CN107377424B - 一种霍尔线圈和基于霍尔线圈的霍尔产品测试线圈装置及测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种霍尔线圈和基于霍尔线圈的霍尔产品测试线圈装置及测试方法，属于芯片测试技术领域。本发明的霍尔线圈包括工字形支架及包覆在工字形支架中间部分的漆包线卷，工字形支架一端为环台，环台中心处为圆形凹槽；圆形凹槽的中心处为圆形通孔。霍尔产品测试线圈装置包括霍尔线圈、项圈、基座和霍尔测试片；基座为圆环形，嵌入圆形凹槽内，基座中间为方形的项圈定位孔，项圈嵌入项圈定位孔内；霍尔测试片固定于基座的上表面，形成霍尔测试片和霍尔活动夹的定位及固定装置，以保证待测产品在稳定的磁场内有稳定的测试平台。本发明解决了芯片测试过程中，霍尔线圈在测试区的磁场不够稳定、测得的高斯量最大与最小之差值很大的问题。

Description

一种霍尔线圈和基于霍尔线圈的霍尔产品测试线圈装置及测 试方法

技术领域

本发明涉及芯片测试技术领域，尤其涉及一种霍尔线圈和基于霍尔线圈的霍尔产品测试线圈装置及测试方法。

背景技术

目前，在半导体集成电路制造工艺中，需要对切割封装后的成品芯片进行进一步测试，测试过程中，霍尔线圈起到提供磁场的作用。

如图2所示，原普通的霍尔线圈在测试区无法产生稳定的磁场，产品参数在设定的范围内容易跳边，这是由于产品在测试时因线圈结构的原因只能在线圈上方3mm(板厚3mm)处测试，当调整吸嘴行程时，吸嘴下的产品便会在线圈外围磁场上下动作，而线圈外围磁场是极其不稳定的，离线圈越近磁场就越大，故产品测得的高斯量最大与最小之差值很大。

经检索，中国专利申请，申请号：201510949562.5，公开日：2016.05.04，公开了一种霍尔巴赫磁体匀场线圈及其设计方法，具体针对霍尔巴赫磁体的结构特点和主磁场方向，根据磁场结构特征对电流密度函数进行灵活设计，然后利用比奥萨瓦特定律推导出电流密度与主磁场之间的关系，从而反演出电流分布函数，同时考虑匀场线圈对功率损耗函数，线性度等参数的要求，对线圈结构进行优化。该发明对霍尔巴赫磁体给出两种结构的线圈结果，在结构复杂度和性能方面各有利弊，可根据实际需求灵活进行选择。该发明理论性强，应用于成品芯片的测试时，还需要进行相应的数据转化和具体的结构设计。

发明内容

1.发明要解决的技术问题

针对现有技术中成品芯片测试过程中，霍尔线圈在测试区的磁场不够稳定、测得的高斯量最大与最小之差值很大的问题，本发明提供了一种霍尔线圈和基于霍尔线圈的霍尔产品测试线圈装置及测试方法。它通过在霍尔线圈的一端巧妙设计容纳霍尔测试片的沉孔，达到提供稳定磁场的目的。

2.技术方案

为达到上述目的，本发明提供的技术方案为：

一种霍尔线圈，包括工字形支架及包覆在工字形支架中间部分的漆包线卷，所述工字形支架一端为环台，环台中心处为圆形凹槽；所述圆形凹槽的中心处为圆形通孔。将待测产品置入圆形凹槽内进行检测，检测时，受到的外界干扰减少，并提供了稳定的磁场。

