CN107076304B - 具有密封表面延伸部的环密封 - Google Patents

Abstract

一种用于密封限定流体流路的对置的流动部件密封表面的环密封，其适于应用于诸如半导体制造模块气体传递系统。环密封包括从环密封的一个或两个密封表面延伸的变化的“三角区域”形式的环形延伸部。变化的“三角区域”延伸到环密封的密封表面上方的顶点或顶端。第一延伸表面和第二延伸表面从顶点沿相反的方向朝向环密封的密封表面延伸回去。在一方面，第一延伸表面限定脊，其中第一延伸表面的斜面变为朝向环密封的密封表面更快速地下降。在另一方面，顶点位于环形延伸部内距离环形密封主体的轴孔比距离环形密封主体的外径向直径近的位置。

Description

具有密封表面延伸部的环密封

技术领域

本发明涉及通常被称为垫圈的密封，用于在相反的平行表面之间形成流体密封接头。

背景技术

环密封通常为环形形状，限定用于流体(液体或气体)通过的轴向布置的孔、两个轴向相反的端面、径向内表面和径向外表面。一个非常简单的环密封具有平坦的端面和平滑的圆形径向内外表面，径向内表面限定环密封的内直径(ID)，径向外表面限定环密封的外直径(OD)。然而，通常在工业中实用地，使用具有不同径向截面的密封来获得用于不同流体流动环境的变化的密封能力。

一种常用的环密封为圆形，具有“C”形径向截面。这些“C密封”构造有C构造的面向环中心的开口侧，诸如美国专利No.5,354,072(“072专利”)中描述的，或者这些“C密封”构造有C的远离两个配合面的中心的开口侧，该两个配合面在C密封位于它们中间的情况下彼此靠近，其中C密封被压缩，C截面的开口侧在压缩过程中封闭。密封的柔软特性允许在不损伤配合表面的情况下发生塑性变形。为了增加密封的弹性恢复，一些C密封设置有同心地位于密封的中心的圆形弹性螺旋弹簧，其还将压缩阻抗和弹性特性变为特定密封组件所期望的。令人遗憾的是，制造具有内螺旋弹簧的C密封相对复杂，导致可接受的密封的构造通常不可重复。

一些C密封设置有圆形脊，在现有技术中也称为“三角区域(delta)”，该圆形脊形成于与待被密封的相反的平行表面接触的表面上。这些脊减少了密封和平行的相反的表面之间的初始接触面积，由此使密封塑性变形的负荷变小，其中，该变形允许密封适应和封闭(seal off)两个平行表面的微小扭曲。令人遗憾的是，具有这些圆形脊的C密封经常在密封被压缩时在圆形脊和C密封的外表面形成腔室。尽管该密封可能是防漏的，或具有在公差范围内的足够低的泄漏，如果在该筒状腔室和密封的内部通道之间存在泄漏，则产生“虚漏”，由此允许气体或液体在其间缓慢地流动。尽管实现了防漏密封，但是密封的测试可能有误差，并且不期望地反映为存在泄漏，因此，该情况被称为“虚漏”。

已知的改进的C密封包括在密封的密封表面的上方延伸的延伸部，例如，美国专利No.6,688,608描述的，如在本文将其全部重写那样通过引用并入本专利。当在流路的密封表面之间压缩密封时，这些延伸部允许用于密封的初始塑性变形负荷或压缩力的减小。图1和图2图示出了这种已知密封的一个实施例。如图1-2所示，前述环密封1包括具有轴向布置的中心孔4的环形形状的主体元件3，中心孔4允许气体或流体通过。由于环密封1的环形构造，环密封1包括径向内表面5、径向外表面6、第一轴端面11和第二轴端面17。这些面中的每个面均可以采用任意数量的构造。它们可以是实质上平坦或平面的，或者实质上弯曲的。例如，径向内表面5包括平坦区7和弯曲区9。类似地，径向外表面6被显示出为包括平面表面和成角度的抵接部。这些表面可以呈现其它形式。

