CN107431471B - 弹性波谐振器、弹性波滤波器以及双工器 - Google Patents

弹性波谐振器、弹性波滤波器以及双工器 Download PDF

Info

Publication number
CN107431471B
CN107431471B CN201680012583.7A CN201680012583A CN107431471B CN 107431471 B CN107431471 B CN 107431471B CN 201680012583 A CN201680012583 A CN 201680012583A CN 107431471 B CN107431471 B CN 107431471B
Authority
CN
China
Prior art keywords
elastic wave
electrode
electrode finger
wave resonator
electrode fingers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201680012583.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107431471A (zh
Inventor
中川亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of CN107431471A publication Critical patent/CN107431471A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107431471B publication Critical patent/CN107431471B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/1457—Transducers having different finger widths
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
    • H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
    • H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
    • H03H9/725—Duplexers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

提供不增大IDT电极的面积就能充分抑制非线性信号的产生的弹性波谐振器。弹性波谐振器(1)具备压电基板(2)以及IDT电极(3)，IDT电极(3)具有第1电极指(3a)和与第1电极指(3a)邻接的第2电极指(3b)，在将第1电极指(3a)的宽度设为W1，将第2电极指(3b)的宽度设为W2，将第1电极指(3a)与第2电极指(3b)的电极指中心间距离即间距设为L时，第1电极指(3a)的金属化比(W1/L)小于第2电极指(3b)的金属化比(W2/L)，第1以及第2电极指(3a、3b)的金属化比之和(W1/L+W2/L)为0.65以上、1.00以下且第1以及第2电极指(3a、3b)的宽度之比(W2/W1)为1.12以上、2.33以下，或者W1/L+W2/L大于1.00且W2/W1为1.40以上、2.34以下。

Description

弹性波谐振器、弹性波滤波器以及双工器
技术领域
本发明涉及在压电基板上设有IDT电极的弹性波谐振器和具备该弹性波谐振器的弹性波滤波器以及双工器。
背景技术
过去，作为构成用在便携电话机等中的带通滤波器的谐振器而广泛运用弹性波谐振器。例如在下述专利文献1中公开了一种弹性波谐振器，其具备压电基板和设于该压电基板上的IDT电极。在专利文献1中示出在IDT电极内周期性配置宽度不同的电极指的结构。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开平2-127809号公报
发明内容
发明要解决的课题
但如专利文献1的弹性波谐振器那样，即使是在IDT电极内周期性配置宽度不同的电极指的情况下，根据不同的电极指的宽度的值，有时不能使非线性信号充分小。为此在将专利文献1的弹性波谐振器用在双工器的发送滤波器中的情况下，双工器的接收频带的噪声变大，有时接收灵敏度会降低。
本发明的目的在于，提供不用增大IDT电极的面积就能充分抑制非线性信号的产生的弹性波谐振器。
本发明的其他目的在于，提供具备上述弹性波谐振器的弹性波滤波器以及双工器。
用于解决课题的手段
本发明所涉及的弹性波谐振器具备压电基板和形成于所述压电基板上的IDT电极，所述IDT电极具有第1电极指和与该第1电极指在弹性波传播方向上邻接的第2电极指，将沿着弹性波传播方向的所述第1电极指的宽度设为W1，将沿着弹性波传播方向的所述第2电极指的宽度设为W2，将所述第1电极指与所述第2电极指的电极指中心间距离即间距设为L，这时，所述第1电极指的金属化比(W1/L)小于所述第2电极指的金属化比(W2/L)，所述第1以及第2电极指的金属化比之和(W1/L+W2/L)为0.65以上、1.00以下且所述第1以及第2电极指的宽度之比(W2/W1)为1.12以上、2.33以下，或者，所述第1以及第2电极指的金属化比之和(W1/L+W2/L)大于1.00且所述第1以及第2电极指的宽度之比(W2/W1)为1.40以上、2.34以下。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的某特定的局面中，所述第1以及第2电极指的金属化比之和(W1/L+W2/L)大于0.70、1.00以下，且所述第1以及第2电极指的宽度之比(W2/W1)为1.14以上、2.33以下；或者，所述第1以及第2电极指的金属化比之和(W1/L+W2/L)大于1.00且所述第1以及第2电极指的宽度之比(W2/W1)为1.4以上、2.34以下。在该情况下，能谋求小型化并抑制非线性信号的产生。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的另外特定的局面中，所述IDT电极具有多条所述第1电极指和多条所述第2电极指，在弹性波传播方向上，所述第1电极指和所述第2电极指交替配置。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的其他特定的局面中，所述IDT电极具有多条所述第1电极指和多条所述第2电极指，在弹性波传播方向上，彼此相邻的2条所述第1电极指和彼此相邻的2条所述第2电极指交替配置。
本发明所涉及的弹性波滤波器具有多个弹性波谐振器，所述多个弹性波谐振器当中至少1个弹性波谐振器是遵循上述本发明构成的弹性波谐振器。
本发明所涉及的双工器具有多个弹性波谐振器，并具备带通型的第1滤波器和通带与所述第1滤波器不同的第2滤波器，所述第1以及第2滤波器的至少一方的多个弹性波谐振器当中至少1个弹性波谐振器是遵循上述本发明构成弹性波谐振器。
发明的效果
在本发明所涉及的弹性波谐振器中，如上述那样，第1以及第2电极指的金属化比和第1以及第2电极指的宽度之比限定在特定的范围。为此，根据本发明的弹性波谐振器，不用增大IDT电极的面积就能充分地抑制非线性信号的产生。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器的示意俯视图。
图2是在本发明的第1实施方式所涉及的弹性波装置中放大表示第1以及第2电极指相邻的部分的示意主视截面图。
图3是表示在实验例制作的弹性波装置的3次谐波特性的图。
图4是表示在实验例制作的弹性波装置的3次IMD特性的图。
图5是本发明的第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的示意俯视图。
图6是表示第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的3次谐波特性的图。
图7是表示第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的3次IMD特性的图。
图8是表示第1以及第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的2次谐波特性的图。
图9是本发明的1个实施方式所涉及的双工器的概略电路图。
具体实施方式
以下参考附图来说明本发明的具体的实施方式，由此使本发明变得明了。
另外指出，本说明书所记载的各实施方式都是例示，在不同的实施方式间能进行构成的部分的置换或组合。
[弹性波谐振器]
(第1实施方式)
图1是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器的示意俯视图。另外，图2是在本发明的第1实施方式所涉及的弹性波装置中放大表示第1以及第2电极指相邻的部分的示意主视截面图。
弹性波谐振器1具有压电基板2。压电基板2是由LiTaO3构成的基板。另外，作为压电基板2，既可以使用由LiNbO3等其他压电单晶构成的基板，也可以使用由压电陶瓷构成的基板。
如图1所示那样，在压电基板2上形成IDT电极3和配置于IDT电极3的弹性波传播方向两侧的反射器4、5。由此构成单端口型的弹性波谐振器。
IDT电极3由Al、Cu、Ni、Ti、Pt、NiCr或AlCu等适宜的金属或包含这些金属当中的至少1种的合金构成。IDT电极3既可以是单层的金属膜，也可以是层叠2种以上的金属或合金的层叠金属膜。
IDT电极3具有多条第1电极指3a、多条第2电极指3b和第1以及第2汇流条3c、3d。
多条第1电极指3a和多条第2电极指3b在弹性波传播方向上交替配置。另外，弹性波传播方向是与电极指延伸的方向正交的方向。
在本实施方式中，多条第1电极指3a和多条第2电极指3b相互交替插入。多条第1电极指3a的一端与第1汇流条3c连接。多条第2电极指3b的一端与第2汇流条3d连接。
