CN106929815B - 一种镀膜机行星盘装卸夹具 - Google Patents
一种镀膜机行星盘装卸夹具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106929815B CN106929815B CN201511017664.XA CN201511017664A CN106929815B CN 106929815 B CN106929815 B CN 106929815B CN 201511017664 A CN201511017664 A CN 201511017664A CN 106929815 B CN106929815 B CN 106929815B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- frame assembly
- disk
- handling
- planet
- clamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明涉及光学镀膜技术领域,具体公开一种镀膜机行星盘装卸夹具。本发明的镀膜机行星盘装卸夹具包括相互连接的行星盘托盘和框架组件;行星盘托盘为中心开设有台阶孔的方盘,台阶孔用于放置行星盘,台阶孔的直径大于行星盘的直径;框架组件用于对行星盘托盘进行支撑,并用于对行星盘进行定位。本发明提供的镀膜机行星盘装卸夹具,能够在对行星盘进行装卸时代替人力,保证行星盘安装、拆卸的快捷和元件的安全。
Description
技术领域
本发明涉及光学镀膜技术领域,特别涉及一种镀膜机行星盘装卸夹具。
背景技术
使用镀膜机镀制薄膜时,需要使用夹具对待镀膜的基片进行夹持。在具有行星转动系统的镀膜机中,待镀膜元件与镀膜夹具通过行星盘与行星转动系统相连接。现有情况下,在安装好元件及夹具后,行星盘由人力举起并悬挂在行星转动系统上。但是,当所镀制的元件重量较大时,人力托举存在一定的困难和风险。而且人力托举过程中不可避免会出现倾斜、震动,在镀制小口径小曲率半径凸面元件时存在一定的风险。
为解决这一问题,设计一种镀膜机行星盘装卸夹具,在对行星盘进行装卸时代替人力,保证安装、拆卸的快捷和元件的安全。
发明内容
本发明旨在克服现有技术的缺陷,提供一种新型镀膜机行星盘装卸夹具。
为实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一方面,本发明提供一种镀膜机行星盘装卸夹具,包括相互连接的行星盘托盘和框架组件;
所述行星盘托盘为中心开设有台阶孔的方盘,所述台阶孔用于放置行星盘,所述台阶孔的直径大于所述行星盘的直径;
所述框架组件用于对所述行星盘托盘进行支撑,并用于对所述行星盘进行定位。
优选的,所述框架组件由铝型材搭建而成。
优选的,所述框架组件包括由横梁、竖梁和支撑梁所形成的空间型框架结构,所述横梁、竖梁和支撑梁之间通过固定支架连接。
优选的,所述固定支架包括L型支架,所述L型支架上安装有铝型材用先装螺帽和连接用螺钉。
优选的,所述框架组件还包括加固梁,所述加固梁与所述横梁、竖梁之间通过转动支架连接。
优选的,所述转动支架包括两个相互连接的F型支架,所述两个F型支架之间通过可控制角度的连接件连接。
优选的,所述台阶孔上设有滚动构件,使得行星盘与行星盘托盘之间可以相对转动和滑动。
优选的,所述框架组件由角钢焊接、钢板焊接或板材螺纹连接方式搭建而成。
优选的,所述滚动构件为钢珠滚轮或球头顶丝。
优选的,所述装卸夹具还包括连接构件,所述连接构件设置于所述框架组件中,用于在装卸过程中固定所述装卸夹具。
本发明的有益效果在于:提供一种镀膜机行星盘装卸夹具,能够在对行星盘进行装卸时代替人力,保证行星盘安装、拆卸的快捷和元件的安全。
附图说明
图1为根据本发明一个实施例的装卸夹具的结构示意图。
图2为根据本发明一个实施例的框架组件的结构示意图。
图3为根据本发明一个实施例的行星盘托盘的结构示意图。
图4为根据本发明一个实施例的固定支架的结构示意图。
图5为根据本发明的一个实施例的转动支架的结构示意图。
附图标记:
1、行星盘托盘 2、框架组件 3、连接构件
101、滚动构件 102、连接孔 201、竖梁
202、固定支架 203、横梁 204、加固梁
205、支撑梁 206、转动支架 2021、L型支架
2022、铝型材用先装螺帽 2023、连接用螺钉
2061、第一F型支架 2062、第二F型支架
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及具体实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明,而不构成对本发明的限制。
首先参考图1,示出一种实施例的镀膜机行星盘装卸夹具的结构示意图,该实施例中,装卸夹具包括相互连接的行星盘托盘1和框架组件2,框架组件2由铝型材搭建而成。
其中,行星盘托盘1为中心开设有台阶孔的方盘,所设置的台阶孔用于放置行星盘,台阶孔的直径大于行星盘的直径,方便在安装时对行星盘位置进行微调,且台阶孔中空部分直径保证安装在行星盘中元件不与行星盘装卸夹具接触。
如图1和图3所示,行星盘托盘1的台阶孔上设有滚动构件101,滚动构件101可以在装卸过程中对行星盘位置进行微调时,使得行星盘与行星盘托盘之间可以相对转动和滑动。优选的实施方式中,滚动构件101可为钢珠滚轮或球头顶丝。
框架组件2用于对行星盘托盘1进行支撑,并用于对行星盘进行定位。行星盘托盘1的四周设置有连接孔102,用于与框架组件2连接,具体可采用螺钉等方式进行连接。
如图2所示,框架组件2包括由横梁203、竖梁201和支撑梁205所形成的空间型框架结构。
具体的,框架组件2包括由四根横梁203、两根竖梁201和两根支撑梁205所形成的空间型框架结构。其中,横梁203、竖梁201和支撑梁205之间分别通过固定支架202连接,具体的,横梁203、竖梁201和支撑梁205之间两两垂直连接,所形成的空间型框架结构为图2中所示的五面体。
具体实施方式中,固定支架202的结构如图4所示,固定支架202包括L型支架2021,L型支架上安装有铝型材用先装螺帽2022和连接用螺钉2023。
优选的实施方式中,框架组件2还包括加固梁204,加固梁204与横梁203、竖梁201之间通过转动支架206连接。加固梁204的两端分别紧贴竖梁201和支撑梁205的边缘。
具体实施方式中,转动支架206的结构如图5所示,转动支架206包括两个相互连接的F型支架,第一F型支架2061和第二F型支架2062,第一F型支架2061和第二F型支架2062之间通过可控制角度的连接件连接,具体可通过螺钉2063连接。转动支架206另外还包括设置在第一F型支架2061上的铝型材用先装螺帽2022和连接用螺钉2023,以及设置在第二F型支架2062上的铝型材用先装螺帽2022和连接用螺钉2023。
在其他的实施方式中,框架组件2还可由角钢焊接、钢板焊接或板材螺纹连接方式搭建而成,但是同样也包括由横梁203、竖梁201和支撑梁205所形成的空间型框架结构。优选的,框架组件2还包括加固梁204。该实施方式中,横梁203、竖梁201、支撑梁205以及加固梁204之间可以使用焊接的方式或者使用螺钉螺母的方式实现连接。
本发明所提供的装卸夹具还包括连接构件3,主要用于在装卸过程中对装卸夹具进行固定。具体的,连接构件3可以为铝合金型材料用先装螺帽,还可以为螺钉螺母组合。
以由铝型材搭建框架组件2的装卸夹具为例,采用本发明的装卸夹具对行星盘进行安装的全过程为:
在安装时,待安装的行星盘放置在行星盘托盘1上,通过提升叉车将行星盘升至与镀膜机行星转动系统接近的高度。将叉车推至镀膜机真空室门口,使得叉车中线接近镀膜机真空室门中心,且叉车底角与镀膜机底部紧贴,框架组件2的长度保证了行星盘位置已经接近行星盘转动系统安装位置。此时只需要通过在行星盘托盘中转动和推动行星盘就可以实现对行星盘位置的精确调整,再提升叉车即可将行星盘安装至行星盘转动系统上。拆卸过程则与此相反。
具体安装过程中,连接构件3的一端安装在框架组件2的槽中,另一端通过螺钉连接在叉车的横梁上,使得整个镀膜机行星盘装卸夹具固定在叉车的横梁上。框架组件2用于对行星盘托盘1进行支撑,增加叉车提升的高度,并且确保行星盘在镀膜机真空室内位置。
安装过程中,固定支架202上的两个铝型材用先装螺帽2022先分别装入待连接的相互垂直的两个梁的凹槽中,如横梁203与竖梁201凹槽中、横梁203与支撑梁205的凹槽中、或竖梁201与横梁203的凹槽中;调整好横梁203与竖梁201之间、横梁203与支撑梁205之间,或竖梁201与横梁203之间的相对位置,使用两个连接用螺钉2023进行紧固即可。
转动支架206上的四个铝型材用先装螺帽2022先分别装入待连接的两个梁的凹槽中,具体为固定梁204与竖梁201的凹槽中,以及固定梁204与支撑梁205的凹槽中;先松开控制角度螺钉2063,调整第一F型支架2061和第二F型支架2062之间的角度使其与加固梁204、竖梁201之间的角度相同,调整好固定梁204与竖梁201,以及固定梁204与支撑梁205的相对位置,使用四个连接用螺钉2023进行紧固即可。
通过本发明所提供的镀膜机行星盘装卸夹具,能够在对行星盘进行装卸时代替人力,保证行星盘安装、拆卸的快捷和元件的安全。
以上所述本发明的具体实施方式,并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据本发明的技术构思所作出的各种其他相应的改变与变形,均应包含在本发明权利要求的保护范围内。
Claims (10)
1.一种镀膜机行星盘装卸夹具,其特征在于,所述装卸夹具包括相互连接的行星盘托盘和框架组件;
所述行星盘托盘为中心开设有台阶孔的方盘,所述台阶孔用于放置行星盘,所述台阶孔的直径大于所述行星盘的直径;
所述框架组件用于对所述行星盘托盘进行支撑,并用于对所述行星盘进行定位。
2.如权利要求1所述的装卸夹具,其特征在于,所述框架组件由铝型材搭建而成。
3.如权利要求2所述的装卸夹具,其特征在于,所述框架组件包括由横梁、竖梁和支撑梁所形成的空间型框架结构,所述横梁、竖梁和支撑梁之间通过固定支架连接。
4.如权利要求3所述的装卸夹具,其特征在于,所述固定支架包括L型支架,所述L型支架上安装有铝型材用先装螺帽和连接用螺钉。
5.如权利要求3所述的装卸夹具,其特征在于,所述框架组件还包括加固梁,所述加固梁与所述横梁、竖梁之间通过转动支架连接。
6.如权利要求5所述的装卸夹具,其特征在于,所述转动支架包括两个相互连接的F型支架,所述两个F型支架之间通过可控制角度的连接件连接。
7.如权利要求1所述的装卸夹具,其特征在于,所述框架组件由角钢焊接、钢板焊接或板材螺纹连接方式搭建而成。
8.如权利要求1所述的装卸夹具,其特征在于,所述台阶孔上设有滚动构件,使得行星盘与行星盘托盘之间可以相对转动和滑动。
9.如权利要求8所述的装卸夹具,其特征在于,所述滚动构件为钢珠滚轮或球头顶丝。
10.如权利要求1所述的装卸夹具,其特征在于,所述装卸夹具还包括连接构件,所述连接构件设置于所述框架组件中,用于在装卸过程中固定所述装卸夹具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201511017664.XA CN106929815B (zh) | 2015-12-29 | 2015-12-29 | 一种镀膜机行星盘装卸夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201511017664.XA CN106929815B (zh) | 2015-12-29 | 2015-12-29 | 一种镀膜机行星盘装卸夹具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106929815A CN106929815A (zh) | 2017-07-07 |
CN106929815B true CN106929815B (zh) | 2020-08-21 |
Family
ID=59442282
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201511017664.XA Active CN106929815B (zh) | 2015-12-29 | 2015-12-29 | 一种镀膜机行星盘装卸夹具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106929815B (zh) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02294478A (ja) * | 1989-04-14 | 1990-12-05 | Leybold Ag | サブストレートを受容して保持する装置 |
CN201770769U (zh) * | 2010-05-21 | 2011-03-23 | 嘉兴市华正光电科技有限公司 | 镀膜装夹具 |
JP2012137193A (ja) * | 2012-04-23 | 2012-07-19 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 遊星ローラ式トラクションドライブ |
CN202347092U (zh) * | 2011-11-29 | 2012-07-25 | 苏州灵菱照明镀膜科技有限公司 | 真空镀膜机用装载夹具 |
CN104372402A (zh) * | 2013-08-14 | 2015-02-25 | 晶科能源有限公司 | 一种多晶硅铸锭炉装卸料夹具 |
CN104480449A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-01 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种重复可调式的镀膜仿面形工装 |
CN104532204A (zh) * | 2015-01-13 | 2015-04-22 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种竖直放置式镀膜夹具 |
-
2015
- 2015-12-29 CN CN201511017664.XA patent/CN106929815B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02294478A (ja) * | 1989-04-14 | 1990-12-05 | Leybold Ag | サブストレートを受容して保持する装置 |
CN201770769U (zh) * | 2010-05-21 | 2011-03-23 | 嘉兴市华正光电科技有限公司 | 镀膜装夹具 |
CN202347092U (zh) * | 2011-11-29 | 2012-07-25 | 苏州灵菱照明镀膜科技有限公司 | 真空镀膜机用装载夹具 |
JP2012137193A (ja) * | 2012-04-23 | 2012-07-19 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 遊星ローラ式トラクションドライブ |
CN104372402A (zh) * | 2013-08-14 | 2015-02-25 | 晶科能源有限公司 | 一种多晶硅铸锭炉装卸料夹具 |
CN104480449A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-01 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种重复可调式的镀膜仿面形工装 |
CN104532204A (zh) * | 2015-01-13 | 2015-04-22 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种竖直放置式镀膜夹具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106929815A (zh) | 2017-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106929815B (zh) | 一种镀膜机行星盘装卸夹具 | |
CN211172604U (zh) | 一种倾斜面板的石材幕墙连接组件 | |
CN210263733U (zh) | 一种石材干挂结构 | |
CN202936975U (zh) | 铝单板密缝结构装置 | |
CN211980595U (zh) | 一种用于晶圆生产的固定装置 | |
CN108020412B (zh) | 一种用于水平作动器与反力墙的连接装置 | |
CN210003628U (zh) | 一种卧式c型钢连接锁紧装置 | |
CN107953915B (zh) | 乘客门辅助安装装置 | |
CN208327048U (zh) | 提升夹具以及电梯轿厢 | |
CN102633183A (zh) | 一种风力发电机组变桨轴承吊装吊具及方法 | |
CN111360114A (zh) | 一种金属管件夹持段支撑保形机构 | |
CN220012773U (zh) | 一种减磨垫片碳氮共渗热处理工装 | |
CN214518890U (zh) | 一种轴承加工用具有调节机构的夹具设备 | |
CN216224957U (zh) | 一种汽修用钣金件喷涂托架 | |
CN213703137U (zh) | 一种铝合金锻件防变形夹具 | |
CN215726722U (zh) | 用于摄像头测试的支架 | |
CN211137107U (zh) | 一种汽油管道装卸用支撑架 | |
CN212043665U (zh) | 多油缸体固定夹具 | |
CN118007968B (zh) | 一种施工工装 | |
CN221168304U (zh) | 一种可调整平整度的幕墙安装骨架 | |
CN203141041U (zh) | 一种旋转升降式支撑工装 | |
CN214467126U (zh) | 一种汽车上用的支架 | |
CN109048392A (zh) | 一种齿轮车床安装结构 | |
CN210678467U (zh) | 一种通用夹具 | |
CN220410168U (zh) | 一种建筑装饰用辅助支架 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |