CN107179287A - 液滴检查装置和液滴检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种适当检查被排出到被排出体的液滴的液滴检查装置。液滴检查装置(1)包括：将紫外线照射到存在液滴(21)的检查片(20)上的照射区域(22)的照射部(10)；对液滴(21)(或检查片(20))发光的照射区域(22)进行拍摄的拍摄部(11)；设置在拍摄部(11)的光轴上、用于屏蔽在检查片(20)上反射的紫外线(31)的紫外线屏蔽滤光器(12)；和基于由拍摄部(11)拍摄的拍摄图像，计测液滴(21)的大小和检查片(20)上的液滴(21)的位置的计测部(13a)。

Description

液滴检查装置和液滴检查方法

技术领域

本发明涉及检查被排出到被排出体的液滴检查装置，利用该液滴检查装置的液滴检查方法、程序和计算机存储介质。

背景技术

现有技术中，已知利用有机EL(Electroluminescence：场致发光)的发光的发光二极管即有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)。利用该有机发光二极管的有机EL显示器不仅薄且轻并且消耗电力低，而且还具有在响应速度、视角、对比度方面优异之类的优点，所以近年来作为下一代平板显示器(FPD：flat panel display)受到关注。

有机发光二极管具有在基板上的阳极和阴极之间夹着有机EL层的结构。有机EL层例如从阳极侧依次层叠空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层而形成。当形成这些有机EL层的各层(特别是空穴注入层、空穴传输层和发光层)时，例如使用以喷墨方式对基板上排出有机材料的液滴之类的方法。

但是，在有机发光二极管中，有机EL层的各层分别由几十nm的薄膜形成，所以如果在各层中的任意层例如产生液滴的排出不良，则其影响在使产品工作时显著地显现出来。因此，为了抑制这种液滴的排出不良。需要检查排出的液滴。

例如，专利文献1中公开了利用上述的喷墨方式的液滴排出装置，在该液滴排出装置中，设置有受到来自液体排出头的检查排除的检查片、和对被检查排出到该检查片的液滴的击中点进行图像识别的识别摄像机。在该液滴排出装置中，基于识别摄像机的图像识别，来检查液体排出头的各排出喷嘴是否正常排出液滴。

另外，例如在专利文献2中提出了如下方案：从液滴排出头的各排出喷嘴排出液滴，使其击中被检测纸，利用拍摄装置拍摄击中被检测纸的液滴，基于所拍摄的图像数据检查液滴从喷嘴掉落或飞溅等排出喷嘴的排出不良。

另外，例如在专利文献3中，提出了如下方案：当如上所述拍摄液滴的击中点时，利用包括切换式环照明器(能够三色切换照明光)的排出检查摄像机。具体而言，排出检查摄像机根据液滴的种类(色调)，利用切换式环照明器在切换到适当的颜色的照明光下拍摄击中点。

另外，例如在专利文献4中也公开了像这样拍摄液滴的击中点时，根据液滴的色调变更照明光的色调的方案。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-233833号公报

专利文献2：日本特开2009-95725号公报

专利文献3：日本特开2010-82490号公报

专利文献4：日本特开2010-214318号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

然而，形成有机EL层时使用的有机材料通常为无色透明的或无色半透明的，所以难以赋予与排出该液滴的被排出体的对比度。特别是，当被排出体也是无色透明或无色半透明时，赋予对比度变更难。另外，在有机材料的排出量为少量时，难以赋予液滴和被排出体的对比度。

这种情况下，即使利用专利文献1、2所公开的方法，如果照旧只是拍摄液滴，则无法适当地拍摄该液滴，另外，在专利文献3、4中，虽然根据液滴的色调来改变照明光的色调，但该照明光为可视光时，还是无法适当拍摄液滴。这样，当进行液滴的检查时，在计测液滴的大小或被排出体上的液滴的位置时，产生计测误差。因此，液滴的检查还有改善的余地。

本发明是鉴于上述的问题而作出的，其目的在于适当检查被排出到被排出体的液滴。

用于解决技术问题的技术方案

为了达成上述目的，本发明是一种液滴检查装置，其用于检查排出到被排出体的液滴，上述液滴检查装置的特征在于，包括：将紫外线照射在存在上述液滴的上述被排出体上的照射区域的照射部；对上述液滴或上述被排出体发光的上述照射区域进行拍摄的拍摄部；和基于由上述拍摄部拍摄的拍摄图像，计测上述液滴的大小和上述被排出体上的上述液滴的位置的计测部。此外，本发明中的液体，除了粒状的液滴之外，也包括以一定量排出到被排出体的液体。

根据本发明，从照射部对照射区域照射紫外线，使该照射区域的液滴或被排出体发光，然后由照射部拍摄该照射区域。该情况下，例如紫外线照射前的液滴为无色透明或无色半透明，或者即使液滴的排出量为少量，也使紫外线照射后的液滴或被排出体发光，由此在拍摄图像中能够提高液滴和被排出体的对比度。其结果是，基于该拍摄图像，能够适当计测液滴的大小和被排出体上的液滴的位置，能够抑制现有的计测误差。并且，能够适当检查被排出到被排出体的液滴。

