CN107447199B - 用于分批向内装载和向外卸载基底的真空处理设备及方法 - Google Patents

Abstract

根据不同的实施方式提供一种真空处理设备(100)，其具有装卸腔室装置(102)、转运腔室装置(112)和处理腔室装置(122)，其中，转运腔室装置(112)具有转运腔室，该转运腔室具有用于在转运腔室中容纳基底的长度，且其中，装卸腔室装置(102)具有三个彼此邻接的装卸腔室(102a、102b、102c)，所述装卸腔室这样地被设置，即其可分别单独借助于阀装置(104)分开，其中，装卸腔室中的每个装卸腔室具有比转运腔室更小的长度。

Description

用于分批向内装载和向外卸载基底的真空处理设备及方法

技术领域

本发明涉及用于借助装卸腔室装置将基底分批向内装载到处理腔室装置中的真空处理设备、方法和涉及用于借助装卸腔室装置分批地将基底从处理腔室装置向外卸载的方法。

背景技术

通常，基底，诸如板形的基底，例如玻璃板或晶圆在真空处理设备被处理，例如在真空涂层装置中被涂层。在此，板形的基底可在运送系统的运送辊被运送通过真空处理设备。机械敏感的基底，例如晶圆可借助于基底载体在真空处理设备中被运送(所谓的载体原则)，其中，基底载体相应地在运送系统的运送辊上被运送通过真空处理设备。

发明内容

根据不同的实施方式，提出具有多个真空腔室的真空处理设备，其中，真空处理设备模块化地被构建，或其中，真空腔室这样地被设置，使得真空处理设备具有模块化结构。根据不同的实施方式，真空处理设备的多个真空腔室分别可具有室壳体，其中，室壳体这样地被设置，即室壳体的盖开口可被室盖覆盖。明显地，真空处理设备的多个真空腔室可通过下述方式被打开，即相应的室盖被取下或掀开，以及通过下述方式被关闭，即相应的室盖被放置或盖上。

根据不同的实施方式，多个室壳体可这样地相互连接，使得其提供用于多个真空腔室的共用的腔室壳体，其中，在该情况下该共用的腔室壳体可借助于多个相应被设置的室盖被密封。例如，室壳体的多个区域可借助于竖直室壁(被称为隔板壁)被相互分开。根据不同的实施方式，在用于处理基底或基底带的室壳体中可提供一个或多个处理区域，和/或可提供用于对室壳体抽真空的一个或多个泵区域。

室壳体例如可这样地被设置，使得其可被用作为用于不同的真空腔室的基腔(容器)，例如室壳体可被用于装卸腔室，其中，装卸腔室例如可在预真空范围和/或高真空范围中(例如在接近处理真空的范围中，例如在大约10^-2mbar至大约10^-7mbar的范围中，例如在大约10^-2mbar至大约10^-5mbar的范围中)运行。此外，室壳体可被用于缓冲腔或转运腔室。在此，各真空腔室的功能或运行方式由于通过室壳体而被使用的室盖而被限定。例如，基腔可配合不同的处理室盖，从而分别实施预定义的处理。由此可广泛地地使用室壳体，室壳体可具有至少一个连接法兰，用于连接预真空泵或预真空泵装置。替选地，室壳体可借助于泵盖被抽真空，或处理室盖可具有连接法兰，其用于连接预真空泵或预真空泵装置。由此，在借助于室盖密封的室壳体可产生或提供至少一个预真空(Vorvakuum)。当在被密封的室壳体中应产生高真空时，可借助于合适的室盖实现，其中，室盖例如可具有连接法兰，其用于连接高真空泵或高真空泵装置，或室壳体自身可具有连接法兰，其用于连接高真空泵或高真空泵装置，例如可在室壳体的侧面室壁中提供连接法兰。

根据不同的实施方式，装卸腔室可分别具有仅一个室壳体，或借助于仅一个室壳体被提供。此外，用于处理室的室壳体可不同于装卸腔室的室壳体。例如，用于处理室的室壳体可具有比用于装卸腔室的室壳体更大的横截面(垂直于运送方向看)。此外，用于转运腔室的室壳体可不同于装卸腔室和处理室的室壳体。例如，用于转运腔室的室壳体可在开始时具有与装卸腔室相同的横截面积，且在结束时具有与处理室相同的横截面积(即，更宽且更高)，使得转运腔室可形成在装卸腔室与处理室之间的过渡。

根据不同的实施方式，处理腔室装置可具有多个真空腔室，例如用于对处理腔室装置抽真空的多个泵室，以及处理腔室装置中的用于处理(例如用于涂层)基底的或基底带的多个处理室。在此可分别通过下述方式提供泵室，即使用具有室壳体的泵盖，且例如可通过下述方式提供处理室，使得使用具有室壳体的相应设置的处理盖(例如磁控管盖)。此外，处理盖额外也可具有一个真空泵或多个真空泵，使得处理腔室装置也可以借助于处理盖被抽真空。

在将基底引入(即向内装载)到真空处理设备中时，基底可分批地被运送，例如基底可被运送到装卸腔室中，被保持在装卸腔室内部，使得装卸腔室例如可被抽真空，且然后从装卸腔室中被运出。相反地，在真空处理设备的处理室区域中，可能需要或有助于尽可能以相互较小的距离作为所谓的基底带(即，作为具有分别相邻的基底之间的较小距离的基底的序列)地运送多个基底。对此，分批被向内装载的基底例如可借助于转运腔室被聚集成连续的基底带。连续的基底带例如可有效地利用材料蒸汽被涂层。连续的基底带可借助于转运腔室以类似的方式再次被分开，使得被分开的基底可再次借助于装卸腔室从处理装置中被分批向外卸载。

在真空处理设备中，装卸腔室、转运腔室和处理室可分别具有运送系统，其可匹配室设计。室设计例如可结合各室的功能考虑室几何形状和室容积。因为当室内容积更小时装卸腔室和转运腔室例如可更快地被抽真空，在真空处理设备中，在装卸腔室和/或转运腔室中的运送系统可具有更小的运送辊，使得用于运送系统的结构空间以及由此室内容积可被保持成较小的。相反地，在处理室中使用更大的运送辊(即，具有更大的有效辊直径的运送辊)，例如从而确保运送辊的更大的机械稳定性，使得运送辊仅具有较小的弯曲，或例如从而使得产生所谓的配合溅射平面，其中，运送辊部分地延伸通过配合溅射平面中的开口，且基底可在配合溅射平面之上在运送辊突出通过配合溅射平面的部分上被运送。由此针对真空处理设备明显地产生相对于结构空间和周期时间的最佳结构。

在转运腔室或缓冲腔中，例如可沿着运送方向提供气体分离，使得在处理区域中可确保最佳处理压力或最佳处理气体组合，其不会或非实质地受向内装载和/或向外卸载基底的影响。

为将至少一个基底向内装载到真空处理设备中，至少一个基底例如可被置于被通风的装卸腔室中，然后具有至少一个基底的装卸腔室被抽真空，且基底可分批从被抽真空的装卸腔室运出进入真空处理设备的相邻的真空腔室(例如进入缓冲腔或转运腔室)中。基底例如可借助于缓冲腔被保持，且可提供小于装卸腔室中(在入口装卸腔室)中的压力。分批被向内装载的基底可借助于转运腔室被组合成所谓的基底带(例如同形状被运送的连续序列的基底)，使得在基底之间仅保留小的空隙，而基底在真空处理设备的至少一个相应被设置的处理室中被处理(例如被涂层)。

不同的实施方式例如基于下述情况，即以尽可能小的周期时间实现分批向内装载和/或向外卸载基底进入真空处理设备的处理腔室装置，其中，同时确保在处理腔室装置中的针对各处理而必须的真空条件(例如处理压力或处理气体组合)。同时，对真空泵技术、阀、多个真空腔室以及其他设备使用应是最少的，从而在经济上控制真空处理设备购置成本和/或运行成本。

根据不同的实施方式，提供装卸腔室装置，其具有三个(例如正好三个)装卸腔室。三个装卸腔室也借助于四个阀(例如止回阀)分别相互独立地被真空密封。装卸腔室的数量以及例如在高真空范围中或在低于10^-3mbar的压力范围中的待实现的处理真空能够以基底被保持在装卸腔室中为条件，而装卸腔室被抽真空。不同的实施方式例如基于下述情况，即长度大于单个装卸腔室自身的基底可借助于装卸腔室装置的三个装卸腔室被向内装载。可限制待处理的基底的最大长度的转运腔室例如可在下述程度上用于比例关系，即在预定的周期时间的情况下由多个基底产生封闭的基底带。根据不同的实施方式，若不应整个设备通风时，待处理的基底的最大长度也通过三个装卸腔室的整个长度被限制。根据不同的实施方式，装卸腔室中的每个(在基底的运送方向上看)可短于连接的转运腔室，例如小于转运腔室的长度的75％，或小于转运腔室的长度的50％。在此，装卸腔室装置可总体长于转运腔室。

根据不同的实施方式，真空处理设备可具有：装卸腔室装置，该装卸腔室装置用于将基底向内装载到处理腔室装置中，或用于将基底从处理腔室装置向外卸载；以及在装卸腔室装置与处理腔室装置之间转运腔室装置，用于在处理腔室装置中提供由分批借助于装卸腔室装置被向内装载的基底构成的连续序列的基底，和/或用于将连续序列的基底分开，从而借助于装卸腔室装置将基底分批向外卸载，其中，转运腔室装置具有转运腔室，该转运腔室具有用于在转运腔室中容纳基底的第一长度，且其中，装卸腔室装置具有(例如正好)三个彼此邻接的装卸腔室，装卸腔室被设置成，使其可分别单独借助于两个阀(例如止回阀)(以真空技术)分开，其中，装卸腔室中的每个的第二长度小于转运腔室的第一长度。

根据不同的实施方式，真空处理设备可在两种不同的运行模式中运行。当(在运送方向看)短于装卸腔室中的每个的基底应被向内装载时，各基底可相继通过装卸腔室，其中，三个装卸腔室中的每个总分开地被抽真空(或如果需要通风)。明显地，三个装卸腔室单独在第一运行模式中工作。当长于装卸腔室中的至少一个的基底应被向内装载时，三个装卸腔室分别成对地一起被用作为更大的装卸腔室。明显地，三个装卸腔室分别成对地共同在第二运行模式(也被称为大号(OS)模式)中运行。由此各基底(也被称为超长基底或OS-基底)可借助于两个装卸腔室对有效地分批被向内装载。识别到，分别在传统的OS-模式下成对地运行的四个装卸腔室不一定比三个装卸腔室效率高，在三个装卸腔室的情况下共同使用中间的装卸腔室，从而形成两个装卸腔室对。明显地，由此装卸腔室装置的长度可从四对(分别两个第一和两个第二装卸腔室)运行的装卸腔室降低至三个装卸腔室，如在此所描述的。

根据不同的实施方式，真空处理设备此外可具有运送系统，该运送系统具有多个借助于驱动装置被驱动的运送辊，用于运送真空处理设备内的基底通过装卸腔室装置、转运腔室装置以及处理腔室装置。

根据不同的实施方式，驱动装置可这样地被设置，即连续序列的基底在处理腔室装置中均匀直线地被移动，且基底在转运腔室装置中被加速移动。

根据不同的实施方式，真空处理设备此外可具有用于分别打开和关闭装卸腔室装置的阀的阀装置，其中，该阀装置这样地被设置，即在第一时间间隔中三个装卸腔室中的第一和第二装卸腔室连接成第一共用的装卸腔室，在第二时间间隔中三个装卸腔室中的第一、第二和第三装卸腔室连接成第二共用的装卸腔室，且在第三时间间隔中三个装卸腔室中的第二和第三装卸腔室连接成第三共用的装卸腔室。

根据不同的实施方式，驱动装置可这样地被设置，即在第一时间间隔中基底被保持在第一共用的装卸腔室中，在第二时间间隔中基底从第一共用的装卸腔室被运送到第三共用的装卸腔室中，且在第三时间间隔中基底被保持在第三共用的装卸腔室中。明显地，基底分批被向内装载。

根据不同的实施方式，真空处理设备此外可具有真空泵装置，该真空泵装置用于对转运腔室装置、处理腔室装置和装卸腔室装置抽真空，其中，真空泵装置这样地被设置(例如用于向内装载基底)，即在第二时间间隔中第二共用的装卸腔室被抽真空，而基底从第一共用的装卸腔室被运送到第三共用的装卸腔室中。

根据不同的实施方式，真空处理设备此外可具有用于对装卸腔室装置进行通风的通风装置，其中，真空泵装置和通风装置这样地被设置(例如用于向内装载基底)，即在第三时间间隔中，第三共用的装卸腔室被抽真空或被抽成真空，而第一装卸腔室通风或被通风。

根据不同的实施方式，真空处理设备此外可具有：用于对转运腔室装置、处理腔室装置以及装卸腔室装置抽真空的真空泵装置；以及用于对装卸腔室装置通风的通风装置，其中，真空泵装置和通风装置这样地被设置(例如用于将基底向外卸载)，即为了向外卸载基底，第三共用的装卸腔室通风或被通风，而第一装卸腔室被抽真空或被抽成真空。

根据不同的实施方式，借助于装卸腔室装置将基底分批向内装载到处理腔室装置中的方法可具有下述步骤：对装卸腔室装置的第一装卸腔室通风，而装卸腔室装置的与第一装卸腔室邻接的第二装卸腔室和与第二装卸腔室邻接的第三装卸腔室被抽真空或被抽成真空；在对第三装卸腔室抽真空时对第二装卸腔室通风；在至少一个基底被运送到第一共用的装卸腔室中之后，将第一装卸腔室和第二装卸腔室分隔第一共用的装卸腔室；在所述至少一个基底停留在第一共用的装卸腔室中期间，对第一共用的装卸腔室抽真空；以及然后将被抽真空的第三装卸腔室与被抽真空的第一装卸腔室和被抽真空的第二装卸腔室连接成第二共用的装卸腔室，将至少一个基底运送出第一装卸腔室进入第二和第三装卸腔室，而第二共用的装卸腔室被抽真空；这样地分开第二装卸腔室和第三装卸腔室，使得其在至少一个基底被运送到第三共用的装卸腔室中之后形成第三共用的装卸腔室；以及然后，在所述至少一个基底停留在第三共用的装卸腔室中期间，对第三共用的装卸腔室抽真空；以及借助于转运腔室装置将至少一个基底从第三共用的装卸腔室运送到处理腔室装置中，其中，借助于转运腔室装置由多个分批借助装卸腔室装置被向内装载的基底形成连续序列的基底。

根据不同的实施方式，借助于装卸腔室装置将基底分批从处理腔室装置向外卸载的方法可具有下述步骤：借助于转运腔室装置将至少一个基底从处理腔室装置中运送到装卸腔室装置中，其中，该至少一个基底借助于转运腔室装置从连续序列的基底被分开从而分批向外卸载；在至少一个基底被运送到第一共用的装卸腔室中后，将装卸腔室装置的被抽真空的第一装卸腔室和装卸腔室装置的被抽真空的第二装卸腔室分隔成第一共用的装卸腔室；将装卸腔室装置的第三装卸腔室与第一装卸腔室和第二装卸腔室连接成第二共用的装卸腔室；以及在至少一个基底被运送到第三共用的装卸腔室中之后，将第二装卸腔室和第三装卸腔室分隔成第三共用的装卸腔室；在对第一装卸腔室抽真空时所述至少一个基底停留在第三共用的装卸腔室中期间，对第三共用的装卸腔室通风；将至少一个基底从第三共用的装卸腔室向外卸载；当至少一个基底已经离开第二装卸腔室时，对第二装卸腔室抽真空，而对第三装卸腔室通风；以及在至少一个基底已经离开第三装卸腔室之后，对第三装卸腔室抽真空。