已知的环密封1进一步包括多个孔25，孔25从环密封的径向外表面6朝向环密封的中心孔4向内突出。孔25的变形产生多个侧壁27，侧壁27也从环密封的径向外表面6沿径向延伸，在轴向上在环密封的轴端面11和17之间延伸。

图示的已知的环密封1还包括环形脊或延伸部23，延伸部23从轴端面11和17沿轴向延伸。延伸部23将第一轴端面11分成第一内轴端面13和第一外轴端面15。类似地，从第二轴端面17延伸的延伸部23将该轴端面分成第二内轴端面19和第二外轴端面21。内轴端面13和19相对于外轴端面15和21向内凹陷以产生错位。环密封1的在内轴端面13和19处测量的厚度小于环密封1的在外轴端面15和21处测量的厚度。该环密封1的问题是，在操作或安装期间脊或延伸部23可能损伤。例如，延伸部可能产生缺口或凹陷。该损伤会导致密封不充分。

另一种环密封类型在工业上被称为“W”密封。例如，在美国专利No.7,140,647(“647专利”)中公开了这样一种密封系统，也通过引用将该专利的全部内容并入于此。“647”专利中的“W”密封使用位于保持环内部上的卡环，在该专利中被认为是引导件，以将W密封保持在保持件中，以使W密封或垫圈上的密封表面免受刮擦。“647”专利保持件或引导件还具有位于其外径向直径的口环，以保持接合在沉孔中的保持件，其限定待被密封的相反的平行表面。

另外已知的密封是“V密封”，其也是圆形的，但是代替具有“C”截面，V密封具有“V”截面，V的底点构造点朝向密封的中心向内或向外的点。尽管该构造通常能提供足够的变形，但是V密封通常不能提供特别良好的弹性恢复或可重复性，这是因为V密封的点形成了集中压缩负荷的应力集中源，在密封重复压缩和解压时，使密封易于发生故障。

现有技术中的另外的密封包括“Z密封”和简单的“O形环”。这些密封各自也有多个缺点。

发明内容

根据这些多个方式，描述了一种示例性的环密封，其用于密封限定流体流路的相反的流动部件密封表面并且适用于诸如半导体制造模块气体传递系统的应用。该示例性的环密封包括从环密封的一个或两个密封表面延伸的变化的“三角区域”形式的环形延伸部。变化的“三角区域”延伸到从其开始延伸的环密封的密封表面上方的顶点或点。第一延伸表面和第二延伸表面沿相反方向从顶点朝向环密封的密封表面延伸回去。在一方面，第一延伸表面限定脊，其中第一延伸表面的斜面变为向环密封的密封表面更快速地下降。

如此构造，在环密封在流动部件密封表面之间压缩的过程中，第一负荷或压缩力使顶点处的、连续下降到环形延伸部的脊的环形延伸部或变化的“三角区域”塑性变形。该变形使如此变形的环密封材料变硬。需要比第一负荷大的第二负荷或压缩力，以使环密封经过脊继续变形。力的转移阻止使用者向环密封施加过大的负荷，该过大的负荷能损伤流动部件密封表面。

在另一方面，顶点位于环形延伸部内距离轴孔比距离环形密封主体的外径向直径近的位置，由与限定轴孔的内表面径向相反的外表面限定外径向直径。利用该构造，顶点和脊之间的变形提供更大的密封区域，甚至在环形延伸部的一部分可能在操作期间损伤的情况下也能提供密封，损伤通常是在延伸部的顶点。

通过通读和学习附图及下面的详细说明，这些和其它益处将变得明显。在这些附图中，相同的附图标记在整个附图中指示相同的部件。

附图说明

图1是现有技术的密封的俯视图；

图2是沿着图1所示的现有技术的密封的线2的截面图；

图3是根据本发明的各原理构造的示例性环密封的俯视图；

图4是沿着图3所示的环密封的线A-A的截面图；

图5是图3的环密封的由线B指示的部分的等距视图；

图6是图示出根据本发明的各原理密封流路的示例性方法的流程图；

图7是图示出根据本发明的各原理、设置在流体流动部件之间的根据图3-5的示例性环密封在压缩之前的截面图；

图8是图示出根据本发明的各原理、图7的示例性环密封和流体流动部件在压缩之后的截面图；

图9是图示出设置在流体流动部件之间的、具有现有技术的标准“三角区域”或延伸部的示例性环密封在压缩之前的截面图；

图10是图示出图9的示例性环密封和流体流动部件在压缩之后的截面图；

图11是图示出压缩根据图3-5制成的两个密封和根据图9制成的两个密封所需的力的量的实际测试结果的图；

图12是图示出设置在流体流动部件之间的具有现有技术的大“三角区域”或延伸部的示例性环密封在压缩之前的截面图；

图13是图示出图12的示例性环密封和流体流动部件在压缩之后的截面图；

图14是图示出压缩根据图3-5制成的密封所需的力的量的模拟结果的图；

图15是图示出压缩根据图12制成的密封所需的力的量的模拟结果的图。

技术人员将理解，为了简单和清楚地图示出图中的元件，不必按比例绘制这些元件。例如，图中的一些元件的尺寸和/或相对位置可能相对于其它元件被放大，以有助于改善本发明的多个实施方式的可理解性。另外，为了更少地阻挡多个实施方式的视图，常常没有绘出商业上可行的实施方式中有用或必要的通常是公知的元件。还应当理解，可以以特定的发生顺序描述或绘出某些动作和/或步骤，而本领域技术人员将理解，关于顺序的这些具体化不是实际上需要的。还应当理解，如本领域技术人员就这些术语和表述在上面阐述的那样，本文使用的术语和表述具有通常的技术含义，除非本文阐述了不同的特定含义。

具体实施方式

现在特别是参照图3-5，将描述示例性的环密封300，该环密封300用于密封限定流体流路的相反的流动部件密封表面。术语“下”和“上”仅是参照附图的表述，不必与实际安装中的密封组件的定向一致。图示的环密封300包括限定了轴孔310的环形密封主体305，轴孔310用于流体沿着箭头315所图示的轴向通过。密封材料应当具有弹性特性，以允许在限定流路的元件之间被压缩时压缩和回弹，以沿着轴向流路良好地密封。在需要高纯度的气体通过流路的晶圆制造环境中使用的密封中，将诸如316双融不锈钢、镍、哈氏合金(HASTELLOY，来自Central States Industrial Equipment&Service,Inc.)以及AL-6XN(来自Central States Industrial Equipment&Service,Inc.)举例为适当的材料。

相反的密封表面320和325布置在环形密封主体305的相反的轴端330和335。环形延伸部340和342从相反的密封表面320和325中的至少一者延伸(这里图示为从两者都延伸)。环形延伸部340和342可以具有不同构造或相同构造，使得环密封关于与轴向315垂直的中心线360对称。为了简单起见，将参照第一环形延伸部340来描述环形延伸部340和342的细节，应当理解，这些方面的描述能够以任意组合适用于两个延伸部340和342。

更具体地，环形延伸部340包括顶点344。第一延伸表面346和第二延伸表面348分别从顶点344朝向密封表面320沿相反的方向延伸回去，其中，环形延伸部340从该密封表面320延伸。第一延伸表面346具有相对于轴向315的第一总体角度(general angle)，并且通过过渡到相对于轴向315的第二总体角度而限定脊350，该第二总体角度以比第一延伸表面346陡的总体角度，即朝向密封表面320倾斜更多地朝向密封表面320延伸回去。第一总体角度将通常在大约91度至大约125度的范围，更优选地在大约95度至大约110度的范围，最优选地为大约99度。第二总体角度将通常在大约110度至大约175度的范围，更优选地在大约125度至大约145度的范围，最优选地为大约135度。可选地，第二延伸表面348以比整个第一延伸表面346陡的总体角度朝向密封表面320延伸回去，该总体角度优选在大约110度和大约175度之间，更优选地在大约125度和大约145度之间，最优选地为大约135度。在另一可选方面，顶点344位于距离轴孔310比距离由外表面362限定的环形密封主体305的外径向直径(“OD”)更近的位置，其中，外表面362与限定轴孔310的内表面364轴向相反。优选地，顶点位于延伸部的宽度的内侧的一半内，更优选地位于其内侧的1/3内，使得顶点位于最终压缩的密封表面的内侧的一半内，更优选地位于其内侧的1/3内。利用该配置，顶点的任何损伤都不会妨碍密封表面的主要部分，更优选地不会妨碍密封表面的外侧的2/3。在前述设计中，顶点是在顶点的两侧具有相等的密封表面的三角区域的中心，用不太连续的密封表面以免受由顶点的损伤导致的泄漏。