上述液滴检查装置还可以包括：紫外线屏蔽滤光器，其设置在上述拍摄部的光轴上，用于屏蔽在上述被排出体上反射的紫外线。

上述拍摄部可以配置成该拍摄部的光轴与上述被排出体的主面垂直，上述照射部配置成从斜上方对上述液滴照射紫外线。

另外，上述拍摄部可以配置成该拍摄部的光轴与上述被排出体的主面垂直，上述照射部配置成从上述液滴的下方照射紫外线。

上述液滴检查装置还可以包括：用于使来自上述照射部的紫外线的光路朝向上述照射区域的光路变更部。

上述液滴检查装置可以设置在以喷墨方式对上述被排出体排出上述液滴的液滴排出装置的内部。

上述液滴可以是用于有机EL层的有机材料。

根据另一观点的本发明是一种液滴检查方法，其用于检查排出到被排出体的液滴，上述液滴检查装置的特征在于：从照射部将紫外线照射在存在上述液滴的上述被排出体上的照射区域，使该照射区域中的上述液滴或上述被排出体发光，由拍摄部对上述照射区域进行拍摄，基于由上述拍摄部拍摄的拍摄图像，计测上述液滴的大小和上述被排出体上的上述液滴的位置。

当由上述拍摄部拍摄上述被排出体时，通过设置在该拍摄部的光轴上的紫外线屏蔽滤光器，屏蔽在上述被排出体上反射的紫外线。

上述液滴的检查可以在以喷墨方式对上述被排出体排出上述液滴的液滴排出装置的内部进行。

上述液滴可以是用于有机EL层的有机材料。

另外，根据另一观点的本发明，提供一种程序，在液滴检查装置的计算机上运行，以使得由所述液滴检查装置执行所述液滴检查方法。

另外，根据另一观点的本发明，提供一种可读计算机存储介质，其特征在于存储有所述程序。

发明效果

根据本发明，能够适当计测被排出到被排出体的液滴的大小和被排出体上的液滴的位置，能够适当检查该液滴。

附图说明

图1是表示本实施方式的液滴检查装置的结构的概略的示意图。

图2是在液滴检查装置中拍摄的拍摄图像的说明图。

图3是表示不能进行适当的液滴检查的比较例的说明图。

图4是表示另一实施方式的液滴检查装置的结构的概略的示意图。

图5是表示另一实施方式的液滴检查装置的结构的概略的示意图。

图6是表示另一实施方式的液滴检查装置的结构的概略的示意图。

图7是表示包括液滴检查装置的基板处理系统的结构的概略的平面图。

图8是表示有机发光二极管的结构的概略的侧视图。

图9是表示有机发光二极管的分隔壁多结构的概略的平面图。

附图标记

1 液滴检查装置

10 照射部

11 拍摄部

12 紫外线屏蔽滤光器

13a 计测部

20 检查片

21 液滴

22 照射区域

30 可视光成分

31 紫外线

40、41 光路变更部

100 基板处理系统

140、160、180 涂敷装置

500 有机发光二极管

530 有机EL层

531 空穴注入层

532 空穴传输层

533 发光层

534 电子传输层

535 电子注入层

G 玻璃基板。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。另外，本发明不限于以下所示的实施方式。

首先，参照图1，对本实施方式的液滴检查装置的结构进行说明。图1是表示液滴检查装置1的结构的概略的示意图。另外，各结构要素的尺寸是为了便于容易技术上的理解，不一定对应于实际尺寸。

液滴检查装置1包括照射部10、拍摄部11、紫外线屏蔽滤光器12和控制部13。液滴检查装置1的内部维持在无光的暗处。并且，液滴检查装置1进行被排出到作为被排出体的检查片20的液滴21的检查。另外，作为检查对象的液滴21吸收紫外线而发光(磷光或荧光)。具体来说，例如，如后所述，有机材料等为检查对象。

照射部10配置成从倾上方对检查片20上的液滴21照射紫外线。照射部10具有紫外线的光源(未图示)，从该照射部10照射的紫外线的波长例如为365nm。使用该波长的紫外线时，能够抑制在液滴检查装置1的内部产生臭氧。并且，照射部10向被排出到检查片20的液滴21照射紫外线。以下，将包括液滴21在内、来自照射部10的紫外线照射的检查片20上的区域称作照射区域22。

拍摄部11向该拍摄部11的光轴与检查片20的主面垂直的方向配置，在本实施方式中，配置在液滴21(照射区域22)的铅垂上方。照射部11使用各种摄像机，例如能够使用区域扫描摄像机。另外，摄像部11拍摄来自照射部10的紫外线所照射的检查片20的照射区域22。拍摄部11拍摄的拍摄图像输出到后述的控制部13的计测部13a。

紫外线屏蔽滤光器12设置在拍摄部11的光轴上，在本实施方式中安装在拍摄部11的透镜11a。紫外线屏蔽滤光器12只要是屏蔽上述波长的紫外线的行进的，则可以使用任意的滤光器。另外，在检查片20的照射区域22反射的紫外线被紫外线屏蔽滤光器12屏蔽而入射不到拍摄部11。

控制部13除了对液滴检查装置1中的照射部10和拍摄部11的动作进行控制以外，还基于由拍摄部11拍摄的拍摄图像，计测液滴21的大小和检查片20上的液滴21的位置(击中位置)。控制部13具有计测部13a，在该计测部13a中，进行上述的液滴21的大小和位置的计测。像这样通过计测液滴21的大小，也能计测液滴21的重量。而且，因为预先判断拍摄部11的位置，所以检查片20上的液滴21的位置能够根据该拍摄部11和检查片20的关系来计测。另外，在计测部13a中，如上所述至少计测液滴21的大小和位置，但也可以计测除此之外的液滴21的尺寸或形状。

控制部13例如为计算机，具有程序保存部(未图示)。在程序保存部中除了用于控制照射部10和拍摄部11的动作的程序外，还保存有对拍摄图像进行图像处理的程序和基于该图像处理过的数据计算液滴21的大小和检查片20上的液滴21的位置的程序等。另外，上述程序也可以是例如计算机可读取的硬盘(HD)、软盘(FD)、光盘(CD)、磁光盘(MO)、存储卡等计算机可读取的存储介质中记录，并且从该存储介质安装到控制部13的程序。

接着，对利用如上所述那样构成的液滴检查装置1进行的液滴21的检查方法进行说明。

当液滴21被排出到检查片20时，将紫外线从照射部10照射到检查片20上的照射区域22。这样，位于照射区域22的液滴21吸收紫外线发光。其中，在照射区域22中，位于液滴21的周围的检查片20优选使用即便紫外线照射也不发光的材料。

然后，由照射部11拍摄照射区域22。此时，在照射区域22发光的液滴21的可视光成分30和在照射区域22反射的紫外线31向铅垂上方行进，但上述紫外线31被紫外线屏蔽滤光器12屏蔽。

图2表示由拍摄部11拍摄的拍摄图像。如上所述在照射区域22中，液滴21发光，所以能够提高液滴21和检查片20的对比度。另外，当检查片20不发光时，能够进一步提高液滴21和检查片20的对比度。

由拍摄部11所拍摄的拍摄图像被输出到控制部13的计测部13a。计测部13a中，基于拍摄图像计测液滴21的大小和检查片20上的液滴21的位置。这样，进行液滴21的检查。

根据以上的实施方式，从照射部10向检查片20上的液滴21照射紫外线，使该液滴21发光，然后由拍摄部11拍摄包含发光的液滴21的照射区域22。这种情况下，例如紫外线照射前的液滴21为无色透明或无色半透明的，或者即使液滴21的排出量为少量，通过使紫外线照射后的液滴21发光，仍能够在拍摄图像中提高液滴21和检查片20的对比度。另外，当在拍摄部11中拍摄照射区域22时，由紫外线屏蔽滤光器12屏蔽在照射区域22反射的紫外线31，所以能够进一步提高拍摄图像中的液滴21与检查片20的对比度。结果是，在控制部13的计测部13a中，基于该拍摄图像，能够适当计测液滴21的大小和检查片20上的液滴21的位置，能够适当检查被排出到检查片20的液滴21。

另外，在本实施方式中，当检查液滴21时，利用紫外线照射来使液滴21发光，但也可以使检查片20发光。这种情况下，即使液滴21不发光，也能够在拍摄部11拍摄的拍摄图像中提高液滴21和检查片20的对比度。另外，因为这样不需要使液滴21发光，所以检查对象的范围扩大，例如也能够检查抗蚀剂、色彩抗蚀剂、纳米金属墨等液滴21。

接着，对照射部10的配置进行说明。照射部10的配置只要紫外线31能适当照射到照射区域22，则能够任意选择。例如，图3示出紫外线31不能被适当照射到照射区域22的比较例。如图3所述，从照射部10照射的紫外线31照射到拍摄部11的透镜11a的内部时，该紫外线31被紫外线屏蔽滤光器12屏蔽，不到达检查片20的照射区域22。因此，无法使液滴21或检查片20发光，无法享受上述的本实施方式的效果。

对于这个问题，在本实施方式中，因为照射部10配置成从斜上方对液滴21照射紫外线，所以能够适当地将紫外线从该照射部10照射到照射区域22。而且，在照射区域22反射的紫外线31不会过于变强烈，所以在紫外线屏蔽滤光器12中能够可靠地屏蔽紫外线31。因此，在拍摄部11拍摄的拍摄图像中，能够进一步提高液滴21和检查片20的对比度。

另外，像这样通过将照射部10配置在相对于液滴21位于斜上方的位置，能够防止由扩散光的影响导致拍摄图像的质量下降。而且，在提高拍摄图像的质量方面，也可以采用在照射部10和检查片20之间配置聚光透镜(未图示)等的导光部件。

另外，照射部10的配置不限于如上述实施方式那样相对于液滴21位于斜上方的位置，只要如上所述那样紫外线31能适当地照射到照射区域22，就可以任意选择。

例如，如图4所示，照射部10也可以配置在照射区域22的铅垂下方。这种情况下，能够使紫外线31适当地从照射部10照射到照射区域22。而且，与图1所示的液滴检查装置1一样，能够减弱透射检查片20的照射区域22的紫外线31，能够在紫外线屏蔽滤光器12中可靠地屏蔽紫外线31。结果是，在拍摄部11拍摄的拍摄图像中，能够提高液滴21和检查片20的对比度。

另外，例如也可以在液滴检查装置1中设置使来自照射部10的紫外线31的光路朝向照射区域22的光路变更部。例如，如图5所示，可以在拍摄部11的下方设置反射镜等光路变更部40。或者，例如如图6所示，可以在拍摄部11的透镜11a的下部，设置作为与照射部10的光源连接的穹顶型的照明的光路变更部41。无论是哪一种情况，来自照射部10的紫外线31的光路均由光路变更部40、41变更为去往照射区域22。因此，能够使紫外线31适当地从照射部10照射到照射区域22，在拍摄部11拍摄的拍摄图像中，能够提高液滴21和检查片20的对比度。

