压力和流量。

3.根据权利1所述一种稳定非接触式吸盘工作间隙的方法，其特征在于：吸盘与其支承机构采用弹簧柔性连接。

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