尽管这些延伸表面在截面中被图示为直线表面，但是这些直线表面可以略微地弯曲，在这种情况下，上述角度将采用各表面部分相对于轴向的平均角度。例如，当第一延伸表面346的位于顶点344和脊350之间的部分347和第一延伸表面346的位于脊350和密封表面320之间的部分349中的一者或两者是弯曲的时，部分347的平均角度将不如部分349平均角度陡。

最终，第一延伸表面346和第二延伸表面348分别过渡到密封表面部分322和324，密封表面部分322和324将典型地与轴向315大致垂直，尽管不必如此配置这些部分322和324。例如，密封表面部分322到环密封300的外边缘开始垂直，随着部分322延伸远离轴孔310，部分322朝向中心线360弯曲。一方面，与所述第一延伸表面346过渡到所述第一延伸表面对应的密封表面部分322相比，所述第二延伸表面348更接近所述环形密封主体305的与所述轴向315垂直的中心线360地过渡到其对应的密封表面部分324。换言之，在环密封300的任一侧的密封表面部分324限定的内轴端面相对于在环密封300的任一侧的密封表面部分322限定的外轴端面是凹陷的，使得环密封300的在内轴端面处测量的厚度小于环密封的在外轴端面处测量的厚度。如此构造成如下程度，环密封300朝向其外直径(离开轴孔310)弯曲，密封表面部分324不太可能与流动部件密封表面接合，因为其更远离流动部件密封表面。因此，减小了由密封表面部分324与流动部件密封表面的接合导致的虚漏(virtualleak)的风险。

另外，在顶点344位于距离轴孔310比距离环形密封主体305的外径向直径(“OD”)近的环形延伸部内的情况下，由于顶点344的缺口(nick)将位于密封表面的朝向轴孔310的内侧部分，因此进一步减小了顶点344的缺口导致泄漏的可能性，其中，限定外径向直径的外表面362位于限定轴孔310的内表面364的径向相反侧。该内侧部分应当被完全地密封，这是因为第一延伸表面346的相对厚或长的第一部分347的剩余部分将变形并与流体部件密封表面接合，由此在顶点处的密封缺陷和密封的外侧之间提供更大的密封表面。

在另一方面，示例性的环密封300还包括从环密封的径向外表面朝向环密封的中心向内突出的多个孔380。孔的形成产生了在径向上延伸孔的长度且在轴向上在环密封的轴端面之间延伸的多个侧壁。多个孔可以采用任意数量的构造。例如，优选地，通过从环密封的径向外表面朝向环密封的中心沿径向钻孔来构造孔，以减小成本并减小任何制造困难。以该方式构造的孔具有圆形截面。孔还可以是大致矩形的构造形式，大致平坦的侧壁在轴向上在环密封的端面之间延伸在径向上在环密封的内径向表面和外径向表面之间延伸。在另一方式中，这些平坦的侧壁构造成与环密封的轴线成一角度，从而在环密封的径向外表面形成平行四边形形式的开口。

为了简单起见，孔被图示为具有圆形截面，尽管孔可以具有其它形状的截面而不脱离本发明的精神或范围。孔的数量和直径可以根据密封组件的期望的机械特性而改变。例如，增加孔的数量或增加孔的直径导致环密封的内侧壁的厚度的相应减小，这将改变密封的机械性质，包括增加密封的变形能力。然而，该孔的数量的增加或孔的直径的增加将减小密封在压缩和解压之后的弹性恢复(回弹)。在优选的实施方式中，孔为圆柱形的，具有在环密封的厚度的25％和75％之间的直径。直径小于25％将明显减小环密封的弹性变形能力。同时，将孔的直径增加到超过环密封的厚度的75％将使密封的结构一体性降低，使密封易于在压缩期间出现故障。在优选的方式中，孔具有为环密封的厚度的大约50％的直径。

将参照图6-8讨论使用上述环密封密封在两个流体流动部件710和720之间延伸的流体流路的方法。环形密封主体305被放置在流动部件密封表面715上610，使得环形密封主体305(更具体地，顶点340)与两个流体流动部件的第一流体流动部件710的流动部件密封表面715接触。两个流体流动部件710和720被(通常地在流路任一侧使用螺钉)固定到彼此620，以使两个流体流动部件710和720的流动部件密封表面715和725沿着流体流路彼此对准，并利用流动部件密封表面715和725压缩在环形密封主体305的相反轴端330和335的相反的密封表面320和325。该压缩导致环形密封305的变形。

压缩过程包括在环形延伸部340的第一部分的压缩期间环形延伸部340在第一压缩力处的第一压缩630。环形延伸部340的第一部分在顶点344和脊350之间由第一延伸表面347限定，在该第一部分，第一延伸表面347具有相对于轴向315的第一总体角度，第一延伸表面347通过过渡到相对于轴向315的第二总体角度而限定脊350。第二总体角度以比第一延伸表面347陡的总体角度朝向密封表面322延伸回去。该第一压缩使环形延伸部340的第一部分变形，由此在环形延伸部340的第一部分和流动部件密封表面725之间产生密封接合。利用在环形延伸部340的第二部分的压缩期间比第一压缩力大的第二压缩力产生环形延伸部340的第二压缩640。这里，由朝向密封表面322延伸回去的具有相对于轴向315的第二总体角度的第一延伸部分349限定环形延伸部340的第二部分。在这点上，在压缩和变形过程中，压缩过程必须使环形延伸部340的第二部分的额外材料变形，由此增加压缩密封所需的力直到(与密封接合的部分外面的)流体流动部件被压缩到一起。

图7和8分别图示出环形密封主体305和两个流体流动部件710和720沿着流体流路在压缩过程之前和之后的状态。当环形密封主体305被放置在流动部件密封表面715上610时，环形延伸部的底部的顶点与密封表面715接合，如图7所示。在压缩之前，另一密封表面725类似地与环形延伸部顶部的顶点接合。当如图8所示地完成第一压缩过程和第二压缩过程时，密封以多种方式变形。首先，环形延伸部沿着流动部件密封表面715和725变形，以在密封和流动部件密封表面的交叉位置处产生流体密封。由第一延伸表面347限定的环形延伸部340的第一部分完全变形，并被纳入环形密封主体和对应的流动部件密封表面715和725之间的流体密封770，该变形在第一压缩630期间发生。由第一延伸表面部分349限定的环形延伸部340的第二部分的一部分变形，并被纳入流体密封770，该变形在第二压缩640期间发生。当顶点344定位成距离轴孔310的距离小于距离环形密封主体305的外径向直径的距离时，环形延伸部的顶点部分位于靠近或临近密封的密封表面部分324和对应的流动部件密封表面715和725之间的间隙的位置(优选地，在流体密封770的内侧的1/3)，使得大部分流体密封770(优选地，流体密封770的至少2/3)布置在顶点部分和外侧间隙之间，外侧间隙位于密封的密封表面部分322和对应的流动部件密封表面715和725之间。如此构造，可能导致流体密封770的内部的密封不良的顶点的任何缺口或损伤非常可能被流体密封770的剩余部分从外侧完全密封。超出延伸部的变形的密封的其它变形包括随着密封的整个高度的压缩密封的内侧部分变厚。

