CN107597687B - 一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法，其中，水刀清洗装置包括：压缩干燥空气管路，连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上，用于供应压缩干燥空气，压缩干燥空气与水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对水刀供给管路及水刀进行清洗；设置在压缩干燥空气管路上的自动阀，用于在湿法剥离机进入空闲状态时自动开启以使压缩干燥空气输送至水刀供给管路中，并在湿法剥离机进入工作状态时自动关闭以断开压缩干燥空气的供应。本发明使得循环水过滤器至刀口的整段水刀供给管路连接处、缝隙处皆可得到充分清洗，进一步降低了水刀分叉的可能性，可基本避免因此带来的工艺异常，具有较好的经济效益。
Description
技术领域
本发明涉及屏幕显示技术领域，尤其涉及一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法。
背景技术
在TFT-LCD Array段工艺中，需要在湿法蚀刻机（剥离机）水洗区间对基板玻璃（Glass）进行清洗。如图1所示，水洗区间1΄包括多个水洗喷淋（Shower，SWR）单元（SWR#1~SWR#5），基板玻璃2΄在其中传送，在湿法剥离机正常工作状态下，用于清洗的去离子水（DIW）从SWR#5依次循环使用至SWR#1后排往去离子水排放管路（DIW Drain），其间通过为每一水洗喷淋单元配备的循环水水泵3΄打起循环水，由水洗喷淋单元内的喷嘴11΄进行喷淋，以对处于水洗喷淋单元内的基板玻璃2΄进行清洗。湿法剥离机使用循环水时采用循环水容器4΄对循环水进行储存。
湿法蚀刻机第一个水洗喷淋单元SWR#1内的水刀10΄经常出现因异物堵塞而导致的分叉情况，当水刀10΄出现分叉后导致局部过蚀刻，因局部清洗不净导致后段检测出Mura或者膜层脱落。前述的工艺异常均会引起良率Loss，改善第一个水洗区间水刀分叉问题具有一定价值及实际意义。
为解决第一个水洗喷淋单元的水刀分叉问题，业界一般采用以下解决方案：
（1）对第一个水洗喷淋单元的水刀直接使用直水供给，以更干净的水来减少异物堵塞的可能性；
（2）对第一个水洗喷淋单元的水刀采用定时手动刮拭处理，直接清洁异物。
业内目前将以上两种方案搭配使用情况较多，但是用水量及设备稼动率、水刀本体均有一定损失。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法，以改善水刀堵塞问题，降低水刀分叉可能性，提升产品良率。
为了解决上述技术问题，本发明提供一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置，包括：
压缩干燥空气管路，连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上，用于供应压缩干燥空气，所述压缩干燥空气与所述水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对所述水刀供给管路及水刀进行清洗；
设置在所述压缩干燥空气管路上的自动阀，用于在湿法剥离机进入空闲状态时自动开启以使所述压缩干燥空气输送至所述水刀供给管路中，并在湿法剥离机进入工作状态时自动关闭以断开所述压缩干燥空气的供应。
其中，所述压缩干燥空气管路具体是连接在循环水过滤器与水刀之间的水刀供给管路上。
其中，还包括设置在所述自动阀之前的压缩干燥空气过滤器，用于对供应到所述压缩干燥空气管路的压缩干燥空气进行过滤。
其中，所述压缩干燥空气管路连接在为第一个水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上。
其中，水洗喷淋单元至少有3个。
本发明还提供一种湿法蚀刻机的水刀清洗方法，包括：
设置压缩干燥空气管路，将其连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上；
在所述压缩干燥空气管路上设置自动阀；
在湿法剥离机进入空闲状态时开启所述自动阀，使压缩干燥空气输送至所述水刀供给管路中，与所述水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对所述水刀供给管路及水刀进行清洗；
在湿法剥离机进入工作状态时关闭所述自动阀，断开所述压缩干燥空气的供应。
