CN107433103B - 除雾装置、湿式处理设备及除雾方法 - Google Patents

除雾装置、湿式处理设备及除雾方法 Download PDF

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Abstract

本申请公开了一种除雾装置、湿式处理设备及除雾方法，所述除雾装置包括通过至少一层吸附网，用于将腔体内部的雾气吸收，进而在吸附网表面形成液滴；以及空心管路，并且空心管路上设有吸附口，用于将吸附网表面的液滴吸除，所述空心管路连接抽气口；还包括两转动机构，使得吸附网能够持续进行除雾。本申请能够提供较小的抽气功率，提供更高的除雾效率，运营成本更低廉。因为排气流量小，对整体腔体压力影响小，制程更稳定。

Description

除雾装置、湿式处理设备及除雾方法
技术领域
本发明涉及室内除雾技术领域，特别是涉及一种除雾装置、湿式处理设备及除雾方法。
背景技术
在液晶/半导体显示行业，大量工艺会采用湿式处理方式。如采用纯净水清洗产品，采用酸性/碱性/有机溶液对产品进行工艺处理等。在湿式处理设备处理过程中，会产生大量雾气，漂浮在设备腔体内部。在产品生产过程中，腔体内部的雾气可能重新粘附在已经过干燥处理的产品表面；更为严重的，设备腔体内部湿度达到一定程度后，会在设备腔体顶部/侧壁凝结成液滴，进而滴落至产品表面，造成更严重的产品品质问题。
现有技术一般采用局部抽气排湿的方式应对上述问题。但仍无法彻底解决顶部、侧壁凝液的问题。部分工程人员为应对此问题，采用大幅调整排气压力的方法，但对腔体内部气流/压力改变较大，造成更严重的设备异常和品质问题。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供湿式处理设备及湿式处理设备腔体内除雾方法，能够解决现有的湿式处理设备腔体内顶部、侧壁凝液的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：一种湿式处理设备，设有腔体，所述腔体内部设有连接外部的抽气口，所述抽气口用于将腔体内部的水雾排出，所述腔体内部设有除雾装置，所述除雾装置包括：
至少一层吸附网，用于将腔体内部的雾气吸收，进而在吸附网表面形成液滴；空心管路，设有朝向吸附网的吸附口，用于将吸附网表面的液滴吸除，所述空心管路连接抽气口；以及主动转动机构和从动转动机构，所述吸附网设置于所述主动转动机构和所述从动转动机构之间；所述吸附网在所述主动转动机构的驱动下做循环转动；其中，所述除雾装置还包括若干条形挡板，所述条形挡板倾斜安装在所述吸附网的表面或多层所述吸附网之间；所述条形挡板的安装倾角小于90°且安装方向与所述主动转动机构转动的延展方向保持一致；相邻所述条形挡板之间的距离大于所述条形挡板在所述吸附网上的投影距离。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：
一种除雾装置，包括：至少一层吸附网，用于将腔体内部的雾气吸收，进而在所述吸附网表面形成液滴；空心管路，设有朝向所述吸附网的吸附口，用于将所述吸附网表面的液滴吸除，所述空心管路连接抽气口；以及主动转动机构和从动转动机构，所述吸附网设置于所述主动转动机构和所述从动转动机构之间；所述吸附网在所述转动机构的驱动下做循环转动；其中，所述除雾装置还包括若干条形挡板，所述条形挡板倾斜安装在所述吸附网的表面或多层所述吸附网之间；所述条形挡板的安装倾角小于90°且安装方向与所述主动转动机构转动的延展方向保持一致；相邻所述条形挡板之间的距离大于所述条形挡板在所述吸附网上的投影距离。
较佳实施方式中，所述空心管路设置方向与吸附网循环转动方向相交。