从与图示出两个其它密封构造的压缩前状态和压缩后状态的图9、10、12和13的上述描述的对比，可以理解所公开的构造的一些优点。更具体地，图9和10分别图示出具有标准“三角区域”或延伸部的现有密封在压缩之前和之后的截面。在该实施例中，“三角区域”顶端或顶点大致在延伸部的中间，使得在压缩之后，被压缩的顶点位于变形的三角区域的中间。这减小了任一侧的材料的在“三角区域”或延伸部中的潜在的缺口或凹痕周围产生完整密封的能力。另外，与图8中图示的流体密封770表面相比，在标准三角区域的情况中，流体密封表面970具有大约小2.5倍的截面，这意味着该流体密封表面970在内真空和外区域之间提供较小的密封表面。这增大了三角区域的损伤导致密封泄漏的机率。

图11图示出使用本文描述的设计的三角区域的进一步的难以预料的效果。图11图示出压缩具有图3-5的设计的密封与压缩图9和10的标准“三角区域”进行比较的测试结果。该图示出施加在Y轴图示出的力导致的沿着X轴的以英寸为单位的密封的压缩量。如图所示，图3-5的变化的或倾斜的“三角区域”在整个压缩范围内，利用仅略微大的施力持续地压缩。因而，另人惊讶地，仅利用比产生标准“三角区域”的较小的流体密封表面970所需的力略大的力就能够完成图8中图示出的变化的三角区域的二又二分之一大的流体密封表面770(与图9和10的标准“三角区域”的流体密封表面相比)。因而，利用仅略微大的施力就能提供大得多的密封表面770，其提供了停止包括由密封的损伤、密封表面的污染、密封表面的损伤、密封表面的未对准或密封的压缩不完全导致的泄漏的任何泄漏的更高可能性。

图12和13分别图示出具有比平均“三角区域”或延伸部1240大的现有技术密封在压缩之前和压缩之后的截面。在该实施例中，与图9和图10的实施例类似，“三角形”顶端或顶点大致在延伸部1240的中间，使得在压缩之后，被压缩的顶点在变形的三角区域和流体密封表面1270的中间。通过较大尺寸的延伸部或“三角区域”，在压缩之后，流体密封表面1270具有与图8图示的流体密封表面770大致相同的截面。然而，与图8的密封不同，图12和13的密封在顶点的任一侧仍具有相等的材料量，以在“三角区域”或延伸部中的潜在的缺口或凹陷周围产生完全的密封。与图8的版本相反，该方式减小了缺陷周围密封的可能性，其在缺陷和流体密封的边缘之间包括较大的连续密封表面。另外，如图14和15所示，与利用所描述的密封330实现相似尺寸的密封表面770所需的压缩力(如图14所示)相比，压缩具有大“三角区域”的密封需要明显大的力(如图15所示)。这些图图示了使用已知的Solid Works计算机程序模型计算的实现指示的压缩距离(X轴)所需的力(Y轴)。

虽然已经参照多个具体的实施例描述了本发明，但是应当理解，在不脱离本发明的范围的情况下，可以作出多种变型。因此，上面的描述不应当解释为限制本发明，而仅作为本发明的例举的优选实施方式，可以在所附的权利要求的范围内以多种方式实施本发明。

Claims (13)

1.一种环密封，所述环密封用于密封限定流体流路的相反的流动部件密封表面，所述环密封包括：

环形密封主体，所述环形密封主体限定用于流体沿着轴向通过的轴孔；

相反的密封表面，所述相反的密封表面位于所述环形密封主体的相反的轴端；

环形延伸部，所述环形延伸部从所述相反的密封表面中的至少一者沿轴向延伸，所述环形延伸部具有顶点；

其中，所述环形延伸部包括第一延伸表面和第二延伸表面，所述第一延伸表面和所述第二延伸表面分别从所述顶点沿相反方向朝向所述环形延伸部从此延伸的所述密封表面延伸回去；

其中，所述第一延伸表面具有相对于所述轴向的第一总体角度，并且通过过渡到相对于所述轴向的第二总体角度而限定脊，所述第二总体角度以比所述第一延伸表面陡的总体角度朝向所述密封表面延伸回去；