其中，所述压缩干燥空气管路具体是连接在循环水过滤器与水刀之间的水刀供给管路上。
其中，所述水刀清洗方法还包括：
在所述自动阀之前设置用于对供应到所述压缩干燥空气管路的压缩干燥空气进行过滤的压缩干燥空气过滤器。
其中，将所述压缩干燥空气管路连接在为第一个水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上。
其中，水洗喷淋单元至少有3个。
本发明实施例的有益效果在于：
可避免手动刮拭处理时损伤刀口本体，水刀整体供给管路洁净度提升后可不必使用直水供给，此时水洗喷淋单元接入循环水使用即可满足需求，可大幅降低机台用水量；
不需要人力手动停机对水刀进行刮拭，在湿法蚀刻机每次从工作状态转入空闲状态时均可进行自动清洁一次，清洁时长可通过软件按需设定，以满足产线需求为前提即可；
循环水过滤器至刀口的整段水刀供给管路连接处、缝隙处皆可得到充分清洗，进一步降低了水刀分叉的可能性，可基本避免因此带来的工艺异常，具有较好的经济效益。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是现有湿法蚀刻机的水刀清洗装置的结构示意图。
图2是本发明实施例一一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置的结构示意图。
图3是本发明实施例二一种湿法蚀刻机的水刀清洗方法的流程示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附图，用以示例本发明可以用以实施的特定实施例。
请参照图2所示，本发明实施例一提供一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置，包括：
压缩干燥空气管路6，连接在为水洗喷淋单元（SWR#1~ SWR#5中任一个）内的水刀10供应去离子水的水刀供给管路12上，用于供应压缩干燥空气，所述压缩干燥空气与所述水刀供给管路12中的去离子水形成二流体，对所述水刀供给管路12及水刀10进行清洗；
设置在所述压缩干燥空气管路6上的自动阀7，用于在湿法剥离机进入空闲状态时自动开启以使所述压缩干燥空气输送至所述水刀供给管路12中，并在湿法剥离机进入工作状态时自动关闭以断开所述压缩干燥空气的供应。
本实施例湿法蚀刻机的水洗区间1包括多个水洗喷淋单元（SWR#1~SWR#5），基板玻璃2在其中传送，在湿法蚀刻机正常工作状态下，用于清洗的去离子水（DIW）从SWR#5依次循环使用至SWR#1后排往去离子水排放管路（DIW Drain），其间通过为每一水洗喷淋单元配备的循环水水泵3打起循环水，由水洗喷淋单元内的喷嘴11进行喷淋，第一个水洗喷淋单元的水刀10也正常喷淋，以对处于水洗喷淋单元1内的基板玻璃2进行清洗。
湿法蚀刻机使用循环水时采用循环水容器4对循环水进行储存。在循环水被送入水洗喷淋单元之前，还经过循环水过滤器5过滤。
本实施例的压缩干燥空气管路6具体是连接在循环水过滤器5与水刀10之间、为第一个水洗喷淋单元（SWR#1）内的水刀供给管路12上，当湿法蚀刻机进入空闲状态（Idle）时，控制自动阀7打开，使压缩干燥空气进入水刀供给管路12中，与水刀供给管路12中原有的供给水刀10的去离子水混合形成二流体，可以对循环水过滤器5之后的水刀供给管路12、水刀10刀口等处的异物进行清洗，尤其针对管路连接、缝隙处的异物进行清理，将大大提升第一个水洗喷淋单元的水刀整体供水管路的洁净状态，达到减少异物堵塞水刀引起的工艺异常的目的。
当湿法蚀刻机由空闲状态切换至正常工作状态时，控制自动阀7关闭，水刀清洗功能关闭，进入正常生产模式。
在自动阀7之前还设有压缩干燥空气过滤器8，用于对供应到压缩干燥空气管路6的压缩干燥空气进行过滤，将其中可能的杂质去除。由于本实施例是将压缩干燥空气与去离子水混合形成二流体来执行清洗操作，去离子水已经过循环水过滤器5过滤，如果压缩干燥空气里存在杂质，不但对管路连接、缝隙处的异物进行清理的作用将减弱，甚至还会给水刀带来损伤，因此在将其输送至水刀供给管路12之前进行过滤是有必要的。
进一步地，水洗喷淋单元至少有3个。
相应于本发明实施例一，本发明实施例二提供一种湿法剥离机的水洗方法，请参照图3所示，该水洗方法包括：
设置压缩干燥空气管路，将其连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上；
在所述压缩干燥空气管路上设置自动阀；