接着，对如上所述那样构成的液滴检查装置1的应用例进行说明。图7是表示包括液滴检查装置1的基板处理系统100的结构的概略的说明图。在基板处理系统100中，形成有机发光二极管的有机EL层。

首先，对有机发光二极管的结构的概略和其制造方法进行说明。图8是表示有机发光二极管500的结构的概略的侧视图。如图8所示，有机发光二极管500具有在玻璃基板G上将有机EL层530夹在阳极(anode)510和阴极(cathode)520之间的结构。有机EL层530从阳极510侧起依次层叠空穴注入层531、空穴传输层532、发光层533、电子传输层534和电子注入层535而形成。

当制造有机发光二极管500时，首先在玻璃基板G上形成有阳极510。阳极510例如利用蒸镀法形成。另外，在阳极510例如可以使用由ITO(Indium Tin Oxide：氧化铟锡)构成的透明电极。

然后，在阳极510上如图9所示形成分隔壁540。分隔壁540例如通过进行光刻处理或蚀刻处理等而被图案化为规定的图案。并且，在分隔壁540中在行方向(X方向)和列方向(Y方向)排列地形成多个狭缝状的开口部541。并且，在该开口部541的内部如后所述那样层叠有机EL层530和阴极520而形成像素。其中，分隔壁540例如使用感光性聚酰亚胺树脂。

然后，在分隔壁540的开口部541内，在阳极510上形成有机EL层530。具体而言，在阳极510上形成空穴注入层531，在空穴注入层531上形成空穴传输层532，在空穴传输层532上形成发光层533，在发光层533上形成电子传输层534，在电子传输层534上形成电子注入层535。

在本实施方式中，空穴注入层531、空穴传输层532和发光层533分别在基板处理系统100中形成。即，在基板处理系统100中，依次进行利用喷墨方式进行的有机材料的涂敷处理、有机材料的减压干燥处理、有机材料的烧制处理，形成这些空穴注入层531、空穴传输层532和发光层533。

另外，电子传输层534和电子注入层535分别例如利用蒸镀法形成。

然后，在电子注入层535上形成阴极520。阴极520例如能够使用蒸镀法形成。另外，阴极520例如能够使用铝。

在这样制造的有机发光二极管500中，通过在阳极510和阴极520之间施加电压，在空穴注入层531中注入的规定数量的空穴经由空穴传输层532传输到发光层533，并且，在电子注入层535中注入的规定数量的电子经由电子传输层534传输到发光层533。另外，在发光层533内空穴和电子复合形成激发态的分子，该发光层533发光。

接着，参照对图7所示的基板处理系统100进行说明。其中基板处理系统100中处理的玻璃基板G上预先形成有阳极510和分隔壁540，在该基板处理系统100中形成空穴注入层531、空穴传输层532和发光层533。

基板处理系统100具有将搬入站110、处理站120和搬出站130连接成一体的结构，其中，该搬入站101以盒C单位从外部搬入多个玻璃基板G到基板处理系统100，并从盒C取出处理前的玻璃基板G；处理站102包括对玻璃基板G实施规定的处理的多个处理装置；搬出站103将处理后的玻璃基板G收纳在盒C内，将多个玻璃基板G以盒C单位从基板处理系统100搬出到外部。搬入站101、处理站102和搬出站103沿X方向依次排列配置。

搬入站101设置有盒载置台110。盒载置台110能够将多个盒C在Y方向载置成一列。即，搬入站101构成为能够保留多个玻璃基板G。

搬入站101还设有能够在搬送路径111上移动的基板搬送体112，该搬送路径111在Y方向上延伸设置。基板搬送体112还设置成能够在铅垂方向和绕铅垂方向移动，能够在盒C和处理站102之间搬送玻璃基板G。另外，基板搬送体112例如将玻璃基板G吸附保持着搬送。

处理站102从搬入站110侧配置在X方向依次排列配置有空穴注入层120、空穴传输层形成部121和发光层形成部122，其中，空穴注入层形成部120形成空穴注入层531，空穴传输层形成部121形成空穴传输层532，发光层形成部122形成发光层533。

在空穴注入层形成部120从搬入站101侧起在X方向依次排列配置有第一基板搬送区域130、第二基板搬送区域131和第三基板搬送区域132。各基板搬送区域130、131、132在X方向延伸设置，在该基板搬送区域130、131、132设置有用于搬送玻璃基板G的基板搬送装置(未图示)。基板搬送装置能够在水平方向、铅垂方向和绕铅垂方向移动，能够将玻璃基板G搬送到与这些基板搬送区域130、131、132相邻设置的各装置。

在搬入站101与第一基板区域130之间，设置有用于交接玻璃基板G的过渡装置133。同样，在第一基板搬送区域130与第二基板搬送区域131之间、以及第二基板搬送区域131与第三基板搬送区域132之间也分别设置有过渡装置134、135。

在第一基板搬送区域130的Y方向正向侧，设置有在玻璃基板G(阳极510)上涂敷用于形成空穴注入层531的有机材料的作为液滴排出装置的涂敷装置140。在涂敷装置140中，以喷墨方式在玻璃基板G上的规定位置即分隔壁540的开口部541的内部涂敷有机材料。其中，本实施方式的有机材料是将用于形成空穴注入层531的规定的材料溶解于有机溶剂的溶液。

