CN106540863A

CN106540863A - 涂敷装置

Info

Publication number: CN106540863A
Application number: CN201610807775.9A
Authority: CN
Inventors: 锦内荣史
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd
Priority date: 2015-09-18
Filing date: 2016-09-07
Publication date: 2017-03-29
Also published as: JP2017056420A; JP6696749B2; KR20170034319A; KR101879044B1

Abstract

提供一边搬运片状的基体材料一边向该基体材料的表面涂敷涂敷液的涂敷装置，该涂敷装置能够实现对赋予基体材料的张力进行调整的功能。在沿着长边方向被搬运的长片状的基体材料(S)的宽度方向(Dw)上的两端部(Ls、Rs)分别设置有，对基体材料(S)赋予宽度方向(Dw)的张力的一对张力赋予单元(9L、9R)。张力赋予单元分别由与基体材料(S)的一侧主面(Sa)抵接的第一辊(91L、91R)和与基体材料(S)的另一侧主面抵接的第二辊(92L、92R)夹持基体材料(S)，第一辊以及第二辊中的至少一个的表面向具有从基体材料(S)的中央部朝向外侧的方向分量的移动方向移动。通过施加于第一辊与第二辊之间的按压力来调整向宽度方向的张力。

Description

涂敷装置

技术领域

本发明涉及一边搬运片状的基体材料一边向该基体材料的表面涂敷涂敷液的涂敷装置，特别地涉及用于对基体材料赋予张力的机构。

背景技术

在一边搬运长片状的基体材料一边向该基体材料的表面涂敷涂敷液的技术中，一般情况下，将基体材料以架设在几个辊上的状态沿基体材料的长边方向搬运。然而，在基体材料的表面涂敷有涂敷液的情况下，存在例如不能使其他构件与未硬化的涂敷液接触等基体材料与辊的抵接位置被限制的情况。因此，存在基体材料的支撑不充分而产生基体材料的松弛的情况。

为了应对该问题，在例如专利文献1所述的技术中，在向基体材料(薄片)的两表面同时涂敷膏的情况下，夹持搬运方向上的基体材料的两端部的辊(张紧辊)对沿着搬运方向设置有多个。并且，通过以辊的旋转轴相对于与基体材料的搬运方向正交的宽度方向的倾斜度沿着搬运方向一点一点地变大的方式配置上述的张紧辊，使得基体材料沿宽度方向伸展，因此，能够对基体材料赋予宽度方向的张力，从而能够抑制松弛。

专利文献1：日本特开2008—284528号公报(例如，图4)

使具有相对于宽度方向的倾斜度大的旋转轴的辊与基体材料抵接是造成在特别薄或软的基体材料中产生皱纹的原因。另外，为了与各种材质、厚度的基体材料相对应，更加优选地，具有调整赋予基体材料的张力的功能。然而，在上述以往技术中，赋予基体材料的张力的大小由张紧辊的配置来决定。即，上述技术不能容易地调整张力。因此，不能解决上述的问题。

发明内容

本发明鉴于上述问题而提出，其目的在于，提供一种技术，在一边搬运片状的基体材料一边向该基体材料的表面涂敷涂敷液的涂敷装置中，能够实现对赋予基体材料的张力进行调整的功能。

本发明的涂敷装置的一个实施方式，为了达到上述目的，

包括：

搬运单元，其将长片状的基体材料向所述基体材料的长边方向搬运，

涂敷单元，其从与被搬运的所述基体材料的主面相对配置的喷嘴喷出涂敷液，向所述基体材料涂敷所述涂敷液，

一对张力赋予单元，其在对应于与所述长边方向正交的所述基体材料的宽度方向上的所述基体材料的两端部分别设置，对所述基体材料赋予所述宽度方向的张力，

张力控制单元，其控制所述张力赋予单元来增减所述张力；

每一个所述张力赋予单元由与所述基体材料的一侧主面抵接的第一辊和与所述基体材料的另一侧主面抵接的第二辊夹持所述基体材料，所述第一辊以及所述第二辊中的至少一个的表面向移动方向移动，该移动方向在与所述基体材料抵接的部位具有沿着所述搬运方向的方向分量和与所述宽度方向平行且从所述基体材料的中央部朝向外侧的方向分量，

所述张力控制单元使施加于所述第一辊与所述第二辊之间的按压力变化。

在这样构成的发明中，与专利文献1所述的旋转轴倾斜的张紧辊相同，通过分别夹持基体材料的两端部的一对张力赋予单元以使基体材料沿宽度方向伸展的方式向外侧拉伸该基体材料，能够对基体材料赋予宽度方向的张力。而且，在本发明中，通过由张力控制单元来调整夹持基体材料的第一辊与第二辊之间的按压力，能够使赋予基体材料的张力变化。

