CN107445477A - 节能玻璃及其制造方法 - Google Patents

Abstract

一种节能玻璃及其制造方法，该节能玻璃包含一玻璃基板以及一周期金属单元，该周期金属单元设置在该玻璃基板上，并界定出数个周期性排列的圆孔，所述圆孔彼此沿二维方向按六方最密方式排列。该节能玻璃的圆孔设计相较于具有锐角或直角构造的其他孔洞设计，更容易生产制造，搭配二维六方最密周期性排列，操控因素减少至周期金属单元所使用的材料种类及厚度、圆孔直径以及圆孔间距等四个因素，而利于模拟设计，因此本发明具有利于设计与生产制造、以及质量较佳等优点。

Description

节能玻璃及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种环保建材，特别是涉及一种节能玻璃及其制造方法。

背景技术

目前市面上主流的节能玻璃大致可分为三种，其一是贴膜玻璃，其二是胶合玻璃，其三是双层玻璃。贴膜玻璃是在一片玻璃基板上贴合一层具有节能效果的节能膜。胶合玻璃则是在两片玻璃基板间设置一层具有粘合能力以及节能效果的胶合膜。双层玻璃则是在两片玻璃基板之间设置一层真空空间，以阻绝热能传递，当然也可进一步于该真空空间中设置具有节能效果的节能膜。

所述的节能膜及胶合膜，大多是利用其自身材料的特性，来吸收或反射红外光及紫外光，并允许可见光穿透，而达到透光及节能的效果。所述的节能膜及胶合膜，能调整设计的参数，除了材料种类外，便只有膜厚。然而膜厚主要是影响吸收效率，而非影响吸收的波长，因此吸收波长变化主要仍取决于材料特性，所以目前主流的节能玻璃，于节能膜及胶合膜材料决定后，变化就相当有限。

近来有于玻璃基板上设置具有周期性结构的金属层的节能玻璃。所述的周期性结构，是采矩形按方阵二维排列的设计。因此，此种节能玻璃可操控的因素计有金属材料种类、金属层厚度、矩形的长度、矩形的宽度、矩形间沿长度方向间的间隔周期、以及矩形间沿宽度方向的间隔周期等，共计有六种。因此就算金属材料种类固定，还能够通过调控其他参数，来反射不同波长的光，以满足不同需求。但是，此种节能玻璃尚有两个缺点：此种技术于实际运用时，并不会直接制作出成品再测试成品的反射效果，而是通常会先通过模拟计算各种参数条件下的成品，对红外光及紫外光的反射效果，确认符合需求时再制作出成品，然而此种节能玻璃可操控的因素过多，对模拟计算反而成为一种过大的负担，这是其一缺点。其二缺点则是直角设计于生产制造时相当困难，矩形的四个角时常有圆角或者缺角等情况发生，造成成品的效果与模拟出来的效果不一，也就是产生成品质量不佳的情况，而有待改善。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种节能玻璃，具有便于设计制造的优点。

本发明的节能玻璃，包含一玻璃基板以及一周期金属单元。该周期金属单元，设置在该玻璃基板上，并界定出数个周期性排列的圆孔，所述圆孔彼此沿二维方向按六方最密方式排列。

本发明的节能玻璃，每一个圆孔的直径为315nm至385nm，每一个圆孔的圆心与相邻的另一圆孔的圆心间的距离为405nm至495nm，该周期金属单元的厚度为88nm至112nm。

本发明的节能玻璃，该周期金属单元包括一层设置在该玻璃基板上的第一金属层、以及一层设置在该第一金属层上的第二金属层，该第一金属层与该第二金属层相配合界定出所述圆孔，该第一金属层为铬或钛，该第二金属层为金。

本发明的节能玻璃，该第一金属层的厚度为8nm至12nm，该第二金属层的厚度为80nm至100nm。

本发明的第二目的，在于提供一种节能玻璃的制造方法，所制得的成品质量较佳。

该节能玻璃的制造方法包含步骤A：提供一模具，该模具具有数个突出且呈圆形的模点，所述模点彼此沿二维方向按六方最密方式排列。步骤B：于该模具上沉积金属，以形成一个位于所述模点上的转印金属单元，该转印金属单元具有数个分别位于所述模点上的金属点。步骤C：提供一片玻璃基板，于该玻璃基板上形成一层光阻层。步骤D：将设置有该转印金属单元的该模具压于该光阻层上，使该转印金属单元的所述金属点转印至该光阻层上。步骤E：蚀刻移除该光阻层未被所述金属点覆盖的部分，使该光阻层形成数个上头分别设置有所述金属点的光阻点、以及一个位于所述光阻点间的光阻空间。步骤F：于该光阻空间中沉积金属，形成一位于该光阻空间中的周期金属单元，该周期金属单元界定出数个沿二维方向按六方最密方式周期性排列的圆孔，每一圆孔中容置有对应的该光阻点。步骤G：移除所述光阻点及位于所述光阻点上的金属点。