上述实施方式的液滴检查装置1配置在涂敷装置140的内部，进行从液滴排出头(未图示)以喷墨方式排出的液滴21的检查。其中，涂敷装置140中的液滴检查装置1的配置能够任意设定。

在第一基板搬送区域130的Y方向负向侧，设置有暂时收纳多个玻璃基板G的缓冲装置141。

在第二基板搬送区域131的Y方向正向侧和Y方向负向侧，层叠有多个用于对在涂敷装置140中涂敷的有机材料进行减压干燥的减压干燥装置142，例如总共设置有五个。减压干燥装置142例如具有涡轮分子泵(未图示)，并构成为通过该涡轮分子泵将内部气氛减压之例如1Pa以下，以将有机材料干燥。

在第三基板搬送区域132的Y方向正向侧，多层层叠地设置有对在减压干燥装置142中干燥的有机材料进行热处理而烧制的热处理装置143，该热处理装置例如层叠为20层。热处理装置143在其内部具有载置玻璃基板G的热板(未图示)，并构成为利用该热板烧制有机材料。

在第三基板搬送区域132的Y方向负向侧，设置有多个将在热处理装置143中热处理过的玻璃基板G调整至规定的温度，例如常温的温度调节装置144。

其中，在空穴注入层形成部120中，这些涂敷装置140、缓冲装置141、减压干燥装置142、热处理装置143和温度调节装置144的数量和配置能够任意选择。

在空穴传输层形成部121从空穴注入层形成部120侧起在X方向依次排列配置有第一基板搬送区域150、第二基板搬送区域151和第三基板搬送区域152。各基板搬送区域150、151、152在X方向延伸设置，在该基板搬送区域150、151、152设置有用于搬送玻璃基板G的基板搬送装置(未图示)。基板搬送装置能够在水平方向、铅垂方向和绕铅垂方向移动，能够将玻璃基板G搬送到与这些基板搬送区域150、151、152相邻设置的各装置。

另外，在第三基板搬送区域152相邻设置有后述的热处理装置163和温度调节装置164，这些各装置163、164的内部维持在低氧且低结露点气氛。因此，在第三基板搬送区域152中，其内部也维持在低氧且低结露点气氛。在以下的说明中，低氧气氛是指氧浓度低于大气的气氛，例如氧浓度为10ppm以下的气氛。另外，低结露点气氛是指结露点温度低于大气的气氛，例如结露点温度为-10℃以下的气氛。另外，该低氧且低结露点气氛是例如利用氮气等不活泼气体维持的。

在空穴注入形成部201与第一基板区域150之间以及第一基板搬送区域150与第二基板搬送区域151之间，分别设置有用于交接玻璃基板G的过渡装置153、154。在第二基板搬送区域151和第三基板搬送区域152之间，设置有能够暂时收纳玻璃基板G的加载锁定(Loadlock)装置155。加载锁定装置155构成为能够切换内部气氛，即能够切换低氧且低结露点气氛和大气气氛。

在第一基板搬送区域150的Y方向正向侧，设置有在玻璃基板G(空穴注入层531)上涂敷用于形成空穴传输层532的有机材料的作为液滴排出装置的涂敷装置160。在涂敷装置160中，以喷墨方式在玻璃基板G上的规定位置即分隔壁540的开口部541的内部涂敷有机材料。其中，本实施方式的有机材料是将用于形成空穴传输层532的规定的材料溶解于有机溶剂的溶液。

上述实施方式的液滴检查装置1配置在涂敷装置160的内部，进行从液滴排出头(未图示)以喷墨方式排出的液滴21的检查。其中，涂敷装置160中的液滴检查装置1的配置能够任意设定。

在第一基板搬送区域150的Y方向负向侧，设置有暂时收纳多个玻璃基板G的缓冲装置161。

在第二基板搬送区域151的Y方向正向侧和Y方向负向侧，层叠有多个用于对在涂敷装置160中涂敷的有机材料进行减压干燥的减压干燥装置162，例如总共设置有五个。减压干燥装置162例如具有涡轮分子泵(未图示)，并构成为由该涡轮分子泵将内部气氛减压之例如1Pa以下，以将有机材料干燥。

在第三基板搬送区域152的Y方向正向侧，多层层叠地设置有对在减压干燥装置162中干燥的有机材料进行热处理而烧制的热处理装置163，该热处理装置例如层叠为20层。热处理装置163在其内部具有载置玻璃基板G的热板(未图示)，并构成为利用该热板烧制有机材料。另外，热处理装置163的内部维持在低氧且低结露点气氛。

在第三基板搬送区域152的Y方向负向侧，设置有多个将在热处理装置163中热处理过的玻璃基板G调整至规定的温度，例如常温的温度调节装置164。温度调节装置164的内部维持在低氧且低结露点气氛。

其中，在空穴传输层形成部121中，这些涂敷装置160、缓冲装置161、减压干燥装置162、热处理装置163和温度调节装置164的数量和配置能够任意选择。

在发光层形成部122从空穴传输层形成部121侧起在X方向依次排列配置有第一基板搬送区域170、第二基板搬送区域171和第三基板搬送区域172。各基板搬送区域170、171、172在X方向延伸设置，在该基板搬送区域170、171、172设置有用于搬送玻璃基板G的基板搬送装置(未图示)。基板搬送装置能够在水平方向、铅垂方向和绕铅垂方向移动，能够将玻璃基板G搬送到与这些基板搬送区域170、171、172相邻设置的各装置。

