CN107130244A - 一种用于tft‑lcd显示屏的酸性蚀刻液添加剂 - Google Patents

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    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
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Abstract

本发明公开了一种用于TFT‑LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂，其是由如下重量份数的组分组成：氯化铜5‑10份、草酸9‑16份、无水硫酸铜7‑10份、硝酸铜6‑8份、氯化钠3‑8份、氯化铵7‑10份、羟基磺酸盐11‑15份、促进剂6‑9份、稳定剂4‑9份、去离子水45‑52份。本发明的铜蚀刻液添加剂以去离子水为溶剂，呈电中性，铜蚀刻液添加剂在进行湿法蚀刻之前添加到蚀刻液中，能够改善蚀刻液的蚀刻品质，使蚀刻速率、均一性得到提高；同时配合促进剂可以提升蚀刻速度，有效降低盐酸的使用量，在工艺上有利于生产效率，且经济实用，配制方法简单，蚀刻过程中不产生有害气体。

Description

一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂
技术领域
本发明涉及TFT-LCD显示屏技术领域，具体涉及一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂。
背景技术
在TFT-LCD显示屏生产过程中，酸性蚀刻是一个重要的步骤。随着蚀刻的进行，蚀刻液中铜离子浓度越来越高，蚀刻速度越来越慢，如果不更换会严重影响蚀刻进度及质量。酸性蚀刻废液不仅含有大量铜离子，还含有其他有价值的化学物质。随着显示技术的发展，尤其是显示技术向着大型化及高分辨率化的发展中，传统的金属导线会随着配线的变长，电阻的增加，从而放大信号延迟等问题，造成显示效果的退化。所以，开始了向是用电阻更低的金属配线的研发，即铜制成的研发。由于金属特性的不同，相应的，也开发出新型的金属蚀刻液。铜蚀刻液目前多为双氧水体系配以一定的添加剂，已在实际生产中得到应用，是一种较为成熟的技术。
发明内容
本发明旨在提供了一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂。
本发明提供如下技术方案：
一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂，其是由如下重量份数的组分组成：氯化铜5-10份、草酸9-16份、无水硫酸铜7-10份、硝酸铜6-8份、氯化钠3-8份、氯化铵7-10份、羟基磺酸盐11-15份、促进剂6-9份、稳定剂4-9份、去离子水45-52份。
一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂的制备方法，包括如下步骤：
(1)将去离子水和氯化铜加入搅拌池内进行搅拌，待氯化铜完全溶解；
(2)向(1)中溶液中加入草酸，然后搅拌，使液体均匀；
(3)向(2)中溶液中加入无水硫酸铜、硝酸铜、氯化钠、氯化铵，然后搅拌，使液体均匀；
(4)最后加入羟基磺酸盐、促进剂搅拌均匀即可。
所述促进剂为次氯酸钠。
所述稳定剂为尿素或硫脲。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明的铜蚀刻液添加剂以去离子水为溶剂，呈电中性，铜蚀刻液添加剂在进行湿法蚀刻之前添加到蚀刻液中，能够改善蚀刻液的蚀刻品质，使蚀刻速率、均一性得到提高；同时配合促进剂可以提升蚀刻速度，有效降低盐酸的使用量，在工艺上有利于生产效率，且经济实用，配制方法简单，蚀刻过程中不产生有害气体。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂，其是由如下重量份数的组分组成：氯化铜5份、草酸9份、无水硫酸铜7份、硝酸铜6份、氯化钠3份、氯化铵7份、羟基磺酸盐11份、促进剂6份、稳定剂4份、去离子水45份。
一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂的制备方法，包括如下步骤：
(1)将去离子水和氯化铜加入搅拌池内进行搅拌，待氯化铜完全溶解；
(2)向(1)中溶液中加入草酸，然后搅拌，使液体均匀；
(3)向(2)中溶液中加入无水硫酸铜、硝酸铜、氯化钠、氯化铵，然后搅拌，使液体均匀；
(4)最后加入羟基磺酸盐、促进剂搅拌均匀即可。
所述促进剂为次氯酸钠。
所述稳定剂为尿素或硫脲。
实施例2一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂，其是由如下重量份数的组分组成：氯化铜10份、草酸16份、无水硫酸铜10份、硝酸铜8份、氯化钠8份、氯化铵10份、羟基磺酸盐15份、促进剂9份、稳定剂9份、去离子水52份。
一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂的制备方法，包括如下步骤：
(1)将去离子水和氯化铜加入搅拌池内进行搅拌，待氯化铜完全溶解；
(2)向(1)中溶液中加入草酸，然后搅拌，使液体均匀；
(3)向(2)中溶液中加入无水硫酸铜、硝酸铜、氯化钠、氯化铵，然后搅拌，使液体均匀；
(4)最后加入羟基磺酸盐、促进剂搅拌均匀即可。
所述促进剂为次氯酸钠。
所述稳定剂为尿素或硫脲。
实施例3一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂，其是由如下重量份数的组分组成：氯化铜8份、草酸12份、无水硫酸铜9份、硝酸铜7份、氯化钠5份、氯化铵9份、羟基磺酸盐13份、促进剂8份、稳定剂6份、去离子水49份。
一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂的制备方法，包括如下步骤：
(1)将去离子水和氯化铜加入搅拌池内进行搅拌，待氯化铜完全溶解；
(2)向(1)中溶液中加入草酸，然后搅拌，使液体均匀；
(3)向(2)中溶液中加入无水硫酸铜、硝酸铜、氯化钠、氯化铵，然后搅拌，使液体均匀；
(4)最后加入羟基磺酸盐、促进剂搅拌均匀即可。
所述促进剂为次氯酸钠。
所述稳定剂为尿素或硫脲。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于所述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是所述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (4)

1.一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂，其特征在于，其是由如下重量份数的组分组成：氯化铜5-10份、草酸9-16份、无水硫酸铜7-10份、硝酸铜6-8份、氯化钠3-8份、氯化铵7-10份、羟基磺酸盐11-15份、促进剂6-9份、稳定剂4-9份、去离子水45-52份。
2.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将去离子水和氯化铜加入搅拌池内进行搅拌，待氯化铜完全溶解；
(2)向(1)中溶液中加入草酸，然后搅拌，使液体均匀；
(3)向(2)中溶液中加入无水硫酸铜、硝酸铜、氯化钠、氯化铵，然后搅拌，使液体均匀；
(4)最后加入羟基磺酸盐、促进剂搅拌均匀即可。
3.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂，其特征在于：所述促进剂为次氯酸钠。
4.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂，其特征在于：所述稳定剂为尿素或硫脲。
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CN107747094A (zh) * 2017-09-28 2018-03-02 侯延辉 一种酸性蚀刻液添加剂及酸性蚀刻液

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