根据不同的实施方式，在不限制一般性的情况下，装卸腔室被称为第一、第二和第三装卸腔室。在一些实施方式中，计算方式涉及其相对于运送方向在装置中的顺序。

根据不同的实施方式，单个基底可分别分批地被向内装载。替选地，多个基底可被合并成基底复合件，且作为基底复合件分批地被向内装载。

根据不同的实施方式，可实现借助于装卸腔室装置将基底分批向内装载到处理腔室装置中的方法，其中，装卸腔室装置具有三个彼此邻接的装卸腔室，其可分别单独(以真空技术)分隔，其中，该方法具有下述步骤：对第一装卸腔室通风，而第二装卸腔室和第三装卸腔室(例如共同)被抽真空或被抽成真空；对第二装卸腔室通风，而第三装卸腔室被抽真空或被抽成真空；在至少一个基底被运送到第一共用的装卸腔室中之后，将第一装卸腔室和第二装卸腔室分隔成第一共用的装卸腔室；在所述至少一个基底停留在第一共用的装卸腔室中期间，对第一共用的装卸腔室抽真空；以及然后连接被抽真空的第三装卸腔室与被抽真空的第一装卸腔室和被抽真空的第二装卸腔室，且同时对三个装卸腔室抽真空，在至少一个基底被运送到第三共用的装卸腔室中之后，第二装卸腔室和第三装卸腔室分隔成第三共用的装卸腔室；以及然后，在所述至少一个基底停留在第三共用的装卸腔室中期间，对第三共用的装卸腔室抽真空；以及借助于转运腔室装置将至少一个基底从第三共用的装卸腔室运送到处理腔室装置中，其中，连续序列的基底在处理腔室装置中由多个分批借助装卸腔室装置被向内装载的基底形成。

根据不同的实施方式，可实现借助于装卸腔室装置将基底分批从处理腔室装置向外卸载的方法，其中，装卸腔室装置具有三个彼此邻接的装卸腔室，其可分别单独(以真空技术)分隔，其中，该方法具有下述步骤：借助于转运腔室装置分开连续序列的基底，从而借助于装卸腔室装置分批将基底向外卸载；在至少一个基底从转运腔室装置被运送到第一共用的装卸腔室中后，将被抽真空的第一装卸腔室和被抽真空的第二装卸腔室分隔成第一共用的装卸腔室；连接第三装卸腔室与第一装卸腔室和第二装卸腔室，且同时对三个装卸腔室抽真空；以及在至少一个基底被运送到第三共用的装卸腔室中之后，第二装卸腔室和第三装卸腔室分隔成第三共用的装卸腔室；在所述至少一个基底停留在第三共用的装卸腔室中期间且在第一装卸腔室被抽真空或被抽成真空期间，对第三共用的装卸腔室通风；将至少一个基底从第三共用的装卸腔室向外卸载；对第二装卸腔室抽真空，而第三装卸腔室通风或被通风；以及对第三装卸腔室抽真空。

根据不同的实施方式，可实现借助于装卸腔室装置将基底分批向内装载到处理腔室装置中的方法，其中，装卸腔室装置具有三个彼此邻接的装卸腔室，其可分别单独(以真空技术)分隔，其中，该方法具有下述步骤：将至少一个基底运送到通风的第一装卸腔室中和通风的第二装卸腔室中，以及然后将第一装卸腔室和第二装卸腔室分隔成使得形成第一共用的装卸腔室；在所述至少一个基底停留在第一共用的装卸腔室中期间，对第一共用的装卸腔室抽真空；以及然后将被抽真空的第三装卸腔室与被抽真空的第一装卸腔室和被抽真空的第二装卸腔室连接成第二共用的装卸腔室，将该至少一个基底运送出第一装卸腔室进入第二和第三装卸腔室，而第二共用的装卸腔室被抽真空；将第二装卸腔室和第三装卸腔室分隔成使得形成第三共用的装卸腔室；以及然后，在所述至少一个基底停留在第三共用的装卸腔室中期间，对第三共用的装卸腔室抽真空；以及，对第一装卸腔室通风。

根据不同的实施方式，真空处理设备的转运腔室可具有填料。明显地，转运腔室可这样地被设置，使得其具有尽可能小的内部容积。根据不同的实施方式，真空处理设备的转运腔室可具有气体分离缝隙，使得气流或气体微粒运动沿着运送方向被减小或阻碍。根据不同的实施方式，转运腔室可在真空处理设备运行期间朝向邻接的处理室保持开放。装卸腔室可在真空处理设备运行期间循环地被打开和关闭，从而向内装载或向外卸载基底。

在涂层室例如下述情况是需要的或有帮助的，即保护或屏蔽运送系统不被涂覆。这例如可通过下述方式实现，即所谓的配合溅射平面(金属片或隔板)被布置在运送系统之上。配合溅射平面例如可具有多个槽，运送辊可至少部分地突出穿过该槽。使得基底可沿着借助于运送辊被提供的基底运送面被运送。

根据不同的实施方式，装卸腔室装置邻接转运腔室装置的装卸腔室可在每个向内装载或向外卸载过程中不完全被通风，即始终具有低压，例如小于100mbar，小于10mbar，或小于1mbar。

根据不同的实施方式，各入口装卸腔室(即装卸腔室装置在运送方向上的第一装卸腔室)可共同通过或借助于直接邻接的装卸腔室被抽真空。此外，入口装卸腔室可分开地被通风。根据不同的实施方式，各个出口装卸腔室(即装卸腔室装置在运送方向上的最后装卸腔室)可共同通过或借助于直接邻接的装卸腔室被通风。此外，出口装卸腔室可分开地被抽真空。明显地，不通过相同的方式实现向内和向外卸载，如在传统方法中是该情况，在其中向外卸载仅是向内装载的相反方式。向内装载和向外卸载的不同方式(不同的)运行明显使得可以总体实现更短的周期时间，以及将所要求的真空技术最小化保持。

附图说明

在附图中示出本发明的实施例，且在下文中更加详细地描述本发明。附图中：

图1根据不同的实施方式以示意性纵截面或横截面图示出具有装卸腔室装置的真空处理设备；

图2根据不同的实施方式以示意图示出真空处理设备；

图3根据不同的实施方式示出用于借助于装卸腔室装置将基底分批向内装载到处理腔室装置中的方法的示意性流程图；

图4根据不同的实施方式示出用于借助于装卸腔室装置将基底分批从处理腔室装置向外卸载的方法的示意性流程图；

图5A至图5H根据不同的实施方式示出在用于借助于装卸腔室装置将基底分批向内装载到处理腔室装置中的方法期间的装卸腔室装置的不同示意图；以及

图6A至6H根据不同的实施方式示出用于借助于装卸腔室装置将基底分批从处理腔室装置向外卸载的方法期间的装卸腔室装置的不同示意图。

具体实施方式

在下文的详细描述中参考附图，其形成说明书的一部分且在其中示出具体实施方式用于说明，在其中可实施本发明。在此，结合所描述的附图的朝向使用诸如“上部”、“下部”、“前部”、“后部”、“前面”、“后面”等方向术语。因为实施方式的部件可在多个不同朝向上被定位，方向术语用于说明且不是限制性的。应理解，可使用其他的实施方式且可进行结构和逻辑上的改变，而不会超出本发明的保护范围。应理解，只要不另外说明，在此所描述的不同示例性实施方式的特征可相互组合。下文中的详细描述因此不能理解成限制性的，且本发明的保护范围通过所附权利要求书限定。