另外，在第三基板搬送区域172相邻设置有后述的热处理装置183和温度调节装置184，这些各装置183、184的内部维持在低氧且低结露点气氛。因此，在第三基板搬送区域172中，其内部也维持在低氧且低结露点气氛。

在空穴传输层形成部121与第一基板区域170之间以及第一基板搬送区域170与第二基板搬送区域171之间，分别设置有用于交接玻璃基板G的过渡装置173、174。在第二基板搬送区域171和第三基板搬送区域172之间以及第三基板搬送区域172和搬出站103之间，设置有能够暂时收纳玻璃基板G的加载锁定(Loadlock)装置175、176。加载锁定装置175、176构成为能够切换内部气氛，即能够切换低氧且低结露点气氛和大气气氛。

在第一基板搬送区域170的Y方向正向侧，设置有在玻璃基板G(空穴传输层532)上涂敷用于形成发光层533的有机材料的作为液滴排出装置的涂敷装置180。在涂敷装置180中，以喷墨方式在玻璃基板G上的规定位置即分隔壁540的开口部541的内部涂敷有机材料。其中，本实施方式的有机材料是将用于形成发光层533的规定的材料溶解于有机溶剂的溶液。

上述实施方式的液滴检查装置1配置在涂敷装置180的内部，进行从液滴排出头(未图示)以喷墨方式排出的液滴21的检查。其中，涂敷装置180中的液滴检查装置1的配置能够任意设定。

在第一基板搬送区域170的Y方向负向侧，设置有暂时收纳多个玻璃基板的缓冲装置181。

在第二基板搬送区域171的Y方向正向侧和Y方向负向侧，层叠有多个用于对在涂敷装置180中涂敷的有机材料进行减压干燥的减压干燥装置182，例如总共设置有五个。减压干燥装置182例如具有涡轮分子泵(未图示)，并构成为由该涡轮分子泵将内部气氛减压之例如1Pa以下，以将有机材料干燥。

在第三基板搬送区域172的Y方向正向侧，多层层叠地设置有对在减压干燥装置182中干燥的有机材料进行热处理而烧制的热处理装置183，该热处理装置例如层叠为20层。热处理装置183在其内部具有载置玻璃基板G的热板(未图示)，并构成为利用该热板烧制有机材料。另外，热处理装置183的内部维持在低氧且低结露点气氛。

在第三基板搬送区域172的Y方向负向侧，设置有多个将在热处理装置183中热处理过的玻璃基板G调整至规定的温度，例如常温的温度调节装置184。温度调节装置184的内部维持在低氧且低结露点气氛。

其中，在发光层形成部122中，这些涂敷装置180、缓冲装置181、减压干燥装置182、热处理装置183和温度调节装置184的数量和配置能够任意选择。

搬出站103设置有盒载置台190。盒载置台190能够将多个盒C在Y方向载置成一列。即，搬出站103构成为能够保留多个玻璃基板G。

搬出站103还设有能够在搬送路径191上移动的基板搬送体192，搬送路径191在Y方向上延伸设置。基板搬送体192还设置成能够在铅垂方向和绕铅垂方向移动，能够在盒C和处理站102之间搬送玻璃基板G。另外，基板搬送体192例如将玻璃基板G吸附保持着搬送。

另外，搬出站103的内部优选维持在低氧且低结露点气氛。

另外，以上的基板处理系统100可以设有控制部13。因此，涂敷装置140、160、180的内部设置的液滴检查装置1由控制部13控制。不过，在该控制部13的程序保存部(未图示)，除了用于控制液滴检查装置1的程序之外，还保存有控制基板处理系统100的玻璃基板G的处理的程序。

另外，控制部13也具有数据保存部(未图示)。在数据保存部例如预先保存有涂敷装置140、160、180排出的液滴的大小和位置的正常数据，即与期望的大小和位置相适合的描述数据(比特图数据(bit map data))。

接着，对利用如上所述构成的基板处理系统100进行的玻璃基板G的处理方法进行说明。

首先，收纳有多个玻璃基板G的盒C被搬入到搬入站101，载置在盒载置台110上。然后，由基板搬送体112从盒载置台110上的盒C依次取出基板G。

从盒C中取出的基板G由基板搬送体112搬送到空穴注入层形成部120的过渡装置133，进而经由第一基板搬送区域130搬送到涂敷装置140。然后在涂敷装置140中，以喷墨方式在玻璃基板G(阳极510)上的规定的位置、即分隔壁540的开口部541的内部，涂敷空穴注入层531用的有机材料。

此处，在涂敷装置140中，当对玻璃基板G的涂敷处理结束时，由液滴检查装置1进行从液滴排出头(未图示)排出的液滴21的检查。具体而言，在液滴排出头的下方配置检查片20，从该液滴排出头像检查片20排出液滴21，用于检查。在排出该液滴21后即刻，从照射部10对照射区域22照射紫外线使液滴21发光，然后由拍摄部11拍摄包含发光的液滴21的照射区域22。所拍摄的拍摄图像输出到控制部13的计测部13a，在该计测部13a中，基于拍摄图像计测液滴21的大小和检查片20上的液滴21的位置。这样进行液滴21的检查。