更详细地说，与基体材料抵接的表面的移动方向相对于基体材料的搬运方向具有倾斜度的辊(第一辊或第二辊)的表面一边相对于基体材料具有一定程度的打滑，一边进行旋转，由此，能够一边对基体材料赋予宽度方向的张力一边使该基体材料向搬运方向移动。通过改变第一辊与第二辊之间的按压力，使得该打滑量变化，其结果，能够使赋予基体材料的张力变化。

如上所述，根据本发明，利用第一辊与第二辊来夹持被搬运的基体材料的端部的张力赋予单元分别对应于基体材料的两端部设置，在各个张力赋予单元中，通过使第一辊与第二辊的按压力变化，能够对赋予基体材料的宽度方向的张力进行调整。

附图说明

图1A是表示本发明的涂敷装置的一个实施方式的概略结构的图。

图1B是图1A的局部放大图。

图2A是表示张力调整单元的主要结构的配置的立体图。

图2B是张力调整单元的主要结构的上表面图。

图3是表示利用倾斜辊向基体材料赋予张力的原理的图。

图4A、图4B是更详细地表示左单元的结构的图。

图5A、图5B是表示辊对中的旋转轴的方向的图。

图6A、图6B是表示位置检测部的结构例的图。

图7是表示该实施方式中的张力调整处理的流程图。

图8是表示基体材料的端部位置变动的各种案例的图。

其中，附图标记说明如下：

1 罐体(涂敷单元)

2 送液系统(涂敷单元)

3 控制单元(张力控制单元)

7 搬运单元(搬运单元)

9 张力调整单元(张力赋予单元)

9L 左单元(张力赋予单元)

9R 右单元(张力赋予单元)

51、52 喷嘴(喷嘴、涂敷单元)

71 供给辊(搬运辊)

72 卷绕辊(搬运辊)

74 支撑辊(搬运辊)

91L、91R 第一辊

92L、92R 第二辊

93L、93R 位置检测部(位置检测单元)

Fa、Fb 涂敷膜

S 基体材料

具体实施方式

图1A是表示本发明的涂敷装置的一个实施方式的概略结构的图，图1B是该部分的放大图。如图1A所示，该涂敷装置100是向以辊至辊方式被搬运的片状的基体材料S涂敷膏状涂敷液的装置，例如，能够适用于锂离子二次电池的电池用电极的制造中。为了统一下面的各图中的方向，如图1A那样设定XYZ直角坐标系。其中，XY平面是水平面，Z轴表示铅直轴。更详细地说，(-Z)方向表示铅直向下的方向。

该涂敷装置100包括：罐体1，将应该涂敷的涂敷液积存在内部；喷嘴51、52，喷出从该罐体1所供给的涂敷液。由设置于罐体1与喷嘴51、52之间的送液系统2将罐体1内的涂敷液向喷嘴51、52输送，并从设置于喷嘴51、52的顶端的狭缝状的喷出口喷出。另外，该涂敷装置100包括控制装置整体的动作的控制单元3。

送液系统2包括在罐体1的输出部分叉的配管21、22。配管21连接罐体1与喷嘴51，在该配管21的中途安装有用于使涂敷液流通的泵23。另外，配管22连接罐体1与喷嘴52，在该配管22的中途安装有用于使涂敷液流通的泵24。优选泵23、24是能够以稳定的流量输送高粘度的涂敷液的装置。作为这样的泵，能够使用例如螺杆泵，优选能够使用作为例如单轴螺杆泵的一种的莫诺泵。泵23、24的动作由控制单元3控制。控制单元3控制泵23、24来分别调节从罐体1向喷嘴51、52输送的涂敷液的流量。

涂敷装置100包括对涂敷有涂敷液的基体材料S进行搬运的搬运单元7。在搬运单元7中，卷绕为卷状的长片状的基体材料S设置在供给辊71上，并且从辊引出的基体材料S的一端部卷绕在卷绕辊72上。通过卷绕辊72沿图的箭头Dr方向旋转，从供给辊71不断引出的基体材料S沿该长边方向向箭头Ds方向搬运，并由卷绕辊72卷绕。这样一来，在架设于供给辊71以及卷绕辊72上的基体材料S的搬运路径上设置有张紧辊73以及支撑辊74。即，从供给辊71引出的基体材料S卷绕在张紧辊73以及支撑辊74的表面，通过支撑辊74的表面的基体材料S由卷绕辊72卷绕。

张紧辊73对沿搬运路径搬运的基体材料S赋予向搬运方向的恒定的张力。由此，防止搬运路径中的基体材料S的松弛，从而基体材料S以稳定的姿态被搬运。即，在配置于搬运路径上的辊之间，基体材料S保持大致平坦的姿态被搬运。通过卷绕在支撑辊74上，使得基体材料S的搬运方向变为水平方向，在从支撑辊74到卷绕辊72之间，基体材料S为大致水平姿态。此时的基体材料S的搬运方向Ds与(+Y)方向大致一致。