在本实施方式中，IDT电极3仅具有第1以及第2电极指3a、3b，而没有其他电极指。但在本发明中，只要IDT电极3内至少一部分电极指是第1以及第2电极指3a、3b即可。即，在弹性波传播方向上，在至少一部分设置交替配置第1以及第2电极指3a、3b的区域即可。
在本发明中，优选电极指整体的50％以上构成交替配置上述第1以及第2电极指3a、3b的区域。另外，优选如本实施方式那样，全部第1以及第2电极指3a、3b在弹性波传播方向上交替配置。第1以及第2电极指3a、3b交替配置的区域所占的比例越大，就越能进一步有效果地抑制后述的非线性信号的产生。
第1电极指3a的金属化比小于第2电极指3b的金属化比。
如图2所示那样，若将第1电极指3a的宽度设为W1，将第1电极指3a与第2电极指3b的电极指中心间距离即间距设为L，则第1电极指3a的金属化比以W1/L表征。另外，若将第2电极指3b的宽度设为W2，则第2电极指3b的金属化比以W2/L表征。另外，W1小于W2。
在本实施方式中，第1以及第2电极指3a、3b的金属化比之和(W1/L+W2/L)为0.65以上、1.00以下，且第1以及第2电极指3a、3b的宽度之比(W2/W1)为1.12以上、2.33以下。
或者W1/L+W2/L大于1.00且W2/W1为1.40以上、2.34以下。
在本发明中，通过将金属化比之和(W1/L+W2/L)以及电极指宽度之比(W2/W1)设为上述范围内，且设为W1/L＜W2/L，能充分抑制非线性信号的产生。以下参考实验例对其详细说明。
实验例；
在实验例中，在以下所示的条件下制作单端口型的弹性波谐振器1。另外，在实验例中，制作基模的谐振频率为839MHz的弹性波谐振器1。
压电基板2：42°YX-LiTaO3
IDT电极3：Ti/AlCu(按照Ti、AlCu的顺序层叠)
电极指的对数：80对
在实验例中，使第1以及第2电极指3a、3b的金属化比即W1/L以及W2/L如表1所示那样在0.3～0.7的范围内变化来制作样本。具体地，改变W1/L以及W2/L的组合来制作表1所示的样本A1～A8、B1～B7、C1～C6、D1～D5、E1～E4、F1～F3、G1～G2以及H1。
[表1]
Figure GDA0001390945330000051
调整波长以及交叉宽度，以使各样本的特性同等。将调整过的各样本的波长在表2示出，将各样本的交叉宽度在表3示出。另外，将各样本中的电极指的宽度之比(W2/W1)在表4示出，将金属化比之和(W1/L+W2/L)在表5示出。另外，随着表5的金属化比之和(W1/L+W2/L)的值变大，IDT电极3的面积变小。这是因为，金属化比越大则每1条电极指的静电容就越大，为了在同等的阻抗下设计IDT电极3而需要减小交叉宽度。
[表2]
Figure GDA0001390945330000061
[表3]
Figure GDA0001390945330000062
[表4]
Figure GDA0001390945330000063
[表5]
Figure GDA0001390945330000064
在本实验例中，使各样本的W1/L以及W2/L变化，测定3次谐波(third harmonic)的峰值。将结果在表6示出。另外，表6的值全都是相同阻抗，调整IDT电极3的波长以及交叉宽度来使在各个样本中成为同等特性。另外，将满足W1/L＝W2/L的样本设为基准样本(表1中的A1、B1、C1、D1、E1、F1、G1、H1)。
[表6]
Figure GDA0001390945330000071
根据表5以及表6可知，在与IDT电极的面积比该样本自身更小的基准样本进行比较的情况下，W1/L+W2/L与基准样本比较而成为同等以上，且满足W1/L≠W2/L以及W1/L＜W2/L，在满足上述条件的下述的样本中，无论与哪个基准样本比较，3次谐波的峰值都得到了改善。
具体可知，在表1所示的A2～A8、B2～B7、C2～C6以及D3、D5以及E4的样本中，不管与哪个基准样本比较，都改善了3次谐波的峰值。
即，可知在W1/L+W2/L为0.65以上、1.00以下、W2/W1为1.12以上、2.33以下且满足W1/L＜W2/L的样本中，无论与哪个基准样本比较，3次谐波的峰值都得到改善。
或者，在W1/L+W2/L大于1.00且W2/W1为1.40以上2.34以下、且满足W1/L＜W2/L的样本中，无论与哪个基准样本比较，3次谐波的峰值都得到改善。
图3是表示在实验例制作的弹性波装置的3次谐波特性的图。图中、实线表示表1中的B5(W1/L＝0.35、W2/L＝0.55)的结果。另外，虚线表示表1中的D1(W1/L＝W2/L＝0.45)的结果。
根据图3可知，B5与D1的基准样本比较，3次谐波的峰值(频率：2580MHz附近的峰值)改善了约5dB。
图4是表示实验例中制作的弹性波装置的3次IMD特性的图。图中、实线表示表1中的B5(W1/L＝0.35、W2/L＝0.55)的结果。另外，虚线表示表1中的D1(W1/L＝W2/L＝0.45)的结果。
根据图4可知，B5与D1的基准样本比较，3次IMD的电平(频率：870～895MHz的频率带中的3次IMD)改善了约1～5dB。虽然在875MHz下与基准样本相比3次IMD的电平变差，但这是次阶模的影响，而不是本质的问题。另外，若关注峰值，则根据图4，B5与D1的基准样本相比，3次IMD的峰顶电平(881MHz近旁)改善了约4dB。