其中所述脊限定所述环密封的一部分，在从所述顶点到所述脊的压缩过程中，所述环密封的一部分需要第一压缩力，所述第一压缩力小于经过所述脊的压缩过程中所需的第二压缩力。

2.根据权利要求1所述的环密封，其中，所述第一延伸表面和所述第二延伸表面分别过渡到大致与所述轴向垂直的密封表面部分。

3.根据权利要求2所述的环密封，其中，与所述第一延伸表面过渡到所述第一延伸表面对应的密封表面部分相比，所述第二延伸表面更接近所述环形密封主体的与所述轴向垂直的中心线地过渡到其对应的密封表面部分。

4.根据权利要求1所述的环密封，其中，所述顶点位于所述环形延伸部内距离所述轴孔比距离所述环形密封主体的外径向直径近的位置，由与限定所述轴孔的内表面径向相反的外表面限定所述外径向直径。

5.根据权利要求4所述的环密封，其中，所述顶点位于距离所述环形密封主体的所述轴孔比距离所述环形密封主体的所述外径向直径近的所述环形延伸部的内侧1/2内的位置。

6.根据权利要求5所述的环密封，其中，所述顶点位于距离所述环形密封主体的所述轴孔比距离所述环形密封主体的所述外径向直径近的所述环形延伸部的内侧1/3内的位置。

7.根据权利要求4所述的环密封，其中，所述第二延伸表面以比所述第一延伸表面陡的总体角度朝向所述密封表面延伸回去。

8.根据权利要求7所述的环密封，其中，所述第一延伸表面和所述第二延伸表面分别过渡到大致垂直于所述轴向的密封表面部分。

9.根据权利要求8所述的环密封，其中，与所述第一延伸表面过渡到所述第一延伸表面对应的密封表面部分相比，所述第二延伸表面更接近所述环形密封主体的与所述轴向垂直的中心线地过渡到其对应的密封表面部分。

10.一种密封在两个流体流动部件之间延伸的流体流路的方法，所述两个流体流动部件均具有包围所述流体流路的流动部件密封表面，使用环形密封主体，所述环形密封主体具有在所述环形密封主体相反的轴端的相反的密封表面并且具有从所述相反的密封表面中的至少一者沿轴向延伸的环形延伸部，所述环形延伸部具有顶点，所述方法包括：

使环形密封主体与所述两个流体流动部件中的第一流体流动部件的流动部件密封表面接触，其中，所述环形密封主体限定用于流体沿着轴向通过的轴孔；

将所述两个流体流动部件固定到彼此，以沿着所述流体流路对准所述两个流体流动部件的流动部件密封表面，并用所述流动部件密封表面压缩所述环形密封主体的相反的轴端上的相反的密封表面；

其中，压缩所述相反的密封表面包括：

在压缩所述环形延伸部的第一部分的过程中以第一压缩力压缩所述环形延伸部的第一压缩，其中，所述环形延伸部的所述第一部分由所述顶点和脊之间的第一延伸表面限定，其中，所述第一延伸表面具有相对于所述轴向的第一总体角度，并且通过过渡到相对于所述轴向的第二总体角度限定所述脊，所述第二总体角度以比所述第一延伸表面陡的总体角度朝向所述密封表面延伸回去；

在压缩所述环形延伸部的第二部分的过程中以比所述第一压缩力大的第二压缩力压缩所述环形延伸部的第二压缩，其中，所述环形延伸部的所述第二部分由所述第一延伸表面部分限定，其中，所述第一延伸表面部分具有朝向所述密封表面延伸回去的相对于所述轴向的第二总体角度。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述顶点位于距离所述轴孔比距离所述环形密封主体的外径向直径近的位置，由与限定所述轴孔的内表面径向相反的外表面限定所述外径向直径，其中，压缩所述相反的密封表面进一步包括使所述环形延伸部的所述第一部分变形，以使所述顶点位于距离所述轴孔比距离所述环形密封主体的所述外径向直径近的位置。

12.根据权利要求11所述的方法，所述方法进一步包括使所述环形延伸部的所述第一部分变形，以使所述顶点位于所述环密封和对应的相反的密封表面之间的相交处的至少内侧1/2内。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，使所述环形延伸部的所述第一部分变形包括使所述环形延伸部的第一部分变形，以使所述顶点位于所述环密封和对应的相反的密封表面之间的相交处的至少内侧1/3内。