CN106486402A - 贴膜压合一体机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种贴膜压合一体机，包括：上平台，所述上平台包括硬质基板、覆盖于所述硬质基板上的第一柔性材质，以及覆盖于所述第一柔性材质上的第二柔性材质，所述第一柔性材质中形成有多个沟槽，所述第二柔性材质与沟槽对应的位置形成有多个第一开孔，所述多个沟槽与真空泵连接；下平台，所述下平台包括基底，所述基底中形成有多个第二开孔，所述多个第二开孔的一端连接与真空泵；以及传送翻转装置，连接于所述上平台及下平台之间，用于上下传送所述上平台，并控制所述上平台的翻转。使用本发明的贴膜压合一体机贴附薄膜，可以有效控制贴膜精度，缩短贴膜时间，利用气囊压合薄膜可以有效挤出薄膜内的气体，减少气泡、褶皱的产生。

Description

贴膜压合一体机

技术领域

本发明涉及一种半导体设备，特别是涉及一种贴膜压合一体机。

背景技术

在半导体封装行业，贴膜封装主要使用不同材质的薄膜材料，贴附在待封装材料上，有效保护待封装材料，免于划伤、氧化等外界影响，因此，贴膜工艺是在半导体制造中的一种常用的工艺。

目前大多数采用的手动贴膜方式，对操作员熟练度要求高，易产生气泡、褶皱，耗时较长。

图1显示为现有的一种贴膜工艺，通常包括如下步骤：

第一步，将基底平铺于一平整的工作台上；

第二步，将薄膜缓慢贴附于所述基底上；

第三步，采用刮膜工具将所述薄膜刮平，同时去除薄膜与基底之间的气泡，加强薄膜与基底之间的吸附强度。

然而，对于以上贴膜工艺，其通常是采用人工手动的方式进行，需要操作熟练，耗时长，不仅大大增加了人力成本，而且贴膜的过程中容易出现气泡、褶皱。

基于以上所述，提供一种可以有效控制贴膜精度，缩短贴膜时间，减少气泡、褶皱的产生的贴膜设备实属必要。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种贴膜压合一体机，用于解决现有技术中贴膜工艺采用人工手动的方式进行，需要操作熟练，耗时长，贴膜的过程中容易出现气泡、褶皱问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种贴膜压合一体机，所述贴膜压合一体机包括：上平台，所述上平台包括硬质基板、覆盖于所述硬质基板上的第一柔性材质，以及覆盖于所述第一柔性材质上的第二柔性材质，所述第一柔性材质中形成有多个沟槽，所述第二柔性材质与沟槽对应的位置形成有多个第一开孔，所述多个沟槽与真空泵连接；下平台，所述下平台包括基底，所述基底中形成有多个第二开孔，所述多个第二开孔的一端连接与真空泵；以及传送翻转装置，连接于所述上平台及下平台之间，用于上下传送所述上平台，并控制所述上平台的翻转。

作为本发明的贴膜压合一体机的一种优选方案，所述多个沟槽汇聚后与所述真空泵相连，所述第二开孔汇聚后与所述真空泵相连。

作为本发明的贴膜压合一体机的一种优选方案，所述真空泵对所述多个沟槽抽气，并基于与沟槽连接的第一开孔吸附置于所述第二柔性材质上的薄膜材料。

进一步地，所述真空泵对所述多个第二开孔抽气，并基于该多个开孔吸附置于所述下平台上的待贴膜基底。

进一步地，所述薄膜材料与所述待贴膜基底通过所述传送翻转装置对准后，所述真空泵对所述多个沟槽缓慢充气，使得所述薄膜材料从中间开始逐渐贴附于所述待贴膜基底上。

作为本发明的贴膜压合一体机的一种优选方案，所述硬质基板包括金属基板、玻璃基板以及陶瓷基板中的一种。

作为本发明的贴膜压合一体机的一种优选方案，所述第一柔性材质以及第二柔性材质的材料包括黑色硅胶，EVA或橡胶发泡材料。

作为本发明的贴膜压合一体机的一种优选方案，所述第一柔性材质以及第二柔性材质的材料的厚度为1-5mm。

作为本发明的贴膜压合一体机的一种优选方案，所述沟槽的宽度为1-4mm，所述第一开孔及第二开孔的孔径为0.5-2mm。

作为本发明的贴膜压合一体机的一种优选方案，所述上平台及下平台的长度为200-1000mm，宽度为200-1000mm。

如上所述，本发明的贴膜压合一体机，具有以下有益效果：

1)贴膜机自动贴膜，提高生产自动化程度，减少操作失误。

2)贴附、压合一次完成，缩短贴膜时间，提高生产效率。

3)下平台以真空吸附方式固定玻璃，更加牢固，易于定位，提高贴膜精度，提高贴膜可靠性。

总的来说，使用本发明的贴膜压合一体机贴附薄膜，可以有效控制贴膜精度，缩短贴膜时间，利用气囊压合薄膜可以有效挤出薄膜内的气体，减少气泡、褶皱的产生。

附图说明

图1显示为现有技术中的贴膜工艺结构示意图。

图2显示为本发明的贴膜压合一体机的结构示意图。

图3显示为本发明的贴膜压合一体机的上平台的结构示意图。

图4显示为本发明的贴膜压合一体机的下平台的结构示意图。

元件标号说明

1 上平台

11 硬质基板

12 第一柔性材质

121 沟槽

13 第二柔性材质

131 第一开孔

2 基底

211 第二开孔

3 传送翻转装置

4 翻转升降电机

5 真空泵

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图2～图4。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

如图2～图4所示，本实施例提供一种贴膜压合一体机，所述贴膜压合一体机包括：上平台1、下平台、传送翻转装置3以及真空泵5，如图2所示。

所述传送翻转装置3包括翻转升降电机4、连接于所述上平台1及下平台之间，用于支撑上平台1且提供上平台1上下移动的轨道的传送履带、以及连接于所述上平台1的升降翻转部件，所述翻转升降电机4为所述升降翻转部件提供动力，使得所述升降翻转部件可以实现所述上平台1的上下移动或翻转，具体地，可翻转的角度为180度。

如图3所示，所述上平台1包括硬质基板11、覆盖于所述硬质基板11上的第一柔性材质12，以及覆盖于所述第一柔性材质12上的第二柔性材质13，所述第一柔性材质12中形成有多个沟槽121，所述第二柔性材质13与沟槽121对应的位置形成有多个第一开孔131，所述多个沟槽121与真空泵5连接。

作为示例，所述多个沟槽121汇聚后与所述真空泵5相连，所述第二开孔211汇聚后与所述真空泵5相连。

作为示例，所述硬质基板11包括金属基板、玻璃基板以及陶瓷基板中的一种。在本实施例中，所示硬质基板11的材料选用为金属材料，如不锈钢等，其厚度为50mm。

作为示例，所述第一柔性材质12以及第二柔性材质13的材料包括黑色硅胶，EVA或橡胶发泡材料。在本实施例中，所述第一柔性材质12以及第二柔性材质13的材料为黑色硅胶。采用柔性材料形成的上平台1，可以使得后续的吸附的薄膜不会被划伤，且能提高吸附的稳定性，从而提高贴膜的可靠性。

作为示例，所述第一柔性材质12以及第二柔性材质13的材料的厚度为1-5mm。在本实施例中，所述第一柔性材质12以及第二柔性材质13的材料的厚度为3mm。

作为示例，所述沟槽121的宽度为1-4mm，所述第一开孔131的孔径为0.5-2mm。在本实施例中，所述沟槽121的宽度为3mm，所述第一开孔131的孔径为1mm。

作为示例，所述上平台1的长度为200-1000mm，宽度为200-1000mm。在本实施例中，所述所上平台1的长度为500mm，宽度为500mm。

如图4所示，所述下平台包括基底2，所述基底2中形成有多个第二开孔211，所述多个第二开孔211的一端连接与真空泵5。

作为示例，所述第二开孔211的孔径为0.5-2mm。在本实施例中，所述第二开孔211的孔径为1mm。

作为示例，所述下平台的长度为200-1000mm，宽度为200-1000mm。在本实施例中，所述下平台的长度为500mm，宽度为500mm。

作为示例，所述基底2选用为刚性基底，可以为玻璃、金属、陶瓷等，当然，可以在所述刚性基底的表面粘附一层与基底2的第二开孔211相对应的柔性材料，以避免后续吸附玻璃是对玻璃的划伤，提高贴膜的性能。

所述传送翻转装置3连接于所述上平台1及下平台之间，用于上下传送所述上平台1，并控制所述上平台1的翻转。

作为示例，所述真空泵5对所述多个沟槽121抽气，并基于与沟槽121连接的第一开孔131吸附置于所述第二柔性材质13上的薄膜材料。进一步地，所述真空泵5对所述多个第二开孔211抽气，并基于该多个开孔吸附置于所述下平台上的待贴膜基底。进一步地，所述薄膜材料与所述待贴膜基底通过所述传送翻转装置3对准后，所述真空泵5对所述多个沟槽121缓慢充气，使得所述薄膜材料从中间开始逐渐贴附于所述待贴膜基底上。在本实施例中，所述待贴膜基底为玻璃基底。

本实施例还提供一种贴膜压合一体机的贴膜方法，包括步骤：

第一步，将上平台1翻转至柔性材质面向上，然后降至下平台上，清洁上平台1表面后，将待贴附薄膜有胶面向上放置在上平台1上，通过真空泵5对沟槽121抽真空固定薄膜；

第二步，将上平台1升起至距离下平台500mm处，翻转180°使待贴敷薄膜向下；

第三步，清洁下平台，将待贴膜玻璃放在下平台上，通过真空泵5吸附真空固定玻璃；

第四步，将上平台1降至下平台上方，向上平台1的沟槽121内缓慢充气，使薄膜从中间逐渐贴附在玻璃上；

第五步，升起上平台1，取下贴有薄膜的玻璃，贴膜结束。

如上所述，本发明的贴膜压合一体机，具有以下有益效果：

1)贴膜机自动贴膜，提高生产自动化程度，减少操作失误。

2)贴附、压合一次完成，缩短贴膜时间，提高生产效率。

3)下平台以真空吸附方式固定玻璃，更加牢固，易于定位，提高贴膜精度，提高贴膜可靠性。

总的来说，使用贴膜压合一体机贴附薄膜，可以有效控制贴膜精度，缩短贴膜时间，利用气囊压合薄膜可以有效挤出薄膜内的气体，减少气泡、褶皱的产生。

所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种贴膜压合一体机，其特征在于，所述贴膜压合一体机包括：

上平台，所述上平台包括硬质基板、覆盖于所述硬质基板上的第一柔性材质，以及覆盖于所述第一柔性材质上的第二柔性材质，所述第一柔性材质中形成有多个沟槽，所述第二柔性材质与沟槽对应的位置形成有多个第一开孔，所述多个沟槽与真空泵连接；

下平台，所述下平台包括基底，所述基底中形成有多个第二开孔，所述多个第二开孔的一端连接与真空泵；

传送翻转装置，连接于所述上平台及下平台之间，用于上下传送所述上平台，并控制所述上平台的翻转。

2.根据权利要求1所述的贴膜压合一体机，其特征在于：所述多个沟槽汇聚后与所述真空泵相连，所述第二开孔汇聚后与所述真空泵相连。

3.根据权利要求1所述的贴膜压合一体机，其特征在于：所述真空泵对所述多个沟槽抽气，并基于与沟槽连接的第一开孔吸附置于所述第二柔性材质上的薄膜材料。

4.根据权利要求3所述的贴膜压合一体机，其特征在于：所述真空泵对所述多个第二开孔抽气，并基于该多个开孔吸附置于所述下平台上的待贴膜基底。

5.根据权利要求4所述的贴膜压合一体机，其特征在于：所述薄膜材料与所述待贴膜基底通过所述传送翻转装置对准后，所述真空泵对所述多个沟槽缓慢充气，使得所述薄膜材料从中间开始逐渐贴附于所述待贴膜基底上。

6.根据权利要求1所述的贴膜压合一体机，其特征在于：所述硬质基板包括金属基板、玻璃基板以及陶瓷基板中的一种。

7.根据权利要求1所述的贴膜压合一体机，其特征在于：所述第一柔性材质以及第二柔性材质的材料包括黑色硅胶，EVA或橡胶发泡材料。

8.根据权利要求1所述的贴膜压合一体机，其特征在于：所述第一柔性材质以及第二柔性材质的材料的厚度为1-5mm。

9.根据权利要求1所述的贴膜压合一体机，其特征在于：所述沟槽的宽度为1-4mm，所述第一开孔及第二开孔的孔径为0.5-2mm。

10.根据权利要求1所述的贴膜压合一体机，其特征在于：所述上平台及下平台的长度为200-1000mm，宽度为200-1000mm。