如此，就算B5和D1的基准样本的金属化比之和相当，即IDT电极3的面积相等，也能在特性的改善效果中看到差异。
在如B5那样电极指的宽度不同的情况下，在各电极指产生的非线性信号的相位不同，会出现抵消，因此认为降低了非线性信号的电平。
回到表6，可知在表1所示的A4～A8、B2～B7、C3～C6、D3、D5以及E4的样本中，与W1/L+W2/L同等或小的基准样本相比，3次谐波的峰值得到改善。
即，可知在W1/L+W2/L大于0.7且1.00以下、W2/W1为1.14以上2.33以下且满足W1/L＜W2/L的样本中，与W1/L+W2/L同等或更小的基准样本相比，3次谐波的峰值得到改善。
或者，可知在W1/L+W2/L大于1.00且W2/W1为1.40以上2.34以下，并且满足W1/L＜W2/L的样本中，与W1/L+W2/L同等或更小的基准样本相比，3次谐波的峰值得到改善。
例如A4(W1/L＝0.3、W2/L＝0.45)与基准样本B1(W1/L＝W2/L＝0.35)相比，3次谐波的峰值改善了约1.1dB。
由于W1/L+W2/L越大则IDT电极3的面积越小，因此可知在A4中，就算面积小于基准样本即B1的面积，3次谐波的峰值也得到改善。
另外可知，E4(W1/L＝0.5、W2/L＝0.7)与基准样本G1(W1/L＝W2/L＝0.6)相比，3次谐波的峰值改善了约1.8dB。可知在E4中，就算面积与基准样本即G1的面积同等，3次谐波的峰值也得到改善。
因而通过将W1/L+W2/L以及W2/W1(W1/L＜W2/L)设为上述范围内，能在不招致大型化的情况下，充分抑制非线性信号的产生。
因而在本发明中，优选将W1/L+W2/L设为大于0.70且1.00以下，且将W2/W1(W1/L＜W2/L)设为1.14以上2.33以下。或者优选，W1/L+W2/L大于1.00，且将W2/W1设为1.40以上、2.34以下。
(第2实施方式)
图5是本发明的第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的示意俯视图。如图5所示那样，在弹性波谐振器21中，在弹性波传播方向上交替配置相邻的2条第1电极指3a、3a、和相邻的2条所述第2电极指3b、3b。
多条第1电极指3a和第2电极指3a、3b相互交替插入。在第1汇流条3c连接多条第1或第2电极指3a、3b。在在第2汇流条3d连接多条第1或第2电极指3a、3b。
在弹性波谐振器21中，全部电极指都由相邻的2条第1电极指3a、3a以及相邻的2条第2电极指3b、3b构成。相邻的2条第1电极指3a、3a以及相邻的2条第2电极指3b、3b在弹性波传播方向上交替配置。
但在本发明中，只要在IDT电极3内的至少一部分具有交替周期性配置相邻的2条第1电极指3a、3a以及相邻的2条第2电极指3b、3b的区域即可。
在本发明中，优选电极指整体为50％以上的电极指由相邻的2条第1电极指3a、3a以及相邻的2条第2电极指3b、3b构成。更优选如本实施方式那样，全部电极指都由相邻的2条第1电极指3a、3a以及相邻的2条第2电极指3b、3b构成。这样的电极指的比例越大，就越能更进一步确实地抑制后述的非线性信号的产生。其他点与第1实施方式同样。
在弹性波谐振器21中，第1电极指3a的金属化比(W1/L)也小于第2电极指3b的金属化比(W2/L)。另外W1＜W2。
进而第1以及第2电极指3a、3b的金属化比之和(W1/L+W2/L)为0.65以上、1.00以下，且第1以及第2电极指3a、3b的宽度之比(W2/W1)为1.12以上、2.33以下。
或者W1/L+W2/L大于1.00且W2/W1为1.40以上、2.34以下。为此在弹性波谐振器21中也能充分抑制非线性信号的产生。
另外，优选将W1/L+W2/L设为大于0.70、1.00以下，且将W2/W1设为1.14以上、2.33以下。由此，不会招致大型化就能充分抑制非线性信号的产生。
图6是表示第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的3次谐波特性的图。图中，实线表示在弹性波谐振器21中W1/L＝0.35且W2/L＝0.55时的结果。另外，虚线表示在弹性波谐振器21中W1/L＝W2/L＝0.45时的结果。
根据图6可知，在W1/L＝0.35且W2/L＝0.55时，与第1实施方式同样，与W1/L＝W2/L＝0.45的基准样本比较，3次谐波的峰值(频率2580MHz附近的峰值)改善了约2dB。
图7是表示第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的3次IMD特性的图。图中，实线表示在弹性波谐振器21中W1/L＝0.35且W2/L＝0.55时的结果。另外，虚线表示在弹性波谐振器21中W1/L＝W2/L＝0.45时的结果。