进一步的技术方案，圆形凹槽的深度不小于基座、测试片和待测产品的厚度之和，以保证待测产品不会凸出于圆形凹槽之外，进而保证测试磁场的稳定性。

进一步的技术方案，环台上，由圆形凹槽向外开有两个左右对称的开槽，提供了待测产品的进出通道。

进一步的技术方案，漆包线卷的两端和环台直接接触(无需垫片)，避免不必要的磁场干扰因素，漆包线卷的周边外露，以提高磁场的效率。

一种霍尔产品测试线圈装置，包括霍尔线圈、项圈、基座和霍尔测试片；所述基座为圆环形，嵌入圆形凹槽内，基座中间为方形的项圈定位孔，项圈嵌入项圈定位孔内；所述霍尔测试片固定于基座的上表面，形成霍尔测试片和霍尔活动夹的定位及固定装置，以保证待测产品在稳定的磁场内有稳定的测试平台。

进一步的技术方案，霍尔测试片包括霍尔测试片B和2个霍尔测试片A；所述基座的上表面设置有配合霍尔测试片B和2个霍尔测试片A形状、大小的测试片凹槽；2个霍尔测试片A呈对称设置，卡入测试片凹槽内；霍尔测试片B也卡入适配的测试片凹槽内，可以让霍尔测试片B和2个霍尔测试片A在有限的圆形凹槽内的空间内不占用过多的空间，并能限定两测试片的位移。

进一步的技术方案，霍尔测试片A的中部凸起呈2个卡凸，2个卡凸之间为卡槽；所述霍尔测试片B的一端呈逐渐收窄后的触凸；所述2个霍尔测试片A形成的4个卡凸和触凸的端部相对，形成待测产品两侧引脚的接触端，以方便待测产品测试时精准定位。

进一步的技术方案，项圈的底面设置圆形的内嵌凸台，并通过内嵌凸台内嵌入圆形通孔内；所述内嵌凸台的中部设置有方孔，所述方孔用于锁固霍尔活动夹，形成稳定的待测产品短暂的固定机构，防止测试时待测产品的位移。

进一步的技术方案，霍尔活动夹端部的中心处设置有顶杆，配合分选机吸嘴将待测产品顶出，避免测试时产品的叠加。

一种霍尔产品测试线圈装置的测试方法，步骤为：

步骤一、待测产品压入：芯片分选机吸嘴将待测产品中部的封装体吸附后压入圆形凹槽内的霍尔活动夹；

步骤二、待测产品的测试：待测产品两侧的引脚接触霍尔测试片进行测试并记录；

步骤三、待测产品的顶出：测试完成后，分选机吸嘴上升，吸嘴上的待测产品在真空吸附作用下，将待测产品取出；

步骤四、重复步骤一至三，测试另外的待测产品。

3.有益效果

采用本发明提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：

(1)本发明的一种霍尔线圈，可以将待测产品置入圆形凹槽内进行检测，检测时，受到的外界干扰大幅减少，并提供了稳定的磁场；

(2)本发明的一种霍尔线圈，圆形凹槽的深度结合基座、测试片和待测产品的厚度设计，能保证待测产品不会凸出于圆形凹槽之外，进而保证测试磁场的稳定性；

(3)本发明的一种霍尔线圈，外开两个左右对称的开槽，提供了待测产品的进出通道，限定其运行轨迹，并减少了吸嘴在有限的操作空间内上下的升降幅度，进而提高了生产效率；

(4)本发明的一种霍尔线圈，漆包线卷无需额外的防护装置，即有利于保持磁场的原有效率，又避免了不必要的干扰；

(5)本发明的一种霍尔产品测试线圈装置，基座和项圈分别作为霍尔测试片和霍尔活动夹的定位及固定装置，以保证待测产品在稳定的磁场内有稳定的测试平台；

(6)本发明的一种霍尔产品测试线圈装置，适配的霍尔测试片A、B和基座的凹槽，可以让霍尔测试片B和2个霍尔测试片A在有限的圆形凹槽内的空间内不占用过多的空间，并能限定两测试片的位移；

