CN107520975A - 一种硅片生产用检测装置 - Google Patents

一种硅片生产用检测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN107520975A
CN107520975A CN201710740293.0A CN201710740293A CN107520975A CN 107520975 A CN107520975 A CN 107520975A CN 201710740293 A CN201710740293 A CN 201710740293A CN 107520975 A CN107520975 A CN 107520975A
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon chip
camera
detection means
platform
transmission belt
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710740293.0A
Other languages
English (en)
Inventor
汪伟华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Yi Yang Solar Power Science And Technology Ltd
Original Assignee
Zhejiang Yi Yang Solar Power Science And Technology Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang Yi Yang Solar Power Science And Technology Ltd filed Critical Zhejiang Yi Yang Solar Power Science And Technology Ltd
Priority to CN201710740293.0A priority Critical patent/CN107520975A/zh
Publication of CN107520975A publication Critical patent/CN107520975A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0064Devices for the automatic drive or the program control of the machines
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本发明公开了一种硅片生产用检测装置,包括立柱、支撑板、抬升气缸和转换平台,所述立柱设置在不合格品传输带和合格品传输带的下方,检测平台下方的所述立柱之间安装有所述支撑板,所述支撑板上安装有所述抬升气缸,所述抬升气缸与所述转换平台连接,所述检测平台的上方设置有支架,所述支架的一侧安装有伸缩气缸,所述伸缩气缸与推板连接,所述支架上安装有相机固定架,所述相机固定架与照相机连接,所述支架的上方一侧安装有微机处理器,所述合格品传输带的一侧安装有控制箱和电动机。该硅片生产用检测装置利用相机拍照,将照片传输至微机处理器进行信息比对,判定所生产的硅片是否合格,检测结果更加精准,监测效率高。