即，搬运单元7具有作为将涂敷对象物即基体材料S保持为合适的姿态的装置的功能以及作为搬运该基体材料S的装置的功能。搬运单元7还具有辊驱动机构75，该辊驱动机构75根据来自控制单元3的控制指令，使卷绕辊72以规定的转速旋转。供给辊71、张紧辊73以及支撑辊74是不具有驱动机构的从动辊。然而，为了能够顺畅地搬运，供给辊71、张紧辊73以及支撑辊74中的至少任一个也可以是连接有合适的驱动源的驱动辊。

这样一来，以在上下方向隔着由搬运单元7支撑并搬运的基体材料S中的从支撑辊74运出而变为水平姿态的部分的方式，配置有喷嘴51、52。更详细地说，如图1B所示，喷嘴51配置在以水平姿态被搬运的基体材料S的上方，使得喷出口以隔开规定的间隔的方式与基体材料S的一侧主面即上表面Sa接近且相对。另外，喷嘴52配置在以水平姿态被搬运的基体材料S的下方，使得喷出口以隔开规定的间隔的方式与基体材料S的另一侧主面即下表面Sb接近且相对。

从喷嘴51、52喷出的涂敷液涂敷在基体材料S的表面。通过基体材料S沿箭头Ds方向被搬运，能够一边使喷嘴51、52相对于基体材料S进行相对扫描移动，一边向基体材料S涂敷涂敷液。若搬运方向Ds上的喷嘴51、52的位置大致相同，则能够同时向基体材料S的两面进行涂敷。为了向基体材料S的两表面进行涂敷，喷嘴51、52与未利用辊等的支撑构件支撑所谓的脱辊状态的基体材料S相对配置。此外，就喷嘴51、52的配设位置而言，并不限定于搬运方向Ds上的相同位置。例如，向基体材料S的上表面Sa涂敷涂敷液的喷嘴51也可以配置为，与卷绕在支撑辊74上的基体材料S相对。

在喷嘴51、52各自的与基体材料S的表面相对的面具有狭缝状的开口，该开口沿着基体材料S的宽度方向即与基体材料S的长边方向(搬运方向Ds)正交的方向延伸。通过从该开口以恒定量连续地喷出涂敷液，在基体材料S的两表面(上表面Sa、下表面Sb)利用涂敷液形成大致平坦的涂敷膜Fa、Fb。

在此例如，若将发挥集电体功能的金属等导电体片材用作基体材料S，将包含活性物质材料的膏用作涂敷液，则能够制造在集电体层的表面层叠活性物质层而成的电池用电极。这样的涂敷液一般具有比较高的粘度，例如，能够使用剪切速度为10s-1时的粘度为3Pa·s至30Pa·s左右的涂敷液。另外，作为基体材料S，也可以是在例如树脂片材的表面形成有金属薄膜的材料。

另外，在利用搬运单元7的基体材料S的搬运方向上，在喷嘴51、52的相对位置的下游侧即卷绕辊72的上游侧的位置，设置有硬化单元8。硬化单元8对通过其内部的基体材料S上所涂敷的涂敷液供给例如干燥空气、热风或红外线等，从而促进涂敷液的溶媒成分的挥发，以使涂敷液干燥硬化。在涂敷液包含感应特定的电磁波而硬化的材料的情况下，也可以向涂敷液照射该电磁波。沿着基体材料S的搬运路径的硬化单元8的长度与涂敷液的硬化时间相对应。

另外，在利用搬运单元7的基体材料S的搬运方向上，在喷嘴51、52的下游侧即硬化单元8的上游侧的位置，设置有张力调整单元9。张力调整单元9对由搬运单元7搬运的基体材料S赋予向宽度方向的张力。在以脱辊状态通过喷嘴51、52的相对位置的基体材料S上，特别容易产生宽度方向的挠曲，从而与喷嘴51、52接触或间隔变动，由此，可能无法进行稳定的涂敷。张力调整单元9通过一边支撑基体材料S的宽度方向上的两端部一边向外拉伸，对基体材料S赋予向宽度方向的张力。下面，对张力调整单元9的结构以及动作进行说明。

图2A以及图2B是表示张力调整单元的概略结构的图。更详细地说，图2A是表示张力调整单元9的主要结构的配置的立体图，图2B是张力调整单元9的上表面图。张力调整单元9包括从朝向基体材料S中的该搬运方向Ds的下游侧观察设置在右侧的端部Rs的附近的右单元9R和设置在左侧的端部Ls的附近的左单元9L。上述的右单元9R和左单元9L除了两者之间为左右对称的形状以外，基本的结构相同。