在该说明书的框架下，使用概念“连接”、“接合”以及“耦联”从而既描述直接连接也描述间接连接、直接或间接接合，以及直接或间接耦联。在附图中，只要是有效的，则相同或相似的部件具有相同的参考标记。

对于具有所谓的长模式(英语long-mode)的玻璃涂层装置，两个向内装载以及向外装卸腔室组合成一个大的腔室。在对多个被组合的装卸腔室通风时，在隔离室中的超长基底存在断裂的风险，因为该基底由于从一个室流动至另一个室的空气而被激发振动，这在极端情况下可导致断裂。

在图1中以示意性纵截面图以及横截面图示出根据不同的实施方式的真空处理设备100。具有运送系统、多个处理装置以及相应的真空泵技术和其他设备的真空处理设备100的共同设计方案是已知的，使得在下文中由于清楚性的原因基本上舍弃了呈现这样的细节。

真空处理设备100例如具有装卸腔室装置102，其用于将基底向内装载122e到处理腔室装置122中，或用于将基底从处理腔室装置122向外卸载122a。

如在此所描述的，使用转运腔室装置112，其被布置在装卸腔室装置102与处理腔室装置122之间，用于在处理腔室装置122中提供由分批借助于装卸腔室装置102被向内装载的基底构成的连续序列的基底，和/或用于将连续序列的基底分开，从而借助于装卸腔室装置102将基底分批向外卸载。

装卸腔室装置102具有三个、例如正好三个装卸腔室。在没有一般性限制的情况下，三个装卸腔室可被称为第一装卸腔室101a、第二装卸腔室101b和第三装卸腔室101c。三个装卸腔室中的每个可借助于阀装置104的两个阀分别被真空密封地封闭，使得确保装卸运行。第一装卸腔室101a可借助于第一阀104a和第二阀104b真空密封地被封闭(也称为被分隔)。第二装卸腔室101b可借助于第二阀104b和第三阀104c被分隔。第三装卸腔室101c可借助于第三阀104c和第四阀104d被分隔。

在向内装载时基底的运送方向以方向101表示。在此，第一装卸腔室101a是入口装卸腔室。在向外卸载基底时，运送方向相反于方向101。在此，第一装卸腔室101a是出口装卸腔室。入口装卸腔室和出口装卸腔室可形成真空处理设备100的各终端。在真空处理设备100之外例如各大气压力主导。

转运腔室装置112具有带有第一长度LT的转运腔室(平行于运送方向101测量)。转运腔室这样地被设置成使得具有最大长度L_max<LT的基底可借助于转运腔室被操作。基底例如可完全被容纳在转运腔室112中。在此，装卸腔室装置102的三个彼此邻接的装卸腔室分别具有更小的长度LS，该长度LS小于转运腔室的长度LT，LS<LT。

为了在真空处理设备中运送一个基底或多个基底，可使用运送系统，该运送系统具有多个借助于驱动装置被驱动的运送辊。运送辊可通过其辊轴线垂直于运送方向101被定向，且被布置在装卸腔室装置102中的、在转运腔室装置112中的以及在处理腔室装置122中的相应位置上。皮带驱动器和电动机可用作为驱动装置，其中，电动机例如一般可驱动多个运送辊。特别地，基底在处理腔室装置122中均匀直线运动，使得所有运送辊在处理腔室装置122中以相同的旋转速度运行。

与此相反地，在转运腔室中运送辊装置130被提供成使得基底可在转运腔室装置112中加速运动。例如需要至少一个可分开控制驱动的运送辊，从而将各基底从在装卸腔室装置102中的分批运送转换成在处理腔室装置122中连续运送，且反之亦然。换而言之，在转运腔室装置112的转运区域101d中需要至少两个独立的运送区域。明显地，运送辊装置130这样地被设置，即在处理腔室装置122中产生由多个基底构成的基底带，或基底带的各基底被分开。

应理解，驱动装置可具有相应设置的控制/调节装置，其可承担对被驱动的运送辊等的控制和/或调节。

此外，阀装置104可具有相应的调整装置以及相应设置的控制/调节装置，例如用于分别打开和关闭装卸腔室装置102的阀104a、104b、104c、104d。阀装置104可被设置为，在第一时间间隔中第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b连接成第一共用的装卸腔室。对此，例如第一阀104a和第三阀104c可以关闭，其中，第二阀104b是打开的。由此两个以真空技术相互连接的装卸腔室102a、102b的两个装卸腔室区域101a、101b形成第一共用的装卸腔室区域101a、101b。该共用的装卸腔室区域101a、101b例如足够大到将基底容纳在其中，该基底具有的长度L大于装卸腔室的长度LS，L>LS且L<LT。

此外，阀装置104可被设置成，在第二时间间隔中第一装卸腔室102a、第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c连接成第二共用的装卸腔室102a、102b、102c。对此，例如第一阀104a和第四阀104d被关闭，其中，第二阀104b和第三阀104c可被打开。由此，三个以真空技术相互连接的装卸腔室102a、102b、102c的三个装卸腔室区域101a、101b、101c形成第二共用的装卸腔室区域101a、101b、101c。该共用的装卸腔室区域101a、101b、101c例如提供了如下可能性：基底从第一装卸腔室对102a、102b行进到第二装卸腔室对102b、102c中，且同时将整个的共用的装卸腔室区域101a、101b、101c抽真空。通过第二装卸腔室102b而形成两个装卸腔室对的方式，可对基底而言形成短的行进路径。

此外，阀装置104可这样地被设置，即在第三时间间隔中第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c连接成第三共用的装卸腔室。对此，例如第二阀104b和第四阀104d可被关闭，其中，第三阀104c被打开。由此，两个以真空技术相互连接的装卸腔室102b、102c的两个装卸腔室区域101b、101c形成第三共用的装卸腔室区域101b、101c。该共用的装卸腔室区域101b、101c例如足够大到将基底容纳在其中，基底具有的长度L大于装卸腔室的长度LS。

在此，运送系统的驱动装置可被设置成，在第一时间间隔中相应被装卸的基底(或至少一个基底)被保持在第一共用的装卸腔室102a、102b中(参见图5D)，使得基底在第二时间间隔中从第一共用的装卸腔室102a、102b被运送到第三共用的装卸腔室102b、102c中(参见图5E)，且基底在第三时间间隔中被保持在第三共用的装卸腔室102b、102c中(参加图5F)。在基底不运动期间，相应的共用的装卸腔室可被抽真空或被通风。由此确保真空处理设备100的最小总长度。

真空处理设备100可具有真空泵装置，用于对转运腔室装置、处理腔室装置和装卸腔室装置抽真空。应理解，真空泵装置可具有相应设置的控制/调节装置，其可进行对于相应的真空泵等的控制和/或调节。

真空泵装置例如可设置成，在第二时间间隔中第二共用的装卸腔室102a、102b、102c被抽真空，而基底从第一共用的装卸腔室102a、102b被运送到第三共用的装卸腔室102b、102c中。

根据不同的实施方式，至少第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b可循环地被通风。对此，可使用通风装置。应理解，通风装置可具有相应设置的控制/调节装置，其可进行对相应的气体供给装置、通风阀等的控制和/或调节。