本发明的节能玻璃的制造方法，还包含一个位于该步骤A前的步骤H，于该步骤H中，是先提供一个硅模仁，该硅模仁界定出数个分别用于对应形成该模具的所述模点的模孔，所述模孔彼此沿二维方向按六方最密方式排列，于该步骤A中，是利用该硅模仁制作出该模具。

本发明的节能玻璃的制造方法，于该步骤A中，是将包含高分子材料的高分子溶液倒于该硅模仁上，并使该高分子溶液硬化成为该模具，该高分子材料为聚二甲基硅氧烷，该模具为以聚二甲基硅氧烷制成的软模。

本发明的节能玻璃的制造方法，于该步骤D中，还加热至该光阻层的玻璃转化温度，并加压至0.08至0.09Mpa。

本发明的节能玻璃的制造方法，于该步骤B中，是先沉积一层金，再沉积一层铬或钛以形成该转印金属单元。

本发明的节能玻璃的制造方法，于该步骤F中，是先沉积一层铬或钛，再沉积一层金以形成该周期金属单元。

本发明的节能玻璃的制造方法，于该步骤F中，是先沉积一层第一金属层，再沉积一层第二金属层，以形成该周期金属单元，该第一金属层为铬，且其厚度为8nm至12nm，该第二金属层为金，且其厚度为80nm至100nm，该周期金属单元的每一圆孔的直径为315nm至385nm，每一圆孔的圆心与相邻的另一圆孔的圆心间的距离为405nm至495nm。

本发明的节能玻璃的制造方法，于该步骤A制得数个的所述模具，每一模具具有所述模点，于该步骤B中，是于每一模具上沉积金属，并形成位于对应的该模具的所述模点上的所述转印金属单元，于该步骤D中，是先将所述模具拼接后再将该转印金属单元的所述金属点转印至该光阻层上。

本发明的有益效果在于：圆孔设计相较于具有锐角或直角构造的其他孔洞设计，更容易生产制造，且成品质量较为稳定，搭配二维六方最密周期性排列设计，能将操控因素减少至该周期金属单元所使用的材料种类及其厚度、圆孔直径以及圆孔间距(周期距离)等四个因素，利于模拟设计，所以能确实达成本发明便于设计制造的优点的目的；利用具有数个圆形的模点的该模具，来制作出具有所述圆孔的节能玻璃，因所述模点及所述模孔的圆形设计，边缘受力较均匀，在转印时更容易成功，因此能达成本发明的目的。

附图说明

图1是本发明节能玻璃的一个实施例的一个俯视示意图；

图2是该实施例的一个不完整的剖视图；

图3是该实施例的实际成品的一个以扫描式电子显微镜(SEM)拍摄的照片；

图4是该实施例与一比较例分别对不同波长的光线的穿透率的比较图；

图5是本发明节能玻璃的制造方法的一个实施例的一个步骤流程方块图；

图6是该实施例于一个提供硅模仁步骤中所提供的一个硅模仁的一个不完整的剖视图；

图7是该实施例的一个流程示意图，图中示意一个提供模具步骤；

图8是该实施例于该提供模具步骤中所制得的一个模具的一个剖视图；

图9是该实施例的一个以扫描式电子显微镜拍摄的照片，图中示意该模具；

图10是该实施例的一个流程示意图，图中示意一个第一沉积步骤；

图11是该实施例的一个流程示意图，图中示意一个提供玻璃基板步骤以及一个转印步骤；

图12是该实施例的一个流程示意图，图中示意一个蚀刻步骤；

图13是该实施例的一个以扫描式电子显微镜拍摄的照片，图中示意一光阻层被蚀刻后的状态；及

图14是该实施例的一个流程示意图，图中示意一个第二沉积步骤以及一个移除步骤。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。

参阅图1至4，本发明节能玻璃的一个实施例，包含一块玻璃基板11以及一设置在该玻璃基板11上的周期金属单元12。

该玻璃基板11能依使用需求不同，例如用于汽车或用于建筑物等不同需求，而有不同厚度，而无需特别限定。于本实施例中，该玻璃基板11的厚度为3mm。

该周期金属单元12的厚度T1能为88nm至112nm，在本实施例中为100nm。该周期金属单元12包括一层设置在该玻璃基板11上的第一金属层121、以及一层设置在该第一金属层121上的第二金属层122。

该第一金属层121的材料能为铬或钛，且其厚度T2能为8nm至12nm。在本实施例中，该第一金属层121为铬，且厚度T2为10nm。该第二金属层122的材料为金，且其厚度T3能为80nm至100nm。在本实施例中，该第二金属层122的厚度T3为90nm。

该第一金属层121与该第二金属层122相配合界定出数个由该第一金属层121的底面连通至该第二金属层122的顶面的圆孔123。所述圆孔123彼此沿二维方向按六方最密方式排列。每一圆孔123的直径D1能为315nm至385nm，在本实施例中，每一圆孔123的直径D1为350nm。定义每一圆孔123的圆心C1到相邻的另一圆孔123的圆心C1的距离为周期距离D2。该周期距离D2能为405nm至495nm，在本实施例中则为450nm。

当所述圆孔123的直径D1较大，或所述圆孔123的周期距离D2较小，可见光的穿透率将较高，能较佳地降低室内照明用电量，而当所述圆孔123的直径D1较小，或所述圆孔123的周期距离D2较大，因红外光的穿透率较低，所以能较佳地降低室内空调用电量。因此，为了在节省照明用电及节省空调用电间取得一较佳的平衡，所述圆孔123的直径D1宜限定在前述的315nm至385nm的范围内，所述圆孔123的周期距离D2宜限定在前述的405nm至495nm的范围内。

该节能玻璃主要是通过该第二金属层122前述的特定构造来允许可见光穿透，并反射红外光。本实施例中还通过设置材料为铬(实施上也可为钛)的该第一金属层121，而有效地将该第二金属层122定着于该玻璃基板11上。由于该第一金属层121与该第二金属层122间、及该第一金属层121与该玻璃基板11间，均有不错的附着力，因此能避免该第二金属层122剥落，从提高本实施例的成品稳定性及质量。此外，该第二金属层122使用金的好处在于金的活性低，不易因外界污染而被毒化，不会如使用银具有需额外设置保护层的缺点，也不会有像使用铝会遭遇到产生氧化层改变厚度，并增加模拟设计难度的缺点。

本实施例的该节能玻璃与一个清玻璃的比较例，分别对不同波长的光线的穿透率，如图4所示。从图4中可以看到，本实施例的该节能玻璃相较于现有的清玻璃，能在有效降低红外光穿透的同时，使可见光的穿透率仍维持在不错的水准，因此除了能具有夏日避免热能进入室内，冬日避免热能散至室外的节能效果外，也不会增加室内照明用电的负担。

参阅表1，本实施例节能玻璃与市面上现有的各种节能玻璃的节能效果比较整理如表1。表1所示的总热通过量、U值及遮蔽系数的数值愈小，表示节能效果愈好。从表1中可以看到，本发明节能玻璃代表节能效果的各项参数，也就是总热通过量、U值及遮蔽系数等参数，均名列第二，且数值均远小于清玻璃，因此本实施例节能玻璃的节能效果确实相当优越。

总穿透率是指节能玻璃吸收热能后，再次辐射出热能(二次辐射)而与原先已穿透的热能加总计算而得到的穿透率。从表1中可以看出，由于本实施例节能玻璃的节能功效，很特别的是来自于反射红外光，而不是吸收红外光，因此本实施例节能玻璃的总穿透率与穿透率的差值小，与清玻璃相当只有2％。他种节能玻璃则因为主要利用吸收方式过滤红外光，二次辐射状况较为严重，总穿透率与穿透率的差值在10％甚至更高。举例来说，反射玻璃的穿透率虽然比本实施例节能玻璃的穿透率低，但是由于二次辐射较为强烈，因此总穿透率却高于本实施例节能玻璃，所以实际上本实施节能玻璃的节能效果是优于反射玻璃的。

表1

本实施的该节能玻璃所采用的圆孔设计，相较于具有锐角或直角构造的其他种孔洞设计，更容易生产制造，且成品不会有的效能因角形构造缺损而大打折扣的问题，质量相当稳定，搭配二维六方最密周期性排列设计，能将操控因素减少，仅剩该周期金属单元12所使用的材料种类及其厚度T1、圆孔123直径D1以及圆孔123间距(周期距离D2)等四个操控因素，利于模拟设计，所以除了具有前述优点外，还具有便于设计制造的优点。