在湿法剥离机进入空闲状态时开启所述自动阀，使压缩干燥空气输送至所述水刀供给管路中，与所述水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对所述水刀供给管路及水刀进行清洗；
在湿法剥离机进入工作状态时关闭所述自动阀，断开所述压缩干燥空气的供应。
其中，所述设置常压直水供应管路，其具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管，具体包括：
将所述支管连通各个水洗喷淋单元，并分别连接在各水洗喷淋单元与其循环水水泵之间的管路上。
其中，所述压缩干燥空气管路具体是连接在循环水过滤器与水刀之间的水刀供给管路上。
其中，所述水刀清洗方法还包括：
在所述自动阀之前设置用于对供应到所述压缩干燥空气管路的压缩干燥空气进行过滤的压缩干燥空气过滤器。
其中，将所述压缩干燥空气管路连接在为第一个水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上。
其中，水洗喷淋单元至少有3个。
通过上述说明可知，本发明实施例的有益效果在于：
可避免手动刮拭处理时损伤刀口本体，水刀整体供给管路洁净度提升后可不必使用直水供给，此时水洗喷淋单元接入循环水使用即可满足需求，可大幅降低机台用水量；
不需要人力手动停机对水刀进行刮拭，在湿法蚀刻机每次从工作状态转入空闲状态时均可进行自动清洁一次，清洁时长可通过软件按需设定，以满足产线需求为前提即可；
循环水过滤器至刀口的整段水刀供给管路连接处、缝隙处皆可得到充分清洗，进一步降低了水刀分叉的可能性，可基本避免因此带来的工艺异常，具有较好的经济效益。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
Claims (10)
1.一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置，其特征在于，包括：
压缩干燥空气管路，连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上，用于供应压缩干燥空气，所述压缩干燥空气与所述水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对所述水刀供给管路及水刀进行清洗；
设置在所述压缩干燥空气管路上的自动阀，用于在湿法蚀刻机进入空闲状态时自动开启以使所述压缩干燥空气输送至所述水刀供给管路中，并在湿法蚀刻机进入工作状态时自动关闭以断开所述压缩干燥空气的供应。
2.根据权利要求1所述的水刀清洗装置，其特征在于，所述压缩干燥空气管路具体是连接在循环水过滤器与水刀之间的水刀供给管路上。
3.根据权利要求1所述的水刀清洗装置，其特征在于，还包括设置在所述自动阀之前的压缩干燥空气过滤器，用于对供应到所述压缩干燥空气管路的压缩干燥空气进行过滤。
4.根据权利要求1所述的水刀清洗装置，其特征在于，所述压缩干燥空气管路连接在为第一个水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上。
5.根据权利要求1-4任一项所述的水刀清洗装置，其特征在于，水洗喷淋单元至少有3个。
6.一种湿法蚀刻机的水刀清洗方法，包括：
设置压缩干燥空气管路，将其连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上；
在所述压缩干燥空气管路上设置自动阀；
在湿法蚀刻机进入空闲状态时开启所述自动阀，使压缩干燥空气输送至所述水刀供给管路中，与所述水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对所述水刀供给管路及水刀进行清洗；
在湿法蚀刻机进入工作状态时关闭所述自动阀，断开所述压缩干燥空气的供应。
7.根据权利要求6所述的水刀清洗方法，其特征在于，所述压缩干燥空气管路具体是连接在循环水过滤器与水刀之间的水刀供给管路上。
8.根据权利要求6所述的水刀清洗方法，其特征在于，还包括：
在所述自动阀之前设置用于对供应到所述压缩干燥空气管路的压缩干燥空气进行过滤的压缩干燥空气过滤器。
9.根据权利要求6所述的水刀清洗方法，其特征在于，将所述压缩干燥空气管路连接在为第一个水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上。
10.根据权利要求6-9任一项所述的水刀清洗方法，其特征在于，水洗喷淋单元至少有3个。
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