真空泵装置和通风装置可被设置成，使得在第三时间间隔中，第三共用的装卸腔室102b、102c被抽真空或被抽成真空，而第一装卸腔室102a进行通风或已经通风(参见图5A和图5G)，该状态例如能够实现使得待装卸的基底运动直至到第二阀104b上(参见图5B和图5H)，使得一旦第二装卸腔室102b通风，则基底可更快地运动到第一共用的装卸腔室102a、102b中(参见图5C、图5D)。

此外，真空泵装置和通风装置可被设置成，使得为了向外卸载基底将第三共用的装卸腔室102b、102c被通风，而第一装卸腔室被抽真空或被抽成真空(参见图6E)。

在图2中以示意图示出真空处理设备100。根据不同的实施方式，真空处理设备100可具有多个真空腔室，其中，分别待处理的基底可沿着运送方向101被运送通过真空处理设备100，例如借助于多个运送辊和连贯的运送区域。

根据不同的实施方式，真空处理设备100可具有：第一装卸腔室装置202a，其具有至少三个或具有正好三个装卸腔室；以及与第一装卸腔室装置202a耦联的处理腔室装置122，其具有一个处理室或多个处理室。此外，第二装卸腔室装置202b可以与在处理腔室装置122上的至少三个装卸腔室或与正好三个装卸腔室耦联。例如，第一装卸腔室装置202a可被设置成且与处理腔室装置122耦联，使得可借助于第一装卸腔室装置202a将基底向内装载(引入)到处理腔室装置122中。此外，处理腔室装置122可被设置成，至少一个基底(或多个基底)可在处理腔室装置122中被处理，例如被涂层、被清洁、被蚀刻、被加热、被光刻。此外，第二装卸腔室装置202b可这样地被设置且与处理腔室装置122耦联，使得可借助于第二装卸腔室装置202a将基底从处理腔室装置122向外卸载(引出)。

根据不同的实施方式，至少装卸腔室装置202a、202b可分别在输入侧和在输出侧是密封的或被密封，使得在向内装载时以及在向外卸载时，在处理腔室装置122中保持处理真空，其中，所需的处理真空可与要在处理腔室装置122中实施的相应处理有关。根据不同的实施方式，在处理腔室装置122中产生的或提供的处理真空可在大约10^-1mbar至大约10^{- 7}mbar的范围中。换而言之，处理腔室装置122可被设置成，例如适于真空地被提供且具有相应的真空泵或与相应的真空泵耦联，使得处理腔室装置122中可提供范围从大约10^-1mbar至大约10^-7mbar的处理真空。

根据不同的实施方式，装卸腔室装置202a、202b可被设置成，例如适于真空地提供，可通过阀盖密封，且具有相应的真空泵，且与相应的真空泵耦联，使得装卸腔室装置202a、202b(或相应的装卸腔室装置的至少一个装卸腔室对)可循环地从正常大气压被抽真空到预定义的装卸压力，和/或可从装卸压力被通风(吹风)到正常大气压，从而向内装载和/或向外卸载基底。由此，在处理腔室装置122中可保持所追求的处理真空，装卸腔室装置202a、202b(或相应装卸腔室装置的至少一个装卸腔室对)循环地基本被抽真空直至处理压力，或换而言之，当基底在相应装卸腔室装置202a、202b与处理腔室装置122之间被装卸时，装卸压力可分别基本对应于处理压力。

根据不同的实施方式，装卸腔室装置202a、202b可被设置成，例如适于真空地被提供，可通过阀盖密封，且具有相应的真空泵，或与相应的真空泵耦联，使得装卸腔室装置202a、202b可在大约1bar至大约10^-7mbar的压力范围中运行。装卸腔室装置202a、202b和处理腔室装置122可分别与至少一个预真空泵装置和高真空泵装置耦联，从而在装卸腔室装置202a、202b和在处理腔室装置202a、202b中提供在大约10^-3mbar至大约10^-7mbar范围中的高真空。

根据不同的实施方式，仅预真空泵装置可直接被连接到第一装卸腔室装置202a的第二装卸腔室102b上，其中，在该情况下可间接通过第一装卸腔室装置202a的第三装卸腔室102c实现对装卸腔室102b抽真空直至进入高真空范围。第一装卸腔室装置202a的第一装卸腔室102a可间接通过第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c被抽真空。

此外，也可仅使用一个真空泵装置，从而交替地对不同的装卸腔室抽真空。替选地，装卸腔室中的每个也可直接与预真空泵装置和/或高真空泵装置连接。

根据不同的实施方式，第一装卸腔室装置202a的第一共用的装卸腔室102a、102b可在大约1bar至大约10^-2mbar的压力范围中运行(即作为第一压力级)。对此，第一装卸腔室装置202a的第一共用的装卸腔室102a、102b可仅通过预真空泵装置被抽真空。此外，第一装卸腔室装置的第三共用的装卸腔室102b、102c可被设置成，例如适于真空地被提供，可通过阀盖密封，且具有相应的真空泵，或与相应的真空泵耦联，使得装卸腔室装置202a、202b可在大约10^-2mbar至大约10^-7mbar的压力范围中运行(即作为第二压力级)。对此，第一装卸腔室装置202a的第三共用的装卸腔室102b、102c可与预真空泵装置和高真空泵装置耦联。

真空处理设备100的两个装卸腔室装置202a、202b可相应地如上所述地被设置。然而，第一装卸腔室装置202a作为入口闸门(Eingangsschleuse)的运行可以与第二装卸腔室装置202b作为出口闸门的运行不同，如在此所述的那样。

类似于前面的描述，第一转运腔室装置212a(也被称为入口转运腔室装置212a)可被布置在第一装卸腔室装置202a(也被称为入口装卸腔室装置202a)与处理腔室装置122之间，从而在处理腔室装置122中提供分批借助于第一装卸腔室装置202a向内装载的基底构成的连续序列的基底(基底带)。此外，第二转运腔室装置202b(也被称为出口转运腔室装置212b)也可被布置在处理腔室装置122与第二装卸腔室装置202b(也被称为出口装卸腔室装置202b)之间，从而分开连续序列的基底(基底带)，从而借助于第二装卸腔室装置202b分批将分开的基底向外卸载。

根据不同的实施方式，多个运送辊可以耦联或被耦联成所谓的运送带(例如机械地和/或借助控制或调节)，使得相应运送带的所有运送辊以相同的旋转速度和相同的转动方向旋转。在此，运送带的所有运送辊可以成一行地处于共同的平面中。根据不同的实施方式，入口装卸装置202a或出口装卸装置202b或装卸腔室具有正好一个运送带。与之不同，入口转运腔室装置212a或出口转运腔室装置212b或转运腔室可具有多个(例如两个或多于两个的)运送带。替选地，入口转运腔室装置212a或出口转运腔室装置212b或转运腔室可具有运送带和至少一个另外的运送辊，其中，至少一个另外的运送辊以不同于运送带的旋转速度运行。

图3示出用于借助于装卸腔室装置102、202a将基底分批向内装载到处理腔室装置122中(参加图5A至5H)的方法300的示意性流程图。根据不同的实施方式，该方法300可具有下述步骤：在310中，将装卸腔室装置102的第一装卸腔室102a通风，而装卸腔室装置102的与第一装卸腔室102a邻接的第二装卸腔室102b和与第二装卸腔室102b邻接的第三装卸腔室102c被抽真空或被抽成真空；在320中，在第三装卸腔室102c被抽成真空时第二装卸腔室102b通风；在330中，在至少一个基底520被运送到第一共用的装卸腔室102a、102b中之后，将第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b分隔成第一共用的装卸腔室102a、102b；在340中，对第一共用的装卸腔室102a、102b抽真空，而至少一个基底520停留在第一共用的装卸腔室中，以及(例如然后)在350中，将被抽真空的第三装卸腔室102c与被抽真空的第一装卸腔室102a和被抽真空的第二装卸腔室102b连接成第二共用的装卸腔室102a、102b、102c；在360中，将至少一个基底520从第一装卸腔室102a(例如完全)运送至第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c中，而第二共用的装卸腔室102a、102b、102c被抽真空；在370中，将第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c隔开，使得在至少一个基底520被运送到第三共用的装卸腔室102b、102c中之后，第二装卸腔室和第三装卸腔室形成第三共用的装卸腔室102b、102c；以及(例如然后)在380中，对第三共用的装卸腔室102b、102c抽真空，而至少一个基底520停留在第三共用的装卸腔室中；以及在390中，将至少一个基底520与第三共用的装卸腔室102b、102c借助于转运腔室装置112、212a运送到处理腔室装置122中，其中，借助于转运腔室装置112形成连续序列的基底，该连续序列的基底由多个分批借助装卸腔室装置102向内装载的基底520构成。