参阅图5及图6，本发明节能玻璃的制造方法的一个实施的流程如图5所示。在开始说明前，读者应注意，在后续参照的附图中，如流程示意图，代表图中所示的构造仅为用于说明流程，并不能因此而限制本发明权利要求书所述的尺寸与比例。

该节能玻璃的制造方法的实施例包含一个提供硅模仁步骤21、一个制作模具步骤22、一个第一沉积步骤23、一个提供玻璃基板步骤24、一个转印步骤25、一个蚀刻步骤26、一个第二沉积步骤27以及一个移除步骤28。

该提供硅模仁步骤21是提供一包括数个模孔32的硅模仁31。所述模孔32呈圆形，且彼此沿二维方向按六方最密方式排列。每一模孔32的直径D3可为315nm至385nm，在本实施例中为350nm。定义每一模孔32的圆心C2与相邻的另一个模孔32的圆心C2的距离为周期距离D4。该周期距离D4能为405nm至495nm，在本实施例中为450nm。

参阅图5至图7，该提供模具步骤22是先准备自中国台湾信越硅立光股份有限公司购入，产品编号为503004且包含高分子材料为聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)的药品。该药品于购入时分为第一剂41及第二剂42。如图7的(a)所示，将该第一剂41及该第二剂42混合搅拌均匀后，便得到一高分子溶液43。将该高分子溶液43如图7的(b)所示地，置放在一容器44中，以一泵45对该容器44抽气，创造出低压环境以去除该高分子溶液43中的气泡。接着，将该高分子溶液43如图7的(c)所示地倒于该硅模仁31上，再连同该高分子溶液43及该硅模仁31，如图7的(d)所示地放入该容器44中抽气，去除该高分子溶液43中的气泡后，接着如图7的(e)所示地，以UV光照射该高分子溶液43，使该高分子溶液43交联硬化后，如图7的(f)所示地将该硅模仁31分离，便得到一软模的模具46。前述的抽气去除气泡，能使所制得的该模具46较为致密，不会因为存有气泡而物性不均一，质量较佳。

参阅图5、图8及图9，该模具46具有数个突出且呈概呈圆盘状的模点461。所述模点461彼此沿二维方向按六方最密方式排列，且每一模点461分别与该硅模仁31(参图6)各别的模孔32(参图6)相对应。每一模点461的直径D5能为315nm至385nm，在本实施例中，每一直径D5为350nm。定义每一模点461的圆心C3到相邻的另一模点461的圆心C3的距离为周期距离D6。该周期距离D6能为405nm至495nm，在本实施例中为450nm。

参阅图5、图8及图10，该第一沉积步骤23是先如图10的(b)所示地于如图10的(a)所示的模具46上沉积一层金，再如图10的(c)所示地于该模具46上沉积一层铬或钛(本实施例是铬)，并形成一个位于该模具46的所述模点461上的转印金属单元51，一及一个位于所述模点461间的第一沉积单元52。该转印金属单元51的厚度T4能为31nm至39nm，在本实施例中为35nm。该转印金属单元51具有数个分别位于所述模点461上的金属点511。每一金属点511具有一个设置在对应的模点461上的第一转印层512、以及一个设置在该第一转印层512上的第二转印层513。该第一转印层512主要由金构成，且厚度T5能为23nm至27nm。在本实施例中，该第一转印层512的厚度T5为25nm。该第二转印层513由铬构成，且厚度T6能为8nm至12nm。在本实施例中，该第二转印层513的厚度T6为10nm。由于该第一沉积单元52是于沉积出该转印金属单元51时同时生成，因此该第一沉积单元52同样具有分别主要由金及铬构成的双层构造，但由于该第一沉积单元52后续并无作用，因此在此省略说明。

参阅图5及图11，该提供玻璃基板步骤24是先提供一片所述的玻璃基板11，并准备一光阻药剂。所述的光阻药剂，购自于恒煦电子材料股份有限公司，产品型号为EXP-1501。接着将该光阻药剂所示地旋转涂布于该玻璃基板11上，并于110℃烘烤，以使该光阻药剂如图11的(a)所示地形成一层位于该玻璃基板11上的光阻层61。