较佳实施方式中，所述空心管路与吸附网之间设有间隙。
较佳实施方式中，所述抽气口与外界负压相连，使得所述空心管路内具有向内吸附的能力并通过抽气口排出液滴。
为解决上述技术问题，本发明采用的另外一个技术方案是：一种除雾方法，包括以下步骤：
通过吸附网将湿式处理设备腔体内雾气吸附住，在所述吸附网上聚集形成液滴；其中，所述吸附网通过两个转动机构做循环转动；
所述液滴在两个所述转动机构的带动下，由所述吸附网的下吸附网转动到所述吸附网的上吸附网；
当所述液滴位于所述转动机构两端时，由倾斜安装在所述吸附网表面或多层所述吸附网之间的若干条形挡板挡住；其中，所述条形挡板的安装倾角小于90°且安装方向与所述主动转动机构转动的延展方向保持一致；相邻所述条形挡板之间的距离大于所述条形挡板在所述吸附网上的投影距离；
通过空心管路收集吸附网上液滴并通过抽气口排出。
本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明提供除雾装置、湿式处理设备及除雾方法，该湿式处理设备包括除雾装置，该装置通过将吸附网按照传送带式的方式转动，将空心管路安装在吸附网下方，实现了对雾气的循环吸收，最终改善湿式处理设备腔体内的环境，相比于现有技术中通过增加抽气功率来增大除雾效果，本申请能够提供较小的抽气功率，提供更高的除雾效率，运营成本更低廉。因为排气流量小，对整体腔体压力影响小，制程更稳定。
附图说明
图1是本申请实施方式的一个实施例图；
图2是本申请实施方式的一个实施例中吸附网与两转动机构的安装方式图；
图3是与图2相对应的实施例中一种实施例结构图。
图4是本申请中条形挡板的安装示意图；
图5是本申请中条形挡板的另一种安装示意图；
图6为本申请中条形挡板安装在多层吸附网中的示意图。
具体实施方式
参阅图1，是本发明提供的湿式处理设备示意图。一种湿式处理设备100，其腔体内为封闭空间，用于清洗样品107。在本申请中，样品107的材质一般为半导体类，如硅片；样品107的清洗方式为湿法清洗，即使用化学试剂对样品107表面残留的颗粒、有机物及金属杂质进行清洗。湿式处理设备100外部设有抽气口108，清洗完后的样品107表面残留的液体，会蒸发形成的雾气106，通过抽气口108抽气排出湿式处理设备100。
具体地，还包括一除雾装置，该装置是用于去除湿式处理设备100的腔体内部的雾气106。值得注意的是，考虑到实际清洗过程中，生产线会很长，单个除雾装置无法完整覆盖所有的清洗面积，因此，在本申请的另外一个实施例中，湿式处理设备100中的除雾装置数量不限。
该除雾装置包括：
吸附网101，用于将腔体内部的雾气106吸收，进而在吸附网101表面形成液滴；以及
若干空心管路102，用于将吸附网101表面的液滴吸除。
在本申请的一实施例中，所述除雾装置安装在样品107上方，安装面积完全覆盖住样品，防止腔体顶部的液滴滴落样品表面。值得注意的是，在该实施例中，本申请中的除雾装置固定在腔体顶部的安装方法包括焊接、螺丝等。
值得注意的是，在本申请的一个实施例中，空心管路102上设有吸附口，用于将吸附网101表面的液滴吸除，并且空心管路102与抽气口108相连。空心管路102按照紧密平行的方式排布在吸附网101下方，与吸附网101之间存在间隙，该间隙可以调整，直接决定了空心管路102对液滴的吸附速度。空心管路102的设置方向与吸附网101的循环转动方向具有夹角，即排除了相互平行的情况，这样设置主要是为了避免空心管路102上端开口之间的间隔对液滴的吸收效果产生影响，出现一段吸附网101中的液滴没有被空心管路102吸收的情况。在本申请中，空心管路102不限于图中相互平行的排布方法，如交错排布，松散排布等均在本申请的保护范围，只要满足空心管路102与吸附网101的转动前进方向不平行即可。
