CN107261692A - 超纯纳米电子级气体过滤装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种超纯纳米电子级气体过滤装置，包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空间，待过滤气体的传送发生在第一空间，已过滤气体的传送发生在第二空间，与第一空间相通的封头上设置有进气接头，与第二空间相通的封头上设置有出气接头。本发明中的气体过滤装置过滤精度及过滤效率高、结构强度高、使用寿命长。

Description

超纯纳米电子级气体过滤装置
技术领域
本发明属于气体净化设备技术领域，具体涉及一种超纯纳米电子级气体过滤装置。
背景技术
超纯电子级气体由氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各类气体氢化物及二元或三元以上的混合气等组成，它们大部分是从空气、天然气、石油化工和合成氨厂的残余气体中提取后进一步精制得到。超纯电子级气体通常根据原料气来源情况、杂质组份含量、纯度要求来选择相应的制备方法。集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求。在超纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，在使用气前须安装过滤器。
目前国内电子级气体整体水平和国外还有较大的差距，纯度在99.999％以上的电子级气体几乎全部依赖国外进口。和快速发展的国内微电子产业相比，与之相关的国内电子级气体的研究与生产相对落后。解决国内半导体、微电子、LED、光伏等行业对国外进口电子级气体的依赖。对超纯纳米电子级气体的生产工艺及过滤技术研究已经非常有必要、并且意义重大。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，提供一种超纯纳米电子级气体过滤装置，可以解决现有技术中气体过滤装置过滤精度低以及过滤效率低、结构强度弱、使用寿命短的技术问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案：一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空间，待过滤气体的传送发生在第一空间，已过滤气体的传送发生在第二空间，与第一空间相通的封头上设置有进气接头，与第二空间相通的封头上设置有出气接头。
本发明中，采用独特的金属烧结滤芯替代传统的陶瓷膜滤芯，使得超纯纳米电子级气体过滤装置能耐更高的温度和压力，其过滤效率更高，结构强度更好，且使用寿命更长。且过滤器采用封闭式结构，可以防止过滤过程中引入污染；此外本发明装置中，筒体两端的封头上分别设置有接头，使本发明不但实现过滤气体的功能，同时还能实现反吹功能，即通过出气接头通入洁净气体至金属烧结滤芯内，使金属烧结滤芯外表面杂质吹落，滤芯重新保持洁净，可以进一步循环使用。
进一步地，所述金属烧结滤芯为一端开口、另一端封闭的管状滤芯，且所述管状滤芯水平间隔排列在第一空间内，开口一端的所述管状滤芯与所述花盘固定。
本发明中，管状滤芯水平间隔排列可以提高单根滤芯的过滤效果，有效延长超纯纳米电子级气体过滤装置的使用寿命。
更进一步地，所述筒体上设置有多孔支撑板，管状滤芯的封闭一端固定在多孔支撑板上。
本发明中，在筒体的第一空间内还安装有多孔支撑板，用于固定管状滤芯，可以保证滤芯的强度和稳定性；同时多孔支撑板对进入的气体进行布气，进一步提高单根滤芯的过滤效果，延长其使用寿命。
进一步地，所述进气接头与出气接头均为VCR接头。
采用独特的VCR接头可以保证出气接头与进气接头具备良好的气密性，降低泄漏率，从而有效避免气源泄露造成的危险。
进一步地，所述封头与筒体之间通过焊接连接；所述金属烧结滤芯采用焊接连接。采用焊接固定可以提高器件的固定强度，同时也可以避免安装金属烧结滤芯造成的二次污染。
进一步地，所述筒体与封头的粗糙度低于0.2。
本发明的有益效果：
1、本发明中，采用独特的金属烧结滤芯替代传统的陶瓷膜滤芯，使得超纯纳米电子级气体过滤装置能耐更高的温度和压力，其过滤效率更高，结构强度更好，且使用寿命更长。且过滤器采用封闭式结构，可以防止过滤过程中引入污染；此外本发明装置中，筒体两端的封头上分别设置有接头，使本发明不但实现过滤气体的功能，同时还能实现反吹功能，即通过出气接头通入洁净气体至金属烧结滤芯内，使金属烧结滤芯外表面杂质吹落，滤芯重新保持洁净，可以进一步循环使用。
2、本发明中，在筒体的第一空间内还安装有多孔支撑板，用于固定管状滤芯，可以保证滤芯的强度和稳定性；同时多孔支撑板对进入的气体进行布气，进一步提高单根滤芯的过滤效果，延长其使用寿命。
3、本发明采用独特的VCR接头可以保证出气接头与进气接头具备良好的气密性，降低泄漏率，从而有效避免气源泄露造成的危险。
附图说明
图1为实施例1的结构示意图。