根据图7可知，在W1/L＝0.35且W2/L＝0.55时，与W1/L＝W2/L＝0.45的基准样本相比，3次IMD的电平(频率：870～895MHz下的3次IMD)改善了约1～5dB。虽然在875MHz下与基准样本相比3次IMD的电平变差，但这是次阶模的影响，而不是本质的问题。另外，若关注峰值，则根据图7可知，与基准样本相比3次IMD的峰顶电平(频率：881MHz近旁)改善了约4dB。
图8是表示第1以及第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的2次谐波特性的图。图中，实线表示在弹性波谐振器21中W1/L＝0.35且W2/L＝0.55时的结果。另外，虚线表示在弹性波谐振器1中W1/L＝0.35且W2/L＝0.55时的结果。
在弹性波谐振器21中，可知与弹性波谐振器1相比，2次谐波的峰值(频率：1600～1800MHz的范围的峰值)更加进一步得到改善。这是因为，在弹性波谐振器21中，通过使第1以及第2电极指3a、3b平衡地与第1以及第2汇流条3c、3d连接而提升了电对称性。
[弹性波滤波器以及双工器]
图9是本发明的1个实施方式所涉及的双工器的概略电路图。本实施方式所涉及的双工器具有与天线8公共连接的第1滤波器9和第2滤波器10。
第1滤波器9是带通型的发送滤波器。第1滤波器9是梯型滤波器。第1滤波器9具有发送端子即输入端子12a和输出端子12b。
在连结输入端子12a和输出端子12b的串联臂，配置多个串联臂谐振器S1～S4。在串联臂谐振器S1与串联臂谐振器S2之间的连接点和接地电位之间连接并联臂谐振器P1。在串联臂谐振器S3与串联臂谐振器S4之间的连接点和接地电位之间连接并联臂谐振器P2。
第2滤波器10是与第1滤波器9通带不同的接收滤波器。第2滤波器10具有纵耦合谐振器型的弹性波滤波器14。
第2滤波器10具有输入端子13a和作为接收端子的输出端子13b。在输入端子13a与纵耦合谐振器型的弹性波滤波器14之间连接弹性波谐振器11。输入端子13a经由与输出端子12b的公共连接点与天线8连接。另外，在本发明中，作为第1、第2滤波器中所用的滤波器，可以分别使用梯型滤波器、纵耦合谐振器型滤波器、格型滤波器等。
在双工器中，在发送滤波器中，若在弹性波谐振器产生大的非线性信号，则接收滤波器的接收频带的噪声就会变大，从而接收灵敏度易于降低。
与此相对，在本实施方式中，第1滤波器9的全部谐振器都是上述的本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器1。由此能抑制第1滤波器9的全部谐振器中的非线性信号的产生，能抑制第2滤波器10的接收频带的噪声变大。因此本实施方式所涉及的双工器的接收灵敏度难以降低。
然而在本发明中，只要构成弹性波滤波器的多个弹性波谐振器当中至少1个弹性波谐振器是遵循本发明构成的弹性波谐振器即可。
另外，在本发明所涉及的双工器中，在具有通带相互不同的发送滤波器以及接收滤波器的情况下，只要发送滤波器的至少1个弹性波谐振器是遵循本发明构成的弹性波谐振器即可。由此能抑制双工器的接收频带的噪声，能抑制接收灵敏度的降低。从更进一步抑制接收灵敏度的降低的观点出发，优选如图9中的串联臂谐振器S4那样，与接收滤波器即第2滤波器直接连接的谐振器是本发明的弹性波谐振器。
标号的说明
1、11、21 弹性波谐振器
2 压电基板
3 IDT电极
3A、3b 第1、第2电极指
3C、3d 第1、第2汇流条
4、5 反射器
8 天线
9 第1滤波器
10 第2滤波器
12a、13a 输入端子
12b、13b 输出端子
14 纵耦合谐振器型的弹性波滤波器
S1～S4 串联臂谐振器
P1、P2 并联臂谐振器

Claims (6)

1.一种弹性波谐振器，具备：
压电基板；和
形成于所述压电基板上的IDT电极，
所述IDT电极具有第1电极指和与该第1电极指在弹性波传播方向上相邻的第2电极指，
将沿着弹性波传播方向的所述第1电极指的宽度设为W1，将沿着弹性波传播方向的所述第2电极指的宽度设为W2，将所述第1电极指与所述第2电极指的电极指中心间距离即间距设为L，这时，
所述第1电极指的金属化比W1/L小于所述第2电极指的金属化比W2/L，
所述第1电极指以及第2电极指的金属化比之和W1/L+W2/L为0.65以上且1.00以下，且所述第1电极指以及第2电极指的宽度之比W2/W1为1.12以上且2.33以下；或者，所述第1电极指以及第2电极指的金属化比之和W1/L+W2/L大于1.00，且所述第1电极指以及第2电极指的宽度之比W2/W1为1.40以上且2.34以下。
2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其中，
所述第1电极指以及第2电极指的金属化比之和W1/L+W2/L大于0.70且为1.00以下，且所述第1电极指以及第2电极指的宽度之比W2/W1为1.14以上且2.33以下；或者，所述第1电极指以及第2电极指的金属化比之和W1/L+W2/L大于1.00，且所述第1电极指以及第2电极指的宽度之比W2/W1为1.40以上且2.34以下。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器，其中，