进一步，请参阅图2和图3，为本申请的另外一个实施例。
吸附网201的两端分别安置了一主动转动机构203和一从动转动机构204，使得吸附网201分成了下吸附网2012和上吸附网2011。主动转动机构203与驱动电机连接，实现转动并带动安装在转动机构表面的吸附网201进行转动。吸附网201在主动转动机构203的带动下，吸附网201的下吸附网2012的网面吸收雾气206后，雾气206跟随下吸附网2012转动到上吸附网2011的网面，通过空心管路202的上端开口，将聚集形成的液滴209吸附干净。在本申请的一实施例中，吸附网201在类似于传送带，在两转动机构的带动下做循环转动，在这里，两驱动机构可以是辊轴、齿轮等。
值得注意的是，通常情况下，在水平面方向上，吸附网201对液滴209能够提供较大的表面张力，但是随着两转动机构的转动，液滴209转动到垂直方向时，如果液滴较大，吸附网201垂直方向无法提供足够的表面张力，使得液滴209在转动机构两端会出现滑落的情况。为此，本申请中的除雾装置还包括若干条形挡板205，在本申请的一个实施例中，所述条形挡板205安装在吸附网201表面。
下面对整个装置的工作原理进行叙述。请继续参阅图3，当样品207以及腔内的雾气206以一定的速度上升，通过下吸附网2012的网面时，由于雾气206上升的惯性作用，使得雾气206与下吸附网2012碰撞而粘附在网丝的表面上。由于下吸附网2012网面上的雾气206进一步扩散及雾气206本身的重力沉降，使雾气206形成较大的液滴209。由于吸附网201的可湿性、液滴209的表面张力及网丝的毛细管作用，使得液滴209不会滴落在样品207表面。在主动转动机构203的带动下，液滴209由下吸附网2012网面转动到上吸附网2011网面表面，进而被安装在上吸附网2011下方的空心管路202将液滴209吸除干净。吸收完液滴209后的吸附网201继续转动到下方，再次进行雾气206的吸附工作。如此循环，能够实现自动吸附雾气206的功能，且可以通过空心管路202较小的排气量，实现雾气206的持续去除功能。值得注意的是，在本申请的一个实施例中，吸附网201的层数可以根据腔体内部的雾气206浓度决定，吸附网201的材质根据雾气206的酸碱特点，可以为不锈钢、塑料、聚丙烯、树脂纤维中任意一种。
请参阅图4，为本申请中条形挡板205安装的一个实施例。条形挡板205的安装倾角小于等于90°且安装方向与主动转动机构203的延展方向保持一致。本申请中，所述的延展方向就像日常生活中洗衣机脱水时，液体被甩出的方向。因此，条形挡板205在吸附网201表面的安装倾角与主动转动机构203的延展方向呈锐角即可，安装倾角可以为20°、40°、60°、90°任意一种。
请结合图2继续参阅图4，主动转动机构203的转动方向为顺时针方向，位于主动转动机构203一端的条形挡板205斜向左上角安装，安装倾角为40°。在主动转动机构203端面形成的液滴209被条形挡板205挡住。主动转动机构203继续转动，将液滴209带回到吸附网201的上吸附网中，进而被空心管路202吸收，通过抽气口208排出。
进一步，为了不影响吸附网201的吸附效果，条形挡板205之间的距离大于条形挡板205在吸附网201上的投影距离。如果安装过于紧密，雾气206上升后不能充分与吸附网201接触，从而会影响除雾效果。
请参阅图5，为本申请的另外一个实施例，不同点在于，主动转动机构303的转动方向为逆时针，位于主动转动机构303一端的条形挡板305在主动转动机构303端面时，倾斜方向时朝着右上角倾斜的，安装倾角也为40°。