图中附图标记，1-进气接头，1’-出气接头；2，2’-封头；3-多孔支撑板；4-筒体；5-金属烧结滤芯；6-花盘；A-第一空间；B-第二空间。
具体实施方式
下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1：
一种超纯纳米电子级气体过滤装置，包括筒体4、封头2，2’、以及若干个金属烧结滤芯5，筒体4的两端通过焊接固定有封头2，2’，筒体4与封头2，2’形成一密封空间。筒体4的一端为进气口，相对应的筒体4另一端为出气口，位于出气口一端的筒体4上焊接有花盘6。金属烧结滤芯5安装在所述花盘6上，花盘6将筒体4与封头2，2’封闭形成的空间分隔成第一空间A和第二空间B，待过滤气体的传送发生在第一空间A，已过滤气体的传送发生在第二空间B，与第一空间A相通的封头2上设置有进气接头1，与第二空间B相通的封头2’上设置有出气接头1’。
需要说明的是，本发明中金属烧结滤芯5的数量不做具体的限定，可以根据实际需求确定具体的金属烧结滤芯5的数量。采用独特的金属烧结滤芯5替代传统的陶瓷膜滤芯，使得超纯纳米电子级气体过滤装置能耐更高的温度和压力，其过滤效率更高，结构强度更好，且使用寿命更长。
本实施例中，为了保证滤芯的强度和稳定性，优选的，在筒体4上设置有多孔支撑板3，金属烧结滤芯5的封闭一端固定在多孔支撑板3上。多孔支撑板3用于固定金属烧结滤芯5，保证金属烧结滤芯5的强度和稳定性；同时多孔支撑板3上分布有多个布气孔(图中没有标注)，可以对进入的气体进行布气，进一步提高单根金属烧结滤芯5的过滤效果，延长其使用寿命。
本实施例中为了提高单根金属烧结滤芯5的过滤效果，优选的，金属烧结滤芯5为一端开口、另一端封闭的管状滤芯，且管状滤芯水平间隔排列在第一空间A内，开口一端的管状滤芯与花盘6固定。管状滤芯水平间隔排列可以提高单根金属烧结滤芯5的过滤效果，有效延长超纯纳米电子级气体过滤装置的使用寿命。且本发明中金属烧结滤芯5采用焊接连接，可以避免安装金属烧结滤芯5造成的二次污染。
本实施中筒体4与封头2，2’焊接形成一密封空间。采用封闭式结构可以防止过滤过程中引入杂质。封头2，2’与筒体4之间通过焊接连接，可以提高器件的固定强度；此外，本发明装置中，筒体4两端的封头2，2’上分别设置有出气接头1’和进气接头1，且该接头都采用VCR接头，独特的VCR接头可以保证出气接头1’与进气接头1具备良好的气密性，降低泄漏率，从而有效避免气源泄露造成的危险；此外，通过出气接头1’和进气接头1，本发明不但可以实现过滤气体的功能，同时还能实现反吹功能。当该装置中进出口两端的压差达到设定值后装置需要反吹，将进气接头1停止通入超纯气体，将洁净的超纯气体通入出气接头1’，气体经过花盘6进入金属烧结滤芯5，从而将附着在金属烧结滤芯5外表面的杂质和颗粒吹落下来，掉落在筒体4内，并通过多孔支撑板3上的布气孔经由封头2最终通过进气接头1排出装置，从而保证金属烧结滤芯5的清洁，使之能够循环使用，延长使用寿命。
本实施例中，筒体4与封头2，2’分别采用抛光处理，且抛光处理后筒体4与封头2，2’的粗糙度为0.2。采用抛光处理后的筒体4与封头2，2’内部表面较为光滑，从而不会附着较多颗粒，长期使用后，该装置内部较为光洁。
本发明装置净化气体的具体操作方法为：超纯气体由入口进气接头1进入装置，经过封头2后由多孔支撑板3上的布气孔均匀的进入筒体4内，通过金属烧结滤芯5由外向内进行过滤，过滤完后的洁净气体最终从出气接头2’送出装置。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空间，待过滤气体的传送发生在第一空间，已过滤气体的传送发生在第二空间，与第一空间相通的封头上设置有进气接头，与第二空间相通的封头上设置有出气接头。
2.根据权利要求1所述一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：所述金属烧结滤芯为一端开口、另一端封闭的管状滤芯，且所述管状滤芯水平间隔排列在第一空间内，开口一端的所述管状滤芯与所述花盘固定。
3.根据权利要求2所述一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：所述筒体上设置有多孔支撑板，管状滤芯的封闭一端固定在多孔支撑板上。
4.根据权利要求1所述一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：所述进气接头与出气接头均为VCR接头。
5.根据权利要求1所述一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：所述封头与筒体之间通过焊接连接；所述金属烧结滤芯采用焊接连接。
6.根据权利要求1所述一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：所述筒体与封头的粗糙度低于0.2。
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