CN106628852A - 一种硅片或电池片传输机构 - Google Patents

一种硅片或电池片传输机构 Download PDF

Info

Publication number
CN106628852A
CN106628852A CN201610825094.5A CN201610825094A CN106628852A CN 106628852 A CN106628852 A CN 106628852A CN 201610825094 A CN201610825094 A CN 201610825094A CN 106628852 A CN106628852 A CN 106628852A
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon chip
plate
drivewheel
component
cell piece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610825094.5A
Other languages
English (en)
Inventor
樊坤
郭立
禹庆荣
曹骞
尹昊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CETC 48 Research Institute
Original Assignee
CETC 48 Research Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CETC 48 Research Institute filed Critical CETC 48 Research Institute
Priority to CN201610825094.5A priority Critical patent/CN106628852A/zh
Publication of CN106628852A publication Critical patent/CN106628852A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G21/00—Supporting or protective framework or housings for endless load-carriers or traction elements of belt or chain conveyors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/24—Gearing between driving motor and belt- or chain-engaging elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/44—Belt or chain tensioning arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat

Abstract

本发明公开了一种硅片或电池片传输机构，包括依次布置的主动轮支撑组件、隔振组件、从动轮支撑组件及至少一组传输组件，所述传输组件包括设于主动轮支撑组件上的主动轮、设于从动轮支撑组件上的从动轮及连接主动轮和从动轮的传输带，所述主动轮支撑组件和隔振组件之间设有减振阻尼器，所述隔振组件和从动轮支撑组件之间固设有防抖板，所述防抖板与所述传输带的下表面紧贴，本发明具有结构简单、传输速度快、重复性定位精度高等优点。