而在本申请的另一个实施例中，请参阅图6，条形挡板405设置在多层吸附网401之间。因为在实际工作过程中，如果两转动机构之间的吸附网401距离过长，吸附雾气后的吸附网401重量会增加，进而发生形变，影响除雾效果。将条形挡板405设置在多层吸附网401中间，可以起到支撑的作用。此外，将条形挡板405设置在多层吸附网401中间，还可以避免在主动转动机构403转速过快时，液滴飞出吸附网401。
综上，本申请提出的除雾装置，用于湿式腔体除雾，通过将吸附网按照传送带式的方式转动，将空心管路安装在吸附网下方，实现了对雾气的循环吸收，最终改善湿式处理设备腔体内的环境，相比于现有技术中通过增加抽气功率来增大除雾效果，本申请能够提供较小的抽气功率，提供更高的除雾效率，运营成本更低廉。因为排气流量小，对整体腔体压力影响小，制程更稳定。
以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种湿式处理设备，其特征在于，设有腔体，所述腔体内部设有连接外部的抽气口，所述抽气口用于将所述腔体内部的雾气排出，所述腔体内部设有除雾装置，所述除雾装置包括：
至少一层吸附网，用于将所述腔体内部的雾气吸收，进而在所述吸附网表面形成液滴；
空心管路，设有朝向所述吸附网的吸附口，用于将所述吸附网表面的液滴吸除，所述空心管路连接所述抽气口；以及
主动转动机构和从动转动机构，所述吸附网设置于所述主动转动机构和所述从动转动机构之间；所述吸附网在所述主动转动机构的驱动下做循环转动；
其中，所述除雾装置还包括若干条形挡板，所述条形挡板倾斜安装在所述吸附网的表面或多层所述吸附网之间；所述条形挡板的安装倾角小于90°且安装方向与所述主动转动机构转动的延展方向保持一致；相邻所述条形挡板之间的距离大于所述条形挡板在所述吸附网上的投影距离。
2.一种除雾装置，其特征在于，包括：
至少一层吸附网，用于将腔体内部的雾气吸收，进而在所述吸附网表面形成液滴；
空心管路，设有朝向所述吸附网的吸附口，用于将所述吸附网表面的液滴吸除，所述空心管路连接抽气口；以及
主动转动机构和从动转动机构，所述吸附网设置于所述主动转动机构和所述从动转动机构之间；所述吸附网在所述主动转动机构的驱动下做循环转动；
其中，所述除雾装置还包括若干条形挡板，所述条形挡板倾斜安装在所述吸附网的表面或多层所述吸附网之间；所述条形挡板的安装倾角小于90°且安装方向与所述主动转动机构转动的延展方向保持一致；相邻所述条形挡板之间的距离大于所述条形挡板在所述吸附网上的投影距离。
3.根据权利要求2所述的除雾装置，其特征在于，所述空心管路的设置方向与所述吸附网的循环转动方向相交。
4.根据权利要求2所述的除雾装置，其特征在于，所述空心管路与所述吸附网之间设有间隙。
5.根据权利要求2所述的除雾装置，其特征在于，所述抽气口与外界负压相连，使得所述空心管路内具有向内吸附的能力并通过所述抽气口排出液滴。
6.一种除雾方法，其特征在于，包括以下步骤：
通过吸附网将湿式处理设备腔体内雾气吸附住，在所述吸附网上聚集形成液滴；其中，所述吸附网通过两个转动机构做循环转动；
所述液滴在两个所述转动机构的带动下，由所述吸附网的下吸附网转动到所述吸附网的上吸附网；
当所述液滴位于所述转动机构两端时，由倾斜安装在所述吸附网表面或多层所述吸附网之间的若干条形挡板挡住；其中，所述条形挡板的安装倾角小于90°且安装方向与所述转动机构转动的延展方向保持一致；相邻所述条形挡板之间的距离大于所述条形挡板在所述吸附网上的投影距离；
通过空心管路收集所述吸附网上液滴并通过抽气口排出。
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GR01 Patent grant
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