CN107068514A - 一种电子枪灯丝的制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种电子枪灯丝的制作方法,所述方法包括以下步骤:首先制备掺杂钨粉,通过还原仲钨酸铵5(NH4)2O·12WO3·5H2O获得蓝色氧化钨WO2.9,往蓝色氧化钨中加入适量Si,Al,K和Co等微量掺杂剂,对掺杂后的氧化钨进行还原获得不同粒径的掺杂钨粉;然后烧结掺杂钨坯条,对钨粉进行酸洗,压坯,烧结成具有金属特性的耐高温钨坯条;最后塑性加工制备耐高温掺杂钨丝,通过旋锻、拉伸和中间退火获得耐高温钨丝,并通过压力作用制得成品灯丝;本发明的电子枪灯丝的制作方法,消除钨丝表面的应力,减少钨丝裂纹的产生;提高了钨丝的耐高温性能,改善钨丝的高温抗下垂性能,降低了生产成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种电子枪灯丝的制作方法,属于电真空技术领域。
背景技术
电子枪是工业用电子辐照加速器核心部件之一,是加速器在工业生产中有效应用的关键;电子枪是加速器的电子源,要求电子枪能发射足够的电子,被引出电极引出,与加速管匹配,从而获得一定能量、足够流强,聚焦性能良好的电子束;电子枪寿命主要取决于采用的灯丝材料,也称热阴极材料;在电子辐照加速器中可采用的热阴极材料有钨丝、钍钨丝、硼化鑭、铼钨丝、氧化物阴极等;普遍使用的是钨丝作为热阴极材料;尽管钨丝阴极能经受离子轰击,但它的电子发射密度(0.2~0.3A/平方厘米),其发射效率不高;加热功率高,工作温度高达2100℃~2600℃,容易引起密封泄漏,以致加速器真空度下降,影响加速器正常工作;钍钨丝阴极的工作温度虽然比钨丝阴极要低,发射密度也较高,但它不耐高气压及离子轰击;硼化鑭阴极的发射性能很好,在1500℃~1700℃的发射密度达20A/平方厘米,但使用寿命较短,不利于加速器的长期连续运行;而氧化物阴极虽有工作温度低,发射密度较高,但其不耐高气压及离子轰击,寿命也不长,且现有的灯丝通常为V型,其发射面较小。
发明内容
为解决上述问题,本发明提出了一种电子枪灯丝的制作方法,消除钨丝表面的应力,减少钨丝裂纹的产生;提高了钨丝的耐高温性能,改善钨丝的高温抗下垂性能,且降低了生产成本。
本发明的电子枪灯丝,包括发射面及连接于所述发射面两端的固定脚;所述发射面呈盘香状结构;所述发射面和固定脚经退火处理后一体制成。
本发明的电子枪灯丝的制作方法,所述方法包括以下步骤:首先制备掺杂钨粉,通过还原仲钨酸铵5(NH4)2O·12WO3·5H2O获得蓝色氧化钨WO2.9,往蓝色氧化钨中加入适量Si,Al,K和Co等微量掺杂剂,对掺杂后的氧化钨进行还原获得不同粒径的掺杂钨粉;然后烧结掺杂钨坯条,对钨粉进行酸洗,压坯,烧结成具有金属特性的耐高温钨坯条;最后塑性加工制备耐高温掺杂钨丝,通过旋锻、拉伸和中间退火获得耐高温钨丝,并通过压力作用制得成品灯丝。
本发明的电子枪灯丝的制作方法,具体方法包括以下步骤:
步骤一,掺杂钨粉的制备,
第一步,还原仲钨酸铵,
仲钨酸铵在还原性气氛下,与氢气发生化学反应生成蓝色氧化钨,选择四带九管还原炉作为还原仲钨酸铵的设备,控制还原温度为220℃~480℃,氢气流量为0.3~0.6m3/h,进舟时间为15min/次,其化学反应方程如下:
5(NH4)2O·12WO3·5H2O+1.2H2=WO2.9+10NH3↑+11.2H2O↑;
第二步,加入掺杂剂,
取第一步还原得到的蓝色氧化钨50KG,并向蓝色氧化钨中加入0.43L浓度为42g/L的Al(NO3)3,2.2L浓度为110g/L的K2SiO4,1.2L浓度为110g/L的Co(NO3)2;
第三步,还原掺杂后的蓝色氧化钨,
对掺杂后的蓝色氧化钨采用二阶段还原工艺进行还原,控制一阶段还原温度为560℃~650℃,控制二阶段还原温度为620℃~820℃;控制氢气露点-40℃以下,流量3.3~4.1L/H,装舟量为130g~210g/舟;通过一阶段还原,温度控制在620℃~870℃,得到粗颗粒钨粉;通过二阶段还原得到细颗粒钨粉;