图4示出用于借助于装卸腔室装置将基底分批向外卸载的方法400的示意性流程图(参见图6A至6H)。根据不同的实施方式，该方法400可具有下述步骤：在410中，借助于转运腔室装置112、212b将至少一个基底520从处理腔室装置122运送到装卸腔室装置102、202b中，其中，该至少一个基底520借助于转运腔室装置112从连续序列的基底被分开从而分批向外卸载；在420中，在至少一个基底520被运送到第一共用的装卸腔室102a、102b中后，将装卸腔室装置102的被抽真空的第一装卸腔室102a和装卸腔室装置102的被抽真空的第二装卸腔室102b分隔成第一共用的装卸腔室102a、102b；在430中，将装卸腔室装置102的第三装卸腔室102c与第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b连接成第二共用的装卸腔室102a、102b、102c；以及在440中，在至少一个基底被运送到第三共用的装卸腔室102b、102c中之后，将第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c分隔成第三共用的装卸腔室102b、102c；在450中，在第一装卸腔室102a被抽成真空时，对第三共用的装卸腔室102b、102c通风，而在此期间该至少一个基底520停留在第三共用的装卸腔室中；在460中，将至少一个基底从第三共用的装卸腔室102b、102c向外卸载；在470中，当至少一个基底520离开第二装卸腔室102b时以及在第三装卸腔室102c被通风期间，将第二装卸腔室102b抽真空；以及在480中，在至少一个基底520已经离开第三装卸腔室102c之后，对第三装卸腔室抽真空。

在图5A至5H中，分别以示意性纵截面或横截面图示出在方法300的不同时间点500a至500h的真空处理设备100。根据至少一个实施方式，按时间顺序地示出时间点500a至500h。

因为装卸腔室装置102可以例如在此作为入口闸门102循环地运行，所以为了描述而选择的出口点500a是无足轻重的。如在图5A中所示的那样，例如第一阀104a可被打开，而另外三个阀104b、104c、104d可被关闭。由此，第一装卸腔室102a可以是通风的或被通风，而另外两个装卸腔室102b、102c(例如每个单独或替选地两个共同地)可被抽真空或被抽成真空。

在关闭第二阀104b的情况下，基底520可已经行进直至靠近该基底，如图在图5B中所示的那样。这可导致在将基底520向内装载到第二装卸腔室102b中时节省时间。在将第二装卸腔室102b通风且第二阀104b打开之后，如图5C中所示的那样，基底520可被向内装载到第一和第二装卸腔室102a、102b中(参见图5D)。只要第三阀104c被关闭，如在图Fig.5A至图5C中所示的那样，第二装卸腔室可在合适的时间点(或时间段)被通风，其中，第三装卸腔室102c保持被抽真空。由于第三装卸腔室102c未被通风，则可在对装卸腔室装置102抽真空时节省时间(参见图5E)或可以实现更低的压力。

只要第二阀104b被打开，基底520也可被移入到第二装卸腔室102b中，如在图5C中所示的那样。行程大约仅对应于基底520的长度的一半。

然后，第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b可分隔成第一共用的装卸腔室102a、102b，如在图5D中所示。在该状态500d中，第一共用的装卸腔室102a、102b可被抽真空，其中，基底520停留。由于更长的泵抽时间，第三装卸腔室可具有比第一共用的装卸腔室102a、102b更低的压力。

在接着将被抽真空的第三装卸腔室102c与被抽真空的第一装卸腔室102a和被抽真空的第二装卸腔室102b连接成第二共用的装卸腔室102a、102b、102c时，如在图5E中所示，因此已经可形成相应更低的出口压力，以便接着在第三共用的装卸腔室102b、102c中实现合适的向内装载压力(参见图5F)，从而将基底520向内装载到处理腔室装置中(图5G)。

在基底520从第一装卸腔室102a(例如完全)被运送到第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c中之后，第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c可被分隔成第三共用的装卸腔室102b、102c，如例如在图5F中所示。

在将基底520从第一共用的装卸腔室102a、102b(参见图5D)装载到第三共用的装卸腔室102b、102c(参见图5F)中期间，三个装卸腔室可被抽真空。

在对第三共用的装卸腔室102b、102c抽真空期间，基底520可停留在第三共用的装卸腔室中。在第三共用的装卸腔室102b、102c被抽真空之后(即在其被置于预定义的负压之后)，第四阀可被打开，如在图5G中所示的。

只要第二阀104b被关闭(参见图5F至图5H)，第一装卸腔室102a可在合适的时间点被通风。由此，基底可再次进入第一装卸腔室102a中，例如直至靠近第二阀104b(参见图5H和图5A和5B)。

在打开第四阀104d之后，基底520可从第三共用的装卸腔室102b、102c被运送到转运腔室112，然后被运送到处理腔室装置122中。

只要在此基底520已经离开第二装卸腔室102b，第三阀104c可被关闭，且第二装卸腔室102b可再次被通风。只要基底520也离开了第三装卸腔室102c，如在图5H中所示的，第四阀104d可被关闭，其中，第三装卸腔室可再次用于后续的基底向内装载(参见图5A至图5C)。

在前面所示的向内装载基底520中，第三装卸腔室102c可始终被抽真空或被抽成真空。直观上，仅第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b必须被通风。此外，第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c可作为装卸腔室对102b、102c一起被抽真空。

在第四阀104d被打开之前(参见图5G)，对第三共用的装卸腔室102b、102c抽真空(参见图5F)可直至压力小于10^-2mbar。对第一共用的装卸腔室102a、102b抽真空可直至压力大于10^-2mbar，例如仅至大约50mbar，其中，第三阀104c可已经被打开(参见图5E)。直观上，在第一共用的装卸腔室102a、102b中较高的压力是足够的，因为第一共用的装卸腔室在运行时从来没有直接气体可透过地连接到转运腔室112或处理腔室装置122，所述第一共用转运腔室也有最少的泵抽时间可支配。

在图6A至图6H中分别以示意性横截面图示出在方法400期间不同时间点600a至600h的真空处理设备100。根据至少一个实施方式，按时间顺序地示出时间点600a至600h。

因为装卸腔室装置102例如在此作为出口闸门102可循环地运行，为了描述而选择的出口点600a是无足轻重的。如在图6A中所示，第一阀104a和第二阀104b例如可被打开，且另外两个阀104c、104d可被关闭。由此，第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b可被抽真空或被抽成真空。第三装卸腔室102c同样可被抽真空或被抽成真空，然而其由于更短的泵抽时间而具有比其他两个朝向转运腔室112打开的装卸腔室102a、102b更大的压力。

只要第一阀104a和第二阀104b被打开，基底520可进入装卸腔室装置102的第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b中，如在图6A中所示。在该情况下只要第一阀104a被打开，被关闭的第三阀104c可保持更少被泵抽的第三装卸腔室102c分隔。

