CN107403749B - 直驱电机取晶装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及半导体封装技术领域，尤其涉及一种直驱电机取晶装置，包括用于吹吸空气的动力装置、电机、设置在电机转轴上的摆臂、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置与气口的气管，所述气管分为两部分，分别为第一气管以及第二气管，且所述电机的转子（1）内设有供空气流通的通道（2），所述第一气管一端与动力装置连通，第一气管另一端与电机的转子内的通道（2）一端连通，所述第二气管一端与电机的转子内的通道（2）另一端连通，且第二气管另一端与摆臂上的气口连通。这种取晶装置工作时气路稳定。

Description

直驱电机取晶装置
技术领域
本发明涉及半导体封装技术领域，尤其涉及一种直驱电机取晶装置。
背景技术
在半导体封装行业中，主要通过取晶装置来进行取晶操作，取晶装置主要包括气路、电机以及设置在电机转轴上的摆臂，气路又包括用于吹吸空气的动力装置、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置以及气口的气管，由于晶圆非常小，所以控制气路的稳定性成为晶圆抓取成功率和稳定性的关键。现有技术气管在安装时需要通过电机然后连接到摆臂的气口上，这样气管会产生弯折，再加上电机运动时，摆臂会随着转动，进而带动气管不规则收缩，会严重影响到气管内气流的稳定性。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种工作时气路稳定的直驱电机取晶装置。
本发明所采用的技术方案是：一种直驱电机取晶装置，包括用于吹吸空气的动力装置、电机、设置在电机转轴上的摆臂、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置与气口的气管，气管分为两部分，分别为第一气管以及第二气管，且电机的转子内设有供空气流通的通道，第一气管一端与动力装置连通，第一气管另一端与电机的转子内的通道一端连通，第二气管一端与电机的转子内的通道另一端连通，且第二气管另一端与摆臂上的气口连通。
采用以上结构与现有技术相比，本发明具有以下优点：首先因为在电机转子内设置了通道，所以可以将气管分成两根，即第一气管与第二气管，这样在布置气路时，第一气管与第二气管均不需要折弯了，而且在电机带动摆臂摆动时，也只有第二气管随着摆臂摆动，而且因为第二气管是直接沿着摆臂设置的，所以摆臂在摆动时不会带动第二气管不规则收缩，这样取晶装置工作时气管内的气流会比较稳定，取晶效果较好。
作为优选，电机包括外壳以及转动连接在外壳内的转子，转子靠近摆臂一端设有出气嘴，转子远离摆臂一端设有进气嘴，且进气嘴分别连接第一气管以及通道，出气嘴分别连通第二气管与通道。在通道两端设置进气嘴与出气嘴，这样气管连接比较方便，且气密性较好。
作为优选，转子远离摆臂一端与进气嘴之间还设有吸嘴连接件，且吸嘴连接件与进气嘴之间设有防漏气垫片。这样设置，进气嘴连接更加方便，而且进气嘴与转子之间的气密性更好。
作为优选，它还包括控制器、分路阀以及气动抱紧机构，气动抱紧机构套设在转子外，分路阀一端出气嘴连通，分路阀的另一端两个出口分别与第二气管以及气动抱紧机构连通，且分路阀以及电机均与控制器电连接。这样设置，当需要停止电机时，控制器收到停止电机信号，然后可以控制分路阀连接气动抱紧机构一端的出口导通，这样动力机构可以带动气动抱紧机构工作，将转子抱紧，使得电机能够快速停止。
附图说明
图1为本发明直驱电机取晶装置中的电机的结构示意图。
如图所示：1、转子；2、通道；3、外壳；4、出气嘴；5、进气嘴；6、吸嘴连接件；7、防漏气垫片。
具体实施方式
以下结合附图与具体实施方式对本发明做进一步描述，但是本发明不仅限于以下具体实施方式。
一种直驱电机取晶装置，包括用于吹吸空气的动力装置、电机、设置在电机转轴上的摆臂、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置与气口的气管，气管分为两部分，分别为第一气管以及第二气管，且电机的转子1内设有供空气流通的通道2，第一气管一端与动力装置连通，第一气管另一端与电机的转子内的通道2一端连通，第二气管一端与电机的转子内的通道2另一端连通，且第二气管另一端与摆臂上的气口连通。
电机包括外壳3以及转动连接在外壳内的转子1，转子1靠近摆臂一端设有出气嘴4，转子1远离摆臂一端设有进气嘴5，且进气嘴5分别连接第一气管以及通道2，出气嘴4分别连通第二气管与通道2。
转子1远离摆臂一端与进气嘴5之间还设有吸嘴连接件6，且吸嘴连接件6与进气嘴5之间设有防漏气垫片7。
它还包括控制器、分路阀以及气动抱紧机构，气动抱紧机构套设在转子外，分路阀一端出气嘴连通，分路阀的另一端两个出口分别与第二气管以及气动抱紧机构连通，且分路阀以及电机均与控制器电连接。
其气路的连接是，首先动力装置连接第一气管一端，然后第一气管另一端连接进气嘴，进气嘴连接通道一端，通道另一端连接出气嘴，出气嘴连接第二气管一端，第二气管另一端连接气口，实现了一次完整的气路，而且因为主要产生工作的是电机处，而电机转动时，进气嘴是不动的，这样就不会带动第一气管不规则的收缩折弯，而第二气管因为是沿着摆臂设置的，所以摆动动的时候，第二气管整体随着摆动在动，所以第二气管也不会产生收缩或者弯折的情况，这样气路整体就很稳定，进而使得取晶效果较好。

Claims (2)

1.一种直驱电机取晶装置，包括用于吹吸空气的动力装置、电机、设置在电机转轴上的摆臂、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置与气口的气管，其特征在于：所述气管分为两部分，分别为第一气管以及第二气管，且所述电机的转子(1)内设有供空气流通的通道(2)，所述第一气管一端与动力装置连通，第一气管另一端与电机的转子内的通道(2)一端连通，所述第二气管一端与电机的转子内的通道(2)另一端连通，且第二气管另一端与摆臂上的气口连通；所述电机包括外壳(3)以及转动连接在外壳内的转子(1)，所述转子(1)靠近摆臂一端设有出气嘴(4)，所述转子(1)远离摆臂一端设有进气嘴(5)，且所述进气嘴(5)分别连接第一气管以及通道(2)，所述出气嘴(4)分别连通第二气管与通道(2)；它还包括控制器、分路阀以及气动抱紧机构，所述气动抱紧机构套设在转子外，所述分路阀一端出气嘴连通，所述分路阀的另一端两个出口分别与第二气管以及气动抱紧机构连通，且所述分路阀以及电机均与控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的直驱电机取晶装置，其特征在于：所述转子(1)远离摆臂一端与进气嘴(5)之间还设有吸嘴连接件(6)，且所述吸嘴连接件(6)与进气嘴(5)之间设有防漏气垫片(7)。
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