Description

一种硅片生产用检测装置
技术领域
本发明涉及硅片生产相关技术领域,具体涉及一种硅片生产用检测装置。
背景技术
作为一种取之不尽的清洁能源,太阳能的开发利用正引起人类从未有过的极大关注。商业化太阳能电池采用的是无毒性的晶硅,单晶和多晶硅电池的特点是光电转换效率高、寿命长且稳定性好。硅片是晶体硅光伏电池加工成本中最昂贵的部分,随着半导体制造技术的不断成熟完善,硅片制造成本不断降低。硅片切割是太阳能光伏电池制造工艺中的关键部分,太阳能电池所用硅片的切割成本一直居高不下,要占到太阳能电池总制造成本的30%以上。所以降低这部分的制造成本对于提高太阳能对传统能源的竞争力至关重要。目前硅片的切割方法都是围绕如何减小切缝损失、降低切割厚度、增大切片尺寸及提高切割效率方面进行的。太阳能硅片切割方法主要有:外圆切割、内圆切割和磨料线切割和电火花切割(WEDM)等。80年代中期之前的硅片切割都是由外圆切割机床或者内圆切割机床完成的,这两种切割方法在那时的研究已经达到了鼎盛时期,90年中后期以来,多线切割技术逐渐走向成熟,其切缝损失小、切割直径大、成片效率高、适合大批量硅片加工,切割后的硅片需进行破损、裂痕和边缘缺口的外观检查,传统的检测方法多为人工检测。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种硅片生产用检测装置。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的:
一种硅片生产用检测装置,包括立柱、支撑板、抬升气缸和转换平台,所述立柱设置在不合格品传输带和合格品传输带的下方,检测平台下方的所述立柱之间安装有所述支撑板,所述支撑板上安装有所述抬升气缸,所述抬升气缸与所述转换平台连接,所述检测平台的上方设置有支架,所述支架的一侧安装有伸缩气缸,所述伸缩气缸与推板连接,所述支架上安装有相机固定架,所述相机固定架与照相机连接,所述支架的上方一侧安装有微机处理器,所述合格品传输带的一侧安装有控制箱和电动机,所述控制箱内设置有控制电路板和电器元件。
上述结构中,将切割后的硅片放置在所述检测平台上,所述照相机自动调整焦距对硅片进行拍照,所述照相机将拍摄的照片传输至所述微机处理器中,所述微机处理器进行信息比对并做出判断,所述微机处理器根据判定结果给所述控制箱传递信号,如果硅片检测合格,所述伸缩气缸带动所述推板将硅片推至所述合格品传输带上运往下一道工序,如果硅片检测不合格,所述抬升气缸带动所述转换平台上升,将所述转换平台移动到与所述不合格品传输带相同的高度,另一组所述伸缩气缸和所述推板将硅片推动到所述不合格品传输带上,进行不合格品处理,之后所述伸缩气缸和所述抬升气缸复位,准备下一次检测。
为了进一步提高一种硅片生产用检测装置的使用功能,所述照相机为自动对焦相机,所述相机固定架上设置有卡槽,所述照相机安装在所述相机固定架的卡槽中。
为了进一步提高一种硅片生产用检测装置的使用功能,所述伸缩气缸和所述推板各有两套,两个所述伸缩气缸的伸缩方向分别与所述不合格品传输带和所述合格品传输带传输方向相一致。
为了进一步提高一种硅片生产用检测装置的使用功能,所述检测平台的中间位置设置有通孔,所述转换平台内嵌在所述检测平台的通孔中。
为了进一步提高一种硅片生产用检测装置的使用功能,所述抬升气缸通过螺栓固定在所述支撑板上,所述抬升气缸与所述转换平台之间通过螺钉连接。
为了进一步提高一种硅片生产用检测装置的使用功能,所述相机固定架与所述支架之间通过螺钉连接,所述微机处理器与所述支架之间通过螺栓连接。
有益效果在于:该硅片生产用检测装置利用相机拍照,将照片传输至微机处理器进行信息比对,判定所生产的硅片是否合格,检测结果更加精准,监测效率高。
附图说明
图1是本发明所述一种硅片生产用检测装置的结构示意图;
图2是本发明所述一种硅片生产用检测装置的俯视图;
图3是本发明所述一种硅片生产用检测装置的局部示意图;
附图标记说明如下:
1、立柱;2、支撑板;3、抬升气缸;4、转换平台;5、检测平台;6、伸缩气缸;7、推板;8、相机固定架;9、照相机;10、微机处理器;11、支架;12、不合格品传输带;13、控制箱;14、合格品传输带;15、电动机;16、控制电路板;17、电器元件。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明:
如图1-图3所示,一种硅片生产用检测装置,包括立柱1、支撑板2、抬升气缸3和转换平台4,立柱1设置在不合格品传输带12和合格品传输带14的下方,检测平台5下方的立柱1之间安装有支撑板2,支撑板2上安装有抬升气缸3,抬升气缸3与转换平台4连接,检测平台5的上方设置有支架11,支架11的一侧安装有伸缩气缸6,伸缩气缸6与推板7连接,支架11上安装有相机固定架8,相机固定架8与照相机9连接,支架11的上方一侧安装有微机处理器10,合格品传输带14的一侧安装有控制箱13和电动机15,控制箱13内设置有控制电路板16和电器元件17。
上述结构中,将切割后的硅片放置在检测平台5上,照相机9自动调整焦距对硅片进行拍照,照相机9将拍摄的照片传输至微机处理器10中,微机处理器10进行信息比对并做出判断,微机处理器10根据判定结果给控制箱13传递信号,如果硅片检测合格,伸缩气缸6带动推板7将硅片推至合格品传输带14上运往下一道工序,如果硅片检测不合格,抬升气缸3带动转换平台4上升,将转换平台4移动到与不合格品传输带12相同的高度,另一组伸缩气缸6和推板7将硅片推动到不合格品传输带12上,进行不合格品处理,之后伸缩气缸6和抬升气缸3复位,准备下一次检测。
为了进一步提高一种硅片生产用检测装置的使用功能,照相机9为自动对焦相机,相机固定架8上设置有卡槽,照相机9安装在相机固定架8的卡槽中,伸缩气缸6和推板7各有两套,两个伸缩气缸6的伸缩方向分别与不合格品传输带12和合格品传输带14传输方向相一致,检测平台5的中间位置设置有通孔,转换平台4内嵌在检测平台5的通孔中,抬升气缸3通过螺栓固定在支撑板2上,抬升气缸3与转换平台4之间通过螺钉连接,相机固定架8与支架11之间通过螺钉连接,微机处理器10与支架11之间通过螺栓连接。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。

Claims (6)

1.一种硅片生产用检测装置,其特征在于:包括立柱(1)、支撑板(2)、抬升气缸(3)和转换平台(4),所述立柱(1)设置在不合格品传输带(12)和合格品传输带(14)的下方,检测平台(5)下方的所述立柱(1)之间安装有所述支撑板(2),所述支撑板(2)上安装有所述抬升气缸(3),所述抬升气缸(3)与所述转换平台(4)连接,所述检测平台(5)的上方设置有支架(11),所述支架(11)的一侧安装有伸缩气缸(6),所述伸缩气缸(6)与推板(7)连接,所述支架(11)上安装有相机固定架(8),所述相机固定架(8)与照相机(9)连接,所述支架(11)的上方一侧安装有微机处理器(10),所述合格品传输带(14)的一侧安装有控制箱(13)和电动机(15),所述控制箱(13)内设置有控制电路板(16)和电器元件(17)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用检测装置,其特征在于:所述照相机(9)为自动对焦相机,所述相机固定架(8)上设置有卡槽,所述照相机(9)安装在所述相机固定架(8)的卡槽中。
3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用检测装置,其特征在于:所述伸缩气缸(6)和所述推板(7)各有两套,两个所述伸缩气缸(6)的伸缩方向分别与所述不合格品传输带(12)和所述合格品传输带(14)传输方向相一致。
4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用检测装置,其特征在于:所述检测平台(5)的中间位置设置有通孔,所述转换平台(4)内嵌在所述检测平台(5)的通孔中。
5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用检测装置,其特征在于:所述抬升气缸(3)通过螺栓固定在所述支撑板(2)上,所述抬升气缸(3)与所述转换平台(4)之间通过螺钉连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅片生产用检测装置,其特征在于:所述相机固定架(8)与所述支架(11)之间通过螺钉连接,所述微机处理器(10)与所述支架(11)之间通过螺栓连接。
CN201710740293.0A 2017-08-25 2017-08-25 一种硅片生产用检测装置 Pending CN107520975A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710740293.0A CN107520975A (zh) 2017-08-25 2017-08-25 一种硅片生产用检测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710740293.0A CN107520975A (zh) 2017-08-25 2017-08-25 一种硅片生产用检测装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107520975A true CN107520975A (zh) 2017-12-29