在基底520被运送到第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b中之后，第一装卸腔室和第二装卸腔室可分隔成第一共用的装卸腔室102a、102b。在此，第一阀104a和第三阀104c可被关闭，而第二阀104b可被打开，如在图6B中所示。此时，第三装卸腔室102c可再次被抽真空或被抽成真空。

接着，第三装卸腔室102c可与第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b连接成第二共用的装卸腔室102a、102b、102c。对此，第二阀104b可保持打开，且第三阀104c被打开，其中，第一阀104a和第四阀104d被关闭。

当三个装卸腔室102a、102b、102c相互连接时，基底520可完全从第一装卸腔室102a被运送到第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c中，如在图6C中所示。

然后，第二阀104b可被关闭，使得第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c分隔成第三共用的装卸腔室102b、102c，如在图6D中所示。只要第二阀104b被关闭，则第一装卸腔室102a可再次或进一步被抽真空，从而例如在转运腔室112或处理腔室装置122中的压力平衡。只要第一装卸腔室102a再次具有适当低的压力，则第一阀104a可再次被打开，且另一基底520可被导入第一装卸腔室102a中，例如直至靠近第二阀104b(参见6G)。

只要第二阀104b被关闭，则第三共用的装卸腔室102b、102c可被通风。在对第三共用的装卸腔室102b、102c通风时，基底520停留在第三共用的装卸腔室中。在对第三共用的装卸腔室102b、102c通风之后，第四阀104d可被打开，其中，第二阀104b保持关闭，从而将通风的装卸腔室102b、102c与第一装卸腔室102a和转运腔室112分隔。由于被关闭的第二阀104b，在对第三共用的装卸腔室102b、102c通风时，第一装卸腔室102a不被通风。这导致在对第一装卸腔室102a抽真空时节省时间，或导致在第一装卸腔室102a中的压力更低，第一装卸腔室然后又对转运腔室112打开(参见图6G)。

在对第三共用的装卸腔室102b、102c通风之后，基底520可从第三共用的装卸腔室102b、102c被移出，即明显地被向外卸载。只要基底520已经离开第二装卸腔室102b，如在图6F中所示，第三阀104c可被关闭，且第二装卸腔室102b可再次被抽真空。在此，第三装卸腔室102c可仍是通风的，或第四阀104d仍是打开的。

只要基底520已经离开第三装卸腔室102c，如在图6G中所示的，第四阀104d可被关闭，且第三装卸腔室102c可再次被抽真空。由于第二装卸腔室102b还可以被泵抽，所以第二装卸腔室也可以更早地具有合适的压力，以便将基底520移入到第二装卸腔室中，如在图6H中所示。为了将基底520移入到第二装卸腔室102b中，第二阀104b可被打开，其中，被关闭的第三阀104c将第三装卸腔室102c与另外两个装卸腔室102a、102b隔开(参见图6A)。

在前面所描述的将基底520向外卸载期间，第二装卸腔室102b和第三装卸腔室102c可一起被通风，其中，第二装卸腔室和第三装卸腔室然后可相互独立地再次被抽真空。根据不同的实施方式，至少一个预真空泵装置可被耦联到出口装卸腔室装置202b的第三装卸腔室102c上。

对第一装卸腔室102a和第二装卸腔室102b抽真空例如可直至压力小于或大约等于10^-2mbar。对第三装卸腔室102c抽真空例如可直至压力大于10^-2mbar，例如压力仅为大约1mbar。直观上，在也有最少泵抽时间可支配的第三装卸腔室102c中更高的压力是足够的，因为第三装卸腔室在运行中从不直接气体可透过地连接到转运腔室112或处理腔室装置122。由此也可更快地实现通风，因为在打开第三阀104c时，如在图6C中所示，在第二共用的装卸腔室102a、102b、102c中的压力已经升高。

这里描述的对装卸腔室的通风可借助于干燥的空气进行或借助于其他合适的气体实现。在此，可完全通风直至下述压力，该压力能够实现在当时存在的空气压力的情况下将装卸腔室对环境大气打开，即在接近1bar的压力范围中。

根据不同的实施方式，在此描述的装卸腔室中的一个装卸腔室可具有大约3m的长度，例如在大约2m至大约4m的范围中。当装卸腔室中的每个具有3m的长度时，直至长度为6m的基底520可被有效装卸。长度小于3m的基底可单独被装卸，其中，在该情况下不需要形成装卸腔室对。

入口闸门102、202a(例如在图5A至图5H中所述)或出口闸门102、202b(例如在图6A至图6H中所述)分别被分成至少两个子闸门。例如分成相同长度的子闸门，然而这不是必须的。子闸门能够以真空技术例如借助于止回阀相互分开或可分开。泵技术例如可按比例分配子容积。基底例如在正常装卸运行中可通过子闸门的子区域，即在下一个止回阀之前加速-以恒定速度行进-制动。由基底释放的区域可为下一个处理步骤被预先准备。由此，例如可实现更快地对子腔室通风，这可使得周期时间缩短。向内装载和向外卸载对于OS-模式并不联合成大的腔室，而保持其独立性，且仅短时间地相互连接来容纳超长的基底。附加地，基底在所有之后的装卸处理步骤中仅通过其长度的子路段。这可使得周期时间进一步缩短。

相应空出的子腔室(其在一个时间间隔中当时没有容纳基底)为了准备接下来的处理步骤被抽真空或被通风。在向内装载区域中，在基底之前空出的区域/子腔室(其在一个时间间隔中当时没有容纳基底)被通风，要么通过外部通风装置要么在相应的压力关系的情况下简单地通过打开相应的止回阀来通风，且在一个时间间隔中当时容纳基底的腔室被抽真空。在向外卸载区域中，在基底之前空出的区域/子腔室(其在一个时间间隔中当时没有容纳基底)被抽真空，且在一个时间间隔中当时容纳基底的腔室被通风。抽真空和通风分别进行直至合适的/所需的传递压力，例如在大约10mbar至大约10^-3mbar的范围中。

根据不同的实施方式，装卸腔室装置102的装卸腔室102a、102b、102c可分别借助于一个基底转运口连接，其中，设置运送装置，其将各基底运送通过基底转运口。基底转运口可借助于止回阀被密封。为对装卸腔室装置102抽真空，可使用多个真空泵，该真空泵的抽吸接头借助于集气管相互(例如导气地)耦联，且其中至少一个真空泵(例如飞轮储能器泵)具有飞轮储能器，其可被放电(entladen)从而泵抽集气管。多个真空泵可以借助于相应设置的阀装置分别交替地耦联到装卸腔室中的仅仅一个装卸腔室上或耦联到装卸腔室中的多个装卸腔室上，集气管将阀装置与分别待抽真空的装卸腔室耦联。

下述类型可单独或组合地用作为真空泵：干式密封真空泵、回转式滑片泵、旋转活塞泵、旋转柱塞泵、滚动活塞泵

轴封泵、螺杆泵、鲁式泵、隔膜泵、旋转活塞泵、转动活塞泵、偏心螺杆泵、齿轮泵、涡轮分子泵和/或螺丝泵。飞轮储能器可以是泵的一部分，或可被附加地安置在泵上，例如安置在泵的转子上和/或在泵的轴上。直观上，可提供合适的真空泵装置。

根据不同的实施方式，真空处理设备100可具有装卸腔室装置102，用于将基底520向内装载到处理腔室装置122中或用于将基底520从处理腔室装置122向外卸载，其中，装卸腔室装置102具有三个彼此邻接的装卸腔室102a、102b、102c，其这样地被设置，即其可分别单独借助于阀装置104分隔，其中，阀装置104这样地被设置，即在第一时间间隔中三个装卸腔室的第一和第二装卸腔室被连接成第一共用的装卸腔室102a、102b，在第二时间间隔中三个装卸腔室中的第一、第二和第三装卸腔室被连接成第二共用的装卸腔室102a、102b、102c，且在第三时间间隔中三个装卸腔室中的第二和第三装卸腔室被连接成第三共用的装卸腔室102b、102c。