所述IDT电极具有多条所述第1电极指和多条所述第2电极指，在弹性波传播方向上，所述第1电极指和所述第2电极指交替配置。
4.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器，其中，
所述IDT电极具有多条所述第1电极指和多条所述第2电极指，在弹性波传播方向上，彼此相邻的2条所述第1电极指和彼此相邻的2条所述第2电极指交替配置。
5.一种弹性波滤波器，具有多个弹性波谐振器，其中，
所述多个弹性波谐振器当中至少1个弹性波谐振器是权利要求1～4中任一项所述的弹性波谐振器。
6.一种双工器，具有多个弹性波谐振器，并具备带通型的第1滤波器和通带与所述第1滤波器不同的第2滤波器，其中，
所述第1滤波器以及第2滤波器的至少一方的多个弹性波谐振器当中至少1个弹性波谐振器是权利要求1～4中任一项所述的弹性波谐振器。
CN201680012583.7A 2015-03-27 2016-02-16 弹性波谐振器、弹性波滤波器以及双工器 Active CN107431471B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015-066849 2015-03-27
JP2015066849 2015-03-27
PCT/JP2016/054466 WO2016158051A1 (ja) 2015-03-27 2016-02-16 弾性波共振子、弾性波フィルタ及びデュプレクサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107431471A CN107431471A (zh) 2017-12-01
CN107431471B true CN107431471B (zh) 2020-10-13

Family

ID=57004518

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201680012583.7A Active CN107431471B (zh) 2015-03-27 2016-02-16 弹性波谐振器、弹性波滤波器以及双工器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10298205B2 (zh)
JP (1) JPWO2016158051A1 (zh)
KR (2) KR101974830B1 (zh)
CN (1) CN107431471B (zh)
WO (1) WO2016158051A1 (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110800212B (zh) * 2017-06-26 2023-09-26 株式会社村田制作所 弹性波装置以及复合滤波器装置
JP7055023B2 (ja) 2018-01-12 2022-04-15 太陽誘電株式会社 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ
CN112702040B (zh) * 2021-02-09 2024-03-12 中电科技集团重庆声光电有限公司 单晶薄膜声表面波滤波器及降低基带提高带外抑制的方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08298432A (ja) * 1995-04-27 1996-11-12 Hitachi Ltd 弾性表面波装置及びそれを用いたアンテナ分波器
CN1310882A (zh) * 1999-06-03 2001-08-29 松下电器产业株式会社 声表面波滤波器
JP2004112591A (ja) * 2002-09-20 2004-04-08 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波フィルタ、通信装置
CN102197590A (zh) * 2008-10-24 2011-09-21 爱普生拓优科梦株式会社 表面声波谐振器、表面声波振荡器以及表面声波模块装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4162465A (en) * 1977-09-14 1979-07-24 University Of Illinois Foundation Surface acoustic wave device with reflection suppression
JPH02127809A (ja) 1988-11-07 1990-05-16 Nec Corp 弾性表面波トランスデューサ
JPH09205339A (ja) * 1996-01-25 1997-08-05 Japan Radio Co Ltd 弾性表面波素子
JP3338839B2 (ja) * 1999-06-04 2002-10-28 エヌ・アール・エス・テクノロジー株式会社 一方向性弾性表面波変換器