右单元9R包括：一对辊91R、92R，在与基体材料S的长边方向正交的宽度方向Dw上的基体材料S的右侧端部Rs的附近夹持基体材料S；位置检测部93R，用于检测右侧端部Rs的宽度方向Dw上的位置。同样地，左单元9L包括：一对辊91L、92L，在宽度方向Dw上的基体材料S的左侧端部Ls的附近夹持基体材料S；位置检测部93L，用于检测左侧端部Ls的宽度方向Dw上的位置。辊91L、92L、91R、92R在相比于基体材料S上由涂敷液所形成的涂敷膜Fa、Fb的宽度方向Dw上的外侧与基体材料S的表面相抵接。因此，辊91L、92L、91R、92R与未干燥的涂敷膜Fa、Fb不接触。

如图2B所示，辊91L、91R是由点划线所示的旋转轴相对于宽度方向Dw稍微倾斜的倾斜辊。具体地说，辊91L、91R的旋转轴以从宽度方向Dw上的基体材料S的外侧(端部侧)朝向内侧(中央部侧)的方式，相对于搬运方向Ds前进。由此，如下面的说明那样，对基体材料S赋予宽度方向Dw的张力。

图3是表示利用倾斜辊对基体材料赋予张力的原理的图。左单元9L的辊91L在基体材料S的左侧端部Ls附近与上表面Sa相抵接。另一方面，右单元9R的辊91R在基体材料S的右侧端部Rs附近与上表面Sa相抵接。下面，将辊91L、91R的表面中的与基体材料S接触的区域分别由附图标记911L、911R来表示。另外，将辊91L、91R各自的旋转轴由附图标记AL、AR来表示。

在辊91L随着基体材料S的搬运旋转时，辊91L的表面中的与基体材料S接触的区域911L的移动方向D1包括与基体材料S的搬运方向Ds平行的方向分量D2和在宽度方向Dw上从基体材料S的中央部朝向左侧端部Ls的方向分量D3。由此，基体材料S的左侧端部Ls从辊91L接受从基体材料S的中央部朝向外侧的方向的力。另一方面，辊91R的表面中的与基体材料S接触的区域911R的移动方向D4包括与基体材料S的搬运方向Ds平行的方向分量D5和在宽度方向Dw上从基体材料S的中央部朝向右侧端部Rs的方向分量D6。由此，基体材料S的右侧端部Rs从辊91R接受从基体材料S的中央部朝向外侧的方向的力。

这样一来，通过基体材料S的两端部Ls、Rs分别接受朝向基体材料S的宽度方向Dw上的外侧的力，从而对基体材料S产生宽度方向Dw的张力。由于基体材料S的两端部在宽度方向Dw上分别由辊91L、91R向外拉伸，因此，能够抑制松弛的产生。

优选地，辊91L、91R的旋转轴AL、AR相对于宽度方向Dw的倾斜度的大小在大于0的范围内尽可能地小。该倾斜度越大，则产生的向宽度方向Dw的张力越强。但是，在倾斜度太大时，因对向搬运方向Ds搬运的基体材料S施加强的扭曲，从而在基体材料S上会产生皱纹、波纹，或者，搬运中的基体材料S在宽度方向Dw上蠕动。

另外，为了根据基体材料S的厚度、表面状态向宽度方向Dw赋予合适的张力以使该基体材料S稳定，也存在需要增加或减少赋予基体材料S的张力的大小的情况。因此，该实施方式的张力调整单元9构成为，能够使由设置于左单元9L以及右单元9R的辊对所形成的抵接轧面的轧面压变化。这是由于，能够对基体材料S产生大的张力，而且能够调整张力的大小。

图4A以及图4B是更加详细地表示左单元的结构的图。如图4A所示，在左单元9L中，一对辊91L、92L由辊支撑部94支撑。更具体地说，下侧的辊92L被从辊支撑部94的基座构件941沿水平方向延伸的支撑轴942支撑为能够自由旋转。辊92L不与驱动源连接且能够自由旋转。

另一方面，上侧的辊91L被支撑为，在铅垂方向(Z方向)上在规定的可动范围内能够移动。即，在基座构件941的侧面设置有沿铅垂方向(Z方向)延伸的导轨943，在导轨943上卡合有滑块944，该滑块944沿铅垂方向能够自由移动。在滑块944上，马达945以该旋转轴作为水平方向的方式安装，在该旋转轴上安装有辊91L。而且，滑块944连接有气缸946，气缸946与由控制单元3所控制的调节器947连接。

通过调节器947根据来自控制单元3的控制指令进行动作，从而气缸946使滑块944沿上下方向移动。与之伴随，被滑块944支撑的辊91L沿铅垂方向即相对于下侧的辊92L接近或分离的方向移动。

图4B是表示辊91L、92L的内部结构的剖视图。上侧的辊91L具有利用由例如树脂橡胶那样的弹性构件所构成的表面层913覆盖由金属制或硬质树脂制的实质上可视为刚体的圆筒构件912的表面的结构。因此，辊91L的表面相对于来自外部的按压而发生弹性变形。另一方面，下侧的辊92L是内部以及表面全为金属制或硬质树脂制的圆筒状构件，从而相对于来自外部的按压而不会实质性地变形。

