CN107357454A - 一种带有ito消影膜的触控屏的生产工艺 - Google Patents

一种带有ito消影膜的触控屏的生产工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN107357454A
CN107357454A CN201710473799.XA CN201710473799A CN107357454A CN 107357454 A CN107357454 A CN 107357454A CN 201710473799 A CN201710473799 A CN 201710473799A CN 107357454 A CN107357454 A CN 107357454A
Authority
CN
China
Prior art keywords
ito
touch
film
layer
control panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
CN201710473799.XA
Other languages
English (en)
Inventor
司荣美
潘中海
刘彩风
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tianjin Baoxingwei Technology Co Ltd
Original Assignee
Tianjin Baoxingwei Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tianjin Baoxingwei Technology Co Ltd filed Critical Tianjin Baoxingwei Technology Co Ltd
Priority to CN201710473799.XA priority Critical patent/CN107357454A/zh
Publication of CN107357454A publication Critical patent/CN107357454A/zh
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)

Abstract

本发明是一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺，包括以下步骤：首先对触控屏基板进行调质处理，然后用超声波进行清洗；在触控屏基板周边丝印油墨，然后在触控屏基板衬底上分别镀上Nb2O5和SiO2膜层作为消影层；然后再镀层ITO膜；对所述ITO膜层进行蚀刻，最后在导电膜层上压合柔性线路板，在导电膜层上实现柔性线路板的压合实现功能片。本发明在ITO膜层下方镀有由Nb2O5和SiO2组成的膜层，使刻蚀之后的触控屏表面ITO区域和非ITO区域的反射率非常接近，以减弱视觉反差，达到消影目的，并且镀有消影层的ITO触控膜在可见光范围内透过率均匀性较好，有利于获得更好的显示效果。

Description

一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺
技术领域
本发明涉及触控屏生产领域，尤其涉及一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺。
背景技术
目前，智能手机、平板电脑等电子产品一般均采用触控屏，其生产工艺一般为在基板表面镀上ITO(氧化铟锡)导电层，并通过光刻等途径将ITO制成横向与纵向电极阵列，起感应作用，是式触控屏的触控核心部件。目前ITO图形制作普遍采用的是化学腐蚀的方法，ITO玻璃在蚀刻后，表面有ITO的区域的反射率和无ITO的区域的反射率相差较大，导致视觉反差明显，会在ITO传感器表面上看到ITO电极影，影响屏幕的整体显示效果和美观。
发明内容
本发明旨在解决现有技术的不足，而提供一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺。
本发明为实现上述目的，采用以下技术方案：一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
①对触控屏基板进行调质处理，调质温度设定为120℃～140℃，对触控屏基板进行热调质，调质时间20～30min；调质后，利用低压石英汞灯，对触控屏基板进行紫外线照射，并且采用抽风系统将照射区域气体排走；
②采用超声波对调质后的触控屏进行清洗；
③在触控屏基板的底面周边丝印油墨，形成油墨边框层，并对印有油墨的触控屏基板进行烘烤，所述油墨边框层围成视窗区；
④采用双靶中频反应磁控溅射的方法在触控屏基板衬底上分别镀上Nb2O5和SiO2膜层作为消影层；
⑤采用直流磁控溅镀的方法，在Nb2O5和SiO2膜层上镀一层ITO膜，采用的靶材是铟锡氧化物陶瓷靶，该ITO膜覆盖所述油墨边框层和视窗区；
⑥对所述ITO膜层进行蚀刻，形成ITO导电层；
⑦在导电膜层上压合柔性线路板。
特别的，所述步骤④中的SiO2膜采用高纯度硅靶材，纯度为99.99％，Nb2O5膜采用的是纯度为99.9％的铌靶。
特别的，所述步骤⑤中铟锡氧化物陶瓷靶中In2O3和SnO2的质量比为9：1，纯度为99.99％。
特别的，所述步骤④和所述步骤⑤中的镀膜过程中通入高纯氩气作为放电气体，通入高纯氧气作为反应气体。
特别的，所述触控屏基板为钠钙硅酸盐玻璃。
本发明的有益效果是：本发明在ITO膜层下方镀有由Nb2O5和SiO2组成的膜层，通过Nb2O5和SiO2的调节作用，使刻蚀之后的触控屏表面ITO区域和非ITO区域的反射率非常接近，以减弱视觉反差，达到消影目的，并且镀有消影层的ITO触控膜在可见光范围内透过率均匀性较好，有利于获得更好的显示效果。
附图说明
图1为本发明的ITO膜层与消影层的结构示意图；
图中：1-触控屏基板；2-Nb2O5膜层；3-SiO2膜层；4-ITO膜层；
以下将结合本发明的实施例参照附图进行详细叙述。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明：
实施例1
如图1所示，一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
①对钠钙硅酸盐玻璃基板进行调质处理，调质温度设定为140℃，对触控屏基板进行热调质，调质时间30min；调质后，利用低压石英汞灯，对触控屏基板进行紫外线照射，并且采用抽风系统将照射区域气体排走；
②采用超声波对调质后的触控屏进行清洗；
③在触控屏基板的底面周边丝印油墨，形成油墨边框层，并对印有油墨的触控屏基板进行烘烤，所述油墨边框层围成视窗区；
④采用双靶中频反应磁控溅射的方法在触控屏基板衬底上分别镀上Nb2O5和SiO2膜层作为消影层，SiO2膜采用高纯度硅靶材，纯度为99.99％，Nb2O5膜采用的是纯度为99.9％的铌靶；
⑤采用直流磁控溅镀的方法，在Nb2O5和SiO2膜层上镀一层ITO膜，采用的靶材是铟锡氧化物陶瓷靶，In2O3和SnO2的质量比为9：1，纯度为99.99％，该ITO膜覆盖所述油墨边框层和视窗区；
⑥对所述ITO膜层进行蚀刻，形成ITO导电层；
⑦在导电膜层上压合柔性线路板。
特别的，所述步骤④和所述步骤⑤中的镀膜过程中通入高纯氩气作为放电气体，通入高纯氧气作为反应气体。
实施例2
一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
①对钠钙硅酸盐玻璃基板进行调质处理，调质温度设定为120℃，对触控屏基板进行热调质，调质时间20min；调质后，利用低压石英汞灯，对触控屏基板进行紫外线照射，并且采用抽风系统将照射区域气体排走；
②采用超声波对调质后的触控屏进行清洗；
③在触控屏基板的底面周边丝印油墨，形成油墨边框层，并对印有油墨的触控屏基板进行烘烤，所述油墨边框层围成视窗区；
④采用双靶中频反应磁控溅射的方法在触控屏基板衬底上分别镀上Nb2O5和SiO2膜层作为消影层，SiO2膜采用高纯度硅靶材，纯度为99.99％，Nb2O5膜采用的是纯度为99.9％的铌靶；
⑤采用直流磁控溅镀的方法，在Nb2O5和SiO2膜层上镀一层ITO膜，采用的靶材是铟锡氧化物陶瓷靶，In2O3和SnO2的质量比为9：1，纯度为99.99％，该ITO膜覆盖所述油墨边框层和视窗区；
⑥对所述ITO膜层进行蚀刻，形成ITO导电层；
⑦在导电膜层上压合柔性线路板。
特别的，所述步骤④和所述步骤⑤中的镀膜过程中通入高纯氩气作为放电气体，通入高纯氧气作为反应气体。
上面结合附图对本发明进行了示例性描述，显然本发明具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进直接应用于其它场合的，均在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
①对触控屏基板进行调质处理，调质温度设定为120℃～140℃，对触控屏基板进行热调质，调质时间20～30min；调质后，利用低压石英汞灯，对触控屏基板进行紫外线照射，并且采用抽风系统将照射区域气体排走；
②采用超声波对调质后的触控屏基板进行清洗；
③在触控屏基板的底面周边丝印油墨，形成油墨边框层，并对印有油墨的触控屏基板进行烘烤，所述油墨边框层围成视窗区；
④采用双靶中频反应磁控溅射的方法在触控屏基板衬底上分别镀上Nb2O5和SiO2膜层作为消影层；
⑤采用直流磁控溅镀的方法，在Nb2O5和SiO2膜层上镀一层ITO膜，采用的靶材是铟锡氧化物陶瓷靶，该ITO膜覆盖所述油墨边框层和视窗区；
⑥对所述ITO膜层进行蚀刻，形成ITO导电层；
⑦在导电膜层上压合柔性线路板。
2.根据权利要求1所述的一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺，其特征在于，所述步骤④中的SiO2膜采用高纯度硅靶材，纯度为99.99％，Nb2O5膜采用的是纯度为99.9％的铌靶。
3.根据权利要求2所述的一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺，其特征在于，所述步骤⑤中铟锡氧化物陶瓷靶中In2O3和SnO2的质量比为9：1，纯度为99.99％。
4.根据权利要求3所述的一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺，其特征在于，所述步骤④和所述步骤⑤中的镀膜过程中通入高纯氩气作为放电气体，通入高纯氧气作为反应气体。
5.根据权利要求4所述的一种带有ITO消影膜的触控屏的生产工艺，其特征在于，所述触控屏基板为钠钙硅酸盐玻璃。
CN201710473799.XA 2017-06-21 2017-06-21 一种带有ito消影膜的触控屏的生产工艺 Withdrawn CN107357454A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710473799.XA CN107357454A (zh) 2017-06-21 2017-06-21 一种带有ito消影膜的触控屏的生产工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710473799.XA CN107357454A (zh) 2017-06-21 2017-06-21 一种带有ito消影膜的触控屏的生产工艺

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107357454A true CN107357454A (zh) 2017-11-17

Family

ID=60272342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710473799.XA Withdrawn CN107357454A (zh) 2017-06-21 2017-06-21 一种带有ito消影膜的触控屏的生产工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107357454A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109002236A (zh) * 2018-07-20 2018-12-14 京东方科技集团股份有限公司 一种柔性触摸屏、其制作方法及显示装置
CN110184567A (zh) * 2019-06-27 2019-08-30 信利光电股份有限公司 一种膜层结构、膜层结构的制备方法和触控屏
CN113066942A (zh) * 2021-03-19 2021-07-02 芜湖长信科技股份有限公司 一种oled的imito结构及oled消影镀膜方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013034181A1 (en) * 2011-09-07 2013-03-14 Applied Materials, Inc. Method and system for manufacturing a transparent body for use in a touch panel
CN103102084A (zh) * 2013-01-21 2013-05-15 深圳市正星光电技术有限公司 一种宽波段高透过率ogs用玻璃及其制造方法
CN104123042A (zh) * 2014-08-04 2014-10-29 金龙机电（东莞）有限公司 一种触摸屏的生产工艺及触摸屏

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013034181A1 (en) * 2011-09-07 2013-03-14 Applied Materials, Inc. Method and system for manufacturing a transparent body for use in a touch panel
KR20140074922A (ko) * 2011-09-07 2014-06-18 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 터치 패널에서 사용하기 위한 투명 보디를 제조하는 방법 및 시스템
CN103102084A (zh) * 2013-01-21 2013-05-15 深圳市正星光电技术有限公司 一种宽波段高透过率ogs用玻璃及其制造方法
CN104123042A (zh) * 2014-08-04 2014-10-29 金龙机电（东莞）有限公司 一种触摸屏的生产工艺及触摸屏

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109002236A (zh) * 2018-07-20 2018-12-14 京东方科技集团股份有限公司 一种柔性触摸屏、其制作方法及显示装置
US11144142B2 (en) 2018-07-20 2021-10-12 Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Group Co., Ltd. Flexible touch screen, manufacturing method thereof and display device
CN110184567A (zh) * 2019-06-27 2019-08-30 信利光电股份有限公司 一种膜层结构、膜层结构的制备方法和触控屏
CN113066942A (zh) * 2021-03-19 2021-07-02 芜湖长信科技股份有限公司 一种oled的imito结构及oled消影镀膜方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103294307B (zh) 一种改进的ogs触摸屏制作方法
CN103294308B (zh) 一种改进的gf结构触摸屏及其fpc连接方法
CN107357454A (zh) 一种带有ito消影膜的触控屏的生产工艺
CN102629628B (zh) 一种tft阵列基板及其制造方法和液晶显示器
CN102402338A (zh) 一种触摸屏面板及其制造方法
EP3285152B1 (en) Touch control display device having high resistance layer
CN105742292A (zh) 阵列基板的制作方法及制得的阵列基板
JP2014525069A (ja) 両面導電膜を製造するための新しいプロセス
CN102495702A (zh) 一种抗干扰的单玻璃电容式触控面板及其制作方法
WO2014034575A1 (ja) 透明電極付き基板の製造方法、および透明電極付き基板
CN104123042A (zh) 一种触摸屏的生产工艺及触摸屏
CN103294310A (zh) 一种ogs触摸屏的制作方法
CN102953037B (zh) 一种超薄玻璃基板上导电膜的制备方法
CN204155240U (zh) 一种新型触控显示模组
WO2014180052A1 (zh) 彩色滤光片基板及其氧化铟锡薄膜图案结构、制作方法、液晶显示器
CN105819703A (zh) 一种具有消影功能的电容式触摸屏用导电玻璃的制备方法
KR20170112310A (ko) 투명 전극 구조체 및 이의 제조방법
CN105739759B (zh) 一体化触摸装置的制作方法
CN104035637A (zh) 一种ogs触摸屏的制作工艺
CN102674669B (zh) 一种玻璃基板的固定方法
CN202145304U (zh) 高透触摸屏玻璃及投射式电容触摸屏
CN202838283U (zh) 一种电容触摸屏
CN204423336U (zh) 触摸面板、触摸屏和显示装置
JP4099911B2 (ja) 透明導電膜形成基板及び形成方法
CN112209626A (zh) 一种高阻膜及其制备方法与应用

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WW01 Invention patent application withdrawn after publication
WW01 Invention patent application withdrawn after publication

Application publication date: 20171117