JP3435640B2 (ja) 2000-05-22 2003-08-11 株式会社村田製作所 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP4254437B2 (ja) * 2002-10-15 2009-04-15 セイコーエプソン株式会社 液状体の充填方法、液状体の充填装置、及び吐出装置
JP4743491B2 (ja) * 2005-06-29 2011-08-10 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波素子片、弾性表面波装置、及び電子機器
JP5239741B2 (ja) * 2008-10-24 2013-07-17 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置
JP5679558B2 (ja) * 2011-01-19 2015-03-04 太陽誘電株式会社 分波器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08298432A (ja) * 1995-04-27 1996-11-12 Hitachi Ltd 弾性表面波装置及びそれを用いたアンテナ分波器
CN1310882A (zh) * 1999-06-03 2001-08-29 松下电器产业株式会社 声表面波滤波器
JP2004112591A (ja) * 2002-09-20 2004-04-08 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波フィルタ、通信装置
CN102197590A (zh) * 2008-10-24 2011-09-21 爱普生拓优科梦株式会社 表面声波谐振器、表面声波振荡器以及表面声波模块装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170124534A (ko) 2017-11-10
KR101974830B1 (ko) 2019-05-03
US10298205B2 (en) 2019-05-21
WO2016158051A1 (ja) 2016-10-06
KR20190015626A (ko) 2019-02-13
JPWO2016158051A1 (ja) 2017-10-26
CN107431471A (zh) 2017-12-01
US20170366167A1 (en) 2017-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6347779B2 (ja) 分波器および通信モジュール
US9461620B2 (en) Elastic wave splitter having a resonant circuit between an antenna terminal and ground
US9112478B2 (en) Duplexer
JP5088412B2 (ja) ラダー型弾性波フィルタ
US9124240B2 (en) Acoustic wave device and antenna duplexer employing the same
US9998098B2 (en) Band pass filter and duplexer
US8427259B2 (en) Elastic wave filter, and duplexer and electronic device using same
CN103959647A (zh) 梯型弹性波滤波器和利用该梯型弹性波滤波器的天线共用器
KR101686006B1 (ko) 래더형 필터 및 듀플렉서
JPWO2012032832A1 (ja) 弾性波分波器
JP2011146768A (ja) ラダー型弾性波フィルタと、これを用いたアンテナ共用器
US11962285B2 (en) Acoustic wave device, duplexer, and filter device
CN111162756B (zh) 多工器
WO2017159408A1 (ja) 弾性波装置、帯域通過型フィルタ及び複合フィルタ装置
CN107431471B (zh) 弹性波谐振器、弹性波滤波器以及双工器
JP2011087282A (ja) 弾性境界波フィルタ及びそれを備える分波器
US9154114B2 (en) Acoustic wave device
US10523174B2 (en) Elastic wave device
CN210201798U (zh) 弹性波装置、双工器以及滤波器装置
WO2016031391A1 (ja) ラダー型フィルタ及びデュプレクサ
US8102225B2 (en) Acoustic wave filter device
CN110771040A (zh) 弹性波滤波器装置、复合滤波器装置以及多工器

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant