CN203108348U - 一种全金属过滤器 - Google Patents

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张凌霄
王文富
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Abstract

本实用新型涉及一种全金属过滤器，特别涉及一种应用于半导体设备上的全金属气体过滤器。该全金属过滤器，其特征是，包括进口管、过滤芯和滤芯套管，所述的滤芯套管套装在进口管上，过滤芯套放在滤芯套管的滤芯腔内，进口管上开有进气口，滤芯套管上开有出气口，进气口、滤芯腔和出气口在同一中心中轴线上且相互联通，所述的过滤芯为不锈钢烧结滤芯。本产品密封性能好，使用寿命长，采用不锈钢材质的外壳，机械强度高，能长时间处理高温高压气体；采用的管式壳体和两端的卡套式接头，使得过滤器结构紧凑，体积小，拆装方便；安装的过滤芯由于采用金属粉末烧结工艺，孔径小，孔隙率高，能实现更高的过滤效率。

Description

一种全金属过滤器
技术领域
本实用新型涉及一种全金属过滤器，特别涉及一种应用于半导体设备上的全金属气体过滤器。
背景技术
随着微电子行业的快速发展，对半导体电子元器件的精细化要求越来越高，尤其是对提供各种微电子零部件生产和组装的加工设备提出了更高要求。在此类加工设备上，加工过程中许多场合对各种气体都要求有一定的纯净度才能保证仪表、仪器和喷头等关键辅件的正常使用，从而保证产品品质。为了去除气体中的灰尘，杂质等颗粒，以免造成相关辅件阻塞和磨损，通常设备中采用塑料囊式过滤器、离线式过滤器或在线式不锈钢滤网过滤器，但是在过滤高压高温气体时，塑料囊式过滤器内的塑料滤芯会因温度过高而产生纤维脱落现象，从而失去过滤效果，同时过滤器外壳还会变形甚至因压力过高而爆炸；离线式过滤器占地面积大，拆装不便，浪费滤器材料并增加人力成本；而不锈钢滤网过滤器虽然能满足耐温耐压要求，但是滤网的孔径较大，无法满足工艺用气的纯净度要求。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术中所存在的上述问题，而提供一种结构设计合理，可以耐高温高压，在线式，拆装方便的，并且过滤效率较高的全金属过滤器。
     本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案是：该全金属过滤器，其特征是，包括进口管、过滤芯和滤芯套管，所述的滤芯套管套装在进口管上，过滤芯套放在滤芯套管的滤芯腔内，进口管上开有进气口，滤芯套管上开有出气口，进气口、滤芯腔和出气口在同一中心中轴线上且相互联通，所述的过滤芯为不锈钢烧结滤芯。采用不锈钢烧结滤芯不仅机械强度能得以保证，还满足高压高温要求。
     作为优选，所述的过滤芯的进口端上开有槽口，用于气体从进气口进入滤芯腔内的通道，取代了以往过滤器采用弹簧作为辅助支撑的缺陷，也使得过滤芯的拆装更加方便快捷。
作为优选，所述的不锈钢烧结滤芯的过滤孔直径在0.5um~100um之间，孔隙率在50%以上，孔隙率高，过滤孔径更小，具有更高的过滤效率和使用寿命。
作为优选，还包括有卡套式接头，所述的进口管上安装有卡套式接头，滤芯套管的出气口上安装有卡套式接头，这种接头改变了以往过滤器管道需要焊接的弊端，采用卡套式接头拆装方便，体积小，能直接与设备上的预留管路相连，实现在线使用目的。
作为优选，所述的滤芯套管与进口管间套放有进口垫片，所述滤芯套管的出气口上套放有出口密封圈，可进一步提高本产品的密封性能。
作为优选，所述的进口管和滤芯套管为不锈钢，机械强度更高。
本实用新型的有益效果是：本产品密封性能好，使用寿命长，采用不锈钢材质的外壳，机械强度高，能长时间处理高温高压气体；采用的管式壳体和两端的卡套式接头，使得过滤器结构紧凑，体积小，拆装方便；安装的过滤芯由于采用金属粉末烧结工艺，孔径小，孔隙率高，能实现更高的过滤效率。
附图说明
图1是本实用新型实施例的结构示意部分剖视图。
图2是本实用新型实施例过滤芯的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
实施例：参见图1和图2，本实用新型实施例包括进口管1、过滤芯2、滤芯套管3、进口垫片4、出口密封圈5和卡套式接头6。
本产品的滤芯套管3套装在进口管1上，过滤芯2套放在滤芯套管3的滤芯腔7内，进口管1上开有进气口8，滤芯套管3上开有出气口9，进气口8、滤芯腔7和出气口9在同一中心中轴线上且相互联通，过滤芯2的开口朝向滤芯套管3的出气口9，本产品的过滤芯2为不锈钢烧结滤芯，采用不锈钢烧结滤芯不仅机械强度能得以保证，还满足高压高温要求，不锈钢烧结滤芯的过滤孔直径在0.5um~100um之间，孔隙率在50%以上，孔隙率高，过滤孔径更小，具有更高的过滤效率和使用寿命。此外进口管1和滤芯套管3为不锈钢，机械强度也更高。
  本产品过滤芯2的进口端上开有槽口10，用于气体从进气口8进入滤芯腔7内的通道，取代了以往过滤器采用弹簧作为辅助支撑的缺陷，也使得过滤芯2的拆装更加方便快捷。
本产品的进口管1上安装有卡套式接头6，滤芯套管3的出气口9上安装有卡套式接头6，这种接头改变了以往过滤器管道需要焊接的弊端，采用卡套式接头6拆装方便，体积小，能直接与设备上的预留管路相连，实现在线使用目的。
为了进一步提高本产品的密封性能，滤芯套管3与进口管1间套放有进口垫片4，滤芯套管3的出气口9上套放有出口密封圈5，本产品所用出口密封圈5为氟橡胶。
本产品在工作过程中杂质气体首先通过进气口8进入滤芯腔7，经过滤芯2进行过滤，由于进口管1和滤芯套管3为不锈钢的全金属结构，过滤芯2为不锈钢烧结滤芯，机械强度高，耐温高，能长时间处理高温高压气体；本产品过滤芯2拆装方便，当本产品进出口压差达到更换压差时，取出过滤芯2，用纯水冲洗或用洁净气体反吹即可实现再生，重复安装使用。
本说明书中所描述的以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种全金属过滤器，其特征在于：包括进口管、过滤芯和滤芯套管，所述的滤芯套管套装在进口管上，过滤芯套放在滤芯套管的滤芯腔内，进口管上开有进气口，滤芯套管上开有出气口，进气口、滤芯腔和出气口在同一中心中轴线上且相互联通，所述的过滤芯为不锈钢烧结滤芯。
2.根据权利要求1所述的全金属过滤器，其特征在于：所述的过滤芯的进口端上开有槽口。
3. 根据权利要求1或2所述的全金属过滤器，其特征在于：所述的不锈钢烧结滤芯的过滤孔直径在0.5um~100um之间，孔隙率在50%以上。
4. 根据权利要求1或2所述的全金属过滤器，其特征在于：还包括有卡套式接头，所述的进口管上安装有卡套式接头，滤芯套管的出气口上安装有卡套式接头。
5.根据权利要求1或2所述的全金属过滤器，其特征在于：所述的滤芯套管与进口管间套放有进口垫片，所述滤芯套管的出气口上套放有出口密封圈。
6. 根据权利要求1或2所述的全金属过滤器，其特征在于：所述的进口管和滤芯套管为不锈钢。
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