该转印步骤25是如图11的(b)所示地将设置有该转印金属单元51的该模具46压于该光阻层61上，使该转印金属单元51的所述金属点511，如图11的(c)所示地转印至该光阻层61上。在转印的过程中，所使用的机台为购自铃峰公司(宇记油压)，型号为LFT-1501-02的简易型压着机。该简易型压着机能施加0.08Mpa至0.09Mpa的压力(本实施例为0.085Mpa)于该模具46，并在加压的过程中加热至150℃，以使每一金属点511的该第二转印层513转印至该光阻层61上。

本实施例于该第一沉积步骤23中，要先沉积一层金，再沉积一层铬的原因，是因为铬与该光阻层61间的粘着力，大于铬与金之间的粘着力，位于每一第二转印层513及该模具46间且由金构成的每一第一转印层512，能有助于每一第二转印层513，脱离该模具46对应的该模点461，并转印至该光阻层61上。此外，转印过程中还加热至该光阻层61的玻璃转化温度150℃，可使该光阻层61略微软化而略具粘性，并使每一第二转印层513能粘着于该光阻层61上而利于转印。此外，每一第二转印层513的材料选择铬或钛，也是以利于该第二转印层513转印至该光阻层61上作为考量。

进一步说明，本发明的每一金属点511不以包括该第一转印层512为必要，因为当更换该光阻层61的材料而改变粘着性质时，则每一金属点511也能仅包含直接设置在对应的该模点461上的该第二转印层513，此时于该转印步骤25中，每一金属点511将整体转印至该光阻层61上。

参阅图5及图12，该蚀刻步骤26是如图12的(a)所示地以氧等离子体蚀刻移除该光阻层61未被所述金属点511的该第二转印层513覆盖的部分，使该光阻层61形成数个上头分别设置有所述第二转印层513且向上突出的光阻点62、以及一个位于所述光阻点62间的光阻空间63。每一光阻点62与其上的对应的金属点511，相配合呈现如图12的(b)所示的圆柱状。该光阻层61被蚀刻后的样子如图13所示。所述的氧等离子体蚀刻，是以购自岗胜科技有限公司，型号为16PEB-RIE的反应式活性离子等离子体蚀刻机进行处理。由于氧等离子体蚀刻为现有技术，因此如何蚀刻在此不多作说明。

参阅图2、图5及图14，该第二沉积步骤27是如图14的(a)所示地以真空镀膜方式先沉积一层铬或钛(本实施例为铬)，再沉积一层金。沉积完铬及金后，将会于该光阻空间63中形成该周期金属单元12，并于形成一位于所述金属点511上的第二沉积单元7。该周期金属单元12界定出的每一圆孔123中，容置有对应的该光阻点62。沉积时各层所应该沉积的厚度，也就是该周期金属单元12的构造，已于前述说明节能玻璃时详述，因此不再次说明。此外，由于该第二沉积单元7之后将会被移除，所以也不多作说明。

该移除步骤28是如图14的(b)所示地，将设置有该周期金属单元12的该玻璃基板11浸泡在丙酮中，以溶解该光阻层61的所述光阻点62，并一并移除位于所述光阻点62上的金属。移除该光阻层61后的成品如图14的(c)示意，其实际结构则请参阅图2及图3。

本实施例的节能玻璃及其制造方法的功效在于：利用具有数个圆形的模点461的该模具46，来制作出具有所述圆孔123的节能玻璃，因所述模点461及所述模孔32的圆形设计，边缘受力较均匀，在制作该模具46及转印时更容易成功。较佳地该模具46可以为软模，因软模有可变形而能吸收误差的特质，所以能提高转印质量及成功率，也能降低转印过程中因些许微粒污染所带来的影响，更重要的是软模制成的该模具46，因其具有弹性所以不易因应力集中导致损毁而可重复使用，相较于易受应力而产生细微损耗甚至碎裂的硬模，更为环保且所需的生产成本更低。

该节能玻璃的制造方法在实施上，如要搭配较大型的该玻璃基板11使用，也能于该提供模具步骤22中，制得数个的所述模具46。每一模具46为软模，并具有所述模点461。于该第一沉积步骤23中，是于每一模具46上沉积金属，并形成位于对应的该模具46的所述模点461上的数个的所述转印金属单元51。于该转印步骤25中，则是先将所述模具彼此贴靠拼接后，再将所述转印金属单元51的所述金属点511转印至该玻璃基板11的该光阻层61上，后续再以相同方式处理。此种作法，主要优点在于所述模具46为软模而易于拼接，无需一开始就制作大型的所述硅模仁31及大型的所述模具46，因此在省略建置大型机台的成本及花费的同时，仍能大规模化。此外，软模也不会具有硬模拼接时，易因不小心重叠而损坏，或者不易紧密贴靠而产生拼接转印瑕疵等缺点，相当实用。