步骤二,烧结掺杂钨坯条,
第一步,酸洗,通过酸洗设备去除钨粉中多余的掺杂剂;
第二步,压坯,采用油压机对第一步中经酸洗操作后的钨粉进行压坯处理;
第三步,烧结,采用二阶段烧结方式,经预烧结阶段,钨条在氢气还原性气氛中进行烧结,烧结温度为1180℃~1350℃,进舟速度为4cm/min;氢气流量为2010L/H,以及高温烧结阶段,将钨条置于真空垂熔炉中,在4350A电流下烧结42min,得到具有金属特性的耐高温钨坯条;
步骤三,钨丝的塑性加工,
第一步,旋锻,使用旋煅机进行串锻加工,旋锻温度控制1300℃~1650℃,道次加工率控制10%~15%,得到φ10.0mm的粗钨棒;
第二步,预退火,取旋煅后的φ10.0mm粗钨棒在高频退火炉内进行退火操作,以消除开坯应力,控制退火温度为1300℃~1400℃,一次退火后加工率达到70%;
第三步,拉伸,经大转拉丝机的粗拉丝得到粗钨棒,单模拉丝机和多模拉丝机的中拉丝得到φ5.8mm粗钨杆;
第四步,中间退火,取拉伸后的粗钨杆在氢气电退火炉内进行再结晶退火,控制退火温度为1900℃~2000℃;
第五步,细拉丝,细丝多模拉丝机的细拉丝得到0.06~0.5mm细钨丝;
第六步,将细钨丝通过压力加工制得盘香状结构的成品灯丝。
作为优选的实施方案,制备耐高温钨丝所需所述掺杂剂为K=520~105ppm,A1=130~190ppm,Si=900~1960ppm,Co:0.01~0.013%,Fe<14.5ppm。
进一步地,所述粗颗粒钨粉其粒度为3.0um~5.0um;所述细颗粒钨粉其粒度为2.0um~3.0um。
作为优选的实施方案,开坯所述旋锻温度设为1400℃~1600℃,开坯道次加工率设为10%~13%;中间所述旋锻温度随钨棒加工的深入逐渐降低,当钨棒被旋锻成直径为φ3.7mm的钨杆后,其加工组织沿轴向趋于一致,具有更高强度,利于进入拉伸工序。
本发明与现有技术相比较,本发明的电子枪灯丝的制作方法,采用蓝色氧化钨制备钨丝,有利于掺杂溶液的渗入;添加钾元素,在钨丝中形成钾泡,改善钨丝的高温抗下垂性能;在钨粉的还原过程中采用二段还原方式,能够较好的控制钨粉粒度,细颗粒钨粉粒度控制为2.0um~3.0um;粗颗粒钨粉粒度控制为3.0um~5.0um;采用两次垂熔烧结,既能保证钨条结晶等性能又能降低生产成本;通过合理设定加工工艺,减少应力集中,改善钨丝绕丝性能;钨丝的制备过程中,合理设立退火点,及时消除钨丝表面的应力,减少钨丝裂纹的产生。
附图说明
图1是本发明的电子枪灯丝结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本发明的电子枪灯丝,包括发射面1及连接于所述发射面1两端的固定脚2;所述发射面1呈盘香状结构;所述发射面1和固定脚2经退火处理后一体制成。
本发明的电子枪灯丝的制作方法,所述方法包括以下步骤:首先制备掺杂钨粉,通过还原仲钨酸铵5(NH4)2O·12WO3·5H2O获得蓝色氧化钨WO2.9,往蓝色氧化钨中加入适量Si,Al,K和Co等微量掺杂剂,对掺杂后的氧化钨进行还原获得不同粒径的掺杂钨粉;然后烧结掺杂钨坯条,对钨粉进行酸洗,压坯,烧结成具有金属特性的耐高温钨坯条;最后塑性加工制备耐高温掺杂钨丝,通过旋锻、拉伸和中间退火获得耐高温钨丝,并通过压力作用制得成品灯丝。
本发明的电子枪灯丝的制作方法,具体方法包括以下步骤:
步骤一,掺杂钨粉的制备,
第一步,还原仲钨酸铵,
仲钨酸铵在还原性气氛下,与氢气发生化学反应生成蓝色氧化钨,选择四带九管还原炉作为还原仲钨酸铵的设备,控制还原温度为220℃~480℃,氢气流量为0.3~0.6m3/h,进舟时间为15min/次,其化学反应方程如下:
5(NH4)2O·12WO3·5H2O+1.2H2=WO2.9+10NH3↑+11.2H2O↑;
第二步,加入掺杂剂,
取第一步还原得到的蓝色氧化钨50KG,并向蓝色氧化钨中加入0.43L浓度为42g/L的Al(NO3)3,2.2L浓度为110g/L的K2SiO4,1.2L浓度为110g/L的Co(NO3)2;
第三步,还原掺杂后的蓝色氧化钨,
对掺杂后的蓝色氧化钨采用二阶段还原工艺进行还原,控制一阶段还原温度为560℃~650℃,控制二阶段还原温度为620℃~820℃;控制氢气露点-40℃以下,流量3.3~4.1L/H,装舟量为130g~210g/舟;通过一阶段还原,温度控制在620℃~870℃,得到粗颗粒钨粉,其粒度为3.0um~5.0um;通过二阶段还原得到细颗粒钨粉,其粒度为2.0um~3.0um;
步骤二,烧结掺杂钨坯条,
第一步,酸洗,通过酸洗设备去除钨粉中多余的掺杂剂;
第二步,压坯,采用油压机对第一步中经酸洗操作后的钨粉进行压坯处理;
第三步,烧结,采用二阶段烧结方式,经预烧结阶段,钨条在氢气还原性气氛中进行烧结,烧结温度为1180℃~1350℃,进舟速度为4cm/min;氢气流量为2010L/H,以及高温烧结阶段,将钨条置于真空垂熔炉中,在4350A电流下烧结42min,得到具有金属特性的耐高温钨坯条;
步骤三,钨丝的塑性加工,
第一步,旋锻,使用旋煅机进行串锻加工,开坯所述旋锻温度设为1400℃~1600℃,开坯道次加工率设为10%~13%,得到φ10.0mm的粗钨棒;
第二步,预退火,取旋煅后的φ10.0mm粗钨棒在高频退火炉内进行退火操作,以消除开坯应力,控制退火温度为1300℃~1400℃,一次退火后加工率达到70%;
第三步,拉伸,经大转拉丝机的粗拉丝得到粗钨棒,单模拉丝机和多模拉丝机的中拉丝得到φ5.8mm粗钨杆;
第四步,中间退火,取拉伸后的粗钨杆在氢气电退火炉内进行再结晶退火,控制退火温度为1900℃~2000℃;
第五步,细拉丝,细丝多模拉丝机的细拉丝得到0.06~0.5mm细钨丝;
第六步,将细钨丝通过压力加工制得盘香状结构的成品灯丝。
其中,制备耐高温钨丝所需所述掺杂剂为K=520~105ppm,A1=130~190ppm,Si=900~1960ppm,Co:0.01~0.013%,Fe<14.5ppm。
本发明的电子枪灯丝的制作方法,采用蓝色氧化钨制备钨丝,其表面存在很多台阶和裂纹,有利于掺杂溶液的渗入,在水溶液中具有快速离子交换能力,能获得很好掺杂效果,是制备耐高温钨丝的良好掺杂原料;采用卧式掺杂机,掺杂剂严格按顺序添加能改善掺杂效果,使掺杂剂均匀弥散分布;
由于添加钾元素,在钨丝中形成钾泡,改善钨丝的高温抗下垂性能;添加钻能够对钨晶粒起到细化作用,降低氧含量,使钨基体吸附更多的钾,很好地提高钨丝耐高温性能;
制备耐高温钨丝所需掺杂剂为K=520~105ppm,A1=130~190ppm,Si=900~1960ppm,Co:0.01~0.013%,Fe<14.5ppm,钨丝的高温抗下垂性能随添加钾元素的增加而优异,当钾含量超过90ppm时,钨丝的高温抗下垂性能恶化;耐高温掺钻钨丝是采用1.5倍芯线,进行推拉检验,绕丝性能合格,10~20mm震幅,频率为5~10次/s的条件下,掺钻钨丝的耐高温性能良好;
仲钨酸按粒度控制在30um~5Oum,各种微量元素的含量都控制在20ppm以下,形貌以方形单斜晶为最佳;
在钨粉的还原过程中采用二段还原方式,能够较好的控制钨粉粒度,细颗粒钨粉粒度控制为2.0um~3.0um;粗颗粒钨粉粒度控制为3.0um~5.0um;
烧结方式采用两次高温垂熔烧结,通过酸洗去除多余掺杂剂后,在4350A电流下烧结42min的工艺既能保证钨条结晶等性能又能降低生产成本;经过烧结含有一定的钾元素的钨条密度越高、晶粒度越均匀,获得的钨丝高温性能越好;
在旋锻加工过程中,温度与道次加工率分别:旋锻温度控制1300℃~1650℃,道次加工率控制10%~15%;通过合理设定加工工艺,减少应力集中,改善钨丝绕丝性能;
钨丝的制备过程中,合理设立退火点,及时消除钨丝表面的应力,减少钨丝裂纹的产生;耐高温钨丝的制备过程中在φ10.0mm退火,退火温度是1300℃~1400℃。
上述实施例,仅是本发明的较佳实施方式,故凡依本发明专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰,均包括于本发明专利申请范围内。
Claims (6)
1.一种电子枪灯丝,包括发射面及连接于所述发射面两端的固定脚;所述发射面呈盘香状结构;其特征在于:所述发射面和固定脚经退火处理后一体制成。
2.一种电子枪灯丝的制作方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:首先制备掺杂钨粉,通过还原仲钨酸铵5(NH4)2O·12WO3·5H2O获得蓝色氧化钨WO2.9,往蓝色氧化钨中加入适量Si,Al,K和Co等微量掺杂剂,对掺杂后的氧化钨进行还原获得不同粒径的掺杂钨粉;然后烧结掺杂钨坯条,对钨粉进行酸洗,压坯,烧结成具有金属特性的耐高温钨坯条;最后塑性加工制备耐高温掺杂钨丝,通过旋锻、拉伸和中间退火获得耐高温钨丝,并通过压力作用制得成品灯丝。
3.根据权利要求2所述的电子枪灯丝的制作方法,其特征在于:具体方法包括以下步骤:
步骤一,掺杂钨粉的制备,
第一步,还原仲钨酸铵,
仲钨酸铵在还原性气氛下,与氢气发生化学反应生成蓝色氧化钨,选择四带九管还原炉作为还原仲钨酸铵的设备,控制还原温度为220℃~480℃,氢气流量为0.3~0.6m3/h,进舟时间为15min/次,其化学反应方程如下:
5(NH4)2O·12WO3·5H2O+1.2H2=WO2.9+10NH3↑+11.2H2O↑;
第二步,加入掺杂剂,
取第一步还原得到的蓝色氧化钨50KG,并向蓝色氧化钨中加入0.43L浓度为42g/L的Al(NO3)3,2.2L浓度为110g/L的K2SiO4,1.2L浓度为110g/L的Co(NO3)2;
第三步,还原掺杂后的蓝色氧化钨,
对掺杂后的蓝色氧化钨采用二阶段还原工艺进行还原,控制一阶段还原温度为560℃~650℃,控制二阶段还原温度为620℃~820℃;控制氢气露点-40℃以下,流量3.3~4.1L/H,装舟量为130g~210g/舟;通过一阶段还原,温度控制在620℃~870℃,得到粗颗粒钨粉;通过二阶段还原得到细颗粒钨粉;
步骤二,烧结掺杂钨坯条,
第一步,酸洗,通过酸洗设备去除钨粉中多余的掺杂剂;
第二步,压坯,采用油压机对第一步中经酸洗操作后的钨粉进行压坯处理;
第三步,烧结,采用二阶段烧结方式,经预烧结阶段,钨条在氢气还原性气氛中进行烧结,烧结温度为1180℃~1350℃,进舟速度为4cm/min;氢气流量为2010L/H,以及高温烧结阶段,将钨条置于真空垂熔炉中,在4350A电流下烧结42min,得到具有金属特性的耐高温钨坯条;
步骤三,钨丝的塑性加工,
第一步,旋锻,使用旋煅机进行串锻加工,旋锻温度控制1300℃~1650℃,道次加工率控制10%~15%,得到φ10.0mm的粗钨棒;
第二步,预退火,取旋煅后的φ10.0mm粗钨棒在高频退火炉内进行退火操作,以消除开坯应力,控制退火温度为1300℃~1400℃,一次退火后加工率达到70%;
第三步,拉伸,经大转拉丝机的粗拉丝得到粗钨棒,单模拉丝机和多模拉丝机的中拉丝得到φ5.8mm粗钨杆;
第四步,中间退火,取拉伸后的粗钨杆在氢气电退火炉内进行再结晶退火,控制退火温度为1900℃~2000℃;
第五步,细拉丝,细丝多模拉丝机的细拉丝得到0.06~0.5mm细钨丝;
第六步,将细钨丝通过压力加工制得盘香状结构的成品灯丝。
4.根据权利要求3所述的电子枪灯丝的制作方法,其特征在于:制备耐高温钨丝所需所述掺杂剂为K=520~105ppm,A1=130~190ppm,Si=900~1960ppm,Co:0.01~0.013%,Fe<14.5ppm。
5.根据权利要求3所述的电子枪灯丝的制作方法,其特征在于:所述粗颗粒钨粉其粒度为3.0um~5.0um;所述细颗粒钨粉其粒度为2.0um~3.0um。
6.根据权利要求3所述的电子枪灯丝的制作方法,其特征在于:开坯所述旋锻温度设为1400℃~1600℃。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170818 |
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