Family

ID=60682216

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710740293.0A Pending CN107520975A (zh) 2017-08-25 2017-08-25 一种硅片生产用检测装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107520975A (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2482082Y (zh) * 1999-12-10 2002-03-13 信息产业部电子第四十六研究所 抛光表面检测仪
JP2002079187A (ja) * 2000-09-11 2002-03-19 Kao Corp 不良品の排出方法
CN202290600U (zh) * 2011-10-21 2012-07-04 中国科学院广州电子技术研究所 一种贯流风扇叶轮缺陷检测系统
CN203620957U (zh) * 2013-08-12 2014-06-04 李奎 一种自动下料机构
CN205217394U (zh) * 2015-12-22 2016-05-11 山东科技大学 一种工件识别与自动分拣装置
CN206399862U (zh) * 2017-01-05 2017-08-11 丽智电子(昆山)有限公司 一种电子元器件生产用ccd印刷图形定位检测装置
CN206405057U (zh) * 2016-12-16 2017-08-15 东睦(天津)粉末冶金有限公司 粉末冶金零件缺陷在线检测系统
CN207120379U (zh) * 2017-08-25 2018-03-20 浙江羿阳太阳能科技有限公司 一种硅片生产用检测装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2482082Y (zh) * 1999-12-10 2002-03-13 信息产业部电子第四十六研究所 抛光表面检测仪
JP2002079187A (ja) * 2000-09-11 2002-03-19 Kao Corp 不良品の排出方法
CN202290600U (zh) * 2011-10-21 2012-07-04 中国科学院广州电子技术研究所 一种贯流风扇叶轮缺陷检测系统
CN203620957U (zh) * 2013-08-12 2014-06-04 李奎 一种自动下料机构
CN205217394U (zh) * 2015-12-22 2016-05-11 山东科技大学 一种工件识别与自动分拣装置
CN206405057U (zh) * 2016-12-16 2017-08-15 东睦(天津)粉末冶金有限公司 粉末冶金零件缺陷在线检测系统
CN206399862U (zh) * 2017-01-05 2017-08-11 丽智电子(昆山)有限公司 一种电子元器件生产用ccd印刷图形定位检测装置
CN207120379U (zh) * 2017-08-25 2018-03-20 浙江羿阳太阳能科技有限公司 一种硅片生产用检测装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108214952B (zh) 一种全自动分布式多晶硅开方方法
CN109290727A (zh) 一种汇流条上料装置
CN207120379U (zh) 一种硅片生产用检测装置
CN212133592U (zh) 一种用于太阳能电池硅片表面的平整度检测装置
CN204249122U (zh) 用于将圆形硅棒切割成方形硅棒的切割装置
CN107520975A (zh) 一种硅片生产用检测装置
CN209350632U (zh) 一种用于光伏面板的切割装置
CN210436406U (zh) 一种用于光伏面板的切割装置
CN215297164U (zh) 一种太阳能用硅片切割线痕检测设备
CN216015317U (zh) 电池片上料检测设备
CN210909786U (zh) 一种太阳能光伏组件拆框装置
CN212599701U (zh) 一种太阳能板激光切割装置
CN209140204U (zh) 一种汇流条上料装置
CN204249123U (zh) 用于将圆形硅棒切割成方形硅棒的切割装置
CN205985046U (zh) 太阳能电池片检测收集装置
CN115728322A (zh) 一种用于检测陶瓷盘上硅片位置的机构
CN211654796U (zh) 一种异质结太阳能硅片加热夹持装置
CN103399246A (zh) 一种电池片电性能自动检测及分类控制系统
CN207690818U (zh) 一种光伏组件的加工设备
CN216574230U (zh) 一种光电设备用电池组件检测装置
CN106206398A (zh) 一种硅片平移放置机构
CN222041711U (zh) 一种无边框光伏组件生产用输送装置
CN219335514U (zh) 一种成型辊组
CN220160966U (zh) 一种光伏组件校平机构
CN220190766U (zh) 一种光伏发电用太阳能板固定装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20171229