Claims (9)

1.一种真空处理设备(100)，其具有：

装卸腔室装置(102)，该装卸腔室装置用于将基底(520)向内装载到处理腔室装置(122)中，或用于将基底(520)从处理腔室装置(122)向外卸载；以及

在装卸腔室装置(102)与处理腔室装置(122)之间的转运腔室装置(112)，所述转运腔室装置用于在处理腔室装置(122)中提供由分批借助于装卸腔室装置(102)向内装载的基底(520)构成的连续序列的基底(520)，或用于将连续序列的基底(520)分开，从而借助于装卸腔室装置(102)将基底(520)分批向外卸载；

其中，转运腔室装置(112)具有转运腔室，该转运腔室具有用于在转运腔室中容纳基底(520)的转运腔室长度(LT)，以及

其中，装卸腔室装置(102)具有三个彼此邻接的装卸腔室(102a、102b、102c)，所述装卸腔室被设置成，使其可分别单独借助于阀装置(104)分开，其中，装卸腔室中的每个具有装卸腔室长度(LS)，其中，装卸腔室长度(LS)小于转运腔室长度(LT)50％；以及

阀装置(104)，该阀装置这样地被设置，即在第一时间间隔中三个装卸腔室中的第一装卸腔室(102a)和第二装卸腔室(102b)连接成第一共用的装卸腔室(102a、102b)，在第二时间间隔中三个装卸腔室中的第一装卸腔室(102a)、第二装卸腔室(102b)和第三装卸腔室(102c)连接成第二共用的装卸腔室(102a、102b、102c)，且在第三时间间隔中三个装卸腔室中的第二装卸腔室(102b)和第三装卸腔室(102c)连接成第三共用的装卸腔室(102b、102c)。

2.根据权利要求1所述的真空处理设备，其此外具有运送系统，该运送系统具有多个借助于驱动装置被驱动的运送辊，用于将真空处理设备(100)内的基底(520)运送通过装卸腔室装置(102)、转运腔室装置(112)以及处理腔室装置(122)。

3.根据权利要求2所述的真空处理设备，其中，驱动装置这样地被设置，即连续序列的基底(520)在处理腔室装置(122)中均匀直线地被移动，且基底(520)在转运腔室装置(112)中被加速移动。

4.根据权利要求1所述的真空处理设备，其中，驱动装置这样地被设置，即在第一时间间隔中基底(520)被保持在第一共用的装卸腔室(102a、102b)中，在第二时间间隔中基底(520)从第一共用的装卸腔室(102a、102b)被运送到第三共用的装卸腔室(102b、102c)中，且在第三时间间隔中基底(520)被保持在第三共用的装卸腔室(102b、102c)中。

5.根据权利要求1所述的真空处理设备，其此外具有真空泵装置，该真空泵装置用于至少对装卸腔室装置(102)抽真空，其中，真空泵装置这样地被设置，即在第二时间间隔中第二共用的装卸腔室(102a、102b、102c)被抽真空，而基底(520)从第一共用的装卸腔室(102a、102b)被运送到第三共用的装卸腔室(102b、102c)中。

6.根据权利要求5所述的真空处理设备，其此外具有用于对装卸腔室装置(102)进行通风的通风装置，其中，真空泵装置和通风装置这样地被设置，即在第三时间间隔中，第三共用的装卸腔室(102b、102c)被抽真空或被抽成真空，而第一装卸腔室(102a)通风或被通风。

7.根据权利要求4所述的真空处理设备，其此外具有用于至少对装卸腔室装置(102)抽真空的真空泵装置以及用于对装卸腔室装置(102)通风的通风装置，其中，真空泵装置和通风装置这样地被设置，即为了向外卸载基底(520)，第三共用的装卸腔室(102b、102c)通风或被通风，而第一装卸腔室(102a)被抽真空或被抽成真空。

8.一种借助于装卸腔室装置(102)将基底(520)分批向内装载到处理腔室装置(122)中的方法，该方法具有下述步骤：

对装卸腔室装置(102)的第一装卸腔室(102a)通风，而装卸腔室装置(102)的与第一装卸腔室(102a)邻接的第二装卸腔室(102b)和与第二装卸腔室(102b)邻接的第三装卸腔室(102c)被抽真空或被抽成真空；

在对第三装卸腔室(102c)抽真空时对第二装卸腔室(102b)通风；

在至少一个基底(520)被运送到第一共用的装卸腔室(102a、102b)中之后，将第一装卸腔室(102a)和第二装卸腔室(102b)分隔成第一共用的装卸腔室(102a、102b)；

在所述至少一个基底(520)停留在第一共用的装卸腔室(102a、102b)中期间，对第一共用的装卸腔室(102a、102b)抽真空；以及然后

将被抽真空的第三装卸腔室(102c)与被抽真空的第一装卸腔室(102a)和被抽真空的第二装卸腔室(102b)连接成第二共用的装卸腔室(102a、102b、102c)，

将所述至少一个基底(520)从第一装卸腔室(102a)运送到第二装卸腔室(102b)和第三装卸腔室(102c)，而第二共用的装卸腔室(102a、102b、102c)被抽真空；

这样地分开第二装卸腔室(102b)和第三装卸腔室(102c)，使得其在所述至少一个基底(520)被运送到第三共用的装卸腔室(102b、102c)中之后形成第三共用的装卸腔室(102b、102c)；以及然后

在所述至少一个基底(520)停留在第三共用的装卸腔室(102b、102c)中期间，对第三共用的装卸腔室(102b、102c)抽真空；以及

借助于转运腔室装置(112)将所述至少一个基底(520)从第三共用的装卸腔室(102b、102c)运送到处理腔室装置(122)中，其中，借助于转运腔室装置(112)由多个分批借助装卸腔室装置(102)被向内装载的基底形成连续序列的基底(520)。

9.一种用于借助于装卸腔室装置(102)将基底(520)分批从处理腔室装置(122)向外卸载的方法，该方法具有下述步骤：

借助于转运腔室装置(112)将至少一个基底(520)从处理腔室装置(122)中运送到装卸腔室装置(102)中，其中，该至少一个基底(520)借助于转运腔室装置(112)从连续序列的基底(520)被分开从而分批向外卸载；

在所述至少一个基底(520)被运送到第一共用的装卸腔室(102a、102b)中后，将装卸腔室装置(102)的被抽真空的第一装卸腔室(102a)和装卸腔室装置(102)的被抽真空的第二装卸腔室(102b)分隔成第一共用的装卸腔室(102a、102b)；

将装卸腔室装置(102)的第三装卸腔室(102c)与第一装卸腔室(102a)和第二装卸腔室(102b)连接成第二共用的装卸腔室(102a、102b、102c)；以及

在所述至少一个基底(520)被运送到第三共用的装卸腔室(102b、102c)中之后，将第二装卸腔室(102b)和第三装卸腔室(102c)分隔成第三共用的装卸腔室(102b、102c)；

在对第一装卸腔室(102a)抽真空时所述至少一个基底(520)停留在第三共用的装卸腔室(102b、102c)中期间，对第三共用的装卸腔室(102b、102c)通风；

将所述至少一个基底(520)从第三共用的装卸腔室(102b、102c)向外卸载；

当所述至少一个基底(520)已经离开第二装卸腔室(102b)时，对第二装卸腔室(102b)抽真空，而对第三装卸腔室(102c)通风；以及

在所述至少一个基底(520)已经离开第三装卸腔室(102c)之后，对第三装卸腔室(102c)抽真空。

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