Claims (12)

1.一种节能玻璃，包含一玻璃基板及一周期金属单元，其特征在于：该周期金属单元设置在该玻璃基板上，并界定出数个周期性排列的圆孔，所述圆孔彼此沿二维方向按六方最密方式排列。

2.根据权利要求1所述的节能玻璃，其特征在于：每一个圆孔的直径为315nm至385nm，每一个圆孔的圆心与相邻的另一圆孔的圆心间的距离为405nm至495nm，该周期金属单元的厚度为88nm至112nm。

3.根据权利要求1或2所述的节能玻璃，其特征在于：该周期金属单元包括一层设置在该玻璃基板上的第一金属层、以及一层设置在该第一金属层上的第二金属层，该第一金属层与该第二金属层相配合界定出所述圆孔，该第一金属层为铬或钛，该第二金属层为金。

4.根据权利要求3所述的节能玻璃，其特征在于：该第一金属层的厚度为8nm至12nm，该第二金属层的厚度为80nm至100nm。

5.一种节能玻璃的制造方法，其特征在于，该节能玻璃的制造方法包含：

步骤A：提供至少一个软模的模具，该模具具有数个突出且呈圆形的模点，所述模点彼此沿二维方向按六方最密方式排列；

步骤B：于该模具上沉积金属，以形成一个位于所述模点上的转印金属单元，该转印金属单元具有数个分别位于所述模点上的金属点；

步骤C：提供一片玻璃基板，于该玻璃基板上形成一层光阻层；

步骤D：将设置有该转印金属单元的该模具压于该光阻层上，使该转印金属单元的所述金属点转印至该光阻层上；

步骤E：蚀刻移除该光阻层未被所述金属点覆盖的部分，使该光阻层形成数个上头分别设置有所述金属点的光阻点、以及一个位于所述光阻点间的光阻空间；

步骤F：于该光阻空间中沉积金属，形成一位于该光阻空间中的周期金属单元，该周期金属单元界定出数个沿二维方向按六方最密方式周期性排列的圆孔，每一圆孔中容置有对应的该光阻点；及

步骤G：移除所述光阻点及位于所述光阻点上的金属点。

6.根据权利要求5所述的节能玻璃的制造方法，其特征在于：该节能玻璃的制造方法还包含一个位于该步骤A前的步骤H，于该步骤H中，先提供一个硅模仁，该硅模仁界定出数个分别用于对应形成该模具的所述模点的模孔，所述模孔彼此沿二维方向按六方最密方式排列，于该步骤A中，利用该硅模仁制作出该模具。

7.根据权利要求6所述的节能玻璃的制造方法，其特征在于：于该步骤A中，将包含高分子材料的高分子溶液倒于该硅模仁上，并使该高分子溶液硬化成为该模具，该高分子材料为聚二甲基硅氧烷，该模具为以聚二甲基硅氧烷制成的软模。

8.根据权利要求7所述的节能玻璃的制造方法，其特征在于：于该步骤D中，还加热至该光阻层的玻璃转化温度，并加压至0.08至0.09Mpa。

9.根据权利要求5所述的节能玻璃的制造方法，其特征在于：于该步骤B中，先沉积一层金，再沉积一层铬或钛以形成该转印金属单元。

10.根据权利要求5所述的节能玻璃的制造方法，其特征在于：于该步骤F中，先沉积一层铬或钛，再沉积一层金以形成该周期金属单元。

11.根据权利要求10所述的节能玻璃的制造方法，其特征在于：于该步骤F中，先沉积一层第一金属层，再沉积一层第二金属层，以形成该周期金属单元，该第一金属层为铬，且其厚度为8nm至12nm，该第二金属层为金，且其厚度为80nm至100nm，该周期金属单元的每一圆孔的直径为315nm至385nm，每一圆孔的圆心与相邻的另一圆孔的圆心间的距离为405nm至495nm。

12.根据权利要求5所述的节能玻璃的制造方法，其特征在于：于该步骤A制得数个的所述模具，每一模具具有所述模点；于该步骤B中，于每一模具上沉积金属，并形成位于对应的该模具的所述模点上的所述转印金属单元；于该步骤D中，先将所述模具拼接后再将该转印金属单元的所述金属点转印至该光阻层上。