(7)本发明的霍尔产品测试线圈装置，4个卡凸和触凸的端部相对，形成待测产品两侧引脚的接触端，能方便待测产品测试时精准定位；

(8)本发明的霍尔产品测试线圈装置，内嵌凸台及方孔的设置，形成测试时稳定的待测产品短暂的固定机构，防止测试时待测产品的位移；

(9)本发明的霍尔产品测试线圈装置，顶杆可以配合分选机吸嘴将待测产品顶出，避免测试时产品的叠加；

(10)本发明的霍尔产品测试线圈装置的测试方法，采用了自我设计的霍尔线圈后，测得的参数极其稳定，在维修调整吸嘴高度(由于接触原因导致的调整)后不会影响测得的高斯值，提高了产品质量，减少了调机时间，提高了劳动效率。

附图说明

图1为本发明的霍尔产品测试线圈装置结构示意图；

图2为现有技术的霍尔产品测试线圈装置结构示意图；

图3为本发明中的基座和测试片装配后的俯视图；

图4为本发明中基座的俯视图；

图5为本发明中基座的侧视图；

图6为本发明中霍尔测试片A的结构示意图；

图7为本发明中霍尔测试片B的结构示意图；

图8为本发明中项圈的结构示意图；

图9为本发明中项圈的侧视图；

图10为本发明中工字形支架的侧视图；

图11为本发明中工字形支架的俯视图；

图12为本发明中工字形支架的立体图；

图13为本发明中待测产品的结构示意图；

图14为本发明中待测产品的侧视图。

图中：1、霍尔线圈；2、项圈；3、基座；4、霍尔测试片A；5、霍尔测试片B；6、霍尔活动夹；8、待测产品；11、漆包线卷；12、工字形支架；21、内嵌凸台；22、方孔；31、测试片凹槽；32、项圈定位孔；41、卡凸；42、卡槽；51、触凸；61、顶杆；81、引脚；82、封装体；121、环台；122、开槽；123、圆形通孔；124、圆形凹槽。

具体实施方式

为进一步了解本发明的内容，结合附图对本发明作详细描述。

实施例1

本实施例的霍尔产品测试线圈装置，如图1所示，包括霍尔线圈1、项圈2、基座3和霍尔测试片；如图10、11所示，霍尔线圈包括工字形支架12及包覆在工字形支架12中间部分的漆包线卷11，所述工字形支架12一端为环台121，环台121中心处为圆形凹槽124；所述圆形凹槽124的中心处为圆形通孔123。可以将待测产品8置入圆形凹槽124内进行检测，检测时，受到的外界干扰减少，并提供了稳定的磁场。所述基座3为圆环形，嵌入圆形凹槽124内，基座3中间为方形的项圈定位孔32，项圈2嵌入项圈定位孔32内；所述霍尔测试片固定于基座3的上表面，形成霍尔测试片和霍尔活动夹6的定位及固定装置，以保证待测产品6在稳定的磁场内有稳定的测试平台。

实施例2

本实施例的霍尔产品测试线圈装置，基本结构同实施例1，不同和改进之处在于：圆形凹槽124的深度不小于基座3、测试片和待测产品8的厚度之和，以保证待测产品8不会凸出于圆形凹槽124之外，进而保证测试磁场的稳定性。如图11、12所示，工字形支架12的环台121上，由圆形凹槽124向外开有两个左右对称的开槽122，提供了待测产品8的进出通道。

实施例3

本实施例的霍尔产品测试线圈装置，基本结构同实施例2，不同和改进之处在于：霍尔线圈的漆包线卷11的两端和环台121直接接触(无需垫片)，避免不必要的磁场干扰因素，漆包线卷11的周边外露，以提高磁场的效率。

实施例4

本实施例的霍尔产品测试线圈装置，基本结构同实施例3，不同和改进之处在于：如图3、4、5所示，霍尔测试片包括霍尔测试片B5和2个霍尔测试片A4；所述基座3的上表面设置有配合霍尔测试片B5和2个霍尔测试片A4形状、大小的测试片凹槽31；2个霍尔测试片A4呈对称设置，卡入测试片凹槽31内；霍尔测试片B5也卡入适配的测试片凹槽31内，可以让霍尔测试片B5和2个霍尔测试片A4在有限的圆形凹槽124内的空间内不占用过多的空间，并能限定两测试片的位移。

实施例5

本实施例的霍尔产品测试线圈装置，基本结构同实施例4，不同和改进之处在于：如图6所示，霍尔测试片A4的中部凸起呈2个卡凸41，2个卡凸41之间为卡槽42；如图7所示，所述霍尔测试片B5的一端呈逐渐收窄后的触凸51；所述2个霍尔测试片A4形成的4个卡凸41和触凸51的端部相对，形成待测产品8两侧引脚81的接触端，以方便待测产品8测试时精准定位。

实施例6

本实施例的霍尔产品测试线圈装置，基本结构同实施例4，不同和改进之处在于：如图9所示，项圈2的底面设置圆形的内嵌凸台21，并通过内嵌凸台21内嵌入圆形通孔123内；如图8所示，所述内嵌凸台21的中部设置有方孔22，所述方孔22用于锁固霍尔活动夹6，形成稳定的待测产品8短暂的固定机构，防止测试时待测产品8的位移。

本实施例的霍尔产品测试线圈装置的测试方法，步骤为：

步骤一、待测产品压入：芯片分选机吸嘴将待测产品8中部的封装体82吸附后压入圆形凹槽124内的霍尔活动夹6；

步骤二、待测产品的测试：待测产品8两侧的引脚81接触霍尔测试片进行测试并记录；

步骤三、待测产品的顶出：测试完成后，分选机吸嘴上升，吸嘴上的待测产品8在真空吸附作用下，将待测产品8取出；

步骤四、重复步骤一至三，测试另外的待测产品8。

实施例7

本实施例的霍尔产品测试线圈装置，基本结构同实施例6，不同和改进之处在于：如图2所示，霍尔活动夹6端部的中心处设置有顶杆61，配合分选机吸嘴将待测产品8顶出，避免测试时产品的叠加。

本实施例的霍尔产品测试线圈装置的测试方法，步骤为：

步骤一、待测产品压入：芯片分选机吸嘴将待测产品8中部的封装体82吸附后压入圆形凹槽124内的霍尔活动夹6；

步骤二、待测产品的测试：待测产品8两侧的引脚81接触霍尔测试片进行测试并记录；

步骤三、待测产品的顶出：测试完成后，分选机吸嘴上升，吸嘴上的待测产品8在真空吸附作用和顶杆61的配合作用下，将待测产品8顶出霍尔活动夹6并吸附后取出；

步骤四、重复步骤一至三，测试另外的待测产品8。

实施例8

本实施例的霍尔产品测试线圈装置，基本结构同实施例7，不同和改进之处在于：圆形凹槽124槽深4.0mm，规格为Φ25.0*4.0mm，基座3规格为Φ24.9*2.7mm，测试片凹槽31槽深0.2mm，霍尔测试片B5和2个霍尔测试片A4的厚度均为0.2mm，待测产品8比如SOT26的厚度为1.1mm，则基座3、测试片凹槽31内霍尔测试片和SOT26的厚度之和为3.8mm﹤4.0mm。项圈定位孔32为正方形，边长10.0mm，和项圈2的形状和大小一致，项圈2内的方孔22规格为1.4*4.0mm，和霍尔活动夹6的顶端规格一致。

本实施例的霍尔产品测试线圈装置的测试方法，步骤为：

步骤一、霍尔活动夹的装配：用项圈2内的方孔22套在霍尔活动夹6的顶端后，将霍尔活动夹6插入圆形通孔123内，项圈2的内嵌凸台21嵌入圆形通孔123内；

步骤二、基座定位：将霍尔测试片B5和2个霍尔测试片A4嵌入各自的测试片凹槽31后，旋转90°，将基座3嵌入圆形凹槽124内，使霍尔测试片B5和2个霍尔测试片A4的长度方向和开槽122呈垂直关系，起到防止霍尔测试片位移的效果；并注意将项圈2嵌入项圈定位孔32内；

步骤三、SOT26压入：芯片分选机吸嘴将SOT26中部的如图14所示的封装体82吸附后压入圆形凹槽124内的霍尔活动夹6；

步骤四、SOT26的测试：如图13、14所示的SOT26两侧的引脚81接触霍尔测试片进行测试并记录；

步骤五、待测产品的顶出：测试完成后，分选机吸嘴上升，吸嘴上的SOT26在真空吸附作用和顶杆61的配合作用下，将SOT26顶出霍尔活动夹6并吸附后取出；

步骤六、重复步骤一至三，测试另外的SOT26。

本实施例的霍尔产品测试线圈装置的测试方法，在NIT机台上作了长期测试，SOT26在霍尔线圈1内下方0.2mm处测试，经测试参数稳定，不受吸嘴下压行程的影响，提高了测试效率。

以上示意性的对本发明及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本发明的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本发明创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种霍尔产品测试线圈装置，其特征在于，包括霍尔线圈（1）、项圈（2）、基座（3）和霍尔测试片；所述霍尔线圈（1）包括工字形支架（12）及包覆在工字形支架（12）中间部分的漆包线卷（11），所述工字形支架（12）一端为环台（121），环台（121）中心处为圆形凹槽（124）；所述圆形凹槽（124）的中心处为圆形通孔（123）；

所述圆形凹槽（124）的深度不小于基座（3）、测试片和待测产品（8）的厚度之和；

所述环台（121）上，由圆形凹槽（124）向外开有两个左右对称的开槽（122）；

所述基座（3）为圆环形，嵌入圆形凹槽（124）内，基座（3）中间为方形的项圈定位孔（32），项圈（2）嵌入项圈定位孔（32）内；所述霍尔测试片固定于基座（3）的上表面。

2.根据权利要求1所述的霍尔产品测试线圈装置，其特征在于：所述漆包线卷（11）的两端和环台（121）直接接触，漆包线卷（11）的周边外露。

3.根据权利要求2所述的霍尔产品测试线圈装置，其特征在于：所述霍尔测试片包括霍尔测试片B（5）和2个霍尔测试片A（4）；所述基座（3）的上表面设置有配合霍尔测试片B（5）和2个霍尔测试片A（4）形状、大小的测试片凹槽（31）；2个霍尔测试片A（4）呈对称设置，卡入测试片凹槽（31）内；霍尔测试片B（5）也卡入适配的测试片凹槽（31）内。

4.根据权利要求3所述的霍尔产品测试线圈装置，其特征在于：所述霍尔测试片A（4）的中部凸起呈2个卡凸（41），2个卡凸（41）之间为卡槽（42）；所述霍尔测试片B（5）的一端呈逐渐收窄后的触凸（51）；所述2个霍尔测试片A（4）形成的4个卡凸（41）和触凸（51）的端部相对，形成待测产品（8）两侧引脚（81）的接触端。

5.根据权利要求4所述的霍尔产品测试线圈装置，其特征在于：所述项圈（2）的底面设置圆形的内嵌凸台（21），并通过内嵌凸台（21）内嵌入圆形通孔（123）内；所述内嵌凸台（21）的中部设置有方孔（22），所述方孔（22）用于锁固霍尔活动夹（6）。

6.根据权利要求5所述的霍尔产品测试线圈装置，其特征在于：所述霍尔活动夹（6）端部的中心处设置有顶杆（61）。

7.一种权利要求1至6任一所述霍尔产品测试线圈装置的测试方法，其特征在于：步骤为：

步骤一、待测产品压入：芯片分选机吸嘴将待测产品（8）中部的封装体（82）吸附后压入圆形凹槽（124）内的霍尔活动夹（6）；

步骤二、待测产品的测试：待测产品（8）两侧的引脚（81）接触霍尔测试片进行测试并记录；

步骤三、待测产品的顶出：测试完成后，分选机吸嘴上升，吸嘴上的待测产品（8）在真空吸附作用下，将待测产品（8）取出；

步骤四、重复步骤一至三，测试另外的待测产品（8）。

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