其中，为了避免该液滴21随时间相继地干燥而产生大小变化，所以液滴21的检查优选如上所述在排出液滴21后即刻执行。此处，例如在涂敷装置140设置有多个液滴排出头时，从最初的液滴排出头排出液滴21开始到最后的液滴排出液滴21为止存在时间差，在该期间排出的液滴21有可能随时间相继地干燥而发生大小变化。考虑到这一点，为了如上所述检查涂敷后即刻的液滴21，例如可以设置多个拍摄部11，也可以以能够移动的方式构成拍摄部11。通过采用这种结构，每当液滴21从液滴排出头排出时，能够进行该液滴21的检查。

当在计测部13a中计测出液滴21的大小和位置时，接着在控制部13中，进行液滴21的大小和位置的计测数据与预先保存的液滴的大小和位置的正常数据的比较。然后，当计测数据偏离正常数据时，进行反馈控制使得涂敷装置140的液滴排出头排出正常的液滴21。其中，该液滴21的检查和对液滴排出头的反馈控制既可以对每个玻璃基板G进行，也可以对每规定数量的玻璃基板G进行。

另一方面，结束涂敷装置140中的涂敷处理的玻璃基板经由第一基板搬送区域130被搬送到过渡装置134，进而经由第二基板搬送区域131搬送到减压干燥装置142。然后，在减压干燥装置142中其内部气氛被减压，对涂敷在玻璃基板G上的有机材料进行干燥。

接着，玻璃基板G经由第二基板搬送区域131搬送到过渡装置135，进而经由第三基板搬送区域132搬送到热处理装置143。然后在热处理装置143中，将载置在热板上的玻璃基板G加热到规定的温度，例如180℃，烧制该玻璃基板G的有机材料。

接着，玻璃基板G经由第三基板搬送区域132搬送到温度调节装置144。然后，在温度调节装置144中，将玻璃基板G的温度调节至规定的温度，例如常温。这样，在玻璃基板G(阳极510)上形成空穴注入层531。

接着，玻璃基板G经由第三搬送区域132搬送到空穴传输层形成部121的过渡装置153，进而经由第一基板搬送区域150搬送到涂敷装置160。然后，在涂敷装置160中，以喷墨方式在玻璃基板G(空穴注入层531)上涂敷空穴传输层532用的有机材料。此处，当涂敷装置160对玻璃基板G的涂敷处理结束时，进行由液滴检查装置1进行的液滴21的检查和对液滴排出头的反馈控制。这些液滴21的检查和对液滴排出头的反馈控制与在上述涂敷装置140中进行的一样，所以省略说明。

接着，玻璃基板G经由第一基板搬送区域150被搬送到过渡装置154，进而经由第二基板搬送区域151搬送到减压干燥装置162。然后，在减压干燥装置162中其内部气氛被减压，对涂敷在玻璃基板G上的有机材料进行干燥。

接着，玻璃基板G经由第二基板搬送区域151搬送到加载锁定装置155。当玻璃基板G搬入到加载锁定装置155中时，其内部切换为低氧且低结露点气氛。然后，加载锁定装置155的内部与同样维持在低氧且低结露点气氛的第三基板搬送区域152的内部连通。

接着，玻璃基板G经由第三基板搬送区域152搬送到热处理装置163。该热处理装置163的内部也维持在低氧且低结露点气氛。然后在热处理装置163中，将载置在热板上的玻璃基板G加热到规定的温度，例如200℃，烧制该玻璃基板G的有机材料。

接着，玻璃基板G经由第三基板搬送区域152搬送到温度调节装置164。该温度调节装置164的内部也维持在低氧且低结露点气氛。然后，在温度调节装置164中，将玻璃基板G的温度调节至规定的温度，例如常温。这样，在玻璃基板G(空穴注入层531)上形成空穴传输层532。

接着，玻璃基板G经由第三搬送区域152搬送到发光层形成部122的过渡装置173，进而经由第一基板搬送区域170搬送到涂敷装置180。然后，在涂敷装置180中，以喷墨方式在玻璃基板G(空穴传输层532)上涂敷发光层533用的有机材料。此处，当涂敷装置180对玻璃基板G的涂敷处理结束时，进行由液滴检查装置1进行的液滴21的检查和对液滴排出头的反馈控制。这些液滴21的检查和对液滴排出头的反馈控制与在上述涂敷装置140中进行的一样，所以省略说明。

接着，玻璃基板G经由第一基板搬送区域170被搬送到过渡装置174，进而经由第二基板搬送区域171搬送到减压干燥装置182。然后，在减压干燥装置182中其内部气氛被减压，对涂敷在玻璃基板G上的有机材料进行干燥。

接着，玻璃基板G经由第二基板搬送区域171搬送到加载锁定装置175。当玻璃基板G搬入到加载锁定装置175中时，其内部切换为低氧且低结露点气氛。然后，加载锁定装置175的内部与同样维持在低氧且低结露点气氛的第三基板搬送区域172的内部连通。

接着，玻璃基板G经由第三基板搬送区域172搬送到热处理装置183。该热处理装置183的内部也维持在低氧且低结露点气氛。然后在热处理装置183中，将载置在热板上的玻璃基板G加热到规定的温度，例如160℃，烧制该玻璃基板G的有机材料。

接着，玻璃基板G经由第三基板搬送区域172搬送到温度调节装置184。该温度调节装置184的内部也维持在低氧且低结露点气氛。然后，在温度调节装置184中，将玻璃基板G的温度调节至规定的温度，例如常温。这样，在玻璃基板G(空穴传输层532)上形成发光层533。

接着，玻璃基板G经由第三基板搬送区域172搬送到加载锁定装置176。该加载锁定装置176的内部维持在低氧且低结露点气氛。然后，使加载锁定装置176的内部与同样维持在低氧且低结露点气氛的搬出站103的内部连通。

接着，玻璃基板G由搬出站103的基板搬送体192搬送到盒载置台190上的规定的盒C。这样，结束基板处理系统100的一系列的对玻璃基板G的处理。

根据以上的实施方式，在涂敷装置140、160、180的内部设置有液滴检查装置1，所以能够检查从该涂敷装置140、160、180的液滴排出头排出的液滴21，进而对液滴排出头进行反馈控制。因此，能够抑制涂敷装置140、160、180中的液滴21的排出不良，适当控制液滴21的大小(即液滴21的重量)和排出到玻璃基板G的液滴21的位置，从而能够在玻璃基板G上适当地涂敷有机材料。

另外，以上实施方式的基板处理系统100的布局不限于图7所示的布局，能够任意设定。

另外，在以上的实施方式的基板处理系统100中，形成有空穴注入层531、空穴传输层532和发光层533，但也可以同样形成有机发光二极管500的其他电子传输层534和电子注入层535。即，根据用于电子传输层534和电子注入层535的有机材料，分别进行利用喷墨方式的有机材料的涂敷处理、有机材料的减压干燥处理、有机材料的烧制处理，而在玻璃基板G上形成该电子传输层534和电子注入层535。另外，在这些电子传输层534和电子注入层535的涂敷处理中，也可以进行液滴检查装置1对液滴21的检查。

另外，作为液滴检查装置1的应用例，说明了形成有机发光二极管500的有机EL层530的基板处理系统100，但液滴检查装置1的应用例不限于此。例如，也可以将液滴检查装置1应用于例如涂敷彩色抗蚀剂的基板处理系统等。

此外，作为液滴检查装置1的应用例，说明了喷墨方式的涂敷装置140、160、180，但液滴检查装置1的应用例不限于此。不限于以喷墨方式排出液滴的情况，例如也可以在连续排出固定量的涂敷液的涂敷装置中应用液滴检查装置1，检查该涂敷液。此时，液滴检查装置1中，计测被排出到被排出体的涂敷液的大小(重量)和被排出体上的涂敷液的位置。另外，在本实施方式中，该固定量的涂敷液构成本发明的液滴。

以上，参照附图对本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明不限于此。如果是本领域技术人员，在权利要求书中记载的思想的范围内能够想到各种变更例或修正例是显而易见的，可以理解为这些内容当然也属于本发明的技术范围。

Claims (11)

1.一种液滴检查装置，其用于检查排出到被排出体的液滴，所述液滴检查装置的特征在于，包括：

将紫外线照射在存在所述液滴的所述被排出体上的照射区域的照射部；

对所述液滴或所述被排出体发光的所述照射区域进行拍摄的拍摄部；和

基于由所述拍摄部拍摄的拍摄图像，计测所述液滴的大小和所述被排出体上的所述液滴的位置的计测部。

2.如权利要求1所述的液滴检查装置，其特征在于，还包括：

紫外线屏蔽滤光器，其设置在所述拍摄部的光轴上，用于屏蔽在所述被排出体上反射的紫外线。

3.如权利要求1或2所述的液滴检查装置，其特征在于：

所述拍摄部配置成该拍摄部的光轴与所述被排出体的主面垂直，

所述照射部配置成从斜上方对所述液滴照射紫外线。

4.如权利要求1或2所述的液滴检查装置，其特征在于：

所述拍摄部配置成该拍摄部的光轴与所述被排出体的主面垂直，

所述照射部配置成从所述液滴的下方照射紫外线。

5.如权利要求1或2所述的液滴检查装置，其特征在于，还包括：

用于使来自所述照射部的紫外线的光路朝向所述照射区域的光路变更部。

6.如权利要求1或2所述的液滴检查装置，其特征在于：

所述液滴检查装置设置在以喷墨方式对所述被排出体排出所述液滴的液滴排出装置的内部。

7.如权利要求1或2所述的液滴检查装置，其特征在于：

所述液滴是用于有机EL层的有机材料。

8.一种液滴检查方法，其用于检查排出到被排出体的液滴，所述液滴检查装置的特征在于：

从照射部将紫外线照射在存在所述液滴的所述被排出体上的照射区域，使该照射区域中的所述液滴或所述被排出体发光，

由拍摄部对所述照射区域进行拍摄，

基于由所述拍摄部拍摄的拍摄图像，计测所述液滴的大小和所述被排出体上的所述液滴的位置。

9.如权利要求8所述的液滴检查方法，其特征在于：

当由所述拍摄部拍摄所述被排出体时，通过设置在该拍摄部的光轴上的紫外线屏蔽滤光器，屏蔽在所述被排出体上反射的紫外线。

10.如权利要求8或9所述的液滴检查方法，其特征在于：

所述液滴的检查在以喷墨方式对所述被排出体排出所述液滴的液滴排出装置的内部进行。

11.如权利要求8或9所述的液滴检查方法，其特征在于：

所述液滴是用于有机EL层的有机材料。