CN106783724A - 基板承载装置 - Google Patents

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Abstract

本发明是有关于一种基板承载装置，适用于液晶显示器制造，所述基板承载装置，包括：一承载台，用以承载一基板；一导电体，具有一受电端及一接地端，所述受电端电性连接所述基板，所述接地端接地。藉此即可随时导离或中和电性，消除基板传送中跟空气摩擦或是外来所产生的静电，以避免静电问题产生，本发明的效益更包括可免除已知所用的静电中和器或静电消除器，因此可不需要额外电力，节省成本，上述之外，本发明的效益更包括本发明利用导电体电性连接位于所述承载台上的基板，安装简易，可有效地节省时间，上述之外，本发明的效益更包括本发明利用除静电绳为导电体，具有不会酸化、不会生锈的特点，所以不会造成污染。

Description

基板承载装置
技术领域
本发明涉及一种承载装置，特别是涉及一种基板承载装置，适用于显示器制造。
背景技术
液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)制造业的发展技术目前已达到较高水平上，质量的严格要求与良率的提升，则有赖检验的机制与高超的技术水准提升。液晶显示器制程上降低不良品的发生，是液晶显示器制造工程师责无旁贷的责任。然而静电的发生是目前制造中常见的缺陷，举如液晶显示器静电击穿、静电吸着尘埃造成的面板内污污染。
上述中，静电击穿引起的元器件击穿损坏是电子工业中，特别是电子产品制造中最普遍、最严重的危害。静电放电可能造成器件硬击穿或软击穿。硬击穿是一次性造成器件的永久性失效，如器件的输出与输入开路或短路。软击穿则可使器件的性能劣化，并使其指标参数降低而造成故障隐患。由于软击穿可使电路时好时坏(指标参数降低所致)，且不易被发现，给整机运行和查找故障造成很大麻烦。软击穿时设备仍能工作，性能未发生根本变化，很可能通过出厂检验，但随时可能造成再次失效。多次软击穿就能造成硬击穿，使设备运行不正常，既给用户造成损失，也影响厂家声誉和产品的销售。
另外，上述中，静电吸着主要是在绝缘度很高时，在使用过程中一些不可避免的摩擦可造成其表面电荷不断积聚，且电位愈来愈高。由于静电的力学效应，在这种情况下，很容易使工作场所的浮游尘埃吸附于组件表面，而很小的尘埃吸附都有可能影响组件器件的良好性能。所以电子产品的生产必须在清洁环境中操作，并且操作人员、器具及环境必须采取一系列的防静电措施，以防止和降低静电危害的形成。
就目前现况而言，移除静电有两种常见方法：第一为经由接地而使静电放电(即：接地方法)，第二为经由产生离子在大气中而中和静电(即：离子中和方法)。
就已知技艺揭示使用绝缘物质其排除使用接地的方法而言，日本特许公开未经审查专利No 9-36207号中揭示使用含有聚酰亚胺聚合物形成一种指状物(将基板放置在其上)的技术。另外实例包括，日本公告第10-509747号其中揭示抗磨蚀的复合物材料的载体包括选自聚烯烃和聚酰胺的基本聚合物及具有特别平均纤维直径的研磨碳纤维填料。此外，日本特许公开未经审查的专利案第11-106665号中揭示由具有预定表面电阻率的热塑性聚合物和具有预定体积电阻率的纤维状导电填料所形成的转移构件。
在经由一种绝缘体例如塑料和陶瓷的转移构件所支持并转移的组件中，不能使用接地方法。因此，移除经由转移构件例如CFRP所转移组件的静电，只可应用离子中和方法。然而，离子中和方法亦可能有问题。电磁噪音、细粒子和臭氧有时自使用以产生用于中和离子的装置而产生，创造成所述项可能性：此等所产生的要素对于制造程序可能具有负面影响。又如在离子中和的方法中，有时产生由阳离子和阴离子的数量所组成的偏压，且亦有一种可能性，即另外静电可能产生。
更进一步地，随着玻璃尺寸越来越大，设备玻璃承载载台与玻璃接触面积也来越大，所衍生出静电问题，导致基板击伤事件也层出不穷。
大多数静电问题防治方式为使用静电消除器，但静电消除效果多数不具成效，不然就需使用成本较高的静电消除装置。
一般的静电中和器(IONIZER)，其只能吹基板的表面，对于基板下方表面，因静电中和器无法吹到而导致静电去除没有效果，因此易有静电放电(ESD)问题或是黏片的状况。
已知技艺中，如美国专利号2008259236揭示一种生产一液晶显示器(LCD)的方法，所述方法包括在一平台上放置一基板，以及使所述基板经受用于在所述基板上形成电子装置阵列的多个处理操作中的至少一处理操作。所述平台为ESD消散型且具有一表面部分，所述表面具有在约1E 5Ωcm与约1E 11Ωcm之间范围的体积电阻率(R v)；且根据另一态样，本发明揭示一种液晶显示器平台，其包括具有一表面部分的一主体，所述表面部分为静电放电(ESD)消散材料，其具有在约1E 5Ωcm与约1E 11Ωcm之间范围的体积电阻率(R v)。
然而上述技艺仅揭示于平台上静电放电，此方法须要完整确定基板接触平台才可放电。
综合上述，仍需要基板运送机台的改良对象与方法，以提高液晶显示器面板的生产效率、产量及质量。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明的目的在于，提供一种基板承载装置，特别是涉及一种基板承载装置，藉由导电体电性连接位于所述承载台上的基板，藉此即可随时导离或中和电性，消除基板传送中跟空气摩擦或是外来所产生的静电，以避免静电问题产生。
上述之外，本发明的效益更包括可免除已知所用的静电中和器或静电消除器，因此可不需要额外电力，以节省成本。
上述之外，本发明的效益更包括本发明利用导电体电性连接位于所述承载台上的基板，安装简易，可有效地节省时间。
上述之外，本发明的效益更包括本发明利用除静电绳为导电体，具有不会酸化、不会生锈的特点，所以不会造成污染。
依据本发明提出的一种用以承载基板的基板承载装置，包括：一承载台，用以承载一基板；一导电体，具有一受电端及一接地端，所述受电端电性连接所述基板，所述接地端接地。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
在本发明的一实施例中，所述导电体位于所述基板与所述承载台之间。
在本发明的一实施例中，所述导电体为微软性导电材料。
在本发明的一实施例中，所述导电体为导线。
在本发明的一实施例中，所述导电体为一除静电绳。
在本发明的一实施例中，所述除静电绳的直径约为1毫米。
在本发明的一实施例中，所述除静电绳与所述基板之间小于3公分。
在本发明的一实施例中，所述导电体电性连接于所述基板边缘。
在本发明的一实施例中，所述导电体为多个导电体，分别电性连接于所述基板边缘。
本发明另一目的提出一种液晶显示器制造设备，包括一基板承载装置，所述基板承载装置，包括：一承载台，用以承载一基板；一导电体，具有一受电端及一接地端，所述受电端电性连接所述基板，所述接地端接地。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
在本发明的一实施例中，所述导电体位于所述基板与所述承载台之间。
在本发明的一实施例中，所述导电体微软性导电材料。
在本发明的一实施例中，所述导电体为导线。
在本发明的一实施例中，所述导电体为一除静电绳。
在本发明的一实施例中，所述除静电绳的直径约为1毫米。
在本发明的一实施例中，所述除静电绳与所述基板之间小于3公分。
在本发明的一实施例中，所述导电体电性连接于所述基板边缘。
在本发明的一实施例中，所述导电体为多个导电体，分别电性连接于所述基板边缘。
本发明的有益效果在于藉由导电体电性连接位于所述承载台上的基板，藉此即可随时导离或中和电性，消除基板传送中跟空气摩擦或是外来所产生的静电，以避免静电问题产生。
上述之外，本发明的效益更包括可免除已知所用的静电中和器或静电消除器，因此可不需要额外电力，以节省成本。
上述之外，本发明的效益更包括本发明利用导电体电性连接位于所述承载台上的基板，安装简易，可有效地节省时间。
上述之外，本发明的效益更包括本发明利用除静电绳为导电体，具有不会酸化、不会生锈的特点，所以不会造成污染。
附图说明
图1是本发明一实施例的基板承载装置的示意图。
图2是本发明一实施例的基板承载装置的导电体电性连接所述基板与接地局部示意图。
图3是本发明一实施例的基板承载装置的导电体与基板之间距离的示意图。
图4是本发明一实施例的基板承载装置的多个导电体分别电性连接所述基板角落部示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。
附图和说明被认为在本质上是示出性的，而不是限制性的。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。另外，为了理解和便于描述，附图中示出的每个组件的尺寸和厚度是任意示出的，但是本发明不限于此。
在附图中，为了清晰起见，夸大了层、膜、面板、区域等的厚度。在附图中，为了理解和便于描述，夸大了一些层和区域的厚度。将理解的是，当例如层、膜、区域或基底的组件被称作“在”另一组件“上”时，所述组件可以直接在所述另一组件上，或者也可以存在中间组件。
另外，在说明书中，除非明确地描述为相反的，否则词语“包括”将被理解为意指包括所述组件，但是不排除任何其它组件。此外，在说明书中，“在......上”意指位于目标组件上方或者下方，而不意指必须位于基于重力方向的顶部上。
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的一种用以承载基板的基板承载装置，其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
请参阅图1至图4，图1是本发明一实施例的基板承载装置的示意图，图2是本发明一实施例的基板承载装置的导电体电性连接所述基板与接地局部示意图，图3是本发明一实施例的基板承载装置的导电体与基板之间距离的示意图，图4是本发明一实施例的基板承载装置的多个导电体分别电性连接所述基板角落部示意图，依据图1及图2，本发明提出的一种用以承载基板的基板承载装置100，包括：一承载台110，用以承载一基板120；一导电体130，具有一受电端131及一接地端132，所述受电端131电性连接所述基板120，所述接地端132接地。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
在本发明的一实施例中，所述导电体130位于所述基板120与所述承载台110之间，更详细而言，所述导电体130的所述受电端131位于所述基板120与所述承载台110之间。
在本发明的一实施例中，所述导电体130为微软性导电材料。
在本发明的一实施例中，所述导电体130为导线。
在本发明的一实施例中，所述导电体130为一除静电绳。所述除静电绳的直径约为1毫米。
在本发明的一实施例中，图3中，所述除静电绳与所述基板之间距离H小于3公分。
在本发明的一实施例中，图4中，所述导电体130电性连接于所述基板边缘120。更进一步地，所述导电体130为多个导电体，分别电性连接于所述基板120边缘。当所述基板120为矩形或方形形状，所述导电体130为多个导电体，分别电性连接于所述基板角落处。
如同上述，本发明另一目的提出一种液晶显示器制造设备，包括一基板承载装置，请再参阅图1至图4，图1是本发明一实施例的基板承载装置的示意图，图2是本发明一实施例的基板承载装置的导电体电性连接所述基板与接地局部示意图，图3是本发明一实施例的基板承载装置的导电体与基板之间距离的示意图，图4是本发明一实施例的基板承载装置的多个导电体分别电性连接所述基板角落部示意图，依据图1及图2，本发明提出的一种用以承载基板的基板承载装置100，包括：一承载台110，用以承载一基板120；一导电体130，具有一受电端131及一接地端132，所述受电端131电性连接所述基板120，所述接地端132接地。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
在本发明的一实施例中，所述导电体130位于所述基板120与所述承载台110之间，更详细而言，所述导电体130的所述受电端131位于所述基板120与所述承载台110之间。
在本发明的一实施例中，所述导电体130微软性导电材料。
在本发明的一实施例中，所述导电体130为导线。
在本发明的一实施例中，所述导电体130为一除静电绳，所述除静电绳的直径约为1毫米。
在本发明的一实施例中，图3中，所述除静电绳与所述基板之间距离H小于3公分。
在本发明的一实施例中，图4中，所述导电体130电性连接于所述基板边缘120。更进一步地，所述导电体130为多个导电体，分别电性连接于所述基板120边缘。当所述基板120为矩形或方形形状，所述导电体130为多个导电体，分别电性连接于所述基板角落处。
本发明的有益效果在于藉由导电体电性连接位于所述承载台上的基板，藉此即可随时导离或中和电性，消除基板传送中跟空气摩擦或是外来所产生的静电，以避免静电问题产生。
上述之外，本发明的效益更包括可免除已知所用的静电中和器或静电消除器，因此可不需要额外电力，以节省成本。
上述之外，本发明的效益更包括本发明利用导电体电性连接位于所述承载台上的基板，安装简易，可有效地节省时间。
上述之外，本发明的效益更包括本发明利用除静电绳为导电体，具有不会酸化、不会生锈的特点，所以不会造成污染。
“在一些实施例中”及“在各种实施例中”等用语被重复地使用。所述用语通常不是指相同的实施例；但它亦可以是指相同的实施例。“包含”、“具有”及“包括”等用词是同义词，除非其前后文意显示出其它意思。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种用基板承载装置，适用于显示器制造，包括：
一承载台，用以承载一基板；
一导电体，具有一受电端及一接地端，所述受电端电性连接所述基板，所述接地端接地。
2.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述导电体位于所述基板与所述承载台之间。
3.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述导电体为微软性导电材料。
4.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述导电体为导线。
5.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述导电体为一除静电绳。
6.如权利要求5所述的基板承载装置，其特征在于，所述除静电绳的直径约为1毫米。
7.如权利要求5所述的基板承载装置，其特征在于，所述除静电绳与所述基板之间距离小于3公分。
8.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述导电体电性连接于所述基板边缘。
9.如权利要求8所述的基板承载装置，其特征在于，所述导电体为多个导电体，分别电性连接于所述基板边缘。
10.一种液晶显示器制造设备，包括一基板承载装置，所述基板承载装置，包括：
一承载台，用以承载一基板；
一导电体，具有一受电端及一接地端，所述受电端电性连接所述基板，所述接地端接地。
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