通过滑块944因气缸946的动作而向下方移动，使得辊91L与辊92L抵接，从而表面层913发生弹性变形。在两辊之间形成抵接轧面N，在该轧面N中，基体材料S由辊91L、92L夹持。利用气缸946的辊91L向辊92L的按压力由调节器947进行调整。由此，抵接轧面N中的轧面压被控制为规定值。通过控制单元3控制调节器947，能够调整抵接轧面N中的按压力，能够控制轧面压。

伴随着按压力的增减，上侧的辊91L上下移动，但下侧的辊92L的旋转轴的位置被固定且不发生弹性变形。因此，即使在按压力增减时，下侧的辊92L的上端位置也不变动，从而基体材料S的水平姿态被维持。

通过马达945以与卷绕辊72的旋转驱动相同的步调进行动作，使得辊91L进行旋转。马达945的转速由控制单元3控制，以使辊91L中的与基体材料S的上表面Sa相抵接的表面区域911L(图3)的向搬运方向Ds的移动速度和基体材料S的搬运速度相等。这样，通过辊91L由马达945旋转驱动，不会妨碍基体材料S向搬运方向Ds的搬运，从而能够对基体材料S产生宽度方向Dw的张力。

辊91L也可以是不具有驱动源的从动辊。但是，用于减轻变为张紧辊73的负载而对搬运方向Ds上的基体材料S的(特别是张力调整单元9的下游侧的)张力造成的影响的措施还会有需要的情况。另外，驱动源也可以是与下侧的辊92L连接的结构。

图5A以及图5B是表示辊对的旋转轴的方向的图。就夹持基体材料S的辊对91L、92L的旋转轴而言，通过使至少一个相对于宽度方向倾斜，能够对基体材料S产生宽度方向Dw上的向外的力。因此，如图5A中单一的点划线所示，上述的辊91L、92L也可以具有相互平行的旋转轴，另外，如图5B中的点划线以及双点划线所示，上述的辊91L、92L各自的旋转轴也可以稍微不同。例如，就下侧的辊92L而言，如双点划线所示，也可以使该辊92L的旋转轴与宽度方向Dw一致。

表面由弹性材料形成，通过使表面与基体材料S之间产生的摩擦力更大的上侧的辊91L的旋转轴相对于宽度方向Dw倾斜，能够更加有效地产生向宽度方向Dw的张力。由此，能够将旋转轴的倾斜度抑制得小，也能够减轻对基体材料S带来的损伤。

虽省略了图示以及详细的说明，但右单元9R也具有与上述的左单元9L相同的结构。该右单元9R的形状为，将通过基体材料S的宽度方向Dw上的中心且与基体材料S垂直的YZ平面作为对称面而与左单元9L对称。左单元9L以及右单元9R在对应于基体材料S的两端部分别设置，由此，能够从两侧向宽度方向Dw的外侧拉伸基体材料S，从而能够对基体材料S赋予宽度方向Dw的张力。

根据本申请的发明人的实验可知，抵接轧面N中的按压力越大，则向外拉伸基体材料S的作用越强。因此，在例如左右单元间抵接轧面N中的按压力不同时，基体材料S会向按压力强的一侧沿宽度方向Dw变位。通过辊91L、92L(或辊91R、92R)相对于基体材料S会产生一定程度的打滑，使得基体材料S作为整体向搬运方向Ds移动。抵接轧面N中的按压力越大，则打滑量越小，其原因为，使基体材料S向宽度方向Dw变位的力变大。

因此，通过能够变更抵接轧面N中的按压力，能够对赋予基体材料S的宽度方向Dw的张力进行增减。特别地，若在左右单元9L、9R之间能够独立地变更，则既能够对基体材料S赋予宽度方向Dw的合适的张力，又能够进行宽度方向Dw上的基体材料S的位置调整。就用于可进行上述情况的结构以及处理而言，一边参照图6A、图6B以及图7一边进行说明。

图6A以及图6B是表示位置检测部的结构的图。更详细地说，图6A是表示该实施方式中的位置检测部的结构的图，图6B是表示位置检测部的其他结构例的图。如图6A所示，该实施方式的位置检测部93L具有在壳体931内多个投光器932与多个受光器933相对配置的结构。右单元9R的位置检测部93R的结构也相同。

从沿着宽度方向Dw排列多个的投光器932出射的光由与投光器932相对应的沿着宽度方向Dw排列多个的受光器933接受。若在投光器932与受光器933之间没有遮蔽物，则从投光器932出射的光原封不动地向受光器933入射。另一方面，在遮蔽物(基体材料S)所处的位置，应向受光器933入射的光被遮挡。控制单元3根据与受光器933中的受光状态相对应地输出的输出信号，能够检测出基体材料S的端部位置。

另外，如图6B所示的位置检测部93A那样，也可以是在壳体936上排列有光源以及受光器为一体的多个反射型光电传感器937。在这样的结构中，通过来自基体材料S的反射光向反射型光电传感器937的入射的有无，能够检测出基体材料S的端部位置。

图7是表示该实施方式中的张力调整处理的流程图。控制单元3通过执行预先制作的控制程序来控制装置各部分，能够执行各种动作。在此说明的张力调整处理也是其中之一。该张力调整处理对左单元9L以及右单元9R分别进行。在此，对使用左单元9L的处理进行说明，但对右单元9R的处理也由同样的处理流程来进行。张力调整处理在由卷绕辊72的旋转搬运基体材料S并执行来自喷嘴51、52的涂敷液的涂敷期间持续地执行。

在张力调整处理中，基体材料S的左侧端部Ls的位置由位置检测部93L检测(步骤S101)。控制单元3将检测出的基体材料S的端部位置与预先设定的合适位置进行比较，并判定超出合适的范围的位置偏移的有无(步骤S102)。在检测出位置偏移的情况(在步骤S102中为YES)下，根据检测出的位置偏移量，计算出辊91L、92L之间的按压力的修正量(步骤S103)。并且，从控制单元3向调节器947发出按计算出的修正量来变更按压力的意向的控制指令，从而调节器947对气缸946进行控制，来变更辊91L对辊92L的按压力(步骤S104)。

在进行按压力增加那样的变更的情况下，基体材料S的左侧端部Ls朝向宽度方向Dw的外侧变位，从而位置偏移被消除，并且在宽度方向Dw上赋予基体材料S的张力增大。在进行按压力减少那样的变更的情况下，基体材料S的左侧端部Ls朝向宽度方向Dw的内侧变位，在宽度方向Dw上赋予基体材料S的张力也变小。

在未检测出位置偏移的情况(在步骤S102中为NO)下，跳过步骤S103、S104。在涂敷结束为止的期间，通过持续进行上述处理(步骤S105)，能够对基体材料S赋予向宽度方向Dw的稳定的张力。

就位置偏移的修正而言，也可以由将检测出的位置偏移量和规定的伺服增益相乘的值作为按压力的修正量的伺服控制来进行。但是，在基体材料S的搬运方向Ds上，辊对91L、92L与位置检测部93L的配设位置不同。因此，在利用辊对91L、92L的动作来执行位置偏移修正后，与之伴随，在基体材料S的端部位置的变化由位置检测部93L检测出为止期间，存在恒定的时间延迟。因该时间延迟，需要回避控制变得不稳定。

如上所述，通过左单元9L以及右单元9R分别独立地被控制，宽度方向Dw上的基体材料S的位置以及张力被维持为恒定。即，本实施方式兼具如下功能，即，将基体材料S的宽度方向Dw上的位置维持为恒定而抑制基体材料S的蠕动的功能；将赋予基体材料S的宽度方向Dw的张力维持为恒定而能够抑制基体材料S的松弛，从而将基体材料S以平坦的姿态保持的功能。下面，对其理由进行说明。

图8是表示基体材料的端部位置变动的各种案例的图。在图中，虚线是表示基体材料S在宽度方向Dw上处于合适的位置时的两端部Ls、Rs各自的位置。在赋予基体材料S的张力不足时，如图中的“案例1”所示，基体材料S的宽度方向上的中央部向下方挠曲，两端部Ls、Rs向合适位置的内侧偏移。此时，左单元9L以使基体材料S的左侧端部Ls向外侧变位的方式进行动作，并且右单元9R以使基体材料S的右侧端部Rs向外侧变位的方式进行动作。因此，赋予基体材料S的张力增大，从而解除挠曲。

另一方面，在基体材料S被赋予合适的张力也蠕动的情况下，如“案例2”所示，基体材料S的两端部Ls、Rs产生相同方向的位置偏移。在该案例中，左单元9L通过增加辊对91L、92L间的按压力，使基体材料S的左侧端部Ls向外侧(在图中为左侧)变位。另一方面，右单元9R通过减少辊对91R、92R间的按压力，使基体材料S的右侧端部Rs向内侧(在图中为左侧)变位。由此，基体材料S的位置靠近合适位置。基体材料S相比于合适位置向左侧偏移的情况也一样。

另外，如“案例3”所示，存在基体材料的挠曲与蠕动同时产生的情况。在该案例中，在基体材料S的左侧端部Ls所检测出的位置偏移量ΔL的大小和在基体材料S的右侧端部Rs所检测出的位置偏移量ΔR的大小不同。由于按压力的修正量根据位置偏移量的大小来设定，因此，就修正量而言，产生左右的差，基体材料S一边接受根据修正量的差的张力的增加，一边作为整体向修正量大的一侧变位。其结果，因基体材料S的挠曲和蠕动的位置偏移一起被修正。基体材料S的一侧端部相比于合适位置向外侧偏移的情况也一样。

另外，因例如部件的尺寸偏差等原因在左单元9L与右单元9R之间也可能产生按压力的偏差。这样的按压力的左右偏差是造成基体材料S产生新的蠕动的原因。通过在左右单元之间进行独立的调整，能够抑制因这样的原因所引起的蠕动。

如上所述，在该实施方式中，使旋转轴相对于基体材料S的宽度方向Dw稍微倾斜的辊91L、91R与基体材料S抵接。并且，该辊91L、91R中的与基体材料S的表面抵接的区域911L、911R向包括宽度方向Dw上的朝向基体材料S的外侧的分量的方向移动。由此，产生相对于基体材料S的端部向外侧拉伸的力，从而对基体材料S赋予宽度方向Dw的张力。通过使夹持基体材料S的辊对中的按压力增减来调整向外拉伸基体材料S的力，能够控制赋予基体材料S的张力的大小。

由于通过按压力的增减能够调整张力，因此，能够将辊旋转轴的倾斜度抑制得小。由此，能够减轻因辊引起的扭曲给基体材料S带来的损伤。

另外，辊对中的按压力能够利用左单元9L与右单元9R分别调整。因此，本实施方式不仅能够调整赋予基体材料S的张力，还具有对被搬运的基体材料S向宽度方向Dw变位的蠕动进行修正的功能。

这样一来，通过对基体材料S调整宽度方向Dw上的张力以及位置，使得基体材料S以稳定的姿态通过喷嘴51、52的相对位置。因此，在该实施方式的涂敷装置100中，能够良好且稳定地维持利用从喷嘴51、52喷出的涂敷液形成于基体材料S的表面的涂敷膜的品质。

特别地，在基体材料S的两表面形成有涂敷膜Fa、Fb的装置中，存在难以支撑基体材料S的中央部的情况。在本实施方式中，能够一边支撑基体材料S的端部，一边赋予向宽度方向Dw的张力。因此，即使在不能支撑基体材料S的中央部的情况下，也能够一边稳定地维持基体材料S的姿态，一边执行向两表面的涂敷。

如上所述，在上述实施方式中，搬运单元7作为本发明的“搬运单元”发挥作用。并且，供给辊71、卷绕辊72、支撑辊74等相当于本发明的“搬运辊”。另外，罐体1、送液系统2、喷嘴51、52作为一体，来作为本发明的“涂敷单元”发挥作用。

另外，在上述实施方式中，张力调整单元9的左单元9L、右单元9R作为本发明的“张力赋予单元”发挥作用。并且，辊91L、91R作为本发明的“第一辊”发挥作用，另外，辊92L、92R作为本发明的“第二辊”发挥作用。另外，控制单元3作为本发明的“张力控制单元”发挥作用，位置检测部93L、93R作为本发明的“位置检测单元”发挥作用。

此外，本发明并不限定于上述的实施方式，只要不脱离其宗旨，就能够进行上述实施方式以外的各种变更。例如，上述实施方式的涂敷装置100是使喷嘴51、52与基体材料S的两表面相对并喷出涂敷液，从而在基体材料的两表面形成涂敷膜的装置。然而，相对于只对基体材料的单面进行涂敷的装置，也能够适用本发明。

另外，在上述实施方式中，在基体材料S的搬运方向Ds上，在喷嘴51、52的下游侧位置，基体材料S由张力调整单元9支撑。然而，从对通过喷嘴51、52的相对位置的基体材料S赋予合适的张力的观点出发，夹持基体材料S的位置也可以是在搬运方向Ds上与喷嘴51、52相同的位置或喷嘴51、52的上游侧位置。特别地，在喷嘴51、52的上游侧位置由辊夹持基体材料S的情况下，就未涂敷的基体材料S而言，由于辊的抵接位置的制约少，因此，能够赋予有效的张力。形成有涂敷膜的基体材料S随着质量的增加而容易向下方挠曲。因此，如本实施方式那样，在喷嘴51、52的下游侧设置张力调整单元9，在使维持基体材料S的姿态的效果提高的方面是有效的。

另外，上述实施方式的张力调整单元9为了对赋予基体材料S的宽度方向Dw的张力和相同方向上的基体材料S的位置进行调整，是左单元9L与右单元9R独立地进行动作的结构。另一方面，若仅以调整张力为目的，则也可以进行两单元进行相同的动作的控制。另外，通过利用单一的控制算法使两单元联动，也可以进行张力以及位置调整。

另外，在上述实施方式中，沿着以水平姿态被搬运的基体材料S的搬运路径配置有喷嘴51、52、张力调整单元9。然而，基体材料S的搬运方向并不限定于水平方向，相对于向例如铅垂方向的上方、斜上方、铅垂方向的下方或斜下方被搬运的基体材料S，也可以配置本发明的“张力赋予单元”。

另外，上述实施方式的位置检测部93L、93R是利用光学单元来检测基体材料S的端部位置的装置。然而，本发明的“位置检测单元”并不限定于利用这样的光学检测原理的装置。例如，也可以是与基体材料的端部机械地接触来检测该位置的装置。另外，也可以是使用由摄像头等所拍摄的图像进行位置检测的结构。

另外，上述实施方式是向作为集电体发挥作用的长片状的基体材料S涂敷包括活性物质材料的涂敷液来制造电池用电极的装置。然而，成为本发明的适用对象的基体材料以及涂敷液的材料是任意的。

上面，例示具体的实施方式进行了说明，在该发明中，例如，第一辊以及第二辊也可以构成为，在搬运方向上的喷嘴的下游位置，在基体材料中的涂敷有涂敷液的区域的外侧夹持基体材料。根据这样的结构，通过对涂敷涂敷液后变重的基体材料赋予张力，能够抑制基体材料的挠曲。另外，能够防止第一以及第二辊与涂敷后的涂敷液接触。

另外，例如，张力控制单元也可以构成为，在一对张力赋予单元之间能够相互独立地调整第一辊与第二辊之间的按压力。根据这样的结构，通过在一对张力赋予单元之间使第一辊与第二辊之间的按压力相互不同，能够使基体材料向宽度方向变位。由此，能够对基体材料向宽度方向变位的蠕动进行修正。

另外，例如，第一辊以及第二辊的至少一个的表面也可以由弹性材料形成。根据这样的结构，通过由辊表面因按压力而发生弹性变形所形成的轧面，能够一边紧固地夹持基体材料，一边赋予张力。另外，由于按压力的变化会引起弹性变形量的变化，因此，能够使按压力的变化可靠地反映于张力的变化。

另外，例如，第一辊与第二辊也可以是具有相互平行的旋转轴的结构。根据这样的结构，在第一辊与第二辊之间形成的轧面上，能够防止对基体材料施加扭曲。因此，能够抑制因夹持所引起的基体材料的损伤。

另外，例如，本发明的涂敷装置也可以构成为，在基体材料的搬运路径上具有用于检测宽度方向上的基体材料的两端部的各自位置的位置检测单元，张力控制单元也可以构成为，基于位置检测单元的检测结果来控制张力赋予单元。根据这样的结构，能够根据基体材料的挠曲、位置偏移的产生量来对基体材料赋予合适的张力。

另外，例如，喷嘴也可以是与基体材料的一侧主面以及另一侧主面分别相对配置的结构。根据这样的结构，能够对基体材料的两主面涂敷涂敷液。在该情况下，需要在敞开基体材料的两表面的状态下保持基体材料，在这样的用途中，本发明尤其能够提供有效的功能。

另外，例如，搬运单元也可以是将基体材料以大致水平姿态搬运的结构。在这样的结构中，能够由辊一边夹持基体材料的两端部一边赋予宽度方向的张力的本发明，在抑制基体材料的挠曲而稳定地维持姿态方面能够起到良好的效果。

另外，例如，搬运单元也可以是将基体材料架设在多个搬运辊之间进行搬运的结构。在该情况下，涂敷单元以及张力赋予单元也可以沿着搬运辊之间的基体材料的搬运路径配置。在这样的结构中，在搬运辊之间，基体材料以不接受辊的支撑所谓的脱辊状态进行搬运。因此，容易产生基体材料的挠曲。通过在这样的结构中应用本发明，能够对基体材料赋予张力而抑制挠曲。特别地，在对脱辊状态的基体材料进行涂敷的结构中，能够对稳定地维持姿态的基体材料稳定地进行涂敷。

产业上的可利用性

本发明能够适用于一边搬运长片状的基体材料一边向该基体材料的表面涂敷涂敷液的全部涂敷装置。

Claims

1.一种涂敷装置，其特征在于，

包括：

张力控制单元，其控制所述张力赋予单元来增减所述张力；

2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

所述第一辊以及所述第二辊在所述搬运方向上的所述喷嘴的下游位置，在所述基体材料中的涂敷有所述涂敷液的区域的外侧夹持所述基体材料。

3.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

所述张力控制单元在所述一对张力赋予单元之间能够相互独立地调整所述第一辊与所述第二辊之间的按压力。

4.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

所述第一辊以及所述第二辊中的至少一个的表面由弹性材料形成。

5.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

所述第一辊与所述第二辊具有相互平行的旋转轴。

6.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

在所述基体材料的搬运路径上具有位置检测单元，该位置检测单元用于检测所述宽度方向上的所述基体材料的两端部各自的位置，

所述张力控制单元基于所述位置检测单元的检测结果来控制所述张力赋予单元。

7.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

与所述基体材料的所述一侧主面侧以及所述另一侧主面侧分别相对配置所述喷嘴。

8.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

所述搬运单元以大致水平姿态搬运所述基体材料。

9.如权利要求1～8中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，

所述搬运单元将所述基体材料架设在多个搬运辊之间来搬运所述基体材料。

10.如权利要求9所述的涂敷装置，其特征在于，

所述涂敷单元以及所述张力赋予单元沿着所述搬运辊之间的所述基体材料的搬运路径配置。