CN106526458B - 一种用于晶圆测试的通讯检测装置及其检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于晶圆测试的通讯检测装置及其检测方法，在基板上设置有处理模块、TTL通讯模块、线缆检测模块、LED显示模块和按键选择模块，处理模块通过TTL通讯模块可向测试仪输出第一测试信号，处理模块通过TTL通讯模块可向探针台输出第二测试信号，线缆检测模块向TTL通讯模块输出线缆检测信号，LED显示模块根据线缆检测信号显示，按键选择模块可向处理模块输出测试仪检测信号或探针台检测信号。以及该通讯检测装置的检测方法。通过通讯检测装置分别与测试仪、探针台连接进行通讯检测，使得用户能够更换且高效地获知通讯功能是否正常，且还单独具备线缆检测功能，并配合LED显示能够跟快速地获知线缆问题，继而排除设备通讯问题提高晶圆测试效率。

Description

一种用于晶圆测试的通讯检测装置及其检测方法

技术领域

本发明涉及晶圆测试领域，尤其涉及一种晶圆测试的通讯检测装置和该通讯检测装置的检测方法。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC芯片。在晶圆制造完成之后，晶圆测试是一步非常重要的测试，晶圆测试是通过探针台对晶片上的每个IC芯片进行测试，通过与芯片上的外触点接触，测试其电气特性，看是否符合出厂标准。晶圆测试时一般通过专门的测试仪进行测试，而测试仪在设计时，只有一些较常用的测试项目打包进了测试仪，验证芯片的逻辑功能都采用固定的测试模式来实现。

测试仪上均自带TTL接口用于与探针台进行通信，在实际生产测试中经常会发现某些设备与探针台不能够实现通信，产生这个问题的主要原因是TTL接口损坏导致。

而TTL接口故障一般都是与探针台连接上以后才能够发现问题，如果设备故障，则需要再调换设备，十分影响测试效率。且测试经常会用到排线，在逐根去量测的话，不仅费时间，而且容易出错。

发明内容

本发明的第一目的是提供一种实现通讯检测且提高测试效率的通讯检测装置。

本发明的第二目的是提供一种实现通讯检测且提高测试效率的通讯检测方法。

本发明的第三目的是提供一种实现通讯检测且提高测试效率的通讯检测方法。

为了实现本发明的第一目的，本发明提供一种用于晶圆测试的通讯检测装置，包括基板，基板上设置有处理模块、TTL通讯模块、线缆检测模块、LED显示模块和按键选择模块，处理模块通过TTL通讯模块可向测试仪输出第一测试信号，处理模块通过TTL通讯模块可向探针台输出第二测试信号，线缆检测模块向TTL通讯模块输出线缆检测信号，LED显示模块根据线缆检测信号显示，按键选择模块可向处理模块输出测试仪检测信号或探针台检测信号。

更进一步的方案是，线缆检测模块包括分频器、控制译码器和八个测试译码器，分频器向控制译码器输出控制信号，分频器分别向测试译码器输出测试信号，控制译码器分别向测试译码器输出使能信号。

由上述方案可见，通过通讯检测装置分别与测试仪、探针台连接进行通讯检测，并利用通讯检测装置模拟探针台输出的第一测试信号，和模拟测试仪输出的第二测试信号，并利用LED显示模块显示，使得用户能够更换且高效地获知通讯功能是否正常，且还单独具备线缆检测功能，利用分频器和译码器控制继而实现多通道检测，并配合LED显示能够跟快速地获知线缆问题，继而排除设备通讯问题提高晶圆测试效率。

为了实现本发明的第二目的，本发明提供一种用于晶圆测试的通讯检测装置的测试方法，通讯检测装置包括基板，基板上设置有处理模块、TTL通讯模块、线缆检测模块、LED显示模块和按键选择模块，线缆检测模块向TTL通讯模块输出线缆检测信号，LED显示模块根据线缆检测信号显示；

测试方法包括测试仪检测步骤，测试仪检测步骤包括：

将通讯检测装置通过TTL通讯模块与测试仪连接；

按键选择模块向处理模块输出测试仪检测信号；

处理模块向测试仪输出多个开始信号；

判断测试仪是否回传多个失效信号，并在LED显示模块显示；

如测试仪回传多个失效信号，则测试仪回传失败控制信号和打点控制信号，失败控制信号和打点控制信号在LED显示模块显示。

更进一步的方案是，在回传失败控制信号后，测试仪检测步骤还包括：测试仪根据失效信号、失败控制信号和打点控制信号生成测试结果。

由上述方案可见，通过通讯检测装置与测试仪连接进行通讯检测，并利用通讯检测装置模拟探针台输出的测试信号，并利用LED显示模块显示，使得用户能够更换且高效地获知通讯功能是否正常，继而排除设备通讯问题提高晶圆测试效率。

为了实现本发明的第三目的，本发明提供一种用于晶圆测试的通讯检测装置的测试方法，通讯检测装置包括基板，基板上设置有处理模块、TTL通讯模块、线缆检测模块、LED显示模块和按键选择模块，线缆检测模块向TTL通讯模块输出线缆检测信号，LED显示模块根据线缆检测信号显示；

测试方法包括探针台检测步骤，探针台检测步骤包括：

将通讯检测装置通过TTL通讯模块与探针台连接；

处理模块接收探针台输出的开始信号；

判断测试次数是否小于预置阈值；

如测试次数小于预置阈值，则处理模块向探针台输出失败控制信号和打点控制信号；

累积测试次数；

探针台根据打点控制信号进行打点动作。

更进一步的方案是，在累积测试次数后，测试仪检测步骤还包括：探针台根据失败控制信号生成测试结果。

由上述方案可见，通过通讯检测装置与测试仪连接进行通讯检测，并利用通讯检测装置模拟测试仪输出的测试信号，并利用LED显示模块显示，且配合探针台的打点动作，使得用户能够更换且高效地获知通讯功能是否正常，继而排除设备通讯问题提高晶圆测试效率。

附图说明

图1是本发明通讯检测装置实施例的系统框图。

图2是本发明通讯检测装置实施例中线缆检测模块的电路原理图。

图3是本发明通讯检测装置实施例中LED显示模块的电路原理图。

图4是本发明通讯检测方法实施例的流程图。

图5是本发明通讯检测方法实施例中测试仪检测步骤的流程图。

图6是本发明通讯检测方法实施例中探针台检测步骤的流程图。

以下结合附图及实施例对本发明作进一步说明。

具体实施方式

用于晶圆测试的通讯检测装置实施例：

参照图1，图1是通讯检测装置的系统框图，通讯检测装置包括基板，在基板上设置有处理模块11、电源模块12、ISP下载模块13、线缆检测模块14、TTL通讯模块15、LED显示模块16和按键选择模块17，处理模块11可采用AT89S52单片机，或采用其他型号单片机或具有计算处理能力的芯片，电源模块12为通讯检测装置提供供电。ISP下载模块13用于向处理模块11下载数据。按键选择模块17包括多个按键，按键可以分别触发并向处理模块11输出测试仪检测信号或探针台检测信号。TTL通讯模块15为TTL通讯接口，其用于与测试仪的PCIINF板的TTL接口连接，或者TTL通讯接口还用于与探针台的TTL接口连接。

参照图2，线缆检测模块14包括分频器141、控制译码器142和八个测试译码器143，控制译码器142和八个测试译码器143均可采用74HC138，分频器141采用分频器74HC4060，搭上振荡电路后，产生固定频率的方波，方波的频率可通过根据实际需求进行调整，将分频器141的高三位接到控制译码器142并输出控制信号，将分频器141的低三位分别接到八个测试译码器143上并输出测试信号，控制译码器142分别与测试译码器143连接向测试译码器143输出使能信号，通过控制译码器142的控制，八个测试译码器143会依次被选通，通过此方法，可以实现64通道的检测。

参照图3，LED显示模块包括多个LED灯T1-T64和EOT灯、REJ灯，LED灯T1-T64的正极分别与测试译码器143对应的输出管脚连接，EOT灯和REJ灯的正极与处理模块11的对应的输出管脚连接。

用于晶圆测试的通讯检测装置的测试方法实施例：

参照图4，测试方法包括分别进行的线缆检测步骤S11、测试仪检测步骤S12和探针台检测步骤S13。进行线缆检测步骤S11时，可以将TTL接口模块分别与测试仪或探针台连接，通过控制译码器142的控制，八个测试译码器143的输出管脚会依次输出检测信号继而被选通，如果排线连接正常，LED将会按顺序依次闪烁，如果排线有断路，短路等情况，会出现某些灯不亮，某些灯同时亮的情况，通过此方法，可以有效的检测排线，通过制作转换接头，可以很方便的实现所有的电缆，通讯接口的检测。

进行测试仪检测步骤S12时，参照图5，首先将通讯检测装置通过TTL通讯模块与测试仪连接，并通过按键别触发并向处理模块11输出测试仪检测信号，继而处理模块11通过TTL通讯模块15可向测试仪21输出一系列的测试信号和接收相应的反馈信号，具体地，执行步骤S121，检测装置的处理模块调用测试仪检测程序，在检测装置上的COMP灯亮起，随后执行步骤S122，处理模块11向测试仪21输出多个开始信号，随后执行步骤S123，判断测试仪是否向通讯检测装置回传多个失效信号，如通讯检测装置接收到多个失效信号则会LED显示模块的bin1-8灯显示，如果没有接收失效信号则LED显示模块将对应地灯不进行显示。然后在执行步骤S124，如测试仪回传多个失效信号后，测试仪在检测完毕后将向通讯检测装置回传失败控制信号(ROT信号)和打点控制信号（REJ信号），LED显示模块的对应的灯则会根据ROT信号和REJ信号进行闪烁显示，最后执行步骤S125，测试仪向通讯检测装置输出EOW信号，通讯装置接收EOW信号可再次向外输出开始信号，继续其他设备的测试，且测试仪根据失效信号、失败控制信号和打点控制信号生成测试结果，并向外输出或通过显示屏进行显示，用户可根据测试结果判断通讯功能是否正常。

通过通讯检测装置模拟探针台，利用先向测试仪发送开始信号，在测试仪接收到该信号的时候，测试仪开始测试，随后BIN1-8灯即上面的多个失效信号所显示的灯会依次显示，而EOT信号是测试结束后测试仪会反馈EOT信号给探针台，REJ信号是测试仪测试结果为FAIL时会反馈打点控制信号给探针台，探针台继而进行打点动作，故通讯检测装置接收EOT信号和REJ信号后也会进行相应的显示，以上的这些灯都是用来判断这些信号是否存在。

进行探针台检测步骤S13时，参照图6，首先将通讯检测装置通过TTL通讯模块与探针台连接，并通过按键别触发并向处理模块11输出探针台检测信号，继而处理模块11通过TTL通讯模块15可向探针台22输出一系列的测试信号和接收相应的反馈信号，具体地，执行步骤S131，检测装置的处理模块调用探针台检测程序，在检测装置上的COMP灯亮起，随后执行步骤S132，处理模块接收探针台输出的开始信号，随后执行步骤S133，判断测试次数是否小于预置阈值，在本实施例中，阈值设置为160次，如测试次数小于预置阈值，则执行步骤S134，处理模块向探针台输出失败控制信号（EOT信号）和打点控制信号（REJ信号），然后执行步骤S135，进行累积测试次数加1，探针台根据打点控制信号进行打点动作，探针台根据失败控制信号和打点控制信号生成测试结果并进行显示，用户可以根据测试结果判断通讯功能是否正常。然后将返回步骤S132继续测试，由于探针台在接收到失败控制信号后，才会再向通讯检测装置发送开始信号，并继续进行探针台测试，通过通讯检测装置模拟测试仪向探针台输出相应的测试信号，使得用户能够迅速对通讯功能进行检测。

由上可见，通过通讯检测装置分别与测试仪、探针台连接进行通讯检测，并利用通讯检测装置模拟探针台输出的第一测试信号，和模拟测试仪输出的第二测试信号，并利用LED显示模块显示，本案LED显示模块包括多种显示LED，其均设置在基板上，能够根据不同功能进行配置和显示，使得用户能够更换且高效地获知通讯功能是否正常，且还单独具备线缆检测功能，利用分频器和译码器控制继而实现多通道检测，并配合LED显示能够跟快速地获知线缆问题，继而排除设备通讯问题提高晶圆测试效率。

Claims (3)

1.一种用于晶圆测试的通讯检测装置的测试方法，其特征在于，所述通讯检测装置包括基板，所述基板上设置有处理模块、TTL通讯模块、线缆检测模块、LED显示模块和按键选择模块，所述线缆检测模块向所述TTL通讯模块输出线缆检测信号，所述LED显示模块根据所述线缆检测信号显示；

所述测试方法包括测试仪检测步骤，所述测试仪检测步骤包括：

将所述通讯检测装置通过所述TTL通讯模块与测试仪连接；

所述按键选择模块向所述处理模块输出测试仪检测信号；

所述处理模块向所述测试仪输出多个开始信号；

判断所述测试仪是否回传多个失效信号，并在LED显示模块显示；

如所述测试仪回传多个失效信号，则所述测试仪回传失败控制信号和打点控制信号，所述失败控制信号和所述打点控制信号在LED显示模块显示。

2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于：

在回传失败控制信号后，所述测试仪检测步骤还包括：

所述测试仪根据所述失效信号、所述失败控制信号和所述打点控制信号生成测试结果。

3.一种用于晶圆测试的通讯检测装置的测试方法，其特征在于，所述通讯检测装置包括基板，所述基板上设置有处理模块、TTL通讯模块、线缆检测模块、LED显示模块和按键选择模块，所述线缆检测模块向所述TTL通讯模块输出线缆检测信号，所述LED显示模块根据所述线缆检测信号显示；

所述测试方法包括探针台检测步骤，所述探针台检测步骤包括：

将所述通讯检测装置通过所述TTL通讯模块与探针台连接；

所述处理模块接收所述探针台输出的开始信号；

判断测试次数是否小于预置阈值；

如所述测试次数小于所述预置阈值，则所述处理模块向所述探针台输出失败控制信号和打点控制信号；

累积所述测试次数；

所述探针台根据所述打点控制信号进行打点动作。

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