Description

一种硅片或电池片传输机构
技术领域
本发明涉及太阳能光伏设备领域，尤其涉及一种硅片或电池片传输机构，主要用于硅片或电池片在分选、烧结等设备中的高速传输。
背景技术
随着技术的不断发展，对于光伏设备的产能、测试准确性的要求都不断提高。传统的采用普通平皮带传输的方式由于传输速度低、抖动、硅片或电池片相对皮带滑动等缺陷，导致重复性定位精度差，不能满足相关电性能、物理性能的检测模组对硅片/电池片参数进行检测，不利于大规模产业化发展。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、传输速度快、重复性定位精度高的硅片或电池片传输机构。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种硅片或电池片传输机构，包括依次布置的主动轮支撑组件、隔振组件、从动轮支撑组件及至少一组传输组件，所述传输组件包括设于主动轮支撑组件上的主动轮、设于从动轮支撑组件上的从动轮及连接主动轮和从动轮的传输带，所述主动轮支撑组件和隔振组件之间设有减振阻尼器，所述隔振组件和从动轮支撑组件之间固设有防抖板，所述防抖板与所述传输带的下表面紧贴。
作为上述技术方案的进一步改进：
所述减振阻尼器的压力调节范围为0N-50N，长度调节范围为0mm-30mm。
所述传输组件设有两组，两组所传输组件并排布置。
所述主动轮支撑组件包括第一安装板、轴承安装座、电机安装板及一对第一支撑杆，所述第一安装板固设于一对所述第一支撑杆上，所述轴承安装座和电机安装板固设于所述第一安装板上，所述主动轮支撑组件上设有用于驱动主动轮转动的驱动组件，所述驱动组件包括安装于电机安装板上的电机、安装于轴承安装座上的转轴、及设于转轴和电机的输出轴之间的联轴器，所述主动轮安装于所述转轴上，所述隔振组件包括一对第二支撑杆及安装于一对第二支撑杆上的第二安装板，所述减振阻尼器抵设于所述第二安装板和所述轴承安装座之间。
所述从动轮支撑组件包括一对第三支撑杆及安装于一对第三支撑杆上的第三安装板，所述从动轮安装于第三安装板上，所述防抖板固设于所述第二安装板和第三安装板之间。
所述传输组件还包括第一张紧轮和第二张紧轮，所述第一张紧轮安装于所述轴承安装座上且位于所述主动轮侧下方，所述第二张紧轮安装于所述第二安装板上且高度述第一张紧轮相同。
还包括真空吸附组件，所述真空吸附组件包括真空发生器、接头、设于所述防抖板上的腔体、设于所述传输带上的多个吸附孔，所述接头和所述吸附孔分别与所述腔体连通，所述真空发生器与所述接头连通。
所述腔体包括开设于所述防抖板下表面的凹槽及多个开设于防抖板上表面的贯通孔，所述防抖板下表面粘接用于密封所述凹槽的密封条，防抖板侧面与所述接头螺纹连接，多个贯通孔沿所述传输带的长度方向均匀布置，贯通孔上下两端分别与所述凹槽和吸附孔连通，多个所述吸附孔沿所述传输带的长度方向均匀布置，相邻吸附孔之间的间距与所述贯通孔的直径相等。
所述腔体设有多个并沿所述防抖板的长度方向间隔布置，所述接头与所述腔体一一对应设置。
所述吸附孔的孔径为2mm-3mm，相邻吸附孔之间的间距为12mm-15mm。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的硅片或电池片传输机构，在传输带下表面紧贴设置防抖板，防抖板固设于隔振组件和从动轮支撑组件之间，主动轮支撑组件和隔振组件之间设有减振阻尼器，一方面可通过微调减振阻尼器的压力来调整主动轮支撑组件和隔振组件之间的间距，使传输皮带得到合适的张紧力，另一方面可隔离主动轮与防抖板之间的振动，使防抖板保持平稳，进而可避免传输带抖动，提高了传输带重复定位的精度，还可将传输带的运转速度设置的较高。
附图说明
图1是本发明硅片或电池片传输机构的立体结构示意图。
图2是本发明硅片或电池片传输机构的主视图。
图3是本发明硅片或电池片传输机构的俯视图。
图4是本发明中的主动轮支撑组件的立体结构示意图。
图5是本发明中的从动轮支撑组件的立体结构示意图。
图6是本发明中的隔振组件的立体结构示意图。
图7是本发明中的驱动组件的结构示意图。
图8是本发明中的腔体的结构示意图。
图中各标号表示：1、主动轮支撑组件；11、第一安装板；12、轴承安装座；13、电机安装板；14、第一支撑杆；2、隔振组件；21、第二支撑杆；22、第二安装板；3、从动轮支撑组件；31、第三支撑杆；32、第三安装板；33、连接板；4、传输组件；41、主动轮；42、从动轮；43、传输带；44、第一张紧轮；45、第二张紧轮；5、驱动组件；51、电机；52、转轴；53、联轴器；54、深沟滚珠轴承；55、轴承内挡圈；6、减振阻尼器；7、防抖板；71、密封条；8、真空吸附组件；81、接头；82、腔体；821、凹槽；822、贯通孔；83、吸附孔。
具体实施方式
以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
如图1至图8所示，本实施例的硅片或电池片传输机构，包括自右至左依次布置的主动轮支撑组件1、隔振组件2、从动轮支撑组件3及两组并排布置的传输组件4，传输组件4包括设于主动轮支撑组件1上的主动轮41、设于从动轮支撑组件3上的从动轮42及连接主动轮41和从动轮42的传输带43，主动轮支撑组件1和隔振组件2之间抵设有减振阻尼器6，隔振组件2和从动轮支撑组件3之间固设有防抖板7，防抖板7与传输带43的下表面紧贴，该硅片或电池片传输机构结构简单，由于传输带43下表面设置有防抖板7，并利用减振阻尼器6隔离主动轮41的振动，一方面可通过微调减振阻尼器6的压力来调整主动轮支撑组件1和隔振组件2之间的间距，使传输带43得到合适的张紧力，另一方面可使防抖板7保持平稳，进而可避免传输带43抖动，提高了传输带43重复定位的精度，还可将传输带43的运转速度设置的较高，本实施例中传输带43为平皮带。
主动轮支撑组件1包括第一安装板11、轴承安装座12、电机安装板13及一对第一支撑杆14，第一安装板11固设于一对第一支撑杆14上，轴承安装座12和电机安装板13固设于第一安装板11上，主动轮支撑组件1上设有用于驱动主动轮41转动的驱动组件5，驱动组件5包括安装于电机安装板13上的电机51、安装于轴承安装座12上的转轴52、及设于转轴52和电机51的输出轴之间的联轴器53，主动轮41安装于转轴52上，隔振组件2包括一对第二支撑杆21及安装于一对第二支撑杆21上的第二安装板22，减振阻尼器6抵设于第二安装板22和轴承安装座12之间，电机51经过联轴器53带动转轴52旋转，转轴52则依靠摩擦力带动传输带43运转，实现硅片或电池片的传输，电机51的振动经过联轴器53之后得到一定程度的削弱，之后经过减振阻尼器6实现电机51与防抖板7之间的振动隔离。本实施例中，电机51采用伺服电机，转轴52经过一对深沟滚珠轴承54和一对轴承内挡圈55安装于轴承安装座12上，保证转轴52运转良好，两个主动轮41对称安装于转轴52两端。
本实施例中，减振阻尼器6的压力调节范围为0N-50N，长度调节范围为0mm-30mm，减振阻尼器6安装于第二安装板22上，压缩端与轴承安装座12抵接。
本实施例中，从动轮支撑组件3包括一对第三支撑杆31及安装于一对第三支撑杆31上的第三安装板32，从动轮42安装于第三安装板32上，防抖板7固设于第二安装板22和第三安装板32之间，两块防抖板7两端分别通过一块连接板33固定连接，两块连接板33分别固设于第三安装板32和第二安装板22上。
本实施例中，传输组件4还包括第一张紧轮44和第二张紧轮45，第一张紧轮44安装于轴承安装座12上且位于主动轮41侧下方，第二张紧轮45安装于第二安装板22上且高度述第一张紧轮44相同，利用第一张紧轮44和第二张紧轮45将传输带43张紧，使传输带43保持良好运转。
本实施例中，硅片或电池片传输机构还包括真空吸附组件8，真空吸附组件8包括真空发生器(图中未示出)、接头81、设于防抖板7上的腔体82、设于传输带43上的多个吸附孔83，接头81和吸附孔83分别与腔体82连通，真空发生器与接头81连通，利用真空发生器依次将腔体82和吸附孔83抽真空，使得硅片或电池片被牢固地吸附在传输带43上，防止硅片或电池片相对传输带43滑动，进一步提高硅片或电池片的重复定位精度。
腔体82包括开设于防抖板7下表面的凹槽821及多个开设于防抖板7上表面的贯通孔822，防抖板7下表面通过金属硫化胶粘接用于密封凹槽821的密封条71，防抖板7侧面与接头81螺纹连接，多个贯通孔822沿传输带43的长度方向均匀布置，贯通孔822上下两端分别与凹槽821和吸附孔83连通，多个吸附孔83沿传输带43的长度方向均匀布置，相邻吸附孔83之间的间距与贯通孔822的直径相等，该腔体82结构简单、便于加工制作，接头81换装速度快，保证了传输带43上各片硅片或电池片均能够被有效吸附，本实施例中，凹槽821的宽为3mm～5mm、长为150mm～300mm、深0～12mm，凹槽821内的贯通孔822的数量为10～20个，贯通孔822的宽为1mm～3mm、长为12mm～15mm。
腔体82设有多个并沿防抖板7的长度方向间隔布置，接头81与腔体82一一对应设置。本实施例中，腔体82设有三个，相应地接头81也设置为三个，既保证吸附效果，又合理控制零部件的数量，减低成本。
本实施例中，吸附孔83的孔径为2mm-3mm，相邻吸附孔83之间的间距为12mm-15mm。
本实施例中，第一支撑杆14、第二支撑杆21及第三支撑杆31上端均设置外螺纹，并通过一对调节螺母将第一安装板11、第二安装板22、第三安装板32固定，便于微调安装高度。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种硅片或电池片传输机构，其特征在于：包括依次布置的主动轮支撑组件(1)、隔振组件(2)、从动轮支撑组件(3)及至少一组传输组件(4)，所述传输组件(4)包括设于主动轮支撑组件(1)上的主动轮(41)、设于从动轮支撑组件(3)上的从动轮(42)及连接主动轮(41)和从动轮(42)的传输带(43)，所述主动轮支撑组件(1)和隔振组件(2)之间设有减振阻尼器(6)，所述隔振组件(2)和从动轮支撑组件(3)之间固设有防抖板(7)，所述防抖板(7)与所述传输带(43)的下表面紧贴。
2.根据权利要求1所述的硅片或电池片传输机构，其特征在于：所述减振阻尼器(6)的压力调节范围为0N-50N，长度调节范围为0mm-30mm。
3.根据权利要求1所述的硅片或电池片传输机构，其特征在于：所述传输组件(4)设有两组，两组所传输组件(4)并排布置。
4.根据权利要求1所述的硅片或电池片传输机构，其特征在于：所述主动轮支撑组件(1)包括第一安装板(11)、轴承安装座(12)、电机安装板(13)及一对第一支撑杆(14)，所述第一安装板(11)固设于一对所述第一支撑杆(14)上，所述轴承安装座(12)和电机安装板(13)固设于所述第一安装板(11)上，所述主动轮支撑组件(1)上设有用于驱动主动轮(41)转动的驱动组件(5)，所述驱动组件(5)包括安装于电机安装板(13)上的电机(51)、安装于轴承安装座(12)上的转轴(52)、及设于转轴(52)和电机(51)的输出轴之间的联轴器(53)，所述主动轮(41)安装于所述转轴(52)上，所述隔振组件(2)包括一对第二支撑杆(21)及安装于一对第二支撑杆(21)上的第二安装板(22)，所述减振阻尼器(6)抵设于所述第二安装板(22)和所述轴承安装座(12)之间。
5.根据权利要求4所述的硅片或电池片传输机构，其特征在于：所述从动轮支撑组件(3)包括一对第三支撑杆(31)及安装于一对第三支撑杆(31)上的第三安装板(32)，所述从动轮(42)安装于第三安装板(32)上，所述防抖板(7)固设于所述第二安装板(22)和第三安装板(32)之间。
6.根据权利要求4所述的硅片或电池片传输机构，其特征在于：所述传输组件(4)还包括第一张紧轮(44)和第二张紧轮(45)，所述第一张紧轮(44)安装于所述轴承安装座(12)上且位于所述主动轮(41)侧下方，所述第二张紧轮(45)安装于所述第二安装板(22)上且高度述第一张紧轮(44)相同。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的硅片或电池片传输机构，其特征在于：还包括真空吸附组件(8)，所述真空吸附组件(8)包括真空发生器、接头(81)、设于所述防抖板(7)上的腔体(82)、设于所述传输带(43)上的多个吸附孔(83)，所述接头(81)和所述吸附孔(83)分别与所述腔体(82)连通，所述真空发生器与所述接头(81)连通。
8.根据权利要求7所述的硅片或电池片传输机构，其特征在于：所述腔体(82)包括开设于所述防抖板(7)下表面的凹槽(821)及多个开设于防抖板(7)上表面的贯通孔(822)，所述防抖板(7)下表面粘接用于密封所述凹槽(821)的密封条(71)，防抖板(7)侧面与所述接头(81)螺纹连接，多个贯通孔(822)沿所述传输带(43)的长度方向均匀布置，贯通孔(822)上下两端分别与所述凹槽(821)和吸附孔(83)连通，多个所述吸附孔(83)沿所述传输带(43)的长度方向均匀布置，相邻吸附孔(83)之间的间距与所述贯通孔(822)的直径相等。
9.根据权利要求8所述的硅片或电池片传输机构，其特征在于：所述腔体(82)设有多个并沿所述防抖板(7)的长度方向间隔布置，所述接头(81)与所述腔体(82)一一对应设置。
10.根据权利要求8所述的硅片或电池片传输机构，其特征在于：所述吸附孔(83)的孔径为2mm-3mm，相邻吸附孔(83)之间的间距为12mm-15mm。
CN201610825094.5A 2016-09-14 2016-09-14 一种硅片或电池片传输机构 Pending CN106628852A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610825094.5A CN106628852A (zh) 2016-09-14 2016-09-14 一种硅片或电池片传输机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610825094.5A CN106628852A (zh) 2016-09-14 2016-09-14 一种硅片或电池片传输机构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106628852A true CN106628852A (zh) 2017-05-10

Family

ID=58852440

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610825094.5A Pending CN106628852A (zh) 2016-09-14 2016-09-14 一种硅片或电池片传输机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106628852A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109065487A (zh) * 2018-05-28 2018-12-21 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种真空传输装置
CN109249455A (zh) * 2018-11-20 2019-01-22 无锡鸿昌精密机械有限公司 一种包装膜料飞刀裁切机构

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5220996A (en) * 1992-04-27 1993-06-22 Valiant Machine & Tool Inc. Conveyor system
EP0649803A1 (en) * 1993-10-22 1995-04-26 Breda Packaging B.V. Article-transporting apparatus
US5735384A (en) * 1996-08-29 1998-04-07 Western Atlas, Inc. Endless accumulating conveyor
US20050077152A1 (en) * 2003-07-21 2005-04-14 Pfarr Craig E. Friction drive conveyor
JP2008081250A (ja) * 2006-09-27 2008-04-10 Seibu Electric & Mach Co Ltd 歯付きベルト搬送コンベヤ
WO2011059163A1 (ko) * 2009-11-12 2011-05-19 주식회사 우신시스템 축적식 이송장치
CN202089519U (zh) * 2011-05-31 2011-12-28 吴江迈为技术有限公司 一种柔性皮带传送太阳能电池片的装置
CN104648896A (zh) * 2015-02-17 2015-05-27 吴江迈为技术有限公司 一种太阳能电池片的传送装置及传送方法
CN105151712A (zh) * 2015-08-31 2015-12-16 中国电子科技集团公司第四十八研究所 硅片/电池片输送机

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5220996A (en) * 1992-04-27 1993-06-22 Valiant Machine & Tool Inc. Conveyor system
EP0649803A1 (en) * 1993-10-22 1995-04-26 Breda Packaging B.V. Article-transporting apparatus
US5735384A (en) * 1996-08-29 1998-04-07 Western Atlas, Inc. Endless accumulating conveyor
US20050077152A1 (en) * 2003-07-21 2005-04-14 Pfarr Craig E. Friction drive conveyor
JP2008081250A (ja) * 2006-09-27 2008-04-10 Seibu Electric & Mach Co Ltd 歯付きベルト搬送コンベヤ
WO2011059163A1 (ko) * 2009-11-12 2011-05-19 주식회사 우신시스템 축적식 이송장치
CN202089519U (zh) * 2011-05-31 2011-12-28 吴江迈为技术有限公司 一种柔性皮带传送太阳能电池片的装置
CN104648896A (zh) * 2015-02-17 2015-05-27 吴江迈为技术有限公司 一种太阳能电池片的传送装置及传送方法
CN105151712A (zh) * 2015-08-31 2015-12-16 中国电子科技集团公司第四十八研究所 硅片/电池片输送机

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109065487A (zh) * 2018-05-28 2018-12-21 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种真空传输装置
CN109249455A (zh) * 2018-11-20 2019-01-22 无锡鸿昌精密机械有限公司 一种包装膜料飞刀裁切机构
CN109249455B (zh) * 2018-11-20 2023-11-10 无锡鸿昌精密机械有限公司 一种包装膜料飞刀裁切机构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106628852A (zh) 一种硅片或电池片传输机构
CN106238730A (zh) 一种金属粉末冶金自动上料装置
CN206230532U (zh) 一种上下料机械手
CN204384239U (zh) 一种洁净型的高精度平板玻璃倾斜传输机构
CN109352373A (zh) 一种可调节的多功能的电子产品加工用夹具
CN112059893A (zh) 一种具有缓冲和减振功能的晶圆研磨设备
CN107628139A (zh) 磁吸附式爬壁轮
CN208165884U (zh) 一种零件检测辅助装置
CN207141225U (zh) 一种磁吸附式爬壁轮
CN102332420A (zh) 超薄伞流式非接触硅片吸盘
CN209367723U (zh) 一种压环无摩擦升降装置
CN107138939B (zh) 一种工作平台
CN109455244A (zh) 一种具有磁轮机构的爬壁机器人
CN206013627U (zh) 一种滚轮气浮混合式传送装置
CN202988084U (zh) 斗式提升机及其密封结构
CN214022064U (zh) 芯片检测分选机用预定位机构
CN111964592B (zh) 检测设备及电子产品零部件检测系统
CN207402498U (zh) 一种多吸附点位置同步可调的吸附模块
CN209737636U (zh) 一种新型可旋转的吸盘组件
CN102107393B (zh) 一种带低功耗长寿命轴向气体密封的旋转工作台
CN207681845U (zh) 一种龙门架式电池片电焊机
CN206939183U (zh) 一种竖直贴膜网箱
CN112466779A (zh) 一种玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机
CN207521997U (zh) 一种第二输送组件及平垫片分拣装配的装置
CN208994658U (